JPH0349906A - スライシング装置 - Google Patents
スライシング装置Info
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- JPH0349906A JPH0349906A JP18505789A JP18505789A JPH0349906A JP H0349906 A JPH0349906 A JP H0349906A JP 18505789 A JP18505789 A JP 18505789A JP 18505789 A JP18505789 A JP 18505789A JP H0349906 A JPH0349906 A JP H0349906A
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- cutting
- blade
- cutting tool
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、シリコンインゴット等のワークを薄く切断し
てシリコンウェハ等を切出すスライシング装置の改良に
関するものである。
てシリコンウェハ等を切出すスライシング装置の改良に
関するものである。
従来、例えば特開昭61−47644号公報に示される
ように、円形状の内周刃を有する切断工具を回転駆動さ
せつつ、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と
直角方向に切込み送り移動させることにより、ワークを
薄く切断するスライシング装置が知られている。このス
ライシング装置は、上記内周刃が設けられたブレードが
切断時に撓み変形を生じ易く、これによってワークの切
断位置がずれ、切断面の真直度が悪くなるという問題点
が指摘されている。このため上記従来装置では、ブレー
ドに撓みが生じた場合、その板面に空気流もしくは磁界
を作用させることにより、ブレードの撓みを修正するよ
うにしている。
ように、円形状の内周刃を有する切断工具を回転駆動さ
せつつ、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と
直角方向に切込み送り移動させることにより、ワークを
薄く切断するスライシング装置が知られている。このス
ライシング装置は、上記内周刃が設けられたブレードが
切断時に撓み変形を生じ易く、これによってワークの切
断位置がずれ、切断面の真直度が悪くなるという問題点
が指摘されている。このため上記従来装置では、ブレー
ドに撓みが生じた場合、その板面に空気流もしくは磁界
を作用させることにより、ブレードの撓みを修正するよ
うにしている。
(発明が解決しようとする課題〕
上記従来装置では、空気流もしくは磁界がブレードの板
面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し易
く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を一
定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直度
の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命が
短くなるという問題がある。
面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し易
く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を一
定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直度
の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命が
短くなるという問題がある。
また、実開昭62−70904号公報に示されるように
、内周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合
に、切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が
有する復元力によって切断位置のずれを修正することが
行なわれている。この構成によれば、ブレードの撓み変
形を均一に修正することができるという利点を有する反
面、上記復元力によって切断位置のずれが修正されるま
でに時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生
産性の関係上、切込み速度をあまり遅くすることができ
ないため、上記切断位置のずれを修正する効果に限界が
あるという問題があった。
、内周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合
に、切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が
有する復元力によって切断位置のずれを修正することが
行なわれている。この構成によれば、ブレードの撓み変
形を均一に修正することができるという利点を有する反
面、上記復元力によって切断位置のずれが修正されるま
でに時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生
産性の関係上、切込み速度をあまり遅くすることができ
ないため、上記切断位置のずれを修正する効果に限界が
あるという問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修正
し、切断面の真直度を向上させることができるスライシ
ング装置を提供するものである。
あり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修正
し、切断面の真直度を向上させることができるスライシ
ング装置を提供するものである。
本発明は、円形状の内周刃が設けられたブレードを有す
る切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手段
と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角
方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスライ
シング装置において、切断工具の回転に伴う遠心力によ
り上記ブレードをその回転軸方向に移動させるテンショ
ンディスクと、ワークの切断時における上記ブレードの
変位量を検出する検出手段と、この検出手段によって検
出されたブレードの変位量に応じ、上記切込み送り手段
に切込み速度を低下させる制御信号を出力するとともに
、上記切断工具の回転駆動部に回転数を増減させる制御
信号を出力する制御手段とを設けたものである。
る切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手段
と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角
方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスライ
シング装置において、切断工具の回転に伴う遠心力によ
り上記ブレードをその回転軸方向に移動させるテンショ
ンディスクと、ワークの切断時における上記ブレードの
変位量を検出する検出手段と、この検出手段によって検
出されたブレードの変位量に応じ、上記切込み送り手段
に切込み速度を低下させる制御信号を出力するとともに
、上記切断工具の回転駆動部に回転数を増減させる制御
信号を出力する制御手段とを設けたものである。
また、本発明は、円形状の内周刃が設けられたブレード
を有する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆
動手段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸
と直角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えた
スライシング装置において、上記ワークもしくは切断工
具をその軸方向に移動させる移動手段と、ワークの切断
時における上記ブレードの軸方向の変位量を検出する検
出手段と、この検出手段によって検出されたブレードの
変位量に応じ、上記切込み送り手段に切込み速度を低下
させる制御信号を出力するとともに、上記ワークもしく
は切断工具をその軸方向に移動させて切断位置の変位を
修正する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段と
を設けたものである。
を有する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆
動手段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸
と直角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えた
スライシング装置において、上記ワークもしくは切断工
具をその軸方向に移動させる移動手段と、ワークの切断
時における上記ブレードの軸方向の変位量を検出する検
出手段と、この検出手段によって検出されたブレードの
変位量に応じ、上記切込み送り手段に切込み速度を低下
させる制御信号を出力するとともに、上記ワークもしく
は切断工具をその軸方向に移動させて切断位置の変位を
修正する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段と
を設けたものである。
上記構成の本発明によれば、ワークの切断時にブレード
に撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制御
手段から切込み送り手段に出力される制御信号に応じて
切断工具の切込み速度が低下し、ブレードの変形が修正
され易い状態となる。
に撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制御
手段から切込み送り手段に出力される制御信号に応じて
切断工具の切込み速度が低下し、ブレードの変形が修正
され易い状態となる。
そして、この状態で上記制御手段から回転駆動部に出力
される制御信号に応じて切断工具の回転数が増減し、テ
ンションディスクによってブレードに付与される復元力
の大きさおよび方向が制御され、これに伴い上記ブレー
ドの変形が効果的に修正されて切断位置が基準位置に保
持されることになる。
される制御信号に応じて切断工具の回転数が増減し、テ
ンションディスクによってブレードに付与される復元力
の大きさおよび方向が制御され、これに伴い上記ブレー
ドの変形が効果的に修正されて切断位置が基準位置に保
持されることになる。
また、上記の状態で制御手段から移動手段に出力される
制御信号に応じ、ワークもしくは切断工具がその軸方向
に切断位置の変位置に対応する距離だけ移動し、切断工
具によるワーク切断位置のずれが修正されることになる
。
制御信号に応じ、ワークもしくは切断工具がその軸方向
に切断位置の変位置に対応する距離だけ移動し、切断工
具によるワーク切断位置のずれが修正されることになる
。
〔実施例)
第1図は、本発明に係るスライシング装置の実施例を示
している。このスライシング装置は、基台1上に設置さ
れたガイドレール2と、このガイドレール2に沿ってス
ライド自在に支持されたスライドテーブル3と、このス
ライドテーブル3に対向して上記基台1上に設置された
主軸台4とを備えている。
している。このスライシング装置は、基台1上に設置さ
れたガイドレール2と、このガイドレール2に沿ってス
ライド自在に支持されたスライドテーブル3と、このス
ライドテーブル3に対向して上記基台1上に設置された
主軸台4とを備えている。
この主軸台4には、先端部に切断工具5が取付けられた
主軸6が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動機
構7によって主軸6を回転駆動する駆動モータ8が取付
けられている。上記切断工具5は、主軸6の先端部に固
着されたテンションディスク9と、このテンションディ
スク9に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板からな
るブレード1oと、このブレード10の内周部に固着さ
れたダイヤモンド粒子等からなる内周刃11とにより構
成されている。
主軸6が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動機
構7によって主軸6を回転駆動する駆動モータ8が取付
けられている。上記切断工具5は、主軸6の先端部に固
着されたテンションディスク9と、このテンションディ
スク9に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板からな
るブレード1oと、このブレード10の内周部に固着さ
れたダイヤモンド粒子等からなる内周刃11とにより構
成されている。
上記スライドテーブル3は、ボールねじ12と、このボ
ールねじ12を回転駆動する駆動モータ13とを有する
切込み送り手段14により、上記ガイドレール2に沿っ
て主軸6と直角方向に切込み送り移動されるように構成
されている。また、スライドテーブル3上には、シリコ
ンインゴット等からなるワーク15を保持する保持部材
16が載置され、この保持部材16は、ボールねじ17
と、このボールねじ17を回転駆動する駆動モータ18
とを有する割出し送り手段19により、上記主軸6の軸
方向にスライド駆動されることにより、ワーク15の先
端部を切断工具5のブレード10内に所定量搬入するよ
うに構成されている。
ールねじ12を回転駆動する駆動モータ13とを有する
切込み送り手段14により、上記ガイドレール2に沿っ
て主軸6と直角方向に切込み送り移動されるように構成
されている。また、スライドテーブル3上には、シリコ
ンインゴット等からなるワーク15を保持する保持部材
16が載置され、この保持部材16は、ボールねじ17
と、このボールねじ17を回転駆動する駆動モータ18
とを有する割出し送り手段19により、上記主軸6の軸
方向にスライド駆動されることにより、ワーク15の先
端部を切断工具5のブレード10内に所定量搬入するよ
うに構成されている。
上記ブレード10の近傍には、第2図に示すように、ワ
ーク15の切断時にブレード10の撓み変形を検出する
磁気センサ等からなる非接触型のセンサ20が設けられ
ている。そして、このセンサ20の検出値は切断位置の
変位量を読出す読出手段21に入力され、この読出手段
21において、ブレード10が撓み変形することにより
生じたワーク切断位置の変位」が読出される。つまり上
記センサ20と、読出手段21とにより、ワーク15の
切断時に発生する切断位置の変位量を検出する検出手段
22が構成されている。また、上記検出手段22により
求められた切断位置の変位量は制御手段23に入力され
、この変位量に応じて制御手段23から上記切込み送り
手段14の作動速度を低下させる制御信号が駆動モータ
13に出力されるとともに、主軸6の回転数を増減させ
る制御信号が上記駆動モータ8を備えた回転駆動部にに
出力されるようになっている。
ーク15の切断時にブレード10の撓み変形を検出する
磁気センサ等からなる非接触型のセンサ20が設けられ
ている。そして、このセンサ20の検出値は切断位置の
変位量を読出す読出手段21に入力され、この読出手段
21において、ブレード10が撓み変形することにより
生じたワーク切断位置の変位」が読出される。つまり上
記センサ20と、読出手段21とにより、ワーク15の
切断時に発生する切断位置の変位量を検出する検出手段
22が構成されている。また、上記検出手段22により
求められた切断位置の変位量は制御手段23に入力され
、この変位量に応じて制御手段23から上記切込み送り
手段14の作動速度を低下させる制御信号が駆動モータ
13に出力されるとともに、主軸6の回転数を増減させ
る制御信号が上記駆動モータ8を備えた回転駆動部にに
出力されるようになっている。
上記構成のスライシング装置の作用について以下に説明
する。まず、スライドテーブル2の保持部材16にワー
ク15を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ8
を作動させて主軸6および切断工具5を基準回転数で回
転させるとともに、割出し送り手段19によりワーク1
5の先端部を切断工具5のブレード10内に搬入する。
する。まず、スライドテーブル2の保持部材16にワー
ク15を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ8
を作動させて主軸6および切断工具5を基準回転数で回
転させるとともに、割出し送り手段19によりワーク1
5の先端部を切断工具5のブレード10内に搬入する。
次に、切り込み送り手段14の駆動モータ13を作動さ
せてワーク15を主軸6と直角方向に送り移動させるこ
とにより、ワーク15を切断工具5の内周刃11に接触
させて切断する。
せてワーク15を主軸6と直角方向に送り移動させるこ
とにより、ワーク15を切断工具5の内周刃11に接触
させて切断する。
上記ワーク15の切断時に、ワーク15と内周刃11と
の間に作用する切断抵抗等に起因してブレード10が撓
み、切断工具5によるワーク15の切断位置がその軸方
向に変位すると、その変位量が検出手段22によって検
出される。そして、この変位が検出された時点で、上記
制御手段23から切込み送り手段14の駆動モータ13
にワーク15の送り移動速度を低下させる制御信号が出
力される。この結果、ワーク15の切込み速度が低下し
て切断抵抗が減少するため、ブレード10がこれ以上大
きく撓むことが抑制されることになる。
の間に作用する切断抵抗等に起因してブレード10が撓
み、切断工具5によるワーク15の切断位置がその軸方
向に変位すると、その変位量が検出手段22によって検
出される。そして、この変位が検出された時点で、上記
制御手段23から切込み送り手段14の駆動モータ13
にワーク15の送り移動速度を低下させる制御信号が出
力される。この結果、ワーク15の切込み速度が低下し
て切断抵抗が減少するため、ブレード10がこれ以上大
きく撓むことが抑制されることになる。
また、上記ブレード10に撓みを生じたことが確認され
た時点で、その撓みの大きさおよび方向に応じて制御手
段23から主軸6を回転駆動する駆動モータ8にその回
転数を変化させる制御信号が出力され、これに応じて切
断工具5の回転数が変化する。この結果、テンションデ
ィスク9の周縁部に回転数に応じた遠心力が作用し、こ
れによってテンションディスク9からブレード10に付
与さる回転軸方向の変位の大きさおよび方向が制御され
、この変位の大きさおよび方向に応じてブレード10の
撓みが修正され、変位した切断位置が元の位置、つまり
基準の切断位置に復帰することになる。
た時点で、その撓みの大きさおよび方向に応じて制御手
段23から主軸6を回転駆動する駆動モータ8にその回
転数を変化させる制御信号が出力され、これに応じて切
断工具5の回転数が変化する。この結果、テンションデ
ィスク9の周縁部に回転数に応じた遠心力が作用し、こ
れによってテンションディスク9からブレード10に付
与さる回転軸方向の変位の大きさおよび方向が制御され
、この変位の大きさおよび方向に応じてブレード10の
撓みが修正され、変位した切断位置が元の位置、つまり
基準の切断位置に復帰することになる。
上記テンションディスク9からブレード10に付与され
る復元力に応じたブレード10の変位量Xは、第4図に
示すように、切断工具5の回転数Nと、一定の関係があ
り、回転数Nの2乗に比例する。このため、この関係を
予め記憶しておき、ブレード10に撓みα1もしくはα
2が生じて切断位置の変位量がXOから×1もしくは×
2に変化した時点で、上記関係から切断工具5の回転数
Nを基準回転数Noから変化させるべき回転数の値N1
もしくはN2を読み出し、これに応じた制御信号を出力
することにより、上記復帰制御を正確に実行することが
できる。
る復元力に応じたブレード10の変位量Xは、第4図に
示すように、切断工具5の回転数Nと、一定の関係があ
り、回転数Nの2乗に比例する。このため、この関係を
予め記憶しておき、ブレード10に撓みα1もしくはα
2が生じて切断位置の変位量がXOから×1もしくは×
2に変化した時点で、上記関係から切断工具5の回転数
Nを基準回転数Noから変化させるべき回転数の値N1
もしくはN2を読み出し、これに応じた制御信号を出力
することにより、上記復帰制御を正確に実行することが
できる。
このように上記検出手段22によってワーク15の切断
時に切断位置の変位量を検出し、この変位量に応じてワ
ーク15の切込み速度を低下させるとともに、切断工具
5の回転数を変化させるように構成したため、切断工具
5の切断抵抗を減少させてこれ以上大きくブレード10
が撓むのを防止した状態で、テンションディスク9によ
りブレード1oをその回転方向に変位させる復元力を作
用させることができ、これによって切断位置の変位を迅
速かつ効果的に修正することができる。
時に切断位置の変位量を検出し、この変位量に応じてワ
ーク15の切込み速度を低下させるとともに、切断工具
5の回転数を変化させるように構成したため、切断工具
5の切断抵抗を減少させてこれ以上大きくブレード10
が撓むのを防止した状態で、テンションディスク9によ
りブレード1oをその回転方向に変位させる復元力を作
用させることができ、これによって切断位置の変位を迅
速かつ効果的に修正することができる。
すなわち、ワーク15の切込み送り移動速度を減少させ
ると、ワーク15の切断抵抗が小さくなるため、テンシ
ョンディスク9からブレード10に付与される張力に応
じてブレード10が元の形状に復元し易くなる。したが
って、上記の状態で主軸6の回転数を変化させてブレー
ド10の撓みの大きさおよび方向に応じてブレード10
に付与される復元力をフィードバック制御することによ
り、切断位置のずれを早期に修正することができる。さ
らに、上記テンションディスク9からブレード10に付
与される回転軸方向の変位、つまり復元力はその全周に
均等に作用するため、この復元力に応じてブレード10
の撓み変形をその全面に亘って均一に修正することがで
きる。
ると、ワーク15の切断抵抗が小さくなるため、テンシ
ョンディスク9からブレード10に付与される張力に応
じてブレード10が元の形状に復元し易くなる。したが
って、上記の状態で主軸6の回転数を変化させてブレー
ド10の撓みの大きさおよび方向に応じてブレード10
に付与される復元力をフィードバック制御することによ
り、切断位置のずれを早期に修正することができる。さ
らに、上記テンションディスク9からブレード10に付
与される回転軸方向の変位、つまり復元力はその全周に
均等に作用するため、この復元力に応じてブレード10
の撓み変形をその全面に亘って均一に修正することがで
きる。
なお、上記実施例では、切込み送り手段14によってワ
ーク15を主軸6の軸と直角方向に送り移動させること
により、ワーク15の切込みを行なうようしているが、
主軸台4を主軸6と直角方向に移動させることにより、
ワーク15の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構
造としてもよい。
ーク15を主軸6の軸と直角方向に送り移動させること
により、ワーク15の切込みを行なうようしているが、
主軸台4を主軸6と直角方向に移動させることにより、
ワーク15の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構
造としてもよい。
また、切断工具5の回転数を変化させて切断位置の変位
を修正する上記修正手段に代えて切断工具5もしくはワ
ーク15をその軸方向に移動させることにより、上記変
位を修正する修正手段を設けた構造としてもよい。例え
ば、第3図に示すように、切断工具5および主軸6が設
置された主軸台4をガイドレール24に沿ってスライド
自在に支持するとともに、駆動モータ26およびボール
ねじ25からなる主軸台6の移動手段27を設け、ブレ
ード10に撓み変形が生じたことが検出手段22により
検出された時点で、制御手段23から上記移動手段27
に出力される制御信号に応じて切断工具5を切断位置の
変位方向と逆向きに移動させることにより、切断位置を
修正するようにしてもよい。この場合には、ワーク15
の切込み速度を低下させて切断抵抗を減少させた状態で
、切断位置の変位量に対応する距離だけ内周刃11を、
強制的に元の位置に復帰させるように、切断工具5の全
体をその軸方向に移動させることにより、より迅速にか
つ効果的に切断位置の復帰制御を実行できるという利点
がある。
を修正する上記修正手段に代えて切断工具5もしくはワ
ーク15をその軸方向に移動させることにより、上記変
位を修正する修正手段を設けた構造としてもよい。例え
ば、第3図に示すように、切断工具5および主軸6が設
置された主軸台4をガイドレール24に沿ってスライド
自在に支持するとともに、駆動モータ26およびボール
ねじ25からなる主軸台6の移動手段27を設け、ブレ
ード10に撓み変形が生じたことが検出手段22により
検出された時点で、制御手段23から上記移動手段27
に出力される制御信号に応じて切断工具5を切断位置の
変位方向と逆向きに移動させることにより、切断位置を
修正するようにしてもよい。この場合には、ワーク15
の切込み速度を低下させて切断抵抗を減少させた状態で
、切断位置の変位量に対応する距離だけ内周刃11を、
強制的に元の位置に復帰させるように、切断工具5の全
体をその軸方向に移動させることにより、より迅速にか
つ効果的に切断位置の復帰制御を実行できるという利点
がある。
上記切断工具5を移動させる代りにワーク15を、切断
位置の変位方向にその変位量に対応する距離だけ移動さ
せることにより、基準位置から変位した切断位置を強制
的に元の位置に復帰させるように構成してもよい。
位置の変位方向にその変位量に対応する距離だけ移動さ
せることにより、基準位置から変位した切断位置を強制
的に元の位置に復帰させるように構成してもよい。
以上説明したように、本発明は、円形状の内周刃が設け
られた切断工具によりワークを切断する際に、切断工具
のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位した
ことが検出手段によって検出された場合に、ワークもし
くは切断工具を送り移動させる切込み送り手段の切込み
速度を低下させて切断抵抗を小さくするとともに、切断
工具を回転させる回転駆動部の回転数を変化させて上記
ブレードを保持するテンションディスクからブレードの
全面に、上記ワーク切断位置の変位の大きさおよび方向
に応じてブレードをその軸方向に変位させる復元力を均
一に付与するように構成したため、この復元力によって
ワーク切断位置の変位を修正してワークの切断位置を元
の位置に迅速かつ効果的に復帰させることができる。し
たがって、スライシング装置の生産性を低下させること
なく、簡単な構成でワークの切断面の真直度を向上させ
ることができる等の利点がある。
られた切断工具によりワークを切断する際に、切断工具
のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位した
ことが検出手段によって検出された場合に、ワークもし
くは切断工具を送り移動させる切込み送り手段の切込み
速度を低下させて切断抵抗を小さくするとともに、切断
工具を回転させる回転駆動部の回転数を変化させて上記
ブレードを保持するテンションディスクからブレードの
全面に、上記ワーク切断位置の変位の大きさおよび方向
に応じてブレードをその軸方向に変位させる復元力を均
一に付与するように構成したため、この復元力によって
ワーク切断位置の変位を修正してワークの切断位置を元
の位置に迅速かつ効果的に復帰させることができる。し
たがって、スライシング装置の生産性を低下させること
なく、簡単な構成でワークの切断面の真直度を向上させ
ることができる等の利点がある。
また、ワークの切断位置が変位したことが検出手段によ
って検出された場合に、ワークもしくは切断工具を送り
移動させる切込み送り手段の切込み速度を低下させて切
断抵抗を小さくするとともに、上記ワークもしくは切断
工具を、上記変位量に相当する距離だけ軸方向に移動さ
せて切断位置のずれを修正するように構成した場合には
、より迅速かつ効果的にワークの切断面の真直度を向上
させることができる。
って検出された場合に、ワークもしくは切断工具を送り
移動させる切込み送り手段の切込み速度を低下させて切
断抵抗を小さくするとともに、上記ワークもしくは切断
工具を、上記変位量に相当する距離だけ軸方向に移動さ
せて切断位置のずれを修正するように構成した場合には
、より迅速かつ効果的にワークの切断面の真直度を向上
させることができる。
第1図は本発明の実施例を示す全体概略図、第2図は制
御部の構成を示すブロック図、第3図は本発明の別の実
施例を示す概略図、第4図はブレードの変位量と切断工
具の回転数との関係を示すグラフである。 5・・・切断工具、6・・・主軸、8・・・駆動モータ
(回転駆動部)、9・・・テンションディスク、10・
・・ブレード、11・・・内周刃、14・・・切込み送
り手段、22・・・検出手段、23・・・制御手段、2
7・・・移動手段。
御部の構成を示すブロック図、第3図は本発明の別の実
施例を示す概略図、第4図はブレードの変位量と切断工
具の回転数との関係を示すグラフである。 5・・・切断工具、6・・・主軸、8・・・駆動モータ
(回転駆動部)、9・・・テンションディスク、10・
・・ブレード、11・・・内周刃、14・・・切込み送
り手段、22・・・検出手段、23・・・制御手段、2
7・・・移動手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、円形状の内周刃が設けられたブレードを有する切断
工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手段と、こ
の切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角方向に
送り移動させる切込み送り手段とを備えたスライシング
装置において、切断工具の回転に伴う遠心力により上記
ブレードをその回転軸方向に変位させるテンションディ
スクと、ワークの切断時における上記ブレードの変位量
を検出する検出手段と、この検出手段によって検出され
たブレードの変位量に応じ、上記切込み送り手段に切込
み速度を低下させる制御信号を出力するとともに、上記
切断工具の回転駆動部に回転数を増減させる制御信号を
出力する制御手段とを設けたことを特徴とするスライシ
ング装置。 2、円形状の内周刃が設けられたブレードを有する切断
工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手段と、こ
の切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角方向に
送り移動させる切込み送り手段とを備えたスライシング
装置において、上記ワークもしくは切断工具をその軸方
向に移動させる移動手段と、ワークの切断時における上
記ブレードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、こ
の検出手段によって検出された上記ブレードの変位量に
応じ、上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制
御信号を出力するとともに、上記ワークもしくは切断工
具をその軸方向に移動させて切断位置の変位を修正する
修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを設けた
ことを特徴とするスライシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1185057A JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1185057A JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0349906A true JPH0349906A (ja) | 1991-03-04 |
JPH0818330B2 JPH0818330B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=16164053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1185057A Expired - Fee Related JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0818330B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007125146A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Just Corporation:Kk | Cd等のレンタル及び販売用の陳列具 |
US9387023B2 (en) | 2007-09-18 | 2016-07-12 | Stryker European Holdings I, Llc | Angularly stable fixation of an implant |
CN107457924A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-12-12 | 宁晋松宫电子材料有限公司 | 一种多晶硅切片方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57133634A (en) * | 1981-02-12 | 1982-08-18 | Hitachi Ltd | Crystal cutting device |
JPS61122811U (ja) * | 1985-01-19 | 1986-08-02 | ||
JPS6270904U (ja) * | 1985-10-22 | 1987-05-06 | ||
JPH02134212A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 切断方法 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1185057A patent/JPH0818330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57133634A (en) * | 1981-02-12 | 1982-08-18 | Hitachi Ltd | Crystal cutting device |
JPS61122811U (ja) * | 1985-01-19 | 1986-08-02 | ||
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JPH02134212A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 切断方法 |
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JP2007125146A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Just Corporation:Kk | Cd等のレンタル及び販売用の陳列具 |
JP4707537B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2011-06-22 | 株式会社ジャストコーポレーション | Cd等のレンタル及び販売用の陳列具 |
US9387023B2 (en) | 2007-09-18 | 2016-07-12 | Stryker European Holdings I, Llc | Angularly stable fixation of an implant |
CN107457924A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-12-12 | 宁晋松宫电子材料有限公司 | 一种多晶硅切片方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0818330B2 (ja) | 1996-02-28 |
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---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |