JP7374775B2 - チャックテーブルケース - Google Patents
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Description
2:装置ハウジング
3:壁部
4:研削手段
42:研削ホイール
44;研削砥石
5:昇降手段
6:チャックテーブル機構
62:チャックテーブル
64:枠部
64a:底面
66:保持面
68:通気孔
10:チャックテーブルケース
10A:第一のチャックテーブルケース
10B:第二のチャックテーブルケース
12、12A、12B:収容体
121:側壁部
122:底部
122B:盛上り部
123:支持壁
124:囲繞壁
125:把持用凹部
126:余剰凹部
127:連結部
127B:係合凹部
128:支持凸部
S1:支持領域
S2:余剰領域
14、14A、14B:蓋体
14a:上面
14b:側壁部
142、142A、142B:凸部
144、144A、144B:凹部
Claims (2)
- ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースであって、チャックテーブルを収容する収容体と、該収容体の開口を閉塞する蓋体とを備え、
該収容体は、底部から立設されたチャックテーブルを支持する少なくとも3個の支持壁と、該支持壁の頂部より高く、チャックテーブルの外周を囲繞する囲繞壁と、該囲繞壁に形成され、手を挿入してチャックテーブルを把持する把持用凹部と、を含み、少なくとも該蓋体は、透明な樹脂で構成されているチャックテーブルケース。 - 該蓋体の上面、又は該収容体の底面のいずれか一方に凸部が形成され、他方には、該凸部に係合される係合凹部が形成され、該凸部と該係合凹部とを係合して重ねることができる請求項1に記載のチャックテーブルケース。
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