JP7390642B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本開示は、スクリーン印刷機で用いられるステンシルシートを搬送する搬送装置に関する。

従来、基板の電極上にはんだ等の導電性のペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷機がある。基板上にステンシル（マスク）を接触させて、ステンシル上で印刷ヘッドのスキージを摺動させることによりステンシル上に供給されたペーストを基板に転写させる。ステンシルは、基板の電極に対応するパターン孔が設けられたステンシルシート（マスク本体）と、ステンシルシートの周囲を支持するステンシル枠（マスク枠）から構成されている。

例えば、特許文献１には、ステンシルシートの外縁にさらに樹脂製のシート状部材を取り付け、シート状部材の外縁を支持するステンシル枠から構成されるステンシルが記載されている。オペレータは、ステンシル枠をステンシルホルダに装着してスクリーン印刷を行う。

また、特許文献２には、オペレータがステンシルシートをステンシルホルダに取り付けるスクリーン印刷機が記載されている。

特開２０１３－１５９０２２号公報 特開２０１３－１１１８４７号公報

スクリーン印刷機では印刷対象の基板に合わせたステンシルシートが使用される、印刷対象の基板の機種変更が生じるとその都度、ステンシルシートを交換する必要があった。特許文献１に示すように、従来のスクリーン印刷機では、オペレータがステンシル枠をステンシルホルダに着脱することでステンシルの交換を行っていたので、オペレータの作業負担が大きい。特許文献２には枠無しのステンシルシートを着脱可能なスクリーン印刷機が開示されているが、ステンシルシートの交換はオペレータが行う必要があった。

従って、本開示の目的は、上記従来の課題を解決することにあって、枠の無いステンシルシートを搬送可能な搬送装置を提供することにある。

本開示の搬送装置は、
スクリーン印刷で使用するステンシルシートを保持するシートホルダに前記ステンシルシートを着脱する着脱位置とマガジンとの間を、前記ステンシルシートを搬送する搬送装置であって、
搬送方向に交差する前記ステンシルシートを保持する保持部を有し、前記ステンシルシートを搬送方向に搬送する移動体と、
前記ステンシルシートの搬送方向に沿って配置され、前記移動体によって搬送されるステンシルシートを下方から支持する一対のガイドレールと、
を備える。

本開示によれば、枠の無いステンシルシートを搬送可能な搬送装置を提供することができる。

本開示の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の要部の平面図 本開示の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の要部の斜視図 本開示の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の要部の側面図 ステンシルシートの平面図 移動体の斜視図 ステンシルホルダの下方から見た斜視図 （ａ）はステンシルホルダの平面図であり、（ｂ）は連結部材の側面図 空圧制御系を説明する説明図 ステンシルシートの搬送を説明する説明図 ステンシルシートの搬送を説明する説明図 ステンシルシートの搬送を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 ステンシルシートの搬送の手順を説明する説明図 着脱位置Ｐａに搬送されるステンシルシートの平面図 ステンシルシートをシートホルダに取り付ける手順を説明する説明図 ステンシルシートをシートホルダに取り付ける手順を説明する説明図 ステンシルシートをシートホルダに取り付ける手順を説明する説明図 ステンシルシートをシートホルダに取り付ける手順を説明する説明図 スクリーン印刷作業を行う動作を説明する説明図 スクリーン印刷作業を行う動作を説明する説明図 スクリーン印刷作業を行う動作を説明する説明図 マガジンの正面図 上壁を取り外した状態のマガジンの平面図 図１８（ａ）はマガジン内部の要部の斜視図であり、図１８（ｂ）はマガジンの縦断面から見た側面図 マガジン内部の前部の要部の斜視図

本開示の第１態様によれば、スクリーン印刷で使用するステンシルシートを保持するシートホルダに前記ステンシルシートを着脱する着脱位置とマガジンとの間を、前記ステンシルシートを搬送する搬送装置であって、搬送方向に交差する前記ステンシルシートを保持する保持部を有し、前記ステンシルシートを搬送方向に搬送する移動体と、前記ステンシルシートの搬送方向に沿って配置され、前記移動体によって搬送されるステンシルシートを下方から支持する一対のガイドレールと、を備える、搬送装置を提供する。

本開示の第２の態様によれば、前記保持部は、前記ステンシルシートを吸着する吸着部を有する、第１態様に記載の搬送装置を提供する。

本開示の第３の態様によれば、前記保持部は、前記ステンシルシートにおける前記一対のガイドレールの間から露出する部分を下方から保持し、前記移動体は前記保持部を上下方向に移動させる上下方向駆動部を有する、第２態様に記載の搬送装置を提供する。

本開示の第４の態様によれば、前記保持部は、前記ステンシルシートの下面に接触する上面と、前記上面から上方へ突出したピンと、を有し、前記吸着部は、前記上面に開口してステンシルシートの下面を吸引保持する、第３態様に記載の搬送装置を提供する。

本開示の第５の態様によれば、前記保持部において、前記吸着部は搬送方向に間隔を空けて少なくとも２つ設けるとともに前記ピンを前記２つの吸着部の間に配置した、第４態様に記載の搬送装置を提供する。

本開示の第６の態様によれば、前記一対のガイドレールの前記着脱位置側のそれぞれの先端部を接続する支持板を備え、前記着脱位置において、前記ステンシルシートの前側の縁は前記支持板上に支持される、第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の搬送装置を提供する。

本開示の第７の態様によれば、前記ガイドレールは、前記シートホルダのから下方へ突出した突起との干渉を回避するための逃げ部を有する、第１態様から第６態様のいずれか１つに記載の搬送装置を提供する。

以下、本開示に係る搬送装置の例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。

（実施形態）
以下、図１から図４を参照して本開示の一実施形態について説明する。図１は、スクリーン印刷機１の要部の平面図である。図２は、スクリーン印刷機１の要部の斜視図である。図３は、スクリーン印刷機１の要部の側面図である。図４は、ステンシルシート１５の平面図である。スクリーン印刷機１は、マガジン８１に収納されたステンシルシート１５をシートホルダ１４の着脱位置Ｐａまで搬送し、着脱位置Ｐａにおいてステンシルシート１５をシートホルダ１４に取り付ける。スクリーン印刷機１は、さらに、ステンシルシート１５を基板２に接触させて、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれにはんだ等のペーストをスクリーン印刷する。

以下、ステンシルシート１５の搬送方向をＸ軸方向（前後方向）とし、基板２の移動方向をＹ軸方向（左右方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向とは互いにそれぞれ直交する。スクリーン印刷機１の操作を行うオペレータは通常、ステンシルシート１５がマガジン８１から引き出される方向（Ｘ軸方向）側に位置しており、ここではオペレータが位置する側をスクリーン印刷機１の前方、その反対側にマガジン８１が配置されている方をスクリーン印刷機１の後方とする。

スクリーン印刷機１は、基台１０と、ユニット移動機構１２Ａと、基板保持ユニット１２と、マガジン８１と、シートホルダ１４と、搬送装置５１と、印刷ヘッド１６と、制御部１９と、を備える。マガジン８１は、シート状のステンシルシート１５を複数枚収納する。シートホルダ１４は、基板保持ユニット１２の上方に配置されている。搬送装置５１は、マガジン８１から着脱位置Ｐａまでの区間でステンシルシート１５を搬送する。印刷ヘッド１６は、シートホルダ１４の上方に設けられている。制御部１９は、スクリーン印刷機１の各部の作動制御を行う。また、スクリーン印刷機１は、基台１０上に設けられた基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２及び基板搬出コンベア１３を備える。スクリーン印刷機１は基台１０の上方を覆うカバー１０ａを備えており、ユニット移動機構１２Ａ、基板保持ユニット１２、シートホルダ１４、搬送装置５１、印刷ヘッド１６等の主要な構成要素はカバー１０ａで囲われた空間内に配置されている。制御部１９は基台１０の内部に収納されている。

基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２をカバー１０ａの搬入口８を通して搬入し（図１及び図２、図３に示す矢印Ｒ１）、基板保持ユニット１２に受け渡す。基板搬出コンベア１３は基板保持ユニット１２から受け取った基板２をカバー１０ａの搬出口９を通ってスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１及び図２、図３に示す矢印Ｒ２）。基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２、基板搬出コンベア１３の順で搬送される。

基板保持ユニット１２は、ユニットベース２１と、一対のコンベア２２と、下受け部２４と、一対の基板ホルダ２５とを備えている。ユニットベース２１は、ユニット移動機構１２Ａに支持されている。ユニット移動機構１２ＡはＸＹＺθテーブルであり、基板保持ユニット１２を水平面内（ＸＹ面内）やＺ軸方向へ移動させ、θ方向（Ｚ軸回り）へ回転させる。一対のコンベア２２は、ユニットベース２１に取り付けられている。下受け部２４は、ユニットベース２１に設けられた昇降シリンダ２３によって昇降され、コンベア２２によって所定の作業位置（図２に示す位置）に搬送及び位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持する。一対の基板ホルダ２５は、Ｘ軸方向に開閉自在に設けられ、図示しないアクチュエータによって開閉動作を行う。一対の基板ホルダ２５は下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＸ軸方向から挟んで（クランプして）保持する。下受け部２４は、基板２の上面が基板ホルダ２５の上面と同じ高さになるように基板２を持ち上げる。昇降シリンダ２３、コンベア２２、基板ホルダ２５は制御部１９からの指令に従って作動する。

ステンシルシート１５は、ペーストを基板２の電極上にスクリーン印刷するためのマスクである。ステンシルシート１５は、例えば金属製であり、実施形態１においてＳＵＳ製であるが、樹脂製であってもよい。ステンシルシート１５は、例えば、長方形または正方形の矩形形状であり、枠に保持されることなくマガジン８１に収納されている。図２、図４において、ステンシルシート１５の中央領域には基板２上の電極３の配置パターンに対応した多数の開口１５ａが設けられている。ステンシルシート１５の縁には四辺のそれぞれに沿って厚さ方向に貫通した複数の孔１５ｂが設けられている。各孔１５ｂは、近傍の辺と平行な方向に延びた長孔に形成されている。また、ステンシルシート１５には、位置合わせ用のマーク１５ｍ形成されている。

印刷ヘッド１６は、ステンシルシート１５上に載置されたペーストを移動させることで、基板２の電極上にペーストを印刷する。図１及び図２において、印刷ヘッド１６は、Ｘ方向へ移動するベース部材４１と、２つのスキージ昇降部４２と、スキージ保持具４３と、２つのスキージ４４とを備える。ベース部材４１は、シートホルダ１４に保持されたステンシルシート１５の上方領域をＸ軸方向に移動自在に設けられている。スキージ昇降部４２は、ベース部材４１に取り付けられてその出力軸４２ａをベース部材４１の下方に突出させている。スキージ保持具４３は、各スキージ昇降部４２の出力軸４２ａの下端に取り付けられてＹ軸方向に延びている。スキージ４４は、各スキージ保持具４３に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材である。ベース部材４１は印刷ヘッド移動機構４１ａに連結されている。印刷ヘッド移動機構４１ａはベース部材４１をＸ方向へ移動させるものであり、制御部１９からの指令に基づいて作動する。これにより印刷ヘッド１６はステンシルシート１５に対して移動する。

基板保持ユニット１２のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対の基板ホルダ２５によるクランプ動作、並びに、基板保持ユニット１２の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御部１９からの指令に従って実行される。すなわち制御部１９はこれらを制御して各種動作を実行させる。

制御部１９は、画像認識部１９ａ、機構制御部１９ｂ、テンション制御部１９ｃ、記憶部１９ｄを備える。制御部１９は、例えば、プロセッサ、ＦＰＧＡ等を含む。画像認識部１９ａ、機構制御部１９ｂ、及び、テンション制御部１９ｃはそれぞれ、複数のプロセッサ等により構成されてもよいし、１つのプロセッサにより構成されてもよい。

記憶部１９ｄは、基板２にはんだ等のペーストをスクリーン印刷するために必要な各種の生産データを記憶する。記憶部１９ｄは、メモリ、ハードディスク、ＳＳＤ等の少なくとも１つから構成される記憶装置であり、画像認識部１９ａ、機構制御部１９ｂ、テンション制御部１９ｃのそれぞれの処理プログラムが記憶されている。

機構制御部１９ｂは、基板保持ユニット１２、ユニット移動機構１２Ａ、印刷ヘッド１６、搬送装置５１、マガジン昇降機９１、印刷ヘッド移動機構４１ａ、シートホルダ駆動部３６（詳細は後述）等を作動させることにより、基板の搬送や位置決め動作、印刷動作、ステンシルシートの交換動作等を実行させる。

図１において、印刷ヘッド１６のＸ軸方向への往復移動は機構制御部１９ｂが印刷ヘッド移動機構４１ａの作動制御を行うことによってなされる。各スキージ４４のベース部材４１に対する昇降動作は、機構制御部１９ｂがそのスキージ４４に対応するスキージ昇降部４２の作動制御を行ってスキージ保持具４３を上下させることによってなされる。

次に、図１、図３及び図５を参照して、ステンシルシート１５を搬送する搬送装置５１について説明する。搬送装置５１は、ステンシルシート１５をシートホルダ１４に着脱する着脱位置Ｐａとマガジン８１との間を、ステンシルシート１５を搬送する。搬送装置５１は、ステンシルシート１５の搬送方向に略直交する縁に形成された孔１５ｂに保持してステンシルシート１５を搬送方向（Ｘ軸方向）に搬送する保持部５３と、ステンシルシート１５の搬送方向に沿って配置された一対のガイドレール５５と、保持部５３が装着されたＹ軸ビーム５９（移動体）と、Ｙ軸ビーム５９を搬送方向に駆動するＹ軸ビーム移動部５９ａと、を備える。搬送装置５１は、ステンシルシート１５の搬送方向に平行な両辺をガイドレール５５上に滑らせて、ステンシルシート１５を搬送する。Ｙ軸ビーム移動部５９ａは、図示しないモータや送りねじ等の機構部品を含み、Ｙ軸ビーム移動部５９ａをＸ軸方向に移動させる。これにより、保持部５３は一対のガイドレール５５の間を搬送方向（Ｘ軸方向）に移動される。

ガイドレール５５は、ステンシルシート１５をマガジン８１と着脱位置Ｐａとの間を案内する案内部材である。ガイドレール５５は、例えば、縦断面形状がＬ字形状を有しており、ステンシルシート１５を下から支持する水平部５５ａと、水平部５５ａから上方に延びる壁部５５ｂとを備える。ガイドレール５５のシートホルダ１４側のそれぞれの先端部は、支持板５６により互いに接続されている。支持板５６は、着脱位置Ｐａに搬送されたステンシルシート１５の前部の縁を支持する。

保持部５３は、ステンシルシート１５を保持してマガジン８１とシートホルダ１４の直下の着脱位置Ｐａとの間を搬送する。保持部５３は、例えば、平面視で矩形形状を有する。保持部５３は、ステンシルシート１５の下面に接触する上面５３ｓを有している。この上面５３ｓにはステンシルシート１５に係合するピン５８とステンシルシート１５を吸着する吸着部としての凹部５７とを備える。

具体的には、図５に示すように、保持部５３の上面５３ｓには、吸着部として搬送方向に間隔を空けて並べて配置された一組の凹部５７が形成されている。搬送方向に並べて配置されたそれぞれの凹部５７の間の上面５３ｓには、ピン５８が配置されている。したがって、ピン５８の前方及び後方にそれぞれ凹部５７が形成されている。凹部５７はピン５８を挟む位置に少なくとも二つあればよいが、複数の凹部５７を保持部５３に搬送方向と直交する方向に並べて配置してもよい。例えば、保持部５３のマガジン８１側の辺に沿って、２つの凹部５７が配置されている。それぞれの凹部５７の底面には吸引孔５７ａが形成されている。それぞれの吸引孔５７ａは吸引装置６１に接続されており、吸引装置６１が作動すると、凹部５７はその上方に位置するステンシルシート１５を吸着する。吸引装置６１は、例えば、真空ポンプや真空エジェクタである。保持部５３は、一対のガイドレール５５の間から下方に露出した部分を下方から保持する。

保持部５３は、保持部昇降機構５４ａにより上下方向に移動可能である。保持部昇降機構５４ａは、例えば、シリンダである。保持部昇降機構５４ａは、例えば、ガイドレール５５の壁部５５ｂに沿って移動可能なＹ軸ビーム５９に取り付けられている。Ｙ軸ビーム５９はガイドレール５５と基板保持ユニット１２の挟まれた空間を移動する。保持部昇降機構５４ａは、Ｙ軸ビーム５９の後方側に装着されている。Ｙ軸ビーム５９は、Ｙ軸ビーム移動部５９ａに連結されており、Ｙ軸ビーム移動部５９ａによって搬送方向（Ｘ軸方向）へ移動する。これにより、保持部５３は保持部昇降機構５４ａと共にＸ軸方向に移動可能である。

Ｙ軸ビーム５９の前方側には、撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂが取り付けられている。下方撮像カメラ１７ａと上方撮像カメラ１７ｂは、Ｙ軸ビーム５９に内蔵されたカメラ移動機構（図示せず）によってＹ方向へ移動する。下方撮像カメラ１７ａは、基板２上の位置合わせ用のマーク２ｍを撮像する。上方撮像カメラ１７ｂは、ステンシルシート１５の位置合わせ用のマーク１５ｍを撮像する。

図３において、下方撮像カメラ１７ａ及び上方撮像カメラ１７ｂの水平面内での移動動作は、機構制御部１９ｂがＹ軸ビーム移動部５９ａとカメラ移動機構の作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御部１９によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御部１９に送信されて制御部１９の画像認識部１９ａにおいて画像認識処理される。これにより、シートホルダ１４に保持されたステンシルシート１５の位置が認識され、基板保持ユニット１２に保持された基板２の位置が認識される。

シートホルダ１４は、搬送されたステンシルシート１５と連結しステンシルシート１５を保持する。シートホルダ１４は、中央部が矩形形状に開口したホルダ枠１４ａと、ホルダ枠１４ａ内にステンシルシート１５の外周縁に連結される連結部材３０と、を備える。

連結部材３０は、Ｘ軸方向に延びてステンシルシート１５のＹ軸方向に対向する両縁（ステンシルシート１５の縦辺）それぞれに連結される２つの第１連結部材３１と、Ｘ軸方向に延びてステンシルシート１５のＹ軸方向に対向する両縁（ステンシルシート１５の横辺）それぞれに連結される２つの第２連結部材３２を備える。２つの第１連結部材３１は、これら２つの第１連結部材３１と直交する方向（Ｘ軸方向）にシートホルダ１４内で移動可能であり、２つの第２連結部材３２は、これら２つの第２連結部材３２と直交する方向（Ｙ軸方向）にシートホルダ１４内で移動可能である。

連結部材３０（２つの第１連結部材３１および２つの第２連結部材３２）それぞれの下面から、ステンシルシート１５の四辺に沿って設けられた各孔１５ｂよりも孔１５ｂの延びる方向（ステンシルシート１５の辺に沿った方向）の寸法が小さい連結用の突起３０ａが突出している。ホルダ枠１４ａには、突起３０ａがホルダ枠１４ａの内部から外部に向かって突出するための孔１４ｂが形成されている。

シートホルダ１４は、上方の待機位置Ｐｗと下方のクランプ位置Ｐｃとの２つの位置に移動可能である。シートホルダ１４の２つの位置への移動は、スクリーン印刷機１に設けたリフト７１によって行われる。リフト７１は、一対のガイドレール５５の壁部５５ｂにそれぞれ取り付けられている。リフト７１は、シートホルダ１４のホルダ枠１４ａの上面に接続されている。リフト７１は、例えば、エアシリンダである。クランプ位置Ｐｃにおいて、ステンシルシート１５の縁に設けられた各孔１５ｂにシートホルダ１４の各突起３０ａが挿入され、さらに、各突起３０ａがステンシルシート１５の面方向外方に移動することでステンシルシート１５をシートホルダ１４に取り付ける。クランプ位置Ｐｃにおいて、ガイドレール５５の水平部５５ａには孔５５ｃが形成されている（図１２Ｃも参照）。この孔５５ｃは、クランプ位置Ｐｃへ移動してきたシートホルダ１４の突起３０ａと水平部５５ａとの干渉を回避する目的と、ステンシルシート１５の孔１５ｂを貫通した突起３０ａの下端がステンシルシート１５の下面よりも下方に確実の突出させる目的で形成されている。すなわち、孔５５ｃは、ガイドレール５５とシートホルダ１４から下方へ突出した突起３０ａとが干渉するのを回避するための逃げ部となっている。なお、同様な逃げ部は、支持板５６にも形成されている。

シートホルダ１４には駆動シリンダ３５が設けられている。駆動シリンダ３５は、２個の第１のエアシリンダ３５ａと２個の第２のエアシリンダ３５ｂを備える。図１２Ｃに示すように、第１のエアシリンダ３５ａはＹ軸方向に延びたピストンロッド３５ｅを第１連結部材３１に連結させており、ピストンロッドを進退させることで一対の第１連結部材３１をＹ軸方向に互いに反対方向に移動させる。第２のエアシリンダ３５ｂも同様にＹ軸方向に延びたピストンロッドを第２連結部材３２に連結させており、ピストンロッドを進退させることで一対の第２連結部材３２をＸ軸方向に互いに反対方向に移動させる。シートホルダ駆動部３６は第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂを作動させてステンシルシート１５に張力を付与する。

スクリーン印刷機１は、シートホルダ駆動部３６を備えている。図８において、シートホルダ駆動部３６は外部の圧力源４０に接続された配管３９に接続されている。配管３９はシートホルダ駆動部３６内で３系統に分岐している。第１系統の配管３７は二つの第１のエアシリンダ３５ａに接続されている。シートホルダ駆動部３６は第１系統の配管３７に直列に接続されたバルブ３７ａと第１の圧力調整部３７ｂを有する。第２系統の配管３８は二つの第２のエアシリンダ３５ｂに接続されている。シートホルダ駆動部３６は第２系統の配管３８に直列に接続されたバルブ３８ａと第２の圧力調整部３８ｂを有する。第３系統の配管７２は二つのリフト７１に接続されている。シートホルダ駆動部３６は第３系統の配管７２に直列に接続されたバルブ７２ａと第３の圧力調整部７２ｂを有する。バルブ３７ａ、バルブ３８ａ、バルブ７２ａは、制御部１９の機構制御部１９ｂによって制御され、第１のエアシリンダ３５ａ、第２のエアシリンダ３５ｂ、リフト７１への空圧の供給と遮断を行う。バルブ３７ａとバルブ３８ａが開いて第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂに空圧が供給されると、ステンシルシート１５の縁に４つの連結部材３０を連結させた状態で４つのエアシリンダ３５ａ、３５ｂを作動させ、対向する連結部材３０同士を互いに離間する方向に移動させてステンシルシート１５全体を水平面方向に引っ張ることにより、ステンシルシート１５に張力を付与することができる。また、バルブ７２ａが作動してリフト７１を下向きに作動させるとシートホルダ１４を待機位置Ｐｗからクランプ位置Ｐｃに移動させることができる。またバルブ７２ａが逆方向に作動するとシートホルダ１４を待機位置Ｐｗに移動させることができる。

第１の圧力調整部３７ｂと第２の圧力調整部３８ｂは、第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂに供給する空圧を個別に調整する。すなわち、シートホルダ駆動部３６は第１のエアシリンダへ供給する空圧と前記第２のエアシリンダに供給する空圧を別々に調節することができる。これにより、空圧を適切に調整することによりステンシルシート１５の張力を管理することができる。また本実施の形態ではＸ方向とＹ方向の２系統に分けて空圧を調整できるので、ステンシルシートの張力をＸ方向とＹ方向別々に調整することができる。第１の圧力調整部３７ｂと第２の圧力調整部３８ｂには、電空レギュレータを使用することができる。電空レギュレータを使用した場合、圧力の調整は制御部１９のテンション制御部１９ｃ（図３参照）からの入力によって行われる。これにより、マガジン８１にストックされているステンシルシートの最適な空圧に関する情報を記憶部１９ｄに予め記憶させておき、ステンシルシートが交換されたらテンション制御部１９ｃが記憶部１９ｄから該当するデータを読み出して第１の圧力調整部３７ｂと第２の圧力調整部３８ｂに自動で設定する。すなわち、ステンシルシート１５の交換に伴うテンションの調整も自動化できる。なお、本実施の形態では、第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂを別系統の空圧回路で駆動しているが、１つの系統でこれらを駆動するようにしてもよい。

次に、図９Ａ－図９Ｃ及び図１０Ａ－図１０Ｇを参照して、スクリーン印刷機１の概略動作について説明する。図９Ａ－図９Ｃは、スクリーン印刷機１のステンシルシート１５がマガジン８１から搬送されてシートホルダ１４に取り付けるまでを説明する概略説明図である。図９Ａに示すように、マガジン８１から搬出されたステンシルシート１５は、図９Ｂに示すように、シートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａへ搬送される。機構制御部１９ｂがリフト７１を駆動制御することで、図９Ｃに示すように、シートホルダ１４を着脱位置Ｐａに位置するステンシルシート１５に向けて下方に移動させて、ステンシルシート１５をクランプさせる。まず、搬送装置５１が、マガジン８１に収容されたステンシルシート１５をシートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａまで搬送する動作について説明する。

図９Ａに示すように、スクリーン印刷機１はマガジン８１の高さを調整するマガジン昇降機９１を備える。マガジン昇降機９１は、制御部１９からの指示により、ガイドレール５５の水平部５５ａの上面の高さに、使用されるステンシルシート１５の収納高さが合うようにマガジン８１を移動させる。

図１０Ａに示すように、Ｙ軸ビーム移動部５９ａは、保持部５３を、マガジン８１内に収容されているステンシルシート１５間で搬送対象となるステンシルシート１５の下方にマガジン８１の奥側に向けて駆動して、ステンシルシート１５の前部の縁に沿って形成された孔１５ｂの直下に保持部５３のピン５８が位置するように保持部５３を移動させる。

次に、図１０Ｂに示すように、保持部昇降機構５４ａが保持部５３を回避位置から搬送位置へ上方向に移動させる。これにより、ステンシルシート１５の前部の縁に沿って形成された孔１５ｂに保持部５３のピン５８が挿入される。これと同時に、吸引装置６１を作動させてピン５８よりも後方（紙面右方向）の凹部５７に負圧を導入してステンシルシート１５を吸引保持する。

次に、図１０Ｃに示すように、Ｙ軸ビーム移動部５９ａが保持部５３をシートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａに向けて移動させる。これにより、保持部５３のピン５８がステンシルシート１５の孔１５ｂの内縁に当たって、マガジン８１からステンシルシート１５を搬出する。ステンシルシート１５の搬送方向に平行な対向する縁がガイドレール５５の水平部５５ａに支持されながら、ステンシルシート１５は水平部５５ａ上を滑って搬送される。また、保持部５３の凹部５７がステンシルシート１５の下面を吸着するので、保持部５３がステンシルシート１５を安定して把持することができる。

なお、保持部５３の搬送ストロークが短い場合、保持部５３は、２段階の移動でマガジン８１からシートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａに移動する。マガジン８１と着脱位置Ｐａとの間の中間位置Ｐｍにおいて、保持部５３はステンシルシート１５の前部の孔１５ｂから後部の孔１５ｂにピン５８を挿入し直す。

図１０Ｄに示すように、Ｙ軸ビーム移動部５９ａは、保持部５３を中間位置Ｐｍに移動させる。中間位置Ｐｍにおいて、機構制御部１９ｂの指示により保持部昇降機構５４ａが保持部５３を搬送位置から回避位置へ下方向に移動させる。これにより、ステンシルシート１５の前部の縁に沿って形成された孔１５ｂから保持部５３のピン５８が引き出される。

図１０Ｅに示すように、機構制御部１９ｂの指示によりＹ軸ビーム移動部５９ａは、保持部５３をマガジン８１側に向けて移動させて、ステンシルシート１５の後部の縁に沿って形成された孔１５ｂの直下に保持部５３のピン５８が位置するように保持部５３を移動させる。

次に、図１０Ｆに示すように、機構制御部１９ｂの指示により保持部昇降機構５４ａが保持部５３を回避位置から搬送位置へ上方向に移動させる。これにより、ステンシルシート１５の後部の縁に沿って形成された孔１５ｂに保持部５３のピン５８が挿入される。

次に、図１０Ｇ及び図１１に示すように、機構制御部１９ｂの指示によりＹ軸ビーム移動部５９ａが保持部５３をシートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａに向けて移動させる。これにより、保持部５３のピン５８がステンシルシート１５の後部の縁に沿って形成された孔１５ｂの内縁に当たって、中間位置Ｐｍから着脱位置Ｐａに向けてステンシルシート１５を搬送する。

ステンシルシート１５は、中間位置Ｐｍからさらに前方に搬送されると、やがてステンシルシート１５の前部が支持板５６の上に乗り上げて、ステンシルシート１５の前部が支持板５６に支持される。その後、機構制御部１９ｂの指示により吸引装置６１による吸引を停止するとともに保持部昇降機構５４ａが保持部５３を搬送位置から回避位置へ下方向に移動させて、保持部５３によるステンシルシート１５の保持を解除する。そしてＹ軸ビーム移動部５９ａを移動させてＹ軸ビーム５９を、この後着脱位置Ｐａに上昇してくる基板保持ユニット１２と干渉しない位置へ退避させる。

以上のようにして、ステンシルシート１５は、マガジン８１からシートホルダ１４の下方の着脱位置Ｐａに向けて移動される。なお、着脱位置Ｐａからマガジン８１へ搬送して収納する収納工程については上述した搬送工程と逆の工程を実施する。搬送工程と収納工程とでは、ステンシルシート１５と保持部５３との係合箇所は同じであるが搬送方向が逆方向となる。

次に、図１２Ａ－図１２Ｄを参照して、着脱位置Ｐａに位置するステンシルシート１５をシートホルダ１４に取り付ける概略動作について説明する。

図１２Ａは、ステンシルシート１５が着脱位置Ｐａに到着した状態を図示している。この状態から機構制御部１９ｂは、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を上昇させ、基板ホルダ２５が上昇する（図１２Ｂの矢印Ｚ２参照）。図１２Ｂに示すように、基板ホルダ２５は、ステンシルシート１５の一部を持ち上げてステンシルシート１５の着脱高さにおいて停止する。これにより、一対のガイドレール５５間で下方に撓んでいるステンシルシート１５を水平に支持することができる。

次に、機構制御部１９ｂは、リフト７１に駆動指示を送る。リフト７１は、シートホルダ１４を上方の待機位置Ｐｗから下方のクランプ位置Ｐｃに移動させる（図１２Ｂの矢印Ｚ３）。シートホルダ１４は、底面から突出する突起３０ａをステンシルシート１５の孔１５ｂにそれぞれ挿入する。これにより、図１２Ｂに示すように、シートホルダ１４の突起３０ａがステンシルシート１５の孔１５ｂに挿入される。

次に、機構制御部１９ｂは、シートホルダ駆動部３６にバルブ３７ａとバルブ３８ａを開くよう指令を送る。これにより第１の圧力調整部３７ｂで調節された圧力のエアが第１系統の配管３７を通じて第１のエアシリンダ３５ａへ供給され、第２の圧力調整部３８ｂで調節された圧力のエアが第２系統の配管３８を通じて第２のエアシリンダ３５ｂへ供給され、第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂが４つの連結部材３０をシートホルダ１４の外方へ移動するように駆動する。連結部材３０が外方へ移動するのに伴って、連結部材３０の各突起３０ａがステンシルシート１５の孔１５ｂを外方へ押す（図１２Ｃの矢印Ｇ１も参照）。これにより、ステンシルシート１５に張力が付与され、ステンシルシート１５が水平に保持される。図１２Ｃには、移動する前の第１連結部材３１と突起３０ａを破線で、移動後を実線で示している。

次に、機構制御部１９ｂは、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させる（図１２Ｄの矢印Ｚ４）。以上で、ステンシルシート１５をシートホルダ１４への取り付けが終了する。なお、シートホルダ１４からステンシルシート１５の取り外しは、上述した工程の逆の工程を実施することで達成できる。ステンシルシート１５のシートホルダ１４への装着が完了すると、図１２Ｄに示すように上方撮像カメラ１７ｂをステンシルシート１５の下方へ移動させ、ステンシルシート１５に設けられた位置合わせ用のマーク１５ｍ（図２）を撮像する。そして、その画像は画像認識部１９ａで認識処理されてステンシルシート１５の位置が認識される（ステンシル認識）。ステンシル認識によって認識されたステンシルシート１５の位置は、基板２を位置決めする際に利用される情報として記憶部１９ｄに記憶される。

次に、図１３－図１５を参照して、スクリーン印刷機１がスクリーン印刷作業を行う動作を説明する。機構制御部１９ｂはまず、上流工程側の他の装置から基板２が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア１１と基板保持ユニット１２のコンベア２２を作動させて基板保持ユニット１２へ搬入する（図１３参照）。次に、機構制御部１９ｂは基板保持ユニット１２を作動させて基板２を保持する。基板２の保持は、具体的には、昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２の上面と基板ホルダ２５の上面の高さを揃え、一対の基板ホルダ２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込むことによって行う（図１４参照）。

機構制御部１９ｂは、基板２を保持したら、Ｙ軸ビーム移動部５９ａとカメラ移動機構（図示せず）を作動させて、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた位置合わせ用のマーク２ｍ（図２）に位置させて下方撮像カメラ１７ａにマーク２ｍの撮像を行わせる（図１４の矢印Ｈ１参照）。そして、得られたマーク２ｍの画像データを画像認識部１９ａで処理を行って基板保持ユニット１２におけるマーク２ｍの位置を求め、求めたマーク２ｍの位置から基板の位置を認識する（基板認識）。制御部１９は、記憶部１９ｄから読み出したステンシルシート１５の位置と基板認識で求めた基板２の位置より、基板２をステンシルシート１５に位置合わせを行うための水平方向移動距離と回転角度を計算する。この計算結果に基づいて機構制御部１９ｂは、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を移動させて基板２とステンシルシート１５の位置合わせを行う。

図１５に示すように、制御部１９は、ステンシルシート１５と基板２の位置合わせが終わると、ユニット移動機構１２Ａの作動制御を行って基板保持ユニット１２を上昇させ、基板２を保持した一対の基板ホルダ２５がステンシルシート１５の下面に相対的に下方から押し当てることにより、一対の基板ホルダ２５及び基板２それぞれの上面をステンシルシート１５の下面に接触させる（矢印Ｚ１参照）。これにより基板２上の電極３とステンシルシート１５のパターン開口１５ａとが合致した状態となる。

制御部１９は基板２をステンシルシート１５に接触させたら、スキージ４４によるスキージングを行ってステンシルシート１５上のペーストを基板２に転写させる。

このスキージングは、具体的には、印刷ヘッド１６から２つのスキージ４４のうちの一方を下降させ、ステンシルシート１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部材４１をＹ軸方向に移動させることによって行う。これによりステンシルシート１５上でスキージ４４が摺動し、ステンシルシート１５上のペーストはスキージ４４によってステンシルシート１５のパターン開口１５ａ内に押し込まれ、基板２の電極３上に転写される。なお、制御部１９は、印刷ヘッド１６を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ４４をステンシルシート１５上に当接させ、印刷ヘッド１６を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ４４をステンシルシート１５上に当接させるようにする。

制御部１９は、スキージングを行って基板２にペーストを転写させたら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させ、ステンシルシート１５から基板２及び一対の基板ホルダ２５を離間させて版離れを行う。これにより基板２の電極３上にペーストが残留し、基板２にペーストが印刷された状態となる。

制御部１９は版離れが終わったら、基板保持ユニット１２による基板２の保持を解除する。この基板２の保持の解除は、具体的には、機構制御部１９ｂが一対の基板ホルダ２５を開かせたうえで、下受け部２４を下降させ、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろすことによって行う。

機構制御部１９ｂは基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえでコンベア２２及び基板搬出コンベア１３を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する。

次に、複数のステンシルシート１５を収納するマガジン８１について図１６～図１８を参照して説明する。図１６はマガジンの正面図であり、図１７は上壁を取り外した状態のマガジンの平面図である。図１８（ａ）は、図１６のＸＩＶ矢視における断面から見た、マガジン内部の要部の斜視図であり、図１８（ｂ）はマガジンの縦断面から見た側面図である。マガジン８１は、ステンシルシート１５の搬入出方向にガイドするガイド部８２と、ガイド部８２にステンシルシート１５を固定する固定部８３とを備える。また、マガジン８１は、上壁８１ａ、側壁８１ｂ、８１ｃ、下壁８１ｄ、及び奥壁８１ｅと、ステンシルシートを搬入出させる搬入出口８１ｆとを備える。奥壁８１ｅは、ステンシルシート１５の取り出し方向と直交する。

ガイド部８２は、搬入出方向に直交する方向の一方側（左側）に配置され、ステンシルシート１５の対向する縁の一方側の縁を直接支持する第１ガイド板８２ａを備える。また、ガイド部８２は、搬入出方向に直交する方向の他方側（右側）に配置され、ステンシルシート１５の対向する縁の他方側の縁を直接支持する第２ガイド板８２ｂを備える。第１ガイド板８２ａ及び第２ガイド板８２ｂは、ステンシルシート１５の搬入出方向に沿って延びる。第１ガイド板８２ａと第２ガイド板８２ｂとで左右に一対のガイド板を構成するガイド部８２は、ステンシルシート１５の収納枚数に応じた数だけ上下方向に配置されている。第１ガイド板８２ａ及び第２ガイド板８２ｂはそれぞれ、側壁８１ｂ及び８１ｃにそれぞれ固定される。ガイド部８２には、マガジン８１内に挿入されたステンシルシート１５の取り出し方向に平行な縁が載置される。第１ガイド板８２ａ及び第２ガイド板８２ｂのそれぞれに、搬入出方向に延びる一対の棚板８５が取り付けられている。棚板８５は、ステンシルシート１５の底面を支持する。

固定部８３は、ステンシルシート１５の取り出し方向に延びる矩形状のプレート部８３ａと、プレート部８３ａの後端から下方に延びてさらに上方に折り曲げられたＶ字形状を有する折り曲げ部８３ｂと、を有する。折り曲げ部８３ｂは、弾性部材であり、例えば板バネである。固定部８３のプレート部８３ａは、側壁８１ｂ又は８１ｃに例えばボルトにより取り付けられる。

ステンシルシート１５が、ガイド部８２に沿ってマガジン８１内に搬入され、ステンシルシート１５の奥側の辺がマガジン８１の奥壁８１ｅに当接すると、ステンシルシート１５の搬入出方向に沿ってステンシルシート１５に形成された孔１５ｂに固定部８３の折り曲げ部８３ｂが弾性力により挿入される。これにより、孔１５ｂに挿入された折り曲げ部８３ｂと奥壁８１ｅとでステンシルシート１５が挟持されて、ステンシルシート１５がマガジン８１内で位置決めされる。折り曲げ部８３ｂは、弾性部材であれば、Ｖ字形状以外にも、プレート部８３ａの後端から下方に単に延びた形状でもよい。

次に、図１９を参照する。図１９はマガジン内部の前部における要部斜視図である。奥壁８１ｅの反対側のガイド部８２の先端部８２ｃは、下方に傾斜する傾斜面を有する。また、奥壁８１ｅの反対側の棚板８５の先端部８５ａも下方に傾斜する傾斜面を有する。これにより、ステンシルシート１５をマガジン８１内へ搬入する際、及びマガジン８１外へ搬出する際に、ステンシルシート１５がガイド部８２の先端及び棚板８５の先端と引っ掛かるのを防止することができる。

マガジン８１は、マガジン８１の上壁８１ａの辺に沿って突起部８６と、マガジン８１の下壁８１ｄの辺に沿って突起部８６に対応する凹部８７を備える。したがって、ユーザが、一方のマガジン８１の突起部８６を他方のマガジン８１の凹部８７に挿入することで、一方のマガジン８１の上に他方のマガジンが固定される。このように、複数のマガジン８１を組み合わせて互いに結合することが可能であるので、１個当たりのマガジン８１を軽量化することができ、マガジン８１の搬送の負担を軽減することができる。

本実施形態のスクリーン印刷機１によれば、基板２上の電極３に対応した開口１５ａを有する、複数のステンシルシート１５を収納するマガジン８１と、ステンシルシート１５の縁を着脱自在に保持するシートホルダ１４と、マガジン８１とシートホルダ１４との間を、ステンシルシート１５を搬送する搬送装置５１と、シートホルダ１４に保持されたステンシルシート１５上に載せられたはんだペーストを摺動する印刷ヘッド１６と、を備える。この構成により、枠が取り付けられていない状態のステンシルシート１５がマガジン８１に収容されているので、マガジン８１の収納数を増加させ、さらに、マガジン８１のサイズを小型化することができる。従来のステンシル枠の厚みは３０ｍｍ程度であり、ステンシルシート１５の厚みが１５０μｍ程度なので、大幅に改良される。また、搬送装置５１が枠無しのステンシルシート１５をマガジン８１から搬送し、シートホルダ１４が枠無しのステンシルシート１５を着脱自在に保持するので、ステンシルシート１５の交換の労力を低減し省スペース化されたスクリーン印刷機１を提供することができる。

また、搬送装置５１は、ステンシルシート１５をシートホルダ１４の下方に搬送し、シートホルダ１４は、シートホルダ１４の下部にステンシルシート１５を着脱してもよい。従来は、シートホルダの印刷ヘッド側にステンシルシートを取り付けていたが、ステンシルシート１５をシートホルダ１４の下方に搬送し、シートホルダ１４とステンシルシート１５との着脱をシートホルダ１４の下方で実施するので、シートホルダ１４の上方の印刷ヘッドとの干渉を避けることができ、着脱の自動化に適している。

また、シートホルダ１４は、ステンシルシート１５を面方向に張力を付与してクランプしてもよい。この構成によれば、ステンシルシート１５は面方向に張力が付与されるので、基板２の電極３とステンシルシート１５の開口１５ａとの位置ズレを防止することができる。

また、ステンシルシート１５をクランプする下方のクランプ位置Ｐｃと上方の待機位置Ｐｗとにシートホルダ１４を移動させるリフト７１を備えてもよい。シートホルダ１４を、クランプ位置Ｐｃと待機位置Ｐｗとに移動できるので、ステンシルシート１５を、シートホルダ１４と干渉することなく、クランプ位置Ｐｃにスムーズに搬送することができる。

また、ステンシルシート１５は、外縁に沿って形成された複数の孔１５ｂを有し、シートホルダ１４は、下面から下方に突出する複数の突起３０ａを備え、リフト７１によるシートホルダ１４のクランプ位置Ｐｃへの移動により、複数の突起３０ａがステンシルシート１５の複数の孔１５ｂに挿入されてもよい。これにより、シートホルダ１４をステンシルシート１５に適切に係合することができる。

また、シートホルダ１４は、複数の突起３０ａを面方向に外方に向けて移動させることで、ステンシルシート１５に張力を付与するアクチュエータを有してもよい。これにより、シートホルダ１４は、ステンシルシートを適切にクランプすることができる。

また、アクチュエータは、空圧によって作動するエアシリンダでもよい。

アクチュエータは、ステンシルシート１５の平行な一組の外縁に形成された孔１５ｂに挿入される突起３０ａを面方向の外方に向けて移動させる第１のエアシリンダ３５ａと、他の一組の外縁に形成された孔１５ｂに挿入される突起３０ａを第１のエアシリンダ３５ａによる移動方向に対して直交する面方向の外方に向けて移動させる第２のエアシリンダ３５ｂと、を含んでもよい。

また、スクリーン印刷機１は、第１のエアシリンダ３５ａへ供給する空圧と第２のエアシリンダ３５ｂに供給する空圧を別々に調節するシートホルダ駆動部３６を備える。第１のエアシリンダ３５ａと第２のエアシリンダ３５ｂとで空圧を別々に調整するので、シートホルダ１４は、ステンシルシート１５を適切にクランプすることができる。

また、本実施形態の搬送装置５１によれば、搬送方向に交差するステンシルシート１５を保持する保持部５３を有し、ステンシルシート１５を搬送方向に搬送するＹ軸ビーム５９と、ステンシルシート１５の搬送方向に沿って配置され、Ｙ軸ビーム５９によって搬送されるステンシルシート１５の下方から支持する一対のガイドレール５５と、を備える。これにより、枠無しのステンシルシート１５を自動交換することができる。

また、保持部５３は、ステンシルシート１５を吸着する凹部５７を有する。これにより、保持部５３はステンシルシート１５をより確実に把持することができる。

また、保持部５３は、ステンシルシート１５における一対のガイドレール５５の間から露出する部分を下方から保持し、Ｙ軸ビーム５９は保持部５３を上下方向に移動させる保持部昇降機構５４ａを有する。

また、保持部５３は、ステンシルシート１５の下面に接触する上面５３ｓと、上面から上方へ突出したピン５８と、を有し、凹部５７は、上面５３ｓに開口してステンシルシート１５の下面を吸引保持する。

また、保持部５３において、凹部５７は搬送方向に間隔を空けて少なくとも２つ設けるとともにピン５８を２つの凹部５７の間に配置されている。

また、一対のガイドレール５５の着脱位置Ｐａ側のそれぞれの先端部を接続する支持板５６を備え、着脱位置Ｐａにおいて、ステンシルシート１５の前側の縁は支持板５６上に支持される。ガイドレール５５の先端部を互いに支持板５６で接続することで、着脱位置Ｐａに到着したステンシルシート１５の前部を支持板５６上に乗り上げて支持することができる。これにより、ステンシルシート１５とシートホルダ１４との着脱を安定して実施することができる。

また、ガイドレール５５は、シートホルダ１４の下方へ突出した突起３０ａとの干渉を回避するための孔５５ｃを有してもよい。これにより、シートホルダ１４の突起３０ａがステンシルシート１５の孔１５ｂを貫通してガイドレール５５の孔５５ｃまで到達することができるので、ステンシルシート１５の孔１５ｂからシートホルダ１４の突起３０ａが抜けるのを防止することができる。

また、本実施形態のマガジン８１によれば、複数のステンシルシート１５を収納するマガジン８１であって、ステンシルシート１５の搬入出方向にガイドするガイド部８２と、ガイド部８２にステンシルシート１５を固定する固定部８３とを備える。これにより、枠の無いステンシルシート１５であっても、固定部８３がガイド部８２にステンシルシート１５を固定するので、マガジン８１内でステンシルシート１５が動くのを防止することができる。

また、固定部８３は、第１ガイド板８２ａ及び第２ガイド板８２ｂにステンシルシート１５を押し当てて固定してもよい。固定部８３がガイド部８２にステンシルシート１５を押し当てるので、マガジン８１内でステンシルシート１５が動くのを防止することができる。

また、ステンシルシート１５を搬入出させる搬入出口８１ｆと、搬入出口８１ｆの奥に配置された奥壁８１ｅと、を備え、固定部８３は、ステンシルシート１５の搬入出方向に沿ってステンシルシート１５に形成された孔１５ｂに挿入される弾性部材である折り曲げ部８３ｂを有し、孔１５ｂに挿入された固定部８３と奥壁８１ｅと折り曲げ部８３ｂとでステンシルシート１５が固定される。これにより、マガジン８１内に収容されるステンシルシート１５が位置決めされるので、ステンシルシート１５の自動交換用のマガジンとして適している。

また、奥壁８１ｅと反対側のガイド部８２の先端部８２ｃが下方に傾斜する傾斜面を有してもよい。これにより、ステンシルシート１５を出し入れする際に、ガイド部８２の先端部８２ｃにステンシルシート１５が引っ掛かるのを防止することができる。

また、複数のマガジン８１を連結可能であってもよい。これにより、１個当たりのマガジン８１の重量を軽減することができ、オペレータがマガジン８１を運ぶ労力を低減することができる。

また、マガジン８１の上壁８１ａの辺に沿って突起部８６を有し、マガジン８１の下壁８１ｄの辺に沿って突起部８６に対応する凹部８７を備え、一方のマガジン８１の突起部８６が他方のマガジン８１の凹部８７に挿入され、一方のマガジン８１の上に他方のマガジン８１が固定される。これにより、複数のマガジンを上下に安定して組み立てることができる。

なお、上述の実施形態において、４つの連結部材３０のうち対向するもの同士が互いに離間する方向に相対移動するように４つの連結部材３０を駆動してステンシルシート１５にテンションを付与する駆動部としてシリンダ（駆動シリンダ３５）を示したが、必ずしもシリンダでなくてもよい。

また、前述の実施形態では、ステンシルシート１５の四辺に沿った縁と４つの連結部材３０とを連結させる手段は、ステンシルシート１５の縁に設けられた連結用の孔１５ｂと各連結部材３０に設けられて連結用の孔１５ｂに嵌入する連結用の突起３０ａから構成されていたが、これに限定されない。ステンシルシート１５の縁と４つの連結部材３０とは他の手段によって連結されてもよい。例えば、ステンシルシート１５は、その４辺が内側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、シートホルダ１４がステンシルシート１５の折り曲げ部に脱着可能に係合する爪を有してもよい。なお、上述したように、各連結部材３０に設けられた連結用の突起３０ａをステンシルシート１５の縁に設けられた孔１５ｂに嵌入させることにより、連結部材３０とステンシルシート１５との連結を行うことで、連結部材３０とステンシルシート１５との連結を極めて簡易な構成で行うことができ、スクリーン印刷機１のコストの低廉化を実現できる。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

なお、前記様々な実施形態および変形例のうちの任意の実施形態あるいは変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本開示に係る搬送装置は、枠の無いステンシルシートを搬送する搬送装置に適用可能である。

１ スクリーン印刷機
２ 基板
３ 電極
８ 搬入口
９ 搬出口
１０ 基台
１１ 基板搬入コンベア
１２ 基板保持ユニット
１３ 基板搬出コンベア
１４ シートホルダ
１４ａ ホルダ枠
１４ｂ 孔
１５ ステンシルシート
１５ａ 開口
１５ｂ 孔
１６ 印刷ヘッド
１７ａ 下方撮像カメラ
１７ｂ 上方撮像カメラ
１９ 制御部
１９ａ 画像認識部
１９ｂ 機構制御部
１９ｃ テンション制御部
１９ｄ 記憶部
２１ ユニットベース
２２ コンベア
２３ 昇降シリンダ
２５ 基板ホルダ
３０ 連結部材
３０ａ 突起
３１ 第１連結部材
３２ 第２連結部材
３５ａ 第１のエアシリンダ
３５ｂ 第２のエアシリンダ
４４ スキージ
５１ 搬送装置
５３ 保持部
５４ａ 保持部昇降機構
５５ ガイドレール
５５ａ 水平部
５５ｂ 壁部
５５ｃ 孔（逃げ部）
５６ 支持板
５７ 凹部
５７ａ 吸引孔
５８ ピン
５９ Ｙ軸ビーム
６１ 吸引装置
７１ リフト
８１ マガジン
８１ａ 上壁
８１ｂ、８１ｃ 側壁
８１ｄ 下壁
８１ｅ 奥壁
８２ ガイド部
８２ａ 第１ガイド板
８２ｂ 第２ガイド板
８２ｃ 先端部
８３ 固定部
８３ａ プレート部
８３ｂ 折り曲げ部
８５ 棚板
８５ａ 先端部
８６ 突起部
８７ 凹部
９１ マガジン昇降機
Ｐａ 着脱位置
Ｐｃ クランプ位置
Ｐｗ 待機位置

Claims (7)

1. スクリーン印刷で使用するステンシルシートを保持するシートホルダに前記ステンシルシートを着脱する着脱位置とマガジンとの間を、前記ステンシルシートを単体で搬送する搬送装置であって、
   前記ステンシルシートを保持する保持部を有し、前記ステンシルシートを搬送方向に搬送する移動体と、
   前記ステンシルシートの搬送方向に沿って配置され、前記移動体によって搬送されるステンシルシートを下方から支持する一対のガイドレールと、
   を備える、搬送装置。
2. 前記保持部は、前記ステンシルシートを吸着する吸着部を有する、
   請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記保持部は、前記ステンシルシートにおける前記一対のガイドレールの間から露出する部分を下方から保持し、
   前記移動体は前記保持部を上下方向に移動させる上下方向駆動部を有する、
   請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記保持部は、
   前記ステンシルシートの下面に接触する上面と、
   前記上面から上方へ突出したピンと、を有し、
   前記吸着部は、前記上面に開口してステンシルシートの下面を吸引保持する、
   請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記保持部において、前記吸着部は搬送方向に間隔を空けて少なくとも２つ設けるとともに前記ピンを前記２つの吸着部の間に配置した、
   請求項４に記載の搬送装置。
6. 前記一対のガイドレールの前記着脱位置側のそれぞれの先端部を接続する支持板を備え、
   前記着脱位置において、前記ステンシルシートの前側の縁は前記支持板上に支持される、
   請求項１から５のいずれか１つに記載の搬送装置。
7. 前記ガイドレールは、前記シートホルダのから下方へ突出した突起との干渉を回避するための逃げ部を有する、
   請求項１から６のいずれか１つに記載の搬送装置。

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