JP7425019B2 - 点検システム - Google Patents

Description

本出願は、ウェハ又はレチクルコンテナの状態及び／又は内容物を決定するために適合された点検システム、及びこのようなコンテナの状態及び／又は内容物を決定するための点検チャンバに関する。

本出願は、好ましい例として正面開口式カセット一体型搬送・保管箱（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ：ＦＯＵＰ））に言及するが、本発明はいずれの種類のウェハ又はレチクルコンテナに適用可能である。更なる例として、正面開口式輸送箱（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｓｈｉｐｐｉｎｇ ｂｏｘ：ＦＯＳＢ）が挙げられる。

半導体ウェハ加工では、ロボット機構が、ウェハと、正面開口式カセット一体型搬送・保管箱（ＦＯＵＰ）等のウェハコンテナとを、連続的に配置、編成及び加工する。ＦＯＵＰは上記プロセスにおいて損傷する場合がある（例えば擦過傷、破壊、変形等）。このような損傷及び／又は欠陥についてＦＯＵＰを効率的に点検する必要がある。

ＦＯＵＰ等のウェハ又はレチクルコンテナはまた、汚染され易く、例えばこの汚染によってウェハ製造プロセスの効果が低くなる。

本発明によると、請求項１の特徴を備える点検システムが、請求項１９の特徴を備える点検チャンバと併せて提案される。

これらの請求項では、本発明による上記システムが、「１つの検出デバイス又は複数の検出デバイス」を備えると明記されている。これは特に、本記載中で使用される用語法「少なくとも１つの検出デバイス」に対応する。

本発明によると、少なくとも１つの検出デバイスは、ウェハ若しくはレチクルコンテナの表面若しくは内部、又はこのようなコンテナの少なくとも一部から、上記コンテナ又は上記コンテナの少なくとも一部の状態及び／又は内容物を指示する検出データを受信するよう適合される。これに関連する用語「内部（ｉｎｔｅｒｉｏｒ）」は、壁又は蓋の内部領域、即ちこのような壁又は蓋の表面の下側の領域を特に意味するものとする。

本発明の好ましい実施形態は、従属請求項の主題である。

第１の好ましい実施形態によると、上記ウェハ又はレチクルコンテナは、正面開口式カセット一体型搬送・保管箱（ＦＯＵＰ）である。ウェハ加工中のウェハの効果的な操作を提供するために、ウェハのいずれの種類の誤操作又は汚染を回避できるよう、ＦＯＵＰが清浄な状態であることが、最も重要である。

本発明の第１の好ましい実施形態によると、上記検出デバイスは少なくとも１つのカメラを備え、上記検出データは画像データとして提供される。カメラは、コンテナの表面から検出データを受信するための好ましい検出デバイスである。

有利には、少なくとも２つのカメラが設けられ、上記カメラのうちの少なくとも１つは、可変視野を提供するよう適合される。例えば、コンテナの表面又は側部全体の全景を提供するよう適合された第１のカメラを、上記第１のカメラの視野より有意に小さくてよい可変視野を提供するための第２のカメラと共に、設けることができる。このような構成を用いると、コンテナの全体的な特徴を、詳細な特徴と同時に検出できる。カメラは、上記カメラの視野のサイズを変更するために、ズームシステム内に設けることができる。

好ましくは、少なくとも１つの検出デバイスは、位置決めシステムに連結される。このような位置決めシステムへの連結により、検出データに基づく、コンテナの寸法又は特徴の実際の測定が促進される。

好ましくは、少なくとも１つの検出デバイス、特にカメラは、直線ガイドに、並びに／又は旋回及び／若しくは枢動手段に連結されるように設けられる。このような連結を用いると、検出デバイスの視界、特にカメラの視野は、例えば全体的な視界と具体的な視界との間で交替するために、及びコンテナ表面上の関心対象領域の走査を実施するためにも、都合よく調整できる。

好都合には、上記検出デバイスは、コンテナ、特にＦＯＵＰの表面の関心対象領域のデジタル画像を生成するよう適合され、上記点検システムは更に、データ処理ユニットを備え、上記データ処理ユニットは、上記コンテナの状態及び／又は内容物を識別するために、生成されたデジタル画像を、上記データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムを用いて処理するよう適合される。これに関連して、特に、ＦＯＵＰの損傷、例えばガスケット、グロメット又は操作用フランジといったＦＯＵＰの破損又は損傷した特徴部分、及び例えば熱又は他の外的影響への曝露による歪み等の欠陥を決定できる。

ある好ましい実施形態によると、少なくとも１つのカメラは、反射鏡を含み、上記反射鏡は、入射光を２つ以上の部分に分割し、これらの部分を、別個の位置においてカメラ本体の内側表面上に設置された２つ以上の線形画像感知デバイス上へと指向させるための、２つ以上の反射表面を備える。上記反射表面は特に、対称反射表面として設けることができる。例えば上記反射鏡は、入射光を上記線形画像感知デバイスへと最適に反射するために、コンテナの内側に挿入できる。これにより、コンテナの内側を、損傷又は欠陥に関して効果的にチェックできる。更に、少なくとも１つのカメラは有利には、視界を変化させるよう適合された調整可能な遮蔽プレートを備える。このような遮蔽プレートは、アパーチャとして効果的に機能できる。

本発明の更なる好ましい実施形態によると、上記少なくとも１つの検出デバイスは、超音波検出デバイス及び／又はレーザ検出デバイスを備える。このようなデバイスは、カメラの代替として、又はカメラに加えて設けることができる。超音波検出デバイスは、カメラが検出できないコンテナの特徴部分の検出の際に、特に有利である。超音波検出デバイスは、少なくとも１つの超音波センサを備え、上記超音波センサは音波パルスを放出し、上記音波パルスが衝突した物体からのエコーパルスを検出する。検出したエコーパルス特性、例えば周波数及び／又は振幅に基づいて、物体又は材料の欠陥を確認でき、また厚さ測定を実施できる。特に、カメラが検出できないヘアラインクラックをこの方法で検出できる。例えばＦＯＵＰは、ＦＯＵＰ内容物の汚染を防止するために、例えばＮ_２を用いたパージを規則的に受けなければならない。Ｎ_２パージは、典型的にはＦＯＵＰの基部に設けられたノズルを用いて実施される。いずれの汚染を防止するために、上記ノズルはグロメットと相互作用する。このようなグロメットが整列されていない場合、又は上記グロメットの材料がオーバタイムを有する場合、特にパージ中の、ＦＯＵＰの品質を劣化させる汚染は防止できない。カメラがアクセスできないグロメットの点検は、超音波検出デバイスを用いて達成できる。

レーザ検出デバイスは特に、ＦＯＵＰの具体的な測定を確認するために利用できる。

上述の検出デバイスの代替として又は上述の検出デバイスに加えて利用することもできる、ある好ましい実施形態によると、上記少なくとも１つの検出デバイスは、ウェハ又はレチクルコンテナ、特にＦＯＵＰの重量を測定するための少なくとも１つのデバイスを備える。このデバイスは、例えばＦＯＵＰの蓋を取り外すことによってＦＯＵＰを実際に開放する必要なしに、ＦＯＵＰの内容物を確認できる点で特に有利である。従ってＦＯＵＰの内容物の汚染の危険性を効果的に最小化できる。

有利には、ＦＯＵＰの重量を測定するための上記デバイスは、少なくとも１つの負荷セルを備える。負荷セルは容易に入手可能であり、また容易に操作可能である。

有利には、上記点検システムは、少なくとも１つの光源及び／又は鏡を備える。特にこのような光源又は鏡は、状態及び／又は内容物をチェックしなければならないコンテナ、特にＦＯＵＰの内側へ、又は内側内で、位置決め及び／又は移動できる。有利には、カメラをコンテナの外側に位置決めでき、その一方で光源及び／又は鏡をコンテナ内で位置決めできる。このような光源及び鏡の位置及び／又は配向は、このようなカメラ、及び／又はコンテナの実際の形状と最適な様式で協働するよう、容易に適合できる。

ある好ましい実施形態によると、少なくとも１つの光源又は鏡は、正方形状の構成、円形状の構成、三角形状の構成若しくは楕円形状の構成又はこれらのいずれの組み合わせに配設された複数の線形光源及び／又は鏡を備える。このような構成を用いると、上記線形光源を、コンテナの様々な表面又は領域を最適に照明するよう適合できる。例えば、正方形状の構成に配設された４つの線形光源及び／又は鏡を備える光源は、これに対応した形状の、ＦＯＵＰ本体とＦＯＵＰ蓋との間に配設されたガスケットを照明するよう適合できる。

有利には、上記少なくとも１つの検出デバイス、特にカメラは、点検ウィンドウを走査するよう適合され、上記点検ウィンドウは、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであり、上記検出デバイスは、上記点検ウィンドウを連続的又は断続的に走査するよう適合される。

有利には、上記点検ウィンドウは、ＦＯＵＰのシール又はガスケットに対応するよう適合された二重正方形状の点検フィールドを備える。これに関連して、用語「二重正方形状（ｄｏｕｂｌｅ ｓｑｕａｒｅ‐ｓｈａｐｅｄ）」は、２つの同心正方形によって画定された領域、即ちフレーム様領域を意味する。このような点検ウィンドウを走査することにより、ＦＯＵＰの本体と蓋との間に設けられたＦＯＵＰのガスケットを容易に検査できる。

少なくとも１つの実施形態では、本発明は、カメラを用いて視野を走査することによって損傷及び／又は欠陥を決定するための、システム及び方法を開示する。１つ又は複数のカメラを、ウェハ加工システムの視覚的点検チャンバの内側に設置してよく、上記ウェハ加工システム内には１つ又は複数のＦＯＵＰを位置決めしてよい。上記カメラは、１つ又は複数の直線ガイドに沿って移動するよう構成してよい。上記カメラの上記移動により、上記ＦＯＵＰのある特定の関心対象領域の、より広範な走査を可能とすることができる。上記特定の関心対象領域は、上記ＦＯＵＰの内側又は外側表面であってよい。上記特定の関心対象領域の上記走査は、上記特定の関心対象領域のデジタル画像を生成できる。生成された上記画像は、損傷及び／又は欠陥を識別するために、データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムによって使用できる。上記カメラは反射鏡を含んでよく、上記反射鏡は、入射光を２つの部分に分割し、これらの部分を、別個の位置においてカメラ本体の内側表面上に設置してよい２つの線形画像感知デバイス上へと指向させるための、２つの反射表面を備えてよい。調整可能な遮蔽プレートを用いて、上記線形画像感知デバイスの視界を変化させることができる。受信した光、例えば上記表面の輝度の変動は、電気信号に変換され、これはデータ処理システムで処理できる。上記２つの線形画像感知デバイスから導出された出力信号間の差異信号は、上記ＦＯＵＰの損傷及び／又は欠陥の存在を示し得る。上記出力信号は、欠陥が存在しない場合は同一となり得る。複雑な又は起伏の有る表面を有する表面、例えばガスケット、インシュレータの視覚的点検のために、複数のカメラを使用してよい。超音波検出システム及び／又はレーザ検出システムによるもの等、他の検出方法も使用してよい。上記レーザ検出システムは、レーザラインスキャナであってよい。

少なくとも１つの実施形態では、本発明は、視覚的点検システムと連結してよい、又はスタンドアロン型システムであってよい、超音波検出システムを開示する。超音波検出デバイスは、コンテナの内部及び／又は表面から検出データを受信するための好ましい検出デバイスである。上記超音波検出システムは、物体検出、範囲の発見、レベル感知等を含む多様な使用法を有する。上記システムは、超音波ビームを送信及び受信できる超音波トランスミッタ及びレシーバユニットと連結してよい超音波トランスデューサを含んでよい。超音波トランスミッタ及びレシーバユニットを用いて、超音波周波数（１５～１００ｋＨｚ）の電気的ＡＣパルスを送信できる。この電気的パルスは、上記トランスデューサを振動させることによって、超音波エネルギのパルスを、検出対象の物体へと送信させることができる。このパルスが上記物体に到達すると、上記パルスは上記トランスミッタ及びレシーバユニットへと戻るように反射してよい。送信されたパルスと受信されとパルスとの間の時間差を用いて、上記物体の範囲を算出できる。上記物体の上記範囲をアルゴリズムに入力して、上記ＦＯＵＰ上の欠陥及び／又は変形の存在を決定できる。

更に上記超音波検出システムは、上記ＦＯＵＰ上の上記ガスケットの存在を決定するよう構成できる。上記システムは、超音波トランスデューサを上記ガスケットへと指向させ、上記ガスケットがＯリングである場合には、円形の運動を行いながら上記ガスケットの周に沿って上記超音波トランスデューサを移動させるよう構成してよい。

上記超音波検出システムは、その台座に、超音波エネルギの直接的な伝達を防止するための振動吸収減衰システムを含んでよい。上記システムはまた、上記超音波ビームの分散を制御するためのラジエータも含んでよい。例えば、ホーン構造体を用いて、上記超音波エネルギの経路を、ある具体的な所定の方向へと指向させることができる。カプセル化部材は、上記トランスデューサが略一方向に送信した超音波エネルギを減衰させるために、上記超音波トランスデューサを取り囲んでよい。

少なくとも１つの実施形態では、本発明は、ＦＯＵＰの重量を測定することによって、上記ＦＯＵＰの内側の１つ又は複数のウェハの存在を決定する、システム及び方法を開示する。以前には、これは、ヒトであるオペレータからの視覚的確認によって達成されていたが、炭素等の不純物を含むいくつかのＦＯＵＰの場合、上記ＦＯＵＰは不透明である場合があり、視覚的確認の有効性について妥協が生じる場合がある。

負荷セルを上記システムの基部に配置してよく、上記負荷セルは、その上部表面上にＦＯＵＰを受承してよい。上記ＦＯＵＰは、開閉できる。負荷セルは、測定された力に直接比例する大きさの電気信号を生成する、いずれのデバイスであってよい。上記負荷セルは、歪みゲージ負荷セル、圧電負荷セル、液圧負荷セル、空気圧負荷セル、容量性負荷セル、振動ワイヤ負荷セル等であってよい。上記電気信号をデータ処理ユニットで処理することによって、上記ＦＯＵＰ内の１つ又は複数のウェハの存在を決定できる。上記システムは、上記ＦＯＵＰの総重量によって、上記ＦＯＵＰ内のウェハの正確な量を特定できる。この算出は、空のＦＯＵＰの重量を、１つ又は複数のウェハを含む上記ＦＯＵＰの総重量から減算するステップと、これに続いて、上記減算の結果を単一のウェハの重量で除算するステップとからなってよく、その商が、上記ＦＯＵＰ内に存在するウェハの総数である。

これより、実施形態について、添付の図面を参照して説明する。

図１Ａは、本発明の第１の実施形態の概略側面図である。 図１Ｂは、本発明の第２の実施形態の概略側面図である。 図２Ａは、本発明の第３の実施形態の概略側面図である。 図２Ｂは、本発明の第４の実施形態の概略側面図である。 図３Ａは、本発明の第５の実施形態の概略側面図である。図３Ｂは、本発明の第６の実施形態の概略側面図である。 図４は、ＦＯＵＰの前方開口の概略側面図である。 図５は、ＦＯＵＰの前方開口の、更なる詳細を示す更なる概略側面図である。 図６は、ＦＯＵＰの前方開口の、更なる詳細を示す更なる側面図である。 図７は、ＦＯＵＰの前方開口の更なる概略側面図である。 図８は、ＦＯＵＰのドアの概略図である。 図９は、ＦＯＵＰの操作用フランジの概略断面図である。 図１０は、ＦＯＵＰの内部側壁の概略図である。 図１１は、ＦＯＵＰの蓋の内壁の概略図である。 図１２は、ＦＯＵＰの内部側壁の概略図である。 図１３は、ＦＯＵＰの蓋の内壁の概略図である。 図１４は、ＦＯＵＰの内側の概略図である。 図１５は、ＦＯＵＰの内部側壁の概略図である。 図１６は、ＦＯＵＰの内部側壁の概略図である。 図１７は、ＦＯＵＰのグロメットを検査するための、本発明の実施形態の概略図である。 図１８は、本発明の更なる好ましい実施形態の概略図である。

図１Ａ～１Ｂは、視覚的点検システムの点検チャンバの側面図を示す。上記視覚的点検システムは、カメラを用いてデジタル画像をキャプチャし、その後上記デジタル画像が、データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムで処理されることによって、ＦＯＵＰ等のコンテナを点検するよう構成してよい。ＦＯＵＰ本体及び蓋は、単一のチャンバ内で一緒に、又は別個に点検してよい。ＦＯＵＰ本体及び蓋はまた、別個の本体点検チャンバ及び別個の蓋点検チャンバで点検してもよい。

図１Ａは、カメラＡ１０２、カメラＢ１０４及び蓋１０６を備える、蓋点検チャンバ１００の側面図を示す。カメラＡ１０２は、カメラＢ１０４よりも蓋１０６から遠位に位置決めしてよく、従ってカメラＡ１０２は、カメラＢ１０４の視野Ｂ１１０よりも広い視野Ａ１０８を備えてよい。視野Ａ１０８は、蓋１０６全体を包含し得る。視野Ｂ１１０は、蓋１０６の周縁表面等の、蓋１０６上の関心対象の点に対して指向させてよい。カメラＢ１０４は、直線ガイド１１２に連結してよい。直線ガイド１１２により、カメラ１０４ＢはＸ軸に沿って移動できるようになり、これにより視野Ｂを、蓋１０６の異なる複数の位置に指向させること、例えば蓋１０６の周及び／又は蓋１０６の周の中を追跡させることが可能となる。１つ又は複数の他の直線ガイド（図示せず）もカメラＢ１０４に連結してよく、これらにより、カメラＢ１０４はＹ軸及び／又はＺ軸において移動できるようになる。蓋点検チャンバ１００は、光源／鏡１１４及び／又は光源／鏡１１６を備えてよい。光源／鏡１１６は、蓋１０６の最大の照明を提供するために、蓋１０６の周のすぐ上及び／又はわずかに上方に正方形状の構成で配設された、４つの線形光源及び／又は鏡を備えてよい。光源／鏡１１６の周は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。

図１Ｂは、カメラＣ１ １５２、視野Ｃ１ １５３、カメラＤ１５４、視野Ｄ１５５、カメラＥ１ １５６、視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８、視野Ｅ２ １５９、カメラＦｌ １６０、視野Ｆ１６１、光源／鏡１６２、カメラＧ１ １６４、視野Ｇ１ １６５、光源／鏡１６６、直線ガイド１６８及び光源／鏡１７０を備える、本体点検チャンバ１５０の側部を示す。

カメラＣ１ １５２は、本体点検チャンバ１５０内に位置決めされたＦＯＵＰの操作用フランジより幅広であってよい視野Ｃ１ １５３を備えてよい。カメラＣ１ １５２は、データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムによって、上記操作用フランジの高さ及び／又は厚さを決定するよう構成してよい。光源／鏡１６６は、上記操作用フランジの照明のために設けられ得る。光源／鏡１６６は、上記操作用フランジの最大の照明を提供するために、上記操作用フランジの周のすぐ上及び／又はわずかに上方に正方形状の構成で配設された、４つの線形光源及び／又は鏡を備えてよい。光源／鏡１６６の周は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。

カメラＤ１５４は、本体点検チャンバ１５０内に位置決めされたＦＯＵＰの前方開口より幅広であってよい視野Ｄ１５５を備えてよい。光源／鏡１５９は、照明のために、カメラＤ１５４の近位に設けてよい。カメラＤ１５４は、ＦＯＵＰ内のウェハの存在の決定、ＦＯＵＰ内の破損したウェハ片の存在の決定、ＦＯＵＰのドア及び／若しくは角周辺の損傷の決定、ＦＯＵＰの精密スナップ嵌合側部支持体の存在の決定、並びに／又はＦＯＵＰのドアの測定値の決定のために使用してよい。

カメラＥ１ １５６、カメラＥ２ １５８及び／又はカメラＦ１ １６０は全て、図２Ｂに示すように、それぞれ少なくとも２つのカメラを備えてよい。これらのカメラは直線ガイド１６８及び直線ガイド３１４（図２Ｂに示す）上に位置し、直線ガイド１６８及び直線ガイド３１４は、ＦＯＵＰの各側部の前の垂直軸に沿って位置決めしてよい。カメラＥ１ １５６は視野Ｅ１ １５７を備えてよく、カメラＥ２ １５８は視野Ｅ２ １５９を備えてよく、カメラＦ１ １６０は視野Ｆ １６１を備えてよい。カメラＦ２ ２０４及びカメラＥ２ １５８は、直線ガイド１６８上に位置してよく、並びに／又はカメラＦ１ １６０及びカメラＥ１ １５６は、直線ガイド３１４上に位置してよい。各カメラは、それぞれの直線ガイドに沿って移動でき、これにより、ＦＯＵＰの側壁内の標的領域の広い視野が可能となる。この広い点検視野は、ＦＯＵＰの内側の全長及び／又は全幅を包含し得る。各カメラは、それぞれの直線ガイド上の接続点において旋回及び枢動可能であってよい。

図２のカメラＥ１ １５６、カメラＥ２ １５８、カメラＦ１ １６０及び／又はカメラＦ２ ２０４は、個々に、又は組み合わさって、ＦＯＵＰ内で、例えばＦＯＵＰの内部側壁のスロットに沿って、加熱きず、擦過傷、ストリンガ（ｓｔｒｉｎｇｅｒ）、変形したウェハ支持体、破損したウェハ支持体、加圧きず、及び溶融したバンパーの存在を決定してよい。これらのカメラはまた、個々に、又は組み合わさって、側部支持体のスロット高さ、スロット傾斜、スロット間隔及び／又は整列を決定してもよい。

光源／鏡１６２は、ＦＯＵＰ開口の最大の照明を提供するために、ＦＯＵＰ開口の周のすぐ上及び／又はわずかに上方に正方形状の構成で配設された、４つの線形光源及び／又は鏡を備えてよい。光源／鏡１６２の周は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。カメラＧ１ １６４は視野Ｇ１ １６５を備えてよく、また光源／鏡１７０に連結してよい。カメラＧ１ １６４は、上記操作用フランジの上部の特性を決定してよい。

図２Ａ～２Ｂは、図１Ａ～Ｂの点検チャンバの上面図を示す。図２Ａは、図１Ａの蓋点検チャンバ１００に対する直線ガイド２００を紹介し、この蓋点検チャンバ１００は、図１Ａの直線ガイド１１２とは異なる軸、例えばＹ軸及び／又はＺ軸上に位置決めしてよい。直線ガイド１１２及び直線ガイド２００はいずれも、カメラＢ１０４がこれら直線ガイドの長さを縦走することを可能とすることができる。直線ガイド１１２及び直線ガイド２００は、例えばカメラＢ１０４をＸ、Ｙ及び／又はＺ軸において移動させることができるように、別個に位置決めしてよく、又は一体に連結してよい。図２Ｂは、カメラＣ２ ２０２、視野Ｃ２ ２０３、カメラＦ２ ２０４、光源／鏡２０６、光源／鏡２０８、及び図１Ｂの本体点検チャンバ１５０に対する直線ガイド３１４を紹介する。カメラＣ２ ２０２は、視野Ｃ２ ２０３を備えてよく、これはＦＯＵＰの操作用フランジの水平軸に沿って指向してよい。カメラＣ２ ２０２は、データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムによって、上記操作用フランジの高さ及び／又は厚さを決定するよう構成してよい。カメラＦ２ ２０４及びカメラＥ２ １５８は、直線ガイド１６８に連結してよく、これはＦＯＵＰの垂直軸を横断してよい。カメラＥ２ １５８は、２つの別個のカメラを備えてよい。カメラＦ１ １６０及びカメラＥ１ １５６は、直線ガイド３１４に連結してよく、これはＦＯＵＰの垂直軸を横断してよい。カメラＥ１ １５６は、２つの別個のカメラを備えてよい。直線ガイド１６８及び直線ガイド３１４は、ＦＯＵＰの対向する側部に位置決めしてよい。光源／鏡２０６は、３つの別個の光源及び／又は鏡を備えてよく、カメラＦ１ １６０及びカメラＥ１ １５６のための輝度を提供するために、直線ガイド３１４の近傍、例えば直線ガイド３１４のすぐ後ろに位置決めしてよい。光源／鏡２０８は、３つの別個の光源及び／又は鏡を備えてよく、カメラＦ２ ２０４及びカメラＥ２ １５８のための輝度を提供するために、直線ガイド１６８の近傍、例えば直線ガイド１６８のすぐ後ろに位置決めしてよい。

図３Ａ～３Ｂは、図１Ａ～Ｂ及び図２Ａ～Ｂの点検チャンバの正面図を示す。図３Ａは直線ガイド３００を紹介し、これは、直線ガイド２００と同一の軸、又は直線ガイド２００及び直線ガイド１１２とは異なる軸、例えばＺ軸上に位置決めしてよく、またカメラＢ１０４の運動による深さ及び焦点の変動に適応してよい。直線ガイド１１２、直線ガイド２００、及び／又は直線ガイド３００は、別個に位置決めしてよく、又はいずれの組み合わせで連結してよい。

図３Ｂは、カメラＧ２ ３０４、視野Ｇ２ ３０６、光源／鏡３０８及び光源／鏡３１０を紹介する。カメラＧ２ ３０４は、図１のカメラＧ１ １６４と協働して、上記操作用フランジの上部の特性を決定してよい。カメラＧ２ ３０４は視野Ｇ２ ３０６を備えてよく、光源／鏡３１０に連結してよい。カメラＥ２ １５８２つのカメラを備えてよいカメラＥ２ １５８と、カメラＦ１ １６０とがいずれも、直線ガイド１６８に連結してよいことは、図１よりもこの図においてより明らかである。一方、これもまた２つのカメラを備えてよいカメラＥ１ １５６、及びカメラＦ２ ２０４はいずれも、直線ガイド３１４に連結してよい。

図４は、図１のカメラＤ１５４の視野Ｄ１５５によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの前方開口を示す。点検ウィンドウ４０２は、視覚的点検システムの点検チャンバ内に位置決めされるＦＯＵＰ４００の内側後方壁を走査してよい。点検ウィンドウ４０２は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。点検ウィンドウ４０２は上記ＦＯＵＰを周縁線に関して走査してよく、これは１つ又は複数のウェハの存在に関連付けられ得る。点検ウィンドウ４０２の走査は、上記ＦＯＵＰの上部、底部及び／又は中間セクションにおいて開始及び／又は終了してよい。点検ウィンドウ４０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。１つ又は複数のウェハの存在の検出は、４００μｍ（厚さ）超の精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図５は、図１のカメラＤ１５４の視野Ｄ１５５によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの前方開口を示す。点検ウィンドウ５０２は、視覚的点検システムの点検チャンバ内に位置決めされるＦＯＵＰ５００の内周を走査してよい。上記内周の走査は、上記ＦＯＵＰ内の汚染粒子５０４、例えば破損したウェハの片を検出してよい。点検ウィンドウ５０２は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。点検ウィンドウ５０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。粒子５０４の存在の検出は、５ｍｍ×５ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図６は、図１のカメラＤ１５４の視野Ｄ１５５によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの前方開口を示す。点検ウィンドウ６０２は、視覚的点検システムの点検チャンバ内に位置決めされるＦＯＵＰ６００の外周を走査してよい。点検ウィンドウ６０２は、図５からの点検ウィンドウ５０２より幅広であってよい。上記外周の走査は、ＦＯＵＰ６００のドアに対する損傷及び／又は破損した角等の、上記周の損傷及び／又は変形を検出してよい。点検ウィンドウ６０２は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。点検ウィンドウ６０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。ＦＯＵＰ６００の上記周の損傷及び／又は変形の検出は、２ｍｍ×２ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図７は、図１のカメラＤ１５４の視野Ｄ１５５によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの前方開口を示す。点検ウィンドウ７０２は、少なくとも１つの、正方形状、円形状、三角形状及び／又は楕円形状の点検フィールドを備えてよく、これはＦＯＵＰ７００の各角に位置決めしてよい。点検ウィンドウ７０２は、ＦＯＵＰ７００の精密スナップ嵌合側部支持体の存在を決定してよい。点検ウィンドウ７０２は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであってよい。点検ウィンドウ７０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。ＦＯＵＰ７００の精密スナップ嵌合側部支持体の検出は、０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図８は、図１のカメラＤ１５４の視野Ｄ１５５によって検出されるものとして、ＦＯＵＰのドアを示す。測定線８０２及び測定点８０４は、ＦＯＵＰドアの測定の始点及び終点を示してよい。上記ＦＯＵＰドアの測定は、＋／‐０．５ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図９は、ＦＯＵＰ９００の操作用フランジを示す（図９には、ＦＯＵＰ９００の上側の一部しか示されない）。９０５で表される上記操作用フランジは、ＦＯＵＰ９００の上側に対する延長部分として提供される。上記ＦＯＵＰの上側の表面は概略的に示されており、９１０で表される。図９から分かるように、上記操作用フランジは、高さ９２０及び厚さ９３０を有する。カメラＣ１ １５２の視野Ｃ１ １５３及び／又はカメラＣ２ ２０２の視野Ｃ２０３は、操作用フランジの高さ９２０等の上記操作用フランジの測定値を、＋／‐０．１ｍｍの精度及び０．０６ｍｍ／ｐｘの解像度で、並びに／又は操作用フランジの厚さ９３０を、＋／‐０．１ｍｍの精度及び０．０６ｍｍ／ｐｘの解像度で決定してよい。

図１０は、図１のカメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの内部側壁を示す。点検ウィンドウ１００２は、少なくとも１つの、円形状、正方形状、三角形状及び／又は楕円形状の点検フィールドを備えてよく、これは、ＦＯＵＰ１０００の内部側壁上において加熱きず及び／又は擦過傷等の変形１００４が検出された場合に、この変形１００４の上方に位置決めしてよい。点検ウィンドウ１００２の走査は、連続的又は断続的であってよい。

ＦＯＵＰ１０００の変形１００４の検出は、４００μｍ幅超の精度及び０．０５ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図１１は、図１のカメラＡ１０２の視野Ａ１０８によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの蓋の内壁を示す。点検ウィンドウ１１０２は、二重正方形状点検フィールドを備えてよく、これは間に、シール１１０４、例えばＦＯＵＰ１１００のガスケットを位置決めしてよい。点検ウィンドウ１１０２は、シール１１０４に対する損傷及び／又は変形を検出してよい。図１１から分かるように、上記二重正方形状点検フィールドは、外側正方形１１５０と、外側正方形１１５０内に同心に配設された内側正方形１１６０とによって画定される。点検ウィンドウ１１０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。シール１１０４の損傷及び／又は変形の検出は、０．５ｍｍ×０．５ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。点検ウィンドウ１１０２の走査は、上記シールの存在も検出してよく、また、＞２０（最小コントラストグレー値）の精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。点検ウィンドウ１１０２の走査はまた、上記ガスケットの位置も決定してよい。上記システムは、ガスケットの位置がＸ軸、Ｙ軸、及び／又はＺ軸において外れ得ることを、＋／‐１ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度で検出できるものであってよい。本発明の更なる好ましい実施形態によると、このようなガスケットは、更に及び／又は代替として、超音波検出デバイスによって検査できる。特に、カメラ等の視覚的検出デバイスと、超音波検出デバイスとの組み合わせは、このようなガスケットの表面及び内側の状態の信頼性の高い検査を可能とするため、有利である。

図１２は、図１のカメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの内部側壁を示す。スロット高さＡ１２０２は、上記ＦＯＵＰの上記内部側壁の、第２のスロットの決定された高さ測定値であってよい。スロット高さＡ１２０２は５４ｍｍであってよい。スロット高さＢ１２０４は、上記ＦＯＵＰの上記内部側壁の、第１のスロットの決定された高さ測定値であってよい。スロット高さＢ１２０４は４４ｍｍであってよい。少なくとも１つの実施形態では、カメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１はまた、上記ＦＯＵＰの上記内部側壁の複数のスロットのスロット間隔も決定してよい。スロット高さ及びスロット間隔の決定は、（バンパー、前方及び後方バンパーの場合；そうでない場合は前方断面のみの場合）＋／‐０．１ｍｍの精度及び０．０５ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図１３は、図１のカメラＡ１０２の視野Ａ１０８によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの蓋の内壁を示す。点検ウィンドウ１３０２は、蓋リテーナが所定の位置にスナップ嵌合しているかどうかを決定するために蓋リテーナを覆うように位置決めしてよい２つの正方形状点検フィールドを備えてよく、また２ｍｍ×２ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図１４は、図１のカメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの内部側壁を示す。点検ウィンドウ１４０２は、少なくとも１つの、円形状、正方形状、三角形状及び／又は楕円形状の点検フィールドを備えてよく、これは、ＦＯＵＰ１４００の内部側壁上において、ストリンガ（ｓｔｒｉｎｇｅｒ）等の変形１４０４が検出された場合に、この変形１４０４の上方に位置決めしてよい。点検ウィンドウ１４０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。ＦＯＵＰ１４００の変形１４０４の検出は、４００μｍ×５００μｍの精度及び０．５５ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。

図１５は、図１のカメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの内部側壁を示す。点検ウィンドウ１５０２は、少なくとも１つの、正方形状、円形状、三角形状及び／又は楕円形状の点検フィールドを備えてよく、これは、ＦＯＵＰ１５００の内部側壁上において変形したウェハ支持体（精度：＋／‐２００μｍ、解像度：０．０５ｍｍ／ｐｘ）、破損したウェハ支持体（精度：５ｍｍ×５ｍｍ、解像度：０．０５ｍｍ／ｐｘ）、及び／又は加圧きず（精度：５ｍｍ×５ｍｍ、解像度：０．０５ｍｍ／ｐｘ）等の変形１５０４が検出された場合に、この変形１５０４の上方に位置決めしてよい。点検ウィンドウ１５０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。

図１６は、図１のカメラＥ１ １５６の視野Ｅ１ １５７、カメラＥ２ １５８の視野Ｅ２ １５９及び／又はカメラＦ１ １６０の視野Ｆ１６１によって検出されるものとして、ＦＯＵＰの内部側壁を示す。点検ウィンドウ１６０２は、少なくとも１つの、正方形状、円形状、三角形状及び／又は楕円形状の点検フィールドを備えてよく、これは、ＦＯＵＰ１６００の内部側壁上において溶融したバンパー（精度：垂直な歯に関して５００μｍ超、解像度：０．０５ｍｍ／ｐｘ）、側部支持体、前面及び背面、全ての測定される第２のスロット（精度：＋／‐１５０ｐｍ、解像度０．０５ｍｍ／ｐｘ）、及び／又はスロット傾斜（精度：＋／‐０．５°、解像度：０．０５ｍｍ／ｐｘ）等の変形１６０４が検出された場合に、この変形１６０４の上方に位置決めしてよい（変形を必ずしも含まない標的領域であってもよい）。点検ウィンドウ１６０２の走査は、連続的又は断続的であってよい。

以上の点検特徴部分に加えて、カメラＢ１０４の視野Ｂ１１０は、ＦＯＵＰの底部のフィルタ、流入口及び／又は流出口の存在を、最小コントラストグレー値＞２０の精度及び０．１３ｍｍ／ｐｘの解像度で検出してよい。カメラＡ１０２の視野Ａ１０８は、ＦＯＵＰの蓋の内壁を検出してよい。点検ウィンドウは、正方形状点検フィールドを備えてよく、上記蓋のリテーナ先端に対する損傷を検出してよい。上記リテーナ先端に対する損傷の検出は、２ｍｍ×２ｍｍの精度及び０．２ｍｍ／ｐｘの解像度を有してよい。カメラＧ１ １６４の視野Ｇ１ １６５は、操作用フランジ上部の特性及び／又は測定値を、＋／‐０．１ｍｍの精度及び０．０６ｍｍ／ｐｘの解像度で決定してよい。

図１７は、下側１７０２にグロメット１７１０を備えるＦＯＵＰ１７００の概略図を示す。このＦＯＵＰ及びグロメットの図は純粋に概略的なものであり、ＦＯＵＰの更なる詳細は省略されていることに留意されたい。グロメット１７１０は、例えばＦＯＵＰ１７００の内側をＮ_２等の好都合なガスでパージするために、（図示されていない）ノズルと相互作用できる。ＦＯＵＰ１７００は、（破線で概略的に示されている）点検チャンバ１７２００の一部であってよい点検テーブル１７１００上に位置決めされる。

点検テーブル１７１００は、内容物を含むＦＯＵＰ１７００の重量を測定するための、概略的に示された荷重センサ１７３００を備えてよい。

図１７から分かるように、点検テーブル１７１０は、ＦＯＵＰ１７００がその上に置かれる上側プラットフォーム１７１５０と、荷重センサ１７３００がその上に静置される下側プラットフォーム１７１６０とを備える。上側プラットフォーム１７１５０は開口１７１５５を備え、この開口１７１５５を覆うようにグロメット１７１０が位置決めされる。これは、グロメット１７１０が、上側プラットフォーム１７１５０と下側プラットフォーム１７１６０との間の空間からアクセス可能であることを意味している。しかしながらこの空間は、カメラを十分に位置決めするには不十分であるため、この実施形態によると、グロメット１７１０を検査できる超音波センサ１７４００（概略的に示されている）がこの空間内に位置決めされる。

最後に図１８は、本発明による点検システムのある好ましい実施形態を示す。ここでは、ＦＯＵＰ１８００の検査のために、少なくとも１つのカメラ１８１００、少なくとも１つの超音波センサ１８２００、少なくとも１つの荷重センサ１８３００が設けられ、これらはそれぞれデータ処理ユニット１８４００に接続される。このデータ処理ユニット１８４００は、例えばモニタ及びキーボードを備える端末デバイス１８５００に接続される。このような端末デバイスを用いて、入力命令を上記システムに入力でき、また点検結果を容易に表示できる。

本開示の実施形態は、以下の付記を考慮して説明することができる。
１．ウェハ若しくはレチクルのためのコンテナ又は前記コンテナの少なくとも一部の状態を決定するために適合された、点検システムであって、前記点検システムは、コンテナ又はコンテナの少なくとも一部の表面及び／又は内部から、前記コンテナ又は前記コンテナの少なくとも一部の前記状態を示すコンテナ表面検出データを受信するよう適合された、１つの検出デバイス又は複数の検出デバイス（１０２、１０４、１５２、１５４、１５６、１５８、１６０、１６４）を備え、受信した前記コンテナ表面検出データは、前記コンテナ又は前記コンテナの少なくとも一部の前記状態を表すものであり、受信した前記コンテナ表面検出データに基づいて、前記状態を識別するように構成されているデータ処理部を備える点検システム。
２．前記コンテナは、ＦＯＵＰである、請求項１に記載の点検システム。
３．前記１つの検出デバイス又は前記複数の検出デバイスは、１つのカメラ又は複数のカメラを備え、前記コンテナ表面検出データは画像データとして提供される、請求項１又は２に記載の点検システム。
４．少なくとも２つのカメラを備え、前記少なくとも２つのカメラのうちの少なくとも１つは、可変視野を提供するよう適合される、請求項３に記載の点検システム。
５．前記１つの検出デバイス、又は前記複数の検出デバイスのうちの少なくとも１つは、位置決めシステムに連結される、請求項１～４のいずれか１項に記載の点検システム。
６．前記検出デバイスは、直線ガイドに、並びに／又は旋回及び／若しくは枢動手段に連結されるように設けられる、請求項１～５のいずれか１項に記載の点検システム。
７．前記１つの検出デバイス、又は前記複数の検出デバイスのうちの少なくとも１つは、前記コンテナの関心対象領域のデジタル画像を生成するよう適合され、
前記点検システムは更に、データ処理ユニットを備え、前記データ処理ユニットは、前記データ処理ユニットのメモリ及びプロセッサに連結されたアルゴリズムを用いて、生成された前記デジタル画像を処理して、前記コンテナの前記状態を識別するよう適合される、請求項１～６のいずれか１項に記載の点検システム。
８．少なくとも、前記１つのカメラ、又は前記複数のカメラのうちの少なくとも１つは、反射鏡を含み、前記反射鏡は、入射光を２つの部分に分割し、前記部分を、別個の位置においてカメラ本体の内側表面上に設置された２つの線形画像感知デバイス上へと指向させるための、２つ以上の反射表面を備える、請求項３～７のいずれか１項に記載の点検システム。
９．前記１つのカメラ、又は前記複数のカメラのうちの少なくとも１つは、視界を変化させるよう適合された調整可能な遮蔽プレートを備える、請求項３～８のいずれか１項に記載の点検システム。
１０．前記１つの検出デバイス又は前記複数の検出デバイスは、１つの超音波検出デバイス若しくは複数の超音波検出デバイス、及び／又は１つのレーザ検出デバイス若しくは複数のレーザ検出デバイスを備える、請求項１～９のいずれか１項に記載の点検システム。
１１．前記１つの検出デバイス又は前記複数の検出デバイスは、前記コンテナの重量を測定するための、少なくとも１つのデバイス又は複数のデバイスを備える、請求項１～１０のいずれか１項に記載の点検システム。
１２．前記コンテナの重量を測定するための、前記１つのデバイス又は前記複数のデバイスのうちの少なくとも１つは、少なくとも１つの負荷セルを備える、請求項１１に記載の点検システム。
１３．第１のカメラ（１０２）及び第２のカメラ（１０４）を備え、前記第１のカメラ（１０２）は、関心対象の前記コンテナの表面領域から、前記第２のカメラ（１０４）よりも遠位に位置決めされ、これにより前記第１のカメラ（１０２）の視野（１０８）は、前記第２のカメラ（１０４）の視野（１１０）より広くなる、請求項１～１２のいずれか１項に記載の点検システム。
１４．１つの光源及び／若しくは鏡、又は複数の光源及び／若しくは鏡（１１４、１１６）を備える、請求項１～１３のいずれか１項に記載の点検システム。
１５．前記１つの光源及び／若しくは鏡、又は前記複数の光源及び／若しくは鏡のうちの少なくとも１つは、正方形状の構成、円形状の構成、三角形状の構成若しくは楕円形状の構成又はこれらのいずれの組み合わせに配設された、複数の、特に２つ、３つ又は４つの線形光源及び／又は鏡を備える、請求項１４に記載の点検システム。
１６．前記少なくとも１つの光源及び／若しくは鏡、又は前記複数の光源／鏡のうちの少なくとも１つは、前記コンテナの蓋（１０６）の周のすぐ上及び／若しくはわずかに上方、又は前記コンテナの走査用フランジの周の上及び／若しくはわずかに上方、又は前記コンテナの開口の周の前及び／若しくはわずかに上方、又は前記コンテナの外側若しくは内側表面の前及び／若しくはわずかに上方に、正方形状の構成で配設された、４つの前記線形光源及び／又は鏡を備える、請求項１５に記載の点検システム。
１７．前記１つの検出デバイス、又は前記複数の検出デバイスのうちの少なくとも１つは、点検ウィンドウ（４０２、５０２、６０２）を走査するよう適合され、前記点検ウィンドウ（１００２、１１０２）は、正方形状、円形状、三角形状、楕円形状又はこれらのいずれの組み合わせであり、前記検出デバイスは、前記点検ウィンドウを、連続的又は断続的に走査するよう適合される、請求項１～１６のいずれか１項に記載の点検システム。
１８．前記点検ウィンドウ（１１０２）は、前記コンテナ（１１００）のシール（１１０４）又はガスケットに対応するよう適合された二重正方形状点検フィールドを備える、請求項１７に記載の点検システム。
１９．前記コンテナの少なくとも一部の前記状態を決定するために適合された、点検チャンバであって、前記点検チャンバは、前記コンテナの少なくとも一部を受承するためのチャンバ、及び請求項１～１８のいずれか１項に記載の点検システムを備える、点検チャンバ。

Claims (7)

1. ウェハ若しくはレチクルのためのコンテナ又は前記コンテナの少なくとも一部の状態を決定するために適合された、点検システムであって、
   前記点検システムは、
   前記コンテナ又は前記コンテナの一部の表面及び／又は内部から、コンテナ表面検出データを受信するよう適合された、複数の検出デバイス（１０２、１０４、１５２、１５４、１５６、１５８、１６０、１６４）を備え、
   受信した前記コンテナ表面検出データは、前記コンテナ又は前記コンテナの一部の前記状態を表すものであり、受信した前記コンテナ表面検出データは、前記コンテナまたは前記コンテナの一部の状態を具体化するものであり、
   受信した前記コンテナ表面検出データに基づいて、前記状態を識別するように構成されているデータ処理部と、
   前記コンテナの表面または領域を照らすように構成された光源及び／若しくは鏡、又は前記コンテナの表面または領域を照らすように構成された複数の光源及び／若しくは鏡（１１４、１１６）を備え、
   前記光源及び／若しくは鏡、又は前記複数の光源及び／若しくは鏡のうちの少なくとも１つは、正方形状の構成、円形状の構成、三角形状の構成若しくは楕円形状の構成又はこれらのいずれの組み合わせに配設された、複数の線形光源及び／又は鏡を備え、
   前記複数の検出デバイス（１０２、１０４、１５２、１５４、１５６、１５８、１６０、１６４）は、前記コンテナの表面または側部全体の全景を提供するように構成された第１のカメラと、前記第１のカメラの視野よりも小さい可変視野を提供する第２のカメラを備え、
   前記第２のカメラは、直線ガイド上を移動可能に構成される
   点検システム。
2. 前記光源及び／若しくは鏡の少なくとも１つ、又は前記複数の光源及び／若しくは鏡のうちの少なくとも１つは、ウェハ若しくはレチクルコンテナの蓋（１０６）の周の上及び／若しくは上方、又は前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの操作用フランジの周の上及び／若しくは上方、又は前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの開口の周の前及び／若しくは上方、又は前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの外側若しくは内側表面の前及び／若しくは上方に、正方形状の構成で配設された、４つの前記線形光源及び／又は鏡を備える
   請求項１に記載の点検システム。
3. 複数の検出デバイスは、前記コンテナの外側に配置され、前記光源及び／若しくは鏡の少なくとも１つ、又は前記複数の光源及び／若しくは鏡のうちの少なくとも１つは、前記コンテナの内側に配置されている
   請求項１または２に記載の点検システム。
4. 前記複数の検出デバイスは、前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの重量を測定するための、少なくとも１つのデバイス又は複数のデバイスを備える
   請求項１～３のいずれか１項に記載の点検システム。
5. 前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの重量を測定するための、前記１つのデバイス又は前記複数のデバイスのうちの少なくとも１つは、少なくとも１つの負荷セルを備える
   請求項４に記載の点検システム。
6. 前記ウェハ若しくはレチクルコンテナの重量を測定することにより、前記コンテナ内の１つまたは複数のウェハまたはレチクルの存在を判断するように構成される
   請求項４または５に記載の点検システム。
7. 前記データ処理部は、受信した前記コンテナ表面検出データに基づいて、前記コンテナの損傷および／若しくは欠陥を識別するように構成される
   請求項１～６のいずれか１項に記載の点検システム。

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