JPH0425704Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はデイツプ現像用カツプに係る。

（従来の技術） 従来のデイツプ現像用カツプに於ける薬液供給
口の構成は第１図Ａ（斜視図）、Ｂ（同Ｘ−Ｘ断面
図）に示す通りであつて、即ちカツプ１の内底面
２の周側壁近くに適当間隔で複数の薬液供給口
（以下、ノズルと言う）３を設け、これから現像
用薬液４を流入させていた。なお、図面で５はス
ピンドルチヤツクである。

（考案が解決しようとする課題） 上記従来のものに於いて、カツプ１内にセツト
されたマスク又はウエハー（以下被現像物と言
う）６上面に流入する現像用薬液４が、各ノズル
３近傍に於ては他の部分より早く被現像物６上に
流入するため、レジストの現像速度にバラツキが
生じていた。

しかして、カツプ内の被現像物６上面に速やか
に薬液を流入させるにはノズル３の数を増やすと
か、各ノズル３に対する薬液の速度を上げると言
つた手段を取ることが考えられているが、前者で
は配管数の増加、後者では流入薬液のノズル近傍
での気泡発生や液面の脈動などの問題がある。

（課題を解決するための手段） 本考案は上記問題を解決せんとするものであつ
て、その特徴とするところはカツプ外周面に薬液
を一時的に貯留するようになすための薬液サブタ
ンクを設け、該薬液サブタンク上面には覆板を取
付け、薬液サブタンク上面からカツプ内底面へ向
けて薬液を下降流入させるための供給スリツトを
形成したことにある。

本考案は以下の実施例によつて具体的に説明さ
れる。

（実施例） 第２図は全体斜視図、第３図は第２図のＹ−Ｙ
線部分断面図である。

本図に於いて１が現像用カツプ、２がカツプの
内底面、４が現像用薬液、５がスピンドルチヤツ
ク、６がマスク（又はウエハー）であることは従
来のものと変りがないが、本考案ではカツプ１の
外周面に対し薬液サブタンク７を設けるようにな
すものであり、該形成には図示例の如くカツプ１
の周側壁を肉厚のものに形成し、該壁内部にタン
ク容器７ａを形成するようになしても良いが、別
体のものを一体的に取付けるようになしても良
い。

こゝに薬液サブタンク７の外側上面ｍはカツプ
内壁上面ｎより少し高く位置させると共に、該上
面ｍからカツプ内面に向けては端縁がカツプ内へ
到達する一定巾の覆板８を取付けしめ、且つその
先端はカツプ内へ入り込む傾斜面ｇに形成し、カ
ツプ内壁面との間にサブタンクからの薬液が下降
流入するためのスリツト９が形成されるようにな
さしめる。なお、図面で１０は覆板８の止着用ボ
ルト、１１は薬液供給管である。

（作用） 上記構成に於いて薬液サブタンク７はデイツプ
現像１回に使用する薬液量以上の容積を持つてお
り、薬液４は供給管１１から流入し、サブタンク
７内で液面が上昇するとその上方で覆板８との間
に形成したスリツト９からカツプ内底に向けて下
降する。

（考案の効果） 本考案によればカツプ内周面に形成した薬液サ
ブタンクの上部全体から、カツプ内底面に向けて
薬液が均一に流入するものとなるのであり、且つ
これによりスピンドルチヤツク５にセツトされた
被現像物６に対して穏やかに薬液へ侵させるもの
となるのであり、従来見られた気泡の発生や薬液
の脈動などの現像を皆無ならしめるものとなる。
また被現像物６の品質向上に寄与せしめること大
ならしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ，Ｂは従来装置を示すものでＡは斜視
図、Ｂは第１図のＸ−Ｘ線部分断面図、第２図は
本考案装置の全体斜視図、第３図は第２図のＹ−
Ｙ線部分断面図である。 １……カツプ、３……薬液供給口（ノズル）、
５……スピンドルチヤツク、６……被現像物、７
……薬液サブタンク、８……覆板、９……スリツ
ト、１０……止着ボルト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. カツプ外周面に薬液を一時的に貯留するように
   なすための薬液サブタンクを設け、該薬液サブタ
   ンク上面には覆板を取付け、薬液サブタンク上面
   からカツプ内底面へ向けて薬液を下降流入させる
   ための供給スリツトを形成したことを特徴とする
   デイツプ現像用カツプ。