JPH01124717A - レーザのビーム半径測定方法 - Google Patents
レーザのビーム半径測定方法Info
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- JPH01124717A JPH01124717A JP28394687A JP28394687A JPH01124717A JP H01124717 A JPH01124717 A JP H01124717A JP 28394687 A JP28394687 A JP 28394687A JP 28394687 A JP28394687 A JP 28394687A JP H01124717 A JPH01124717 A JP H01124717A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザのビーム半径測定方法に関し、より詳細
には簡単な構成でレーザのビームスポットサイズを正確
に測定するレーザのビーム半径測定方法に関する。
には簡単な構成でレーザのビームスポットサイズを正確
に測定するレーザのビーム半径測定方法に関する。
従来の技術ではレーザビームを一定時間アクリル板上に
照射せしめ、アクリルの燃焼によって板上に形成される
孔の形状と大きさからビームパターンを推定する、いわ
ゆるアクリルバーンパターン法があった。この方法は簡
単であるとともに、２次元面内でのレーザ強度分布情報
が求められ便利であった。
照射せしめ、アクリルの燃焼によって板上に形成される
孔の形状と大きさからビームパターンを推定する、いわ
ゆるアクリルバーンパターン法があった。この方法は簡
単であるとともに、２次元面内でのレーザ強度分布情報
が求められ便利であった。
しかし、この方法は燃焼孔形状がレーザビーム強度と相
関を有しているものの、レーザビーム強度分布以外にア
クリルの燃焼や蒸発過程を含んでいるので、レーザビー
ムの強度の情報を得るには最適な方法とは言えない。さ
らに、レーザビームの強度分布から数学的に定義される
スポットサイズを求めることは困難であった。
関を有しているものの、レーザビーム強度分布以外にア
クリルの燃焼や蒸発過程を含んでいるので、レーザビー
ムの強度の情報を得るには最適な方法とは言えない。さ
らに、レーザビームの強度分布から数学的に定義される
スポットサイズを求めることは困難であった。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１の発明
では、 反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザビーム
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に小に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の１３゜５％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法が、提供される。
では、 反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザビーム
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に小に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の１３゜５％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法が、提供される。
第２の発明では、
反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザビーム
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に大に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の約２゜３％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法が、提供される。
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に大に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の約２゜３％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法が、提供される。
第３の発明では、
反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザビーム
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 前記走査によって得られた出力波形と、計算式を用いて
得られる応答波形が一致するようにしてレーザビームの
半径を算出することを特徴とするレーザのビーム半径測
定方法が、 提供される。
の半径を測定するレーザのビーム半径測定方法において
、 前記走査によって得られた出力波形と、計算式を用いて
得られる応答波形が一致するようにしてレーザビームの
半径を算出することを特徴とするレーザのビーム半径測
定方法が、 提供される。
スリットがレーザビームの直径より、十分小さいときは
、走査によって得られる通過ビームの出力はその点のレ
ーザビームの分布強度に比例する。
、走査によって得られる通過ビームの出力はその点のレ
ーザビームの分布強度に比例する。
従って、その強度が最大強度の（１／ｅ”）である出力
１３．５％との点をレーザビームのスポット半径として
求めることができる。
１３．５％との点をレーザビームのスポット半径として
求めることができる。
また、スリットの幅がレーザビームの直径より十分大き
いときは、レーザビームの強度が（１／ｅｔ）である点
がスリットの端にかかったときの出力は後で計算で示す
ように、最大出力の約２゜３％になる。
いときは、レーザビームの強度が（１／ｅｔ）である点
がスリットの端にかかったときの出力は後で計算で示す
ように、最大出力の約２゜３％になる。
従って、この点を基準にレーザビームの半径を求めるこ
とができる。
とができる。
さらに、スリットがレーザビームの直径に比べ、特別大
きくも、小さくもないときは、その基準となる出力をス
リットの幅から求め、この点を基準にレーザビームの半
径を決定する。
きくも、小さくもないときは、その基準となる出力をス
リットの幅から求め、この点を基準にレーザビームの半
径を決定する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明を実施するための測定装置の構成を示す
。１は測定すべきレーザビームであり、２はスリット３
を有する反射円板である。通常はレーザビーム１は反射
光４となって、ビームストッパー５に入射するが、スリ
ット３がレーザビーム１が通過する位置に回転してくる
と、これを通過して、点線で示す通過ビーム６となり、
積分球７に導かれる。積分球７はレーザビームの減衰器
であり、これには高速応答性を有するレーザビーム検出
器８が設けられている。検出器８はＨｇＣｄＴｅ （水
銀・カドミューム・テルル）等を使用したものが使用さ
れる。この検出器８によって、レーザ光は電気信号に変
換され、オシロスコープ９に送られ、ここでレーザビー
ムの出力波形を観測、記録する。
。１は測定すべきレーザビームであり、２はスリット３
を有する反射円板である。通常はレーザビーム１は反射
光４となって、ビームストッパー５に入射するが、スリ
ット３がレーザビーム１が通過する位置に回転してくる
と、これを通過して、点線で示す通過ビーム６となり、
積分球７に導かれる。積分球７はレーザビームの減衰器
であり、これには高速応答性を有するレーザビーム検出
器８が設けられている。検出器８はＨｇＣｄＴｅ （水
銀・カドミューム・テルル）等を使用したものが使用さ
れる。この検出器８によって、レーザ光は電気信号に変
換され、オシロスコープ９に送られ、ここでレーザビー
ムの出力波形を観測、記録する。
第２図に反射円板を回転軸方向から見た部分図を示す。
図において、１はレーザビームであり、２は反射円板で
あり、３は反射円板２の円周上に半径方向に設けられた
スリットであり、その幅はＳｗである。反射円板の回転
中心Ｏからレーザビーム１の中心までの半径をＲｏとす
る。また、反射円板２は回転角速度ωで右方向に回転し
ているものとする。レーザビーム１のモードはＴＥＭ０
０モードであり、その分布はガウシャン分布であるとす
る。
あり、３は反射円板２の円周上に半径方向に設けられた
スリットであり、その幅はＳｗである。反射円板の回転
中心Ｏからレーザビーム１の中心までの半径をＲｏとす
る。また、反射円板２は回転角速度ωで右方向に回転し
ているものとする。レーザビーム１のモードはＴＥＭ０
０モードであり、その分布はガウシャン分布であるとす
る。
次にスリット３の幅がレーザビームの直径に比較して、
非常に小さい場合、非常に大の場合、中間的な値の場合
に分けて説明する。
非常に小さい場合、非常に大の場合、中間的な値の場合
に分けて説明する。
〔スリットの幅３ｗがレーザビームの直径に比Ｍして小
の場合、Ｓｗ＜２ｒｏ） この場合のレーザビーム１をスリット３で走査したとき
の透過ビームの出力はその点の分布強度に比例する。従
って、その出力波形は第３図に示すようになる。第３図
では、横軸は時間軸であり、縦軸はオシロスコープ９で
測定した、出力波形である。従って、この場合はレーザ
ビームのスポット半径は、通常の定義通り、最大出力を
１００％としたときの、 （１／ｅ” ） ＃０．１３５＝１３．５％の間の時間
幅【。を測定することにより、ｒ ６−ｔ ０／ ２ として求めることができる。
の場合、Ｓｗ＜２ｒｏ） この場合のレーザビーム１をスリット３で走査したとき
の透過ビームの出力はその点の分布強度に比例する。従
って、その出力波形は第３図に示すようになる。第３図
では、横軸は時間軸であり、縦軸はオシロスコープ９で
測定した、出力波形である。従って、この場合はレーザ
ビームのスポット半径は、通常の定義通り、最大出力を
１００％としたときの、 （１／ｅ” ） ＃０．１３５＝１３．５％の間の時間
幅【。を測定することにより、ｒ ６−ｔ ０／ ２ として求めることができる。
〔スリットの幅Ｓｗがレーザビームの直径に比較して大
の場合、Ｓｗ＞２ｒｏ） この場合のスリット３を通過した出力は第４図のような
波形になる。そして、第５図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うに、スリット３の右端がレーザビームｌの定義された
半径Ｔｏ、すなわち最大強度の（１／ｅ” ）の位置に
きたものとする。第５図（ａ）はこのときの反射円板２
をその表面に直角に見た図であり、レーザビームの第５
図（ｂ）はガウシャン分布を示す。
の場合、Ｓｗ＞２ｒｏ） この場合のスリット３を通過した出力は第４図のような
波形になる。そして、第５図（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うに、スリット３の右端がレーザビームｌの定義された
半径Ｔｏ、すなわち最大強度の（１／ｅ” ）の位置に
きたものとする。第５図（ａ）はこのときの反射円板２
をその表面に直角に見た図であり、レーザビームの第５
図（ｂ）はガウシャン分布を示す。
このとき、スリット３を通過する出力は、レーザビーム
１の左側のほぼ総ての出力を含むものと仮定すると、以
下の式からスリット３を通過するエネルギーを求めるこ
とができる。
１の左側のほぼ総ての出力を含むものと仮定すると、以
下の式からスリット３を通過するエネルギーを求めるこ
とができる。
Ｖ ＝ （１／２） Ｖ’ ２ ／ π（ｅｘｐ（
−２Ｖ ２）ｄｙ＝０．０２２８＝０．２３ （但し、−１≦ｙ≦０） ここで、上式の第１項は、ガウシャン分布の左半分の積
分値であり、第２項は−１からＯ迄の積分値であり、■
は一■から−１まで、すなわち第５図（ｂ）の斜線で示
した部分の体積積分値に相当する。勿論、第５図（ｂ）
に示すガウシャン分布曲線は正規化されているものとす
る。
−２Ｖ ２）ｄｙ＝０．０２２８＝０．２３ （但し、−１≦ｙ≦０） ここで、上式の第１項は、ガウシャン分布の左半分の積
分値であり、第２項は−１からＯ迄の積分値であり、■
は一■から−１まで、すなわち第５図（ｂ）の斜線で示
した部分の体積積分値に相当する。勿論、第５図（ｂ）
に示すガウシャン分布曲線は正規化されているものとす
る。
次に第６図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）にスリット３がレー
ザビーム１を通過する状態の図を示す。
ザビーム１を通過する状態の図を示す。
第６図（ａ）に示すように、スリット３の右端がレーザ
ビーム１の左側のスポットサイズ点（ｒｏ）を通過する
点から、第６図（ｃ）に示すようにスリット３の左端が
レーザビームの右側の同点（ｒｏ ）を通過するまでに
進む距離は（２ｒｏ＋Ｓｗ）である。従って、オシロス
コープ波形上で、その強度がスリット幅によって決めら
れる点を基準に時間差ｔ０を読み取れば、 ２ ｒｏ ＋Ｓｗ＝Ｒｏ ａｌ ｔ。
ビーム１の左側のスポットサイズ点（ｒｏ）を通過する
点から、第６図（ｃ）に示すようにスリット３の左端が
レーザビームの右側の同点（ｒｏ ）を通過するまでに
進む距離は（２ｒｏ＋Ｓｗ）である。従って、オシロス
コープ波形上で、その強度がスリット幅によって決めら
れる点を基準に時間差ｔ０を読み取れば、 ２ ｒｏ ＋Ｓｗ＝Ｒｏ ａｌ ｔ。
が成立する。故に、
ｒｏ ” （Ｒｏ ωｔ６ Ｓｗ）／２としてスポッ
トサイズｒ０を求めることができる。
トサイズｒ０を求めることができる。
従って、第４図の出力波形において、最大値の約２．３
％の点を基準にレーザビームのスポット半径ｒ０を求め
ることができる。
％の点を基準にレーザビームのスポット半径ｒ０を求め
ることができる。
第７図にスリット３を通過するレーザビームの通過する
エネルギーを求めるためのガウシャン分布図を示す。図
において、Ｚ軸はレーザビーム１の強度を示し、Ｘ軸及
びＹ軸はそれぞれ空間的な平面を示す。ここで、スリッ
ト３は反射円板２の円周上にあるので、厳密にはレーザ
ビームｌは第７図のＹ軸方向に平行に移動しない。しか
し、第１図で示す、レーザビーム１の中心と反射円板２
の回転中心からの半径Ｒ０が十分大きいものとすれば、
スリット３はほぼ第７図のＹ軸に平行に移動するとする
ことができる。
エネルギーを求めるためのガウシャン分布図を示す。図
において、Ｚ軸はレーザビーム１の強度を示し、Ｘ軸及
びＹ軸はそれぞれ空間的な平面を示す。ここで、スリッ
ト３は反射円板２の円周上にあるので、厳密にはレーザ
ビームｌは第７図のＹ軸方向に平行に移動しない。しか
し、第１図で示す、レーザビーム１の中心と反射円板２
の回転中心からの半径Ｒ０が十分大きいものとすれば、
スリット３はほぼ第７図のＹ軸に平行に移動するとする
ことができる。
スリット３を通過するエネルギーは第７図の斜線で示す
Ｙｏ ）’１間の体積積分値であり、ｖ （ｙ） ＝
εＴｆ ｅｘｐ（−２ｙ”）ｄｙ（ｙｏ≦ｙ≦ｙ＋） として求められる。
Ｙｏ ）’１間の体積積分値であり、ｖ （ｙ） ＝
εＴｆ ｅｘｐ（−２ｙ”）ｄｙ（ｙｏ≦ｙ≦ｙ＋） として求められる。
従って、第２図においてスリット３の左端が（ｒ、／ｒ
０）に来たときのスリ′ットを通過するレーザビーム強
度Ｐ （ｒ＋ ／ｒｅ ）は、Ｐ（ｒ＋／ｒｏ）＝ ｌ
アミＪ ｅｘｐ （−２（ｒ／ｒｏ）” ） ｄ（ｒ／
ｒｏ）（但し、ｒｌ／ｒ、≦（ｒ／ｒ０）≦（ｒ＋＋ｓ
ｗ）／ｒｅ ）で求められる。
０）に来たときのスリ′ットを通過するレーザビーム強
度Ｐ （ｒ＋ ／ｒｅ ）は、Ｐ（ｒ＋／ｒｏ）＝ ｌ
アミＪ ｅｘｐ （−２（ｒ／ｒｏ）” ） ｄ（ｒ／
ｒｏ）（但し、ｒｌ／ｒ、≦（ｒ／ｒ０）≦（ｒ＋＋ｓ
ｗ）／ｒｅ ）で求められる。
一方、距離ｒと時間との関係はスリット３がし一ザビー
ムを通過する範囲に限定して、ビーム径は第２図のＲｏ
と比較して十分小さいとすると、ｒ＝Ｒ，ω【 で求められるから、オシロスコープで観察される波形の
１周期ごとの時間変化Ｐ （ｔ）は、Ｐ （ｔ ） ＝
Ｖ／Ｔ７？ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（但し、Ｒｏ
ωｔ ／ｒｏ ≦ｒ≦（Ｓｗ＋Ｒｏ （ｄ ｔ）／ｒｏ
）として求められる。
ムを通過する範囲に限定して、ビーム径は第２図のＲｏ
と比較して十分小さいとすると、ｒ＝Ｒ，ω【 で求められるから、オシロスコープで観察される波形の
１周期ごとの時間変化Ｐ （ｔ）は、Ｐ （ｔ ） ＝
Ｖ／Ｔ７？ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（但し、Ｒｏ
ωｔ ／ｒｏ ≦ｒ≦（Ｓｗ＋Ｒｏ （ｄ ｔ）／ｒｏ
）として求められる。
従って、この場合最大強度で規格化した応答波形Ｑ （
ｔ）は、 Ｑ （ｔ）’＝Ｑ＋ （ｔ）／Ｑｔ （ｔ）Ｑ＋ （ｔ
） ＝ ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（但し、Ｒｏω
ｔ／ｒｏ ≦ｒ≦（Ｓ１１＋Ｒ６（１） ｔ）／ｒ＋
）にｈ （ｔ ） ＝ ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（
但し、−３ｗ／２ｒｏ ≦ｒ≦Ｓｗ／２ｒｏ）として求
められる。
ｔ）は、 Ｑ （ｔ）’＝Ｑ＋ （ｔ）／Ｑｔ （ｔ）Ｑ＋ （ｔ
） ＝ ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（但し、Ｒｏω
ｔ／ｒｏ ≦ｒ≦（Ｓ１１＋Ｒ６（１） ｔ）／ｒ＋
）にｈ （ｔ ） ＝ ｆ ｅｘｐ（−２ｒ”）ｄｒ（
但し、−３ｗ／２ｒｏ ≦ｒ≦Ｓｗ／２ｒｏ）として求
められる。
故に、上記のＱ （ｔ）を求める式中のｒｏをオシロス
コープで観測された波形に一致するように、定めること
でレーザビームの半径を求めることができる。
コープで観測された波形に一致するように、定めること
でレーザビームの半径を求めることができる。
以上説明したように本発明では、レーザビームを電気信
号に変換して、オシログラフ上のレーザビームの強度を
測定して、スリットの幅がレーザビームの直径に比較し
て、十分小さなときに、その最大値の１３．５％の点で
レーザビームの半径を求めるようにしたので、簡単で、
正確にレーザビームの半径を求めることができる。
号に変換して、オシログラフ上のレーザビームの強度を
測定して、スリットの幅がレーザビームの直径に比較し
て、十分小さなときに、その最大値の１３．５％の点で
レーザビームの半径を求めるようにしたので、簡単で、
正確にレーザビームの半径を求めることができる。
また、スリットの幅がレーザビームの直径に比較して、
非常に大きいときは、最大強度の２．３％でレーザビー
ムの半径を求めるようにしたので、レーザビームの半径
が非常に小さい測定のときに便利である。
非常に大きいときは、最大強度の２．３％でレーザビー
ムの半径を求めるようにしたので、レーザビームの半径
が非常に小さい測定のときに便利である。
さらに、レーザビームの直径とスリットの幅の大きさに
大きな大小関係がないときは、観測波形と計算式が一致
するようにして、レーザビームの半径を求めることがで
きるので、レーザビームの半径と、スリットの幅を考慮
せずに一般的な測定方法として適用できる。
大きな大小関係がないときは、観測波形と計算式が一致
するようにして、レーザビームの半径を求めることがで
きるので、レーザビームの半径と、スリットの幅を考慮
せずに一般的な測定方法として適用できる。
第１図は本発明を実施するための測定装置の構成を示す
図、 第２図は反射円板を回転軸方向から見た部分図、第３図
はオシロスコープで測定した出力波形を示す図、 第４図は他のオシロスコープで測定した出力波形を示す
図、 第５図（ａ）及び（ｂ）はレーザビームとスリットの関
係を示す図、 第６図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はスリットがレーザビー
ムを通過する状態を示す図、 第７図はスリットを通過するレーザビームのエネルギー
を求めるためのガウシャン分布図である。 １−・・・−−〜−−・・・レーザビーム２−−−−−
−−−−−・−反射円板 ３−・・−・−・−スリ・７ト ４−・・−・−−−−−−一一反射光 ５−・−−−一−−・−・・−・ビームストッパ６・・
−−−一−−−−−・−・−通過ビーム７・・−・・・
−・・−積分球 ８・・−・・−・−−−−一検出器 ９−−−−−−−・−−−−−−−オシロスコープｒ０
・−・−・・・−レーザビームの半径特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第１図 ■ 第２図 第３図 第４図 第５図（（１） 第５図（ｂ） 第６図 第７図
図、 第２図は反射円板を回転軸方向から見た部分図、第３図
はオシロスコープで測定した出力波形を示す図、 第４図は他のオシロスコープで測定した出力波形を示す
図、 第５図（ａ）及び（ｂ）はレーザビームとスリットの関
係を示す図、 第６図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はスリットがレーザビー
ムを通過する状態を示す図、 第７図はスリットを通過するレーザビームのエネルギー
を求めるためのガウシャン分布図である。 １−・・・−−〜−−・・・レーザビーム２−−−−−
−−−−−・−反射円板 ３−・・−・−・−スリ・７ト ４−・・−・−−−−−−一一反射光 ５−・−−−一−−・−・・−・ビームストッパ６・・
−−−一−−−−−・−・−通過ビーム７・・−・・・
−・・−積分球 ８・・−・・−・−−−−一検出器 ９−−−−−−−・−−−−−−−オシロスコープｒ０
・−・−・・・−レーザビームの半径特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第１図 ■ 第２図 第３図 第４図 第５図（（１） 第５図（ｂ） 第６図 第７図
Claims (3)
- （１）反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザ
ビームの半径を測定するレーザのビーム半径測定方法に
おいて、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に小に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の１３．５％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法。 - （２）反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザ
ビームの半径を測定するレーザのビーム半径測定方法に
おいて、 該スリットはレーザビームの直径に比較し、十分に大に
選び、 前記走査によって得られた、出力波形の約２．３％の点
を基準にレーザビームの半径を測定することを特徴とす
るレーザのビーム半径測定方法。 - （３）反射型あるいは透過型スリットで走査してレーザ
ビームの半径を測定するレーザのビーム半径測定方法に
おいて、 前記走査によって得られた出力波形と、計算式を用いて
得られる応答波形が一致するようにしてレーザビームの
半径を算出することを特徴とするレーザのビーム半径測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28394687A JPH01124717A (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | レーザのビーム半径測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28394687A JPH01124717A (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | レーザのビーム半径測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124717A true JPH01124717A (ja) | 1989-05-17 |
Family
ID=17672270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28394687A Pending JPH01124717A (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | レーザのビーム半径測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01124717A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5587786A (en) * | 1995-02-23 | 1996-12-24 | Universite Laval | Apparatus for measuring a beam width D.sub.σx along a transverse direction of a laser beam and method thereof |
| JP2014146671A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | レーザ光のプロファイル測定方法 |
| JP2017219342A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 株式会社リコー | 計測装置、計測方法、加工装置、および被加工物の生産方法 |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP28394687A patent/JPH01124717A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5587786A (en) * | 1995-02-23 | 1996-12-24 | Universite Laval | Apparatus for measuring a beam width D.sub.σx along a transverse direction of a laser beam and method thereof |
| JP2014146671A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Arufakusu Kk | レーザ光のプロファイル測定方法 |
| JP2017219342A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 株式会社リコー | 計測装置、計測方法、加工装置、および被加工物の生産方法 |
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