JPS5850330Y2 - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置Info
- Publication number
- JPS5850330Y2 JPS5850330Y2 JP1978153472U JP15347278U JPS5850330Y2 JP S5850330 Y2 JPS5850330 Y2 JP S5850330Y2 JP 1978153472 U JP1978153472 U JP 1978153472U JP 15347278 U JP15347278 U JP 15347278U JP S5850330 Y2 JPS5850330 Y2 JP S5850330Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- receiving device
- polygon mirror
- rotating polygon
- reference light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、回転多面鏡を介して被測定材を光学的に走査
する方式の光学測定装置に関するものである。
する方式の光学測定装置に関するものである。
例えば、鋼材の表面温度測定や表面検査あるいは寸法測
定などにおいて、回転多面鏡を介して被測定材の表面を
光学的に走査し拡がりのある光学的な情報を用いて測定
や検出を行う光学測定装置か゛多く用いられている。
定などにおいて、回転多面鏡を介して被測定材の表面を
光学的に走査し拡がりのある光学的な情報を用いて測定
や検出を行う光学測定装置か゛多く用いられている。
第１図は上記のような光学測定装置の代表的な受光系の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
第１図に於て被測定材１の表面からの光（放射エネルギ
ーの場合も含む、以下同じ）は矢印方向に回転する回転
多面鏡２で反射されて受光装置３に入射し計測量４を得
る。
ーの場合も含む、以下同じ）は矢印方向に回転する回転
多面鏡２で反射されて受光装置３に入射し計測量４を得
る。
回転多面鏡２は図示していない別に設けた電動機で定速
回転され、被測定材１の表面を角度にしてθの範囲を走
査する。
回転され、被測定材１の表面を角度にしてθの範囲を走
査する。
図面に例示した如く回転多面鏡２が６面の場合、走査角
θは最大６０°を与える。
θは最大６０°を与える。
第１図に示したような装置において、受光装置３が放射
温度計のときは、計測量４は被測定材１の温度情報を与
え、受光装置３が単なる光量測定器のときは、被測定材
１の寸法に関する情報を与え、又受光装置３が受光量の
微細なレベル変化を検出する装置のときは被測定材１の
表面状況（たとえば表面疵）の情報を与える。
温度計のときは、計測量４は被測定材１の温度情報を与
え、受光装置３が単なる光量測定器のときは、被測定材
１の寸法に関する情報を与え、又受光装置３が受光量の
微細なレベル変化を検出する装置のときは被測定材１の
表面状況（たとえば表面疵）の情報を与える。
しかしこれらの情報を高い精度で得るためには、被測定
材からの光の安定した且つ高感度の計測が不可欠である
。
材からの光の安定した且つ高感度の計測が不可欠である
。
一般に受光装置は感度を高めるにつれ安定性が低下する
傾向がある。
傾向がある。
そこで、光レベルの極めて安定な光源を基準光源とし、
この基準光を被測定材からの光とともに受光装置に導入
して受光装置の測定系を感度複償する手段が用いられて
いるが、従来はこの手段において別の位置に設けた基準
光源がらの基準光を回転多面鏡の反射面に投射し、この
反射光を受光装置の導入する方式がとられていた。
この基準光を被測定材からの光とともに受光装置に導入
して受光装置の測定系を感度複償する手段が用いられて
いるが、従来はこの手段において別の位置に設けた基準
光源がらの基準光を回転多面鏡の反射面に投射し、この
反射光を受光装置の導入する方式がとられていた。
しかしこのような方式は必然的に回転多面鏡の走査角θ
を狭めるという欠点か゛あった。
を狭めるという欠点か゛あった。
本考案は回転多面鏡の走査角を狭めることなく受光装置
に基準光を導入することのできる、改善された光学測定
装置を提供するものである。
に基準光を導入することのできる、改善された光学測定
装置を提供するものである。
すなわち本考案の光学測定装置は、回転多面鏡の反射面
の一部に開孔を設け、該開孔を介して基準光源と受光装
置を光学的に対向して設置することを特徴とする光学測
定装置である。
の一部に開孔を設け、該開孔を介して基準光源と受光装
置を光学的に対向して設置することを特徴とする光学測
定装置である。
以下本考案を図示の実施例に基づき詳細に説明する。
第２図は本考案の実施例における受光系の正面図で、図
面において回転多面鏡２０の任意の１つの反射面２１に
開孔２２を設け、該開孔２２および反射鏡８を介し、受
光装置３０と光軸上で対向する位置に基準光源５を設け
る。
面において回転多面鏡２０の任意の１つの反射面２１に
開孔２２を設け、該開孔２２および反射鏡８を介し、受
光装置３０と光軸上で対向する位置に基準光源５を設け
る。
このとき、回転多面鏡２０の１回転につき必ず１回基準
光源５からの基準光が開孔２２を介して受光装置３０に
入射され、該受光装置３０の測定系の感度補償に供され
る。
光源５からの基準光が開孔２２を介して受光装置３０に
入射され、該受光装置３０の測定系の感度補償に供され
る。
感度補償の方法としては計測量４０についての信号波形
をオシロスコープで観測し、基準光に相当するパルス信
号が基準レベルに合致するように手動で感度調整を行う
か、或は回転多面鏡２０を駆動する電動機に連結したパ
ルス発生器からタイミングパルスを得て受光装置３０内
に設定した基準レベルと基準光に相当するパルス信号の
レベルを比較して自動的に補正するなど公知の方法によ
る。
をオシロスコープで観測し、基準光に相当するパルス信
号が基準レベルに合致するように手動で感度調整を行う
か、或は回転多面鏡２０を駆動する電動機に連結したパ
ルス発生器からタイミングパルスを得て受光装置３０内
に設定した基準レベルと基準光に相当するパルス信号の
レベルを比較して自動的に補正するなど公知の方法によ
る。
第３図ａ、ｌ）、ｃは第２図に示した本考案装置の構成
における基準光源５の設置位置の例を示す側面図（一部
断面図）である。
における基準光源５の設置位置の例を示す側面図（一部
断面図）である。
第３図ａは反射面２１に設けた開孔２２を有する回転多
面鏡２０の内部に基準光源５を設けて開孔２２から基準
光を投射するようにしたものであり第３図すは回転多面
鏡２０の外部に基準光源５を設け、回転多面鏡２０の内
部に設けた反射鏡６で反射させて開孔２２から基準光を
投射するようにしたものであり、第３図Ｃは第３図ａの
場合で開孔２２のなかに集光レンズ７を設けたものであ
る。
面鏡２０の内部に基準光源５を設けて開孔２２から基準
光を投射するようにしたものであり第３図すは回転多面
鏡２０の外部に基準光源５を設け、回転多面鏡２０の内
部に設けた反射鏡６で反射させて開孔２２から基準光を
投射するようにしたものであり、第３図Ｃは第３図ａの
場合で開孔２２のなかに集光レンズ７を設けたものであ
る。
本考案による装置は上述のごとく回転多面鏡の反射面に
開孔を設け、該開孔を介して基準光源と受光装置を光学
的に対向して設けたものであるから、回転多面鏡の走査
角を狭めることなく基準光を受光装置に導入させること
ができる。
開孔を設け、該開孔を介して基準光源と受光装置を光学
的に対向して設けたものであるから、回転多面鏡の走査
角を狭めることなく基準光を受光装置に導入させること
ができる。
なお、本考案において開孔を設ける反射面は回転多面鏡
の１つの反射面のみに限定されるものではなく、必要に
応じて２つ以上の反射面に設けてもよい。
の１つの反射面のみに限定されるものではなく、必要に
応じて２つ以上の反射面に設けてもよい。
また、開孔を設けた反射面の反射率を零にすることによ
り受光装置の零レベルの調節に利用することもできる。
り受光装置の零レベルの調節に利用することもできる。
なお本考案の装置は回転多面鏡を２個用いて二輪方向の
走査を行う装置にも適用できる。
走査を行う装置にも適用できる。
第１図は光学測定装置の代表的な受光系の構成を示す正
面図、第２図は本考案の実施例における受光系の構成を
示す正面図、第３図ａ、ｌ）、ｃは第２図に示した実施
例における基準光源の設置位置の数例を示す回転多面鏡
の側面断面図である。 １は被測定材、２は回転多面鏡、３は受光装置、４は計
測量、５は基準光源、６は反射鏡、７は集光レンズ、８
は反射鏡、２０は回転多面鏡、２１は反射面、２２は開
孔、３０は受光装置、４０は計測量。
面図、第２図は本考案の実施例における受光系の構成を
示す正面図、第３図ａ、ｌ）、ｃは第２図に示した実施
例における基準光源の設置位置の数例を示す回転多面鏡
の側面断面図である。 １は被測定材、２は回転多面鏡、３は受光装置、４は計
測量、５は基準光源、６は反射鏡、７は集光レンズ、８
は反射鏡、２０は回転多面鏡、２１は反射面、２２は開
孔、３０は受光装置、４０は計測量。
Claims (1)
- 回転多面鏡を介して被測定材がらの光を受光装置に入射
する方式の光学測定装置において、回転多面鏡の反射面
の一部に開孔を設は該開孔を介して基準光源と受光装置
を光学的に対向して設置したことを特徴とする、光学測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978153472U JPS5850330Y2 (ja) | 1978-11-09 | 1978-11-09 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978153472U JPS5850330Y2 (ja) | 1978-11-09 | 1978-11-09 | 光学測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5571315U JPS5571315U (ja) | 1980-05-16 |
| JPS5850330Y2 true JPS5850330Y2 (ja) | 1983-11-16 |
Family
ID=29140684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1978153472U Expired JPS5850330Y2 (ja) | 1978-11-09 | 1978-11-09 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850330Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-11-09 JP JP1978153472U patent/JPS5850330Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5571315U (ja) | 1980-05-16 |
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