JPH02125332U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02125332U JPH02125332U JP3351189U JP3351189U JPH02125332U JP H02125332 U JPH02125332 U JP H02125332U JP 3351189 U JP3351189 U JP 3351189U JP 3351189 U JP3351189 U JP 3351189U JP H02125332 U JPH02125332 U JP H02125332U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing device
- overflow tank
- inlet
- shower nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図ａ及びｂはそれぞれ本考案の一実施例の
上面図及び縦断面図、第２図ａ及びｂはそれぞれ
従来例の上面図及び縦断面図である。 １……シリコン酸化膜エツチング液、２……循
環ポンプ、３……フイルタ、４……流入口、５…
…シヤワーノズル、６……流出部、７……オーバ
フロー貯液部、８……流入部より分散する流れ、
９……パンチング液、１０…垂直方向に対して均
一な流れ、１１……底部、１２……側部、１３…
…槽底部の四隅。
上面図及び縦断面図、第２図ａ及びｂはそれぞれ
従来例の上面図及び縦断面図である。 １……シリコン酸化膜エツチング液、２……循
環ポンプ、３……フイルタ、４……流入口、５…
…シヤワーノズル、６……流出部、７……オーバ
フロー貯液部、８……流入部より分散する流れ、
９……パンチング液、１０…垂直方向に対して均
一な流れ、１１……底部、１２……側部、１３…
…槽底部の四隅。
Claims (1)
- 洗浄液又はエツチング液を入れる循環フイルタ
リング式のオーバーフロー槽を有する半導体製造
装置において、前記オーバフロー槽は底面にシヤ
ワーノズルを取り付けた流入口を備えた逆円錐状
の底部と円筒形の側部を有していることを特徴と
する半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351189U JPH02125332U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3351189U JPH02125332U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125332U true JPH02125332U (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=31537224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3351189U Pending JPH02125332U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02125332U (ja) |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP3351189U patent/JPH02125332U/ja active Pending