JP6124405B2 - ウェーハ収納カセットの検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
P1=(−Xa、−Ya,Z1)
P2=(−Xa,+Ya,Z2)
P3=(+Xa,−Ya,Z3)
P4=(+Xa,+Ya,Z4)
PFOUP=(0,0、Z)
のように定義される。
ここで、Xa、Ya、Zは、当該ウェーハ収納カセット100の設計値(固定値)であって、Z1、Z2、Z3、Z4は、各バンプの製造時の個体差、経年使用による摩耗、変形等に起因して変化し得るものとする。
12 入力ユニット
13 表示ユニット
14 駆動制御回路
15 照明駆動回路
20 モータ
21 エンコーダ
25 テーブル
31 第1カメラ
32 第2カメラ
33 第3カメラ
34 第4カメラ
41 第1照明器
42 第2照明器
43 第3照明器
44 第4照明器
100 ウェーハ収納カセット
101 左側部内面
102 右側部内面
103 左支持棚
104 右支持棚
Claims (14)
- 複数のウェーハのそれぞれに対して、ウェーハの周縁部の複数の箇所を支持する複数の支持部が設けられ、前記複数のウェーハのそれぞれが前記複数の支持部にて支持された状態で、当該複数のウェーハを収納するウェーハ収納カセットの検査装置であって、
前記各ウェーハを支持する前記複数の支持部を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
該撮影装置からの画像信号にて表される画像についての処理を行う処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、
前記画像に基づいて、前記複数の支持部のそれぞれの位置を表す支持部位置情報を生成する支持部位置情報生成手段と、
該支持部位置情報生成手段にて生成された前記支持部位置情報に基づいて、前記複数の支持部にて支持されると見込まれるウェーハの当該ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す見込み位置情報を生成する見込み位置情報生成手段とを有するウェーハ収納カセットの検査装置。 - それぞれが前記複数の支持部にて支持されると見込まれる2つのウェーハについて得られた2つの見込み位置情報に基づいて、前記2つのウェーハの間隔を表す見込み間隔情報を生成する見込み間隔情報生成手段を有する請求項1記載のウェーハ収納カセットの検査装置。
- 前記見込間隔情報生成手段は、それぞれが前記複数の支持部にて支持されると見込まれる上下で隣接する2つのウェーハに対する見込み間隔情報を生成する請求項2記載のウェーハ収納カセットの検査装置。
- 前記ウェーハ見込み位置情報生成手段は、前記複数の支持部のそれぞれについての支持部位置情報に基づいて、前記複数の支持部にて支持されるウェーハの周端縁上の点と見込まれる点の前記ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す情報を前記見込み位置情報として生成する請求項1乃至3のいずれかに記載のウェーハ収納カセットの検査装置。
- 前記複数の支持部は、前記ウェーハ収納カセットの一方の側部内面に形成された第1支持部及び第2支持部と、前記ウェーハ収納カセットの前記一方の側部内面に対向する他方の側部内面に形成された第3支持部及び第4支持部とを含み、
前記ウェーハ見込み位置情報生成手段は、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部のそれぞれについての支持部位置情報に基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されると見込まれるウェーハについての前記見込み位置情報を生成する請求項1乃至3のいずれかに記載のウェーハ収納カセットの検査装置。 - 前記ウェーハ見込み位置情報生成手段は、前記第1支持部についての支持部位置情報と前記第1支持部に対向する前記第3支持部についての支持部位置情報とに基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部に支持されるウェーハ上にあると見込まれる第1位置を表す第1位置情報を生成する第1位置情報生成手段と、
前記第2支持部についての支持部位置情報と前記第2支持部に対向する前記第4支持部についての支持部位置情報とに基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されるウェーハ上にあると見込まれる第2位置を表す第2位置情報を生成する第2位置情報生成手段とを有し、
前記第1位置情報生成手段にて生成される前記第1位置情報で表される前記第1位置と、前記第2位置情報生成手段にて生成される前記第2位置情報で表される前記第2位置とを結ぶ直線上の点の位置を表す情報を前記見込み位置情報として生成する請求項5記載のウェーハ収納カセットの検査装置。 - 前記ウェーハ見込み位置情報生成手段は、前記第1位置と前記第2位置とを結ぶ直線上の、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されるウェーハの周端縁の点と見込まれる点の前記ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す情報を前記見込み位置情報として生成する請求項6記載のウェーハ収納カセットの検査装置。
- 複数のウェーハのそれぞれに対して、ウェーハの周縁部の複数の箇所を支持する複数の支持部が設けられ、前記複数のウェーハのそれぞれが前記複数の支持部にて支持された状態で、当該複数のウェーハを収納するウェーハ収納カセットの検査方法であって、
撮影装置により前記各ウェーハを支持する前記複数の支持部を撮影する撮影ステップと、
該撮影ステップでの撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像についての処理を行う処理ステップとを有し、
前記処理ステップは、
前記画像に基づいて、前記複数の支持部のそれぞれの位置を表す支持部位置情報を生成する支持部位置情報生成ステップと、
該支持部位置情報生成ステップにて生成された前記支持部位置情報に基づいて、前記複数の支持部にて支持されると見込まれるウェーハの当該ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す見込み位置情報を生成する見込み位置情報生成ステップとを有するウェーハ収納カセットの検査方法。 - それぞれが前記複数の支持部にて支持されると見込まれる2つのウェーハについて得られた2つの見込み位置情報に基づいて、前記2つのウェーハの間隔を表す見込み間隔情報を生成する見込み間隔情報生成ステップを有する請求項8記載のウェーハ収納カセットの検査方法。
- 前記見込み間隔情報生成ステップは、それぞれが前記複数の支持部にて支持されると見込まれる上下で隣接する2つのウェーハに対する見込み間隔情報を生成する請求項9記載のウェーハ収納カセットの検査方法。
- 前記ウェーハ見込み位置情報生成ステップは、前記複数の支持部のそれぞれについての支持部位置情報に基づいて、前記複数の支持部にて支持されるウェーハの周端縁上の点と見込まれる点の前記ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す情報を前記見込み位置情報として生成する請求項8乃至10のいずれかに記載のウェーハ収納カセットの検査方法。
- 前記複数の支持部は、前記ウェーハ収納カセットの一方の側部内面に形成された第1支持部及び第2支持部と、前記ウェーハ収納カセットの前記一方の側部内面に対向する他方の側部内面に形成された第3支持部及び第4支持部とを含み、
前記ウェーハ見込み位置情報生成ステップは、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部のそれぞれについての支持部位置情報に基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されると見込まれるウェーハについての前記見込み位置情報を生成する請求項8乃至10のいずれかに記載のウェーハ収納カセットの検査方法。 - 前記ウェーハ見込み位置情報生成ステップは、前記第1支持部についての支持部位置情報と前記第1支持部に対向する前記第3支持部についての支持部位置情報とに基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部に支持されるウェーハ上にあると見込まれる第1位置を表す第1位置情報を生成する第1位置情報生成ステップと、
前記第2支持部についての支持部位置情報と前記第2支持部に対向する前記第4支持部についての支持部位置情報とに基づいて、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されるウェーハ上にあると見込まれる第2位置を表す第2位置情報を生成する第2位置情報生成ステップとを有し、
前記第1位置情報生成ステップにて生成される前記第1位置情報で表される前記第1位置と、前記第2位置情報生成ステップにて生成される前記第2位置情報で表される前記第2位置とを結ぶ直線上の点の位置を表す情報を前記見込み位置情報として生成する請求項12記載のウェーハ収納カセットの検査方法。 - 前記ウェーハ見込み位置情報生成ステップは、前記第1位置と前記第2位置とを結ぶ直線上の、前記第1支持部、前記第2支持部、前記第3支持部及び前記第4支持部にて支持されるウェーハの周端縁の点と見込まれる点の前記ウェーハ収納カセットの高さ方向の位置を表す情報を前記見込位置情報として生成する請求項13記載のウェーハ収納カセットの検査方法。
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