JP2005047213A - 単結晶インゴットとスライス台の接着装置及び接着方法 - Google Patents
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Abstract
インゴットとスライス台の相対位置のずれを防止し、結晶軸精度を向上させる。
【解決手段】
上部ジャッキ1でインゴット4に対して押し下げ力を発生させ、下部ジャッキ11でスライス台6に対して押し上げ力を発生させる。上部ジャッキ1の押し下げの方向はインゴット4の長手方向と直交する方向とし、下部ジャッキ11の押し上げの方向はその対向方向とする。インゴット4とスライス台6は、上部ジャッキ1と下部ジャッキ11によって対向する二方向から押しつけられて接着される。
【選択図】 図1
Description
結晶軸を調整した単結晶インゴット4とスライス台6とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着装置において、
単結晶インゴット4の長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させる第1の押圧手段1と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させる第2の押圧手段11と、を備え、
前記第1の押圧手段1と前記第2の押圧手段11で単結晶インゴット4とスライス台6とを互いに押し付けて単結晶インゴット4とスライス台6を接着すること
を特徴とする。
上部ジャッキ(第1の押圧手段)1はインゴット4に対して押し下げ力を発生させ、下部ジャッキ(第2の押圧手段)11はスライス台6に対して押し上げ力を発生させる。上部ジャッキ1の押し下げの方向はインゴット4の長手方向と直交する方向であり、下部ジャッキ11の押し上げの方向はその対向方向である。図1によれば、インゴット4の長手方向は紙面の垂直方向であり、上部ジャッキ1の押し下げの方向は図面下方向であり、下部ジャッキ11の押し上げの方向は図面上方向である。インゴット4とスライス台6は、上部ジャッキ1と下部ジャッキ11によって対向する二方向から押しつけられて接着される。
結晶軸を調整した単結晶インゴット4とスライス台6とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着装置において、
単結晶インゴット4の長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させる第1の押圧手段1と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させる第2の押圧手段11と、
単結晶インゴット4を支持する支持手段5と、を備え、
前記支持手段5で単結晶インゴット4を支持しつつ、前記第1の押圧手段1と前記第2の押圧手段11で単結晶インゴット4とスライス台6とを互いに押し付けて単結晶インゴット4とスライス台6を接着すること
を特徴とする。
前記第1の押圧手段1は単結晶インゴット4を前記支持手段5に押しつけ、前記第1の押圧手段1の押しつけ力は前記第2の押圧手段11の押しつけ力以上であること
を特徴とする。
上部ジャッキ(第1の押圧手段)1はインゴット4に対して押し下げ力を発生させ、下部ジャッキ(第2の押圧手段)11はスライス台6に対して押し上げ力を発生させる。上部ジャッキ1の押し下げの方向はインゴット4の長手方向と直交する方向であり、下部ジャッキ11の押し上げの方向はその対向方向である。図1によれば、インゴット4の長手方向は紙面の垂直方向であり、上部ジャッキ1の押し下げの方向は図面下方向であり、下部ジャッキ11の押し上げの方向は図面上方向である。インゴット4はワーク支持ローラ(支持手段)5で支持されており、上部ジャッキ1によってワーク支持ローラ5に押しつけられる。また、インゴット4とスライス台6は、上部ジャッキ1と下部ジャッキ11によって対向する二方向から押しつけられて接着される。
結晶軸を調整した単結晶インゴットとスライス台とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着方法において、
単結晶インゴットを支持部材で支持する支持工程と、
単結晶インゴットの長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させて、単結晶インゴットを前記支持部材に押しつける第1の押圧工程と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させて、スライス台を単結晶インゴットに押しつける第2の押圧工程と、を備えたこと
を特徴とする。
なお、図1に示す接着装置1はインゴット4に対して上方向及び下方向の押しつけ力を作用させるものであるとして以下の説明をする。また、上とは図面の上方を意味し、下とは図面の下方を意味する。また、図1の紙面に対する垂直方向をインゴット4の長手方向とする。
本実施形態によれば、N(試料数)=34とした場合に、
Ave(平均)=−0.017
Std(標準偏差)=0.031
Cp(工程能力)=3.53
という結果が得られたのに対し、従来装置によれば、N=49とした場合に、
Ave=−0.035
Std=0.064
Cp=1.71
という結果が得られた。
4 インゴット
5 支持ローラ
6 スライス台
11 下部ジャッキ
Claims (4)
- 結晶軸を調整した単結晶インゴット(4)とスライス台(6)とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着装置において、
単結晶インゴット(4)の長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させる第1の押圧手段(1)と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させる第2の押圧手段(11)と、を備え、
前記第1の押圧手段(1)と前記第2の押圧手段(11)で単結晶インゴット(4)とスライス台(6)とを互いに押し付けて単結晶インゴット(4)とスライス台(6)を接着すること
を特徴とする単結晶インゴットとスライス台の接着装置。 - 結晶軸を調整した単結晶インゴット(4)とスライス台(6)とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着装置において、
単結晶インゴット(4)の長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させる第1の押圧手段(1)と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させる第2の押圧手段(11)と、
単結晶インゴット(4)を支持する支持手段(5)と、を備え、
前記支持手段(5)で単結晶インゴット(4)を支持しつつ、前記第1の押圧手段(1)と前記第2の押圧手段(11)で単結晶インゴット(4)とスライス台(6)とを互いに押し付けて単結晶インゴット(4)とスライス台(6)を接着すること
を特徴とする単結晶インゴットとスライス台の接着装置。 - 前記第1の押圧手段(1)は単結晶インゴット(4)を前記支持手段(5)に押しつけ、前記第1の押圧手段(1)の押しつけ力は前記第2の押圧手段(11)の押しつけ力以上であること
を特徴とする請求項2記載の単結晶インゴットとスライス台の接着装置。 - 結晶軸を調整した単結晶インゴットとスライス台とを接着する単結晶インゴットとスライス台の接着方法において、
単結晶インゴットを支持部材で支持する支持工程と、
単結晶インゴットの長手方向と直交する第1の方向に押しつけ力を発生させて、単結晶インゴットを前記支持部材に押しつける第1の押圧工程と、
前記第1の方向と対向する第2の方向に押しつけ力を発生させて、スライス台を単結晶インゴットに押しつける第2の押圧工程と、を備えたこと
を特徴とする単結晶インゴットとスライス台の接着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003283771A JP2005047213A (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 単結晶インゴットとスライス台の接着装置及び接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003283771A JP2005047213A (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 単結晶インゴットとスライス台の接着装置及び接着方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009114622A Division JP2009214545A (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 単結晶インゴットとスライス台の接着装置及び接着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005047213A true JP2005047213A (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=34268556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003283771A Pending JP2005047213A (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 単結晶インゴットとスライス台の接着装置及び接着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005047213A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007245522A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Ngk Insulators Ltd | セラミック円柱状体用把持装置 |
JP2008166767A (ja) * | 2006-12-29 | 2008-07-17 | Siltron Inc | シリコンインゴットのマウンティング装置及びその方法 |
KR100884246B1 (ko) | 2007-08-24 | 2009-02-17 | 주식회사 다우빔 | 실리콘 인고트 절단용 받침대 |
JP2009196028A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Seiko Instruments Inc | ウエハの作製方法 |
CN102778463A (zh) * | 2012-07-16 | 2012-11-14 | 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 | 水晶x光粘料机 |
CN110303608A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-10-08 | 陈惠丽 | 一种基于线切割的半导体硅棒截断设备 |
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2003
- 2003-07-31 JP JP2003283771A patent/JP2005047213A/ja active Pending
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