JP7346930B2 - 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 - Google Patents

回路装置、発振器、電子機器及び移動体 Download PDF

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Description

本発明は、回路装置、発振器、電子機器及び移動体等に関する。
特許文献1には、温度検出回路の出力に基づいて発振回路の周波数を制御するための制御電圧を出力する回路装置において、RCローパスフィルターを用いてノイズを低減する手法が開示されている。
特開2002-280833号公報
RCローパスフィルターに含まれる抵抗において、熱雑音が発生する。熱雑音を抑制するためには、抵抗の抵抗値を小さくすることが望ましい。一方、ノイズ成分の低減効果を高めるためには、RCローパスフィルターのカットオフ周波数を低くする必要がある。結果として、RCローパスフィルターに含まれるキャパシターのサイズが大きくなってしまい、回路装置を含む発振器等の機器の小型化が難しかった。
本開示の一態様は、温度検出電圧に基づいて温度補償電流を生成する電流生成回路と、前記温度補償電流を電流電圧変換することで温度補償電圧を出力する電流電圧変換回路と、を含み、前記電流電圧変換回路は、前記温度補償電流が入力される第1入力ノード、及び前記温度補償電圧を出力する出力ノードを有する演算増幅器と、前記演算増幅器の前記第1入力ノードと前記出力ノードとの間に設けられるフィードバック回路と、を有し、前記演算増幅器は、カレントミラー回路と差動対トランジスターとを有する差動部と、前記温度補償電圧を出力する出力部と、前記差動部の出力信号をローパスフィルター処理した信号を前記出力部の入力ノードに出力するRCローパスフィルターと、を有する回路装置に関係する。
回路装置の構成例。 温度補償回路及び発振回路の詳細な構成例。 電流電圧変換回路の詳細な構成例。 熱雑音が低減されることを説明する図。 出力ノイズの周波数特性を説明する図。 可変抵抗回路の構成例。 レギュレーターを含む回路装置の詳細な構成例。 レギュレーターの構成例。 本実施形態の制御タイミングを説明する図。 電子機器の構成例。 移動体の構成例。 回路装置の比較例を説明する図。
以下、本実施形態について説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲の記載内容を不当に限定するものではない。また本実施形態で説明される構成の全てが必須構成要件であるとは限らない。
1.回路装置
以下では、温度検出電圧VTSに基づく温度補償電圧VCOMPを、発振器4における温度補償に用いる場合を例に説明する。換言すれば、温度補償電圧VCOMPが、振動子10を発振させる発振回路30に出力される構成について説明する。ただし、本開示の回路装置20の適用対象はこれに限定されない。即ち、温度補償電圧VCOMPを利用する回路は発振回路30に限定されず、温度補償が必要となる他の回路に拡張が可能である。
図1は、回路装置20、及び回路装置20を含む発振器4の構成例である。発振器4は振動子10と回路装置20とを含む。振動子10は回路装置20に電気的に接続されている。例えば振動子10及び回路装置20を収納するパッケージの内部配線、ボンディグワイヤー又は金属バンプ等を用いて、振動子10と回路装置20は電気的に接続されている。なお回路装置20は図1の構成に限定されず、これらの一部の構成要素を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。例えば、本実施形態の回路装置20は温度補償回路60に相当する構成を有し、発振回路30、出力回路35、温度センサー40、不揮発性メモリー70等が省略されてもよい。
振動子10は、電気的な信号により機械的な振動を発生する素子である。振動子10は、例えば水晶振動片などの振動片により実現できる。例えば振動子10は、カット角がATカットやSCカットなどの厚みすべり振動する水晶振動片などにより実現できる。例えば振動子10は、SPXO(Simple Packaged Crystal Oscillator)の振動子であってもよい。或いは振動子10は、恒温槽を備える恒温槽型水晶発振器(OCXO)に内蔵されている振動子であってもよいし、恒温槽を備えない温度補償型水晶発振器(TCXO)に内蔵されている振動子であってもよい。なお本実施形態の振動子10は、例えば厚みすべり振動型以外の振動片や、水晶以外の材料で形成された圧電振動片などの種々の振動片により実現できる。例えば振動子10として、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子や、シリコン基板を用いて形成されたシリコン製振動子としてのMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動子等を採用してもよい。
回路装置20は、IC(Integrated Circuit)と呼ばれる集積回路装置である。例えば回路装置20は、半導体プロセスにより製造されるICであり、半導体基板上に回路素子が形成された半導体チップである。回路装置20は発振回路30と出力回路35と温度センサー40と温度補償回路60と不揮発性メモリー70と端子T1、T2、TCKとを含む。
端子T1、T2、TCKは回路装置20の例えばパッドである。端子T1は、振動子10の一端に電気的に接続され、端子T2は、振動子10の他端に電気的に接続される。例えば振動子10及び回路装置20を収納するパッケージの内部配線、ボンディグワイヤー又は金属バンプ等を用いて、振動子10と端子T1、T2は電気的に接続されている。端子TCKは、回路装置20により生成されたクロック信号CKが出力される端子である。端子TCKは、発振器4の外部接続用の外部端子に電気的に接続されている。例えばパッケージの内部配線、ボンディグワイヤー又は金属バンプ等を用いて、端子TCKと外部端子は電気的に接続されている。そして発振器4の外部端子は外部デバイスに電気的に接続される。
温度センサー40は、温度を検出するセンサーである。具体的には、温度センサー40は、PN接合の順方向電圧が有する温度依存性を用いることで、温度に依存して電圧値が変化する温度検出電圧VTSを出力する。また温度センサー40は、不揮発性メモリー70に記憶された0次補正データに基づいて、温度検出電圧VTSのオフセット補正を行う。即ち、温度センサー40は、0次補正データが示すオフセットの分だけ、温度検出電圧VTSのオフセットを調整する。なお、温度検出電圧VTSのオフセット補正は、発振周波数の温度補償において0次補正に対応する。
温度補償回路60は、温度検出電圧VTSに基づいて温度補償電圧VCOMPを出力することで、発振回路30の発振周波数を温度補償する。温度補償電圧VCOMPは、発振周波数の温度特性をキャンセル又は低減する電圧である。温度補償回路60は、温度を変数とする多項式近似によって温度補償電圧VCOMPを出力する。例えば5次多項式により温度検出電圧VTSが近似される場合、多項式の0次係数、1次係数、2次係数、3次係数、4次係数及び5次係数が、それぞれ0次補正データ、1次補正データ、2次補正データ、3次補正データ、4次補正データ及び5次補正データとして不揮発性メモリー70に記憶される。温度補償回路60は、1次補正データ、2次補正データ、3次補正データ、4次補正データ及び5次補正データに基づいて温度補償を行う。なお上述のように、0次補正は温度センサー40が行う。なお、多項式近似は5次に限定されない。
不揮発性メモリー70は、発振周波数の温度補償に用いられる温度補償データを記憶する。温度補償データは、上記の0次補正データ、1次補正データ、2次補正データ、3次補正データ、4次補正データ及び5次補正データである。例えば発振器4の製造時等において、テスト装置は、発振器4が出力するクロック信号CKに基づいて発振周波数の温度特性を測定する。テスト装置は、測定した温度特性を多項式近似して各項の係数を求め、その係数を温度補償データとして不揮発性メモリー70に書き込む。
不揮発性メモリー70は、例えばEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)やフラッシュメモリーなどである。EEPROMは例えばフローティングゲート型のメモリーセルなどにより実現できる。フラッシュメモリーは、例えばMONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Silicon)のメモリーセルなどにより実現できる。或いは不揮発性メモリー70は、ヒューズセルを用いたメモリーであってもよい。このタイプのメモリーでは、メモリーセルであるヒューズセルが、抵抗と、抵抗に直列接続されるセレクター素子を含む。セレクター素子は例えばPN接合のダイオード、或いはMOSトランジスターである。例えば抵抗の一端は、ビット線に接続され、抵抗の他端はダイオードのアノードに接続される。ダイオードのカソードはワード線に接続される。ヒューズ素子として機能する抵抗は、抵抗値が可変のプログラマブル抵抗である。この可変の抵抗値によって、ヒューズセルにデータが記憶される。
発振回路30は振動子10を発振させる回路である。例えば発振回路30は、端子T1及び端子T2に電気的に接続され、振動子10を発振させる。発振回路30としては、例えばピアース型、コルピッツ型、インバーター型又はハートレー型などの種々のタイプの発振回路を用いることができる。発振回路30は、温度補償電圧VCOMPに基づいて発振周波数の温度特性をキャンセル又は低減する。例えば発振回路30は、両端の電位差により容量が可変に制御される可変容量キャパシターCCOMPを含む。可変容量キャパシターCCOMPの一端は端子T1又は端子T2に電気的に接続され、可変容量キャパシターCCOMPの他端に温度補償電圧VCOMPが入力される。発振回路30は、発振信号OSCを出力する。
出力回路35は、接続配線を介して発振回路30に電気的に接続される。そして出力回路35は、発振回路30からの発振信号OSCをバッファリングすることによって、クロック信号CKを出力する。この場合に出力回路35は種々の信号形式でクロック信号CKを外部に出力することができる。例えば出力回路35は、LVDS(Low Voltage Differential Signaling)、PECL(Positive Emitter Coupled Logic)、HCSL(High Speed Current Steering Logic)、又は差動のCMOS(Complementary MOS)などの信号形式で、クロック信号CKを外部に出力する。例えば出力回路35は、LVDS、PECL、HCSL及び差動のCMOSのうちの少なくとも2つの信号形式でクロック信号CKを出力可能な回路であってもよい。なお出力回路35が出力するクロック信号CKの信号形式は、差動の信号形式には限定されず、例えばシングルエンドのCMOSやクリップドサイン波などの差動ではない信号形式であってもよい。
なお本実施形態における接続は電気的な接続である。電気的な接続は、電気信号が伝達可能に接続されていることであり、電気信号による情報の伝達が可能となる接続である。電気的な接続は能動素子等を介した接続であってもよい。
2.温度補償回路
2.1 温度補償回路の詳細な構成例
図2は、温度補償回路60及び発振回路30の詳細構成例である。発振回路30は、駆動回路32と可変容量キャパシターCCOMPとを含む。
駆動回路32は、ノードL1を介して端子T1に接続され、ノードL2を介して端子T2に接続される。駆動回路32は、端子T1、T2に接続された振動子10を駆動することで、振動子10を発振させる。駆動回路32は、バイポーラートランジスター等のトランジスターと、キャパシター又は抵抗等の受動素子により実現できる。
可変容量キャパシターCCOMPの一端はノードL1に接続される。或いは、可変容量キャパシターCCOMPの一端はノードL2に接続されてもよい。可変容量キャパシターCCOMPの他端は温度補償回路60の出力ノードに接続される。可変容量キャパシターCCOMPは、例えばMOSキャパシターである。MOSキャパシターの一端は、MOSトランジスターのゲートであり、MOSキャパシターの他端はMOSトランジスターのソース及びドレインである。
温度補償回路60は、電流生成回路61と電流電圧変換回路64とを含む。電流生成回路61は、1次補正回路62と高次補正回路63とを含む。なお、本実施形態において「関数」は、温度を変数とする関数である。
1次補正回路62は、温度検出電圧VTSに基づいて、1次関数を近似する1次電流を出力する。1次補正回路62は、例えば演算増幅器、第1可変抵抗回路、第2可変抵抗回路、第3可変抵抗回路を含む。演算増幅器、第1可変抵抗回路及び第2可変抵抗回路は、正転増幅回路を構成する。正転増幅回路は、基準電圧VRCを基準に温度検出電圧VTSを増幅する。正転増幅回路は、第3可変抵抗回路を介して電流電圧変換回路64の入力ノードに1次電流を出力する。
高次補正回路63は、温度検出電圧VTSに基づいて、3次関数を近似する3次電流を、電流電圧変換回路64の入力ノードに出力する。高次補正回路63は、例えば、温度検出電圧VTSに基づいて差動動作を行う第1差動回路と、第1差動回路の出力電圧と温度検出電圧VTSに基づいて差動動作を行うことで3次電流を出力する第2差動回路と、を含む。
電流電圧変換回路64は、1次電流と3次電流を加算すると共に、その加算電流を電流電圧変換することで温度補償電圧VCOMPを出力する。これにより、多項式関数を近似する温度補償電圧VCOMPが得られる。温度補償電圧VCOMPは可変容量キャパシターCCOMPの他端に入力される。温度補償電圧VCOMPにより可変容量キャパシターCCOMPの容量値が制御されることで、発振回路30の発振周波数が温度補償される。電流電圧変換回路64は、演算増幅器OPCと抵抗R3とキャパシターCCとを含む。抵抗R3及びキャパシターCCは、演算増幅器OPCの出力ノードと反転入力ノードとの間に並列接続される。演算増幅器OPCの非反転入力ノードには基準電圧VRCが入力される。演算増幅器OPCの出力ノードは温度補償回路60の出力ノードに接続される。
なお、高次補正回路63は、4次以上の補正を行う補正回路を、更に含んでもよい。例えば、高次補正回路63は、4次関数を近似する4次電流を出力する4次補正回路と、5次関数を近似する5次電流を出力する5次補正回路と、を更に含んでもよい。
このように、電流生成回路61と電流電圧変換回路64を含む温度補償回路60を用いることによって、適切な温度補償電圧VCOMPを出力することが可能になる。温度補償回路60が発振器4に含まれる場合、温度変化に伴うクロック信号CKの周波数変動を抑制し、精度の高いクロック信号CKを出力することが可能になる。
図12は、回路装置の比較例を説明する図である。なお、本実施形態と同様の構成については、図2と同じ符号を付している。比較例においては、抵抗R0及びキャパシターC0によりRCローパスフィルターが構成されている。抵抗R0は、温度補償回路600の出力ノードと、発振回路30との間に設けられる。また、キャパシターC0は、抵抗R0の一端と、所与の基準電位との間に設けられる。ここでの基準電位とは、例えば低電位側電源電圧VSSであり、狭義にはグラウンドである。比較例においては、温度補償回路600の外部にRCローパスフィルターが設けられる。RCローパスフィルターを設けることによって、温度補償電圧に含まれるノイズを低減することが可能になる。
温度補償電圧がDC電圧であることを考慮すれば、ローパスフィルターのカットオフ周波数はある程度低い値となることが望ましい。即ち、抵抗R0の抵抗値と、キャパシターC0の容量値の積を大きくすることが望ましい。
ただし図12に示した構成を用いる場合、抵抗R0において発生する熱雑音を考慮する必要がある。抵抗R0における熱雑音は、抵抗値が大きいほど大きくなることが知られている。よって、熱雑音によって温度補償電圧の精度が低下することを抑制するためには、抵抗R0の抵抗値を小さくすることが望ましい。そのためローパスフィルターによるノイズ低減効果を高くするためには、キャパシターC0の容量値を大きくする必要がある。結果として、キャパシターC0が大型化してしまう。例えばキャパシターC0は、回路装置20が設けられるICチップ外に、ディスクリートに設けられる積層セラミックコンデンサーである。このように、比較例においては、チップ外に設けられる外付け部品が大きくなるため、回路装置20を含む装置の小型化が難しい。
また図12に示す構成では、抵抗R0は発振回路30に接続されている。発振回路30が生成する発振信号によって、抵抗R0にAC電流が流れる可能性がある。そのため、図12に示す構成においては、抵抗R0において発生するフリッカーノイズを考慮することも必要となる。フリッカーノイズは、抵抗R0の面積が大きいほど小さくなる。そのため、比較例においてフリッカーノイズの低減を行うためには抵抗R0の面積を大きくする必要があり、やはり回路装置20の小型化が難しい。
図3は、本実施形態における電流電圧変換回路64の構成を示す図である。図2を用いて上述したとおり、回路装置20は、電流生成回路61と、電流電圧変換回路64を含む。電流生成回路61は、温度検出電圧VTSに基づいて温度補償電流を生成する。電流生成回路61は、例えば1次補正回路62と高次補正回路63であるが、電流生成回路61の構成はこれに限定されない。電流電圧変換回路64は、演算増幅器OPCと、フィードバック回路FBを含む。演算増幅器OPCは、温度補償電圧が入力される第1入力ノードNIN、及び温度補償電圧VCOMPを出力する出力ノードOUTを有する。フィードバック回路FBは、演算増幅器OPCの第1入力ノードNINと出力ノードOUTとの間に設けられる。第1入力ノードNINとは、具体的には演算増幅器OPCの反転入力ノードである。フィードバック回路FBは、例えば並列に設けられる抵抗R3及びキャパシターCCであるが、フィードバック回路FBの構成はこれに限定されない。電流電圧変換回路64は、温度補償電流を電流電圧変換することで温度補償電圧VCOMPを出力する。
そして演算増幅器OPCは、差動部65と、出力部69と、RCローパスフィルター68を含む。RCローパスフィルター68は、抵抗と、キャパシターCnを含む。以下、RCローパスフィルター68に含まれる抵抗が可変抵抗回路Rnである例について説明するが、当該抵抗は抵抗値が固定であってもよい。差動部65は、カレントミラー回路66と差動対トランジスター67とを有する。カレントミラー回路66は、図3に示すようにP型トランジスターTr4及びP型トランジスターTr5を含む。出力部69は、温度補償電圧VCOMPを出力する。RCローパスフィルター68は、差動部65の出力ノードN1と、出力部69の入力ノードN2との間に設けられる。RCローパスフィルター68は、差動部65の出力信号をローパスフィルター処理し、出力部69の入力ノードN2に出力する。
本実施形態のRCローパスフィルター68は、演算増幅器OPCの差動部65と出力部69の間に設けられる。そのため、演算増幅器OPCのフィードバックにより、熱雑音を低減することが可能になる。
図4は、可変抵抗回路Rnにおける熱雑音を説明する図であって、電流電圧変換回路64の構成を模式的に表した図である。図4におけるVIN及びVOUTは電流電圧変換回路64の入力電圧及び出力電圧を表す。Vは演算増幅器OPCの差動部65の入力電圧を表す。VRnは可変抵抗回路Rnにおいて発生する熱雑音電圧を表す。αは演算増幅器OPCの差動部65におけるゲインを表す。βはフィードバックゲインを表す。γは演算増幅器OPCの出力部69におけるゲインを表す。図4の例において、VOUT及びVはそれぞれ下式(1)及び(2)のように表すことができ、下式(1)及び(2)に基づいて下式(3)が導かれる。
Figure 0007346930000001
Figure 0007346930000002
Figure 0007346930000003
3つのゲインの積であるαβγは、1よりも十分大きいため、上式(3)は下式(4)のように変形できる。下式(4)の右辺第2項からわかるように、演算増幅器OPCのフィードバックにより、熱雑音を1/(αβ)に低減できる。演算増幅器OPCのゲインは非常に大きいため、熱雑音を十分低くすることが可能である。
Figure 0007346930000004
熱雑音が低減されるため、本実施形態においてはRCローパスフィルター68に含まれる抵抗の抵抗値を、比較例に比べて大きくすることが可能である。そのため、所望のカットオフ周波数を実現するために必要なキャパシターCnの容量値を小さくできる。これにより、キャパシターCnをチップに内蔵でき、回路装置20の小型化が可能になる。
また本実施形態の手法では、RCローパスフィルター68に含まれる可変抵抗回路Rnの一端は、出力部69の入力ノードN2に接続される。出力部69の入力ノードN2は、例えばP型トランジスターTr6のゲートであるため、高インピーダンスである。即ち、本実施形態の手法では、可変抵抗回路Rnに電流が流れないと考えることができるため、フリッカーノイズの影響が抑制される。そのため、可変抵抗回路Rnの面積を大きくする必要がなく、回路装置20の小型化が容易である。
図5は、本実施形態の手法による効果を説明する図である。図5は、横軸が周波数に対応し、縦軸が温度補償回路60の出力ノイズに対応する両対数グラフである。図5に示すように、本実施形態のRCローパスフィルター68の機能をオンにすることによって、機能をオフにする場合に比べて、所与の周波数f0以上の周波数範囲における出力ノイズが低減される。
なお、所与の周波数f0は、演算増幅器OPCのオープンループゲインが0dBとなるユニティゲイン周波数に対応する周波数である。温度補償回路60の周波数特性は、RCローパスフィルター68のカットオフ周波数だけでなく、演算増幅器OPC全体の周波数特性を考慮する必要がある。ただし、演算増幅器OPCに含まれるRCローパスフィルター68のカットオフ周波数を低くすることによって、演算増幅器OPCのユニティゲイン周波数を低くすることが可能である。よって本実施形態においても、ノイズ成分を適切に低減するためには、RCローパスフィルター68のカットオフ周波数を低くすることが重要である。
図3に示すように、出力部69は、P型トランジスターTr6と、バイポーラートランジスターTr7を含んでもよい。P型トランジスターTr6は、高電位側電源電圧VDDと、演算増幅器OPCの出力ノードOUTとの間に設けられ、出力部69の入力ノードN2がゲートに接続される。バイポーラートランジスターTr7は、演算増幅器OPCの出力ノードOUTと低電位側電源電圧VSSの間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力される。
また差動部65は、差動対トランジスター67として、第1バイポーラートランジスターTr1と第2バイポーラートランジスターTr2を含んでもよい。第1バイポーラートランジスターTr1は、演算増幅器OPCの第1入力ノードNINがベースに接続される。第2バイポーラートランジスターTr2は、基準電圧VRCが入力される第2入力ノードPINがベースに接続される。
また差動部65は、第1バイポーラートランジスターTr1及び第2バイポーラートランジスターTr2と、低電位側電源電圧VSSとの間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力される第3バイポーラートランジスターTr3を含んでもよい。
以上のように、差動部65及び出力部69のいずれか或いは両方において、バイポーラートランジスターが用いられてもよい。バイポーラートランジスターはMOSトランジスターに比べて発生するノイズが小さい。本実施形態はRCローパスフィルター68を用いてノイズ低減を行う手法であるため、電流電圧変換回路64の各部にバイポーラートランジスターを用いてノイズを低減することによる利点が大きい。ただし、Tr1~Tr3、Tr7に示した各バイポーラートランジスターは必須の構成ではなく、一部又は全部をMOSトランジスターに置き換える等の変形実施が可能である。
なお本実施形態の手法は、上記の回路装置20と、振動子10と、を含む発振器4に適用できる。このようにすれば、精度の高いクロック信号CKを出力可能な発振器4を実現できる。
2.2 可変抵抗回路
また図3に示すように、RCローパスフィルター68は、差動部65の出力ノードN1と出力部69の入力ノードN2との間に設けられ、抵抗値が可変である可変抵抗回路Rnと、一端が差動部65の出力ノードN1に接続されたキャパシターCnと、を有する。可変抵抗回路Rnの一端は差動部65の出力ノードN1に接続され、他端は出力部69の入力ノードN2に接続される。本実施形態では、キャパシターCnの一端は可変抵抗回路Rnを介して差動部65の出力ノードN1に接続されており、他端は演算増幅器OPCの出力ノードOUTに接続されている。可変抵抗回路Rnを用いることによって、フィルター特性を柔軟に変更することが可能になる。なお、キャパシターCnの他端は必ずしも演算増幅器OPCの出力ノードOUTに接続されている必要はなく、低電位側電源電圧VSSの供給ラインに接続されていてもよい。
図6は、可変抵抗回路Rnを含む電流電圧変換回路64の構成例を示す図である。図6に示すように、可変抵抗回路Rnは、抵抗Rn1と、スイッチSW1を有してもよい。抵抗Rn1は、差動部65の出力ノードN1と出力部69の入力ノードN2との間に設けられる。スイッチSW1は、差動部65の出力ノードN1と出力部69の入力ノードN2との間に、抵抗Rn1と並列に設けられる。図6に示した構成を用いることによって、差動部65と出力部69との間に抵抗Rn1が接続された状態と、当該抵抗Rn1がバイパスされる状態とを切り替える制御が可能になる。
図6のスイッチSW1は、所定ウェイト期間の後にオンからオフになる。即ち、可変抵抗回路Rnの抵抗値は、所定ウェイト期間の経過前は0Ωであり、所定ウェイト期間の経過後に抵抗Rn1の抵抗値となる。換言すれば、所定ウェイト期間の経過前はフィルター機能がオフであり、所定ウェイト期間の経過後にフィルター機能がオンになる。
ここでの所定ウェイト期間とは、回路装置20の起動時に設定される期間であってもよい。例えば回路装置20が発振器4に含まれる場合、回路装置20の起動によって発振回路30が振動子10の駆動を開始する。振動子10に基づく発振信号OSCが安定すると、出力回路35がクロック信号CKの出力を開始する。これにより、回路装置20を流れる電流が急激に増加するため、出力回路35等を熱源として温度変化が生じる。当該温度変化に対して、温度補償電圧VCOMPを高速で追従させるためには、フィルター機能がオフであることが望ましい。そして上記温度変化への追従が完了した後には、ノイズ低減を行うためにフィルター機能がオンになる。このように、所定ウェイト期間に基づいてスイッチSW1をオンからオフに切り替えることによって、起動期間等において回路装置20を適切に動作させることが可能になる。なお、詳細な制御タイミングについては、図9を用いて後述する。
ここで、抵抗Rn1は抵抗値が固定の抵抗であってもよい。この場合、可変抵抗回路Rnの抵抗値が2段階で切り替えられる。ただし、Rn1自体が抵抗値が可変な可変抵抗であってもよい。この場合、可変抵抗回路Rnは、抵抗Rn1をバイパスするか否かを切り替えるだけでなく、抵抗Rn1の抵抗値を切り替える制御が可能である。即ち、可変抵抗回路Rnは、抵抗値を3段階以上で切り替え可能な構成であってもよい。この場合の抵抗Rn1は、公知の可変抵抗回路の構成を広く適用可能である。
温度変化への追従度合いと、ノイズ低減度合いのバランスを考慮した制御を行うという観点からすれば、本実施形態の手法は、RCローパスフィルター68のフィルター機能が時間経過とともに高くなる構成であればよい。即ち、可変抵抗回路Rnの抵抗値が3段階以上で制御可能である場合、当該抵抗値は、時間経過とともに大きくなるように制御される。
また可変抵抗回路Rnは、スイッチSW1によって抵抗Rn1がバイパス可能な構成には限定されない。即ち、図6におけるスイッチSW1を省略する等の種々の変形実施が可能である。
2.3 レギュレーター
図7は回路装置20の他の構成例を示す図である。図7に示すように、回路装置20は図2に示す構成に加えて、レギュレーター80を含んでもよい。レギュレーター80は、高電位側電源電圧VDDに基づいてレギュレート電圧VREGを出力する。レギュレート電圧VREGは、電流生成回路61の電源電圧として用いられる。またレギュレート電圧VREGは、発振回路30等、回路装置20の他の構成の電源電圧として用いられてもよい。
レギュレーター80は後述の図8のように第2演算増幅器OPC2を含む。本実施形態においては、レギュレーター80に含まれる第2演算増幅器OPC2についても、電流電圧変換回路64の演算増幅器OPCと同様の構成を設けてもよい。即ち、本実施形態の回路装置20は、電流生成回路61にレギュレート電圧VREGを供給するレギュレーター80を含み、当該レギュレーター80は第2RCローパスフィルター88を有する。
図8は、レギュレーター80に含まれる第2演算増幅器OPC2の構成を示す図である。第2演算増幅器OPC2は、第2差動部85と、第2出力部89と、第2RCローパスフィルター88を含む。第2差動部85は、第2カレントミラー回路86と第2差動対トランジスター87とを有する。第2カレントミラー回路86は、P型トランジスターTr8とP型トランジスターTr9を含む。第2出力部89は、レギュレート電圧VREGを出力する。第2RCローパスフィルター88は、第2差動部85の出力ノードN3と第2出力部89の入力ノードN4との間に設けられる。第2RCローパスフィルター88は、第2差動部85の出力信号をローパスフィルター処理した信号を第2出力部89の入力ノードN4に出力する
このようにすれば、レギュレーター80の第2演算増幅器OPC2においても、第2差動部85と第2出力部89との間に第2RCローパスフィルター88を設けることによって、ノイズ成分を低減しつつ、回路装置20を小型化することが可能になる。第2RCローパスフィルター88は、例えば図6のRCローパスフィルター68と同様の構成であって、抵抗Rn2と、スイッチSW2と、キャパシターCn2を含む。ただし、第2RCローパスフィルター88の構成については、RCローパスフィルター68と同様に、種々の変形実施が可能である。
なお図8においては、第2差動対トランジスター87は、第4バイポーラートランジスターTr10及び第5バイポーラートランジスターTr11を含む。また第2差動対トランジスター87と低電位側電源電圧VSSとの間に第6バイポーラートランジスターTr12が設けられる。バイポーラートランジスターを用いることによってノイズ成分を低減することが可能である。ただし、演算増幅器OPCと同様に、各バイポーラートランジスターをMOSトランジスターに置き換える等の変形実施が可能である。
また、図8においては、第2演算増幅器OPC2は、P型トランジスターTr13と可変抵抗回路R4及び可変抵抗回路R5を含む。P型トランジスターTr13は、高電位側電源電圧VDDと、第2演算増幅器OPC2の出力ノードOUT2との間に設けられる。可変抵抗回路R4及びR5は、出力ノードOUT2と低電位側電源電圧VSSとの間に直列に設けられる。可変抵抗回路R4と可変抵抗回路R5の間のノードN5と、第2演算増幅器OPC2の第1入力ノードNIN2とが接続されることによってフィードバックが行われる。第2演算増幅器OPC2の第2入力ノードPIN2には、入力信号が入力される。ただし、第2出力部89やフィードバックに関する構成は図8の構成に限定されず、種々の変形実施が可能である。
2.4 制御タイミング
図9は、本実施形態の回路装置20の制御タイミングを説明する図である。なお図9の横軸は時間を表す。電源がオンになることで高電位側電源電圧VDDの供給が開始される(A1)。POR_MVは高電位側電源電圧VDDを電源電圧として動作する回路のパワーオンリセット信号である。VDDが所与の電圧値に到達したタイミングにおいてパワーオンリセットが実行される(A2)。図9のEN_BIASはバイアス回路(BIAS)のイネーブル信号である。バイアス回路は、例えばバンドギャップリファレンス回路や基準電流生成回路等を含む。パワーオンリセットの実行後、バイアス回路がイネーブルになり(A3)、電圧供給が開始される(A4)。
図9のPOR_LVはレギュレート電圧VREGを電源電圧として動作する回路のパワーオンリセット信号を表し、EN_LVは、当該回路のイネーブル信号を表す。A4に示した電圧供給開始後、当該電圧が所与の電圧値に到達したタイミングにおいて(A5)、パワーオンリセットが実行され(A6)、レギュレート電圧VREGで動作する回路のイネーブル信号がオンになる(A7)。
また起動時は振動子10の発振が安定しないため、ICの内部発振器が動作し(A8)、当該内部発振器が出力するクロック信号に基づいて、不揮発性メモリー70から制御用データの読み出しが行われる(A9)。
図9のEN_OUTは出力回路35のイネーブル信号であり、CLKOは出力されるクロック信号CKを表す。振動子10の出力である発振信号OSCの振幅は時間の経過とともに増加していく。振幅値が所与の値に到達したタイミングにおいて(A10)、出力回路35がイネーブルになる(A11)。これにより、出力回路35は、クロック信号CKの出力を開始する(A12)。
上述したとおり、温度補償回路60やレギュレーター80に含まれる演算増幅器の内部にローパスフィルターを設けることによって、ノイズ成分が低減できるものの、入力信号の変化に対する追従性が低下する。具体的には、演算増幅器OPCのRCローパスフィルター68が機能することによって、温度変化への追従性が低下してしまう。回路装置20が、温度補償電圧VCOMPが入力される発振回路30と、発振回路30の出力信号である発振信号OSCに基づいてクロック信号CKを出力する出力回路35を含む場合、温度補償電圧VCOMPが温度変化へ十分追従できないことによって、クロック信号CKの精度が低下してしまう。よって温度補償回路60の演算増幅器OPCに含まれるスイッチSW1は、出力回路35がクロック信号CKの出力を開始してから所定ウェイト期間が経過した後、オンからオフになる。このようにすれば、フィルター機能のオンオフを、回路装置20の状態に応じて適切に切り替えることが可能になる。例えば、クロック信号CKの出力が開始された場合、電流が増えることによって温度が上昇する。上記所定ウェイト期間においてスイッチSW1をオンにして抵抗Rn1をバイパスすることによって、当該温度変化への追従性を高くすることが可能である。
また回路装置20がレギュレーター80を含む場合、レギュレーター80の第2演算増幅器OPC2に含まれる第2RCローパスフィルター88についても、振動子10の出力が安定した後にフィルター機能がオンになることが望ましい。振動子10の出力が安定することによって、消費電流が安定するためである。具体的には、レギュレーター80に含まれる第2RCローパスフィルター88は、A10に示すタイミングの後、所定期間の経過後にイネーブルにされる。第2RCローパスフィルター88をイネーブルにするとは、具体的にはスイッチSW2をオンからオフにする制御を表す。
上述したように、レギュレーター80が出力するレギュレート電圧VREGは、電流生成回路61の動作に用いられる。温度補償電圧VCOMPの精度を考慮すれば、まずレギュレーター80の第2RCローパスフィルター88の動作を有効にし、その後、電流電圧変換回路64のRCローパスフィルター68の動作を有効にすることが望ましい。この際、RCローパスフィルター68は、第2RCローパスフィルター88の動作が有効になってから所定ウェイト期間が経過した後に有効にすることが望ましい。具体的には、可変抵抗回路RnのスイッチSW1は、第2RCローパスフィルター88の動作が有効になってから所定ウェイト期間が経過した後に、オンからオフになる。このようにすれば、スイッチングノイズの影響を抑制できる。
図9の例において、REG filter Enableはレギュレーター80に含まれる第2RCローパスフィルター88のイネーブル信号であり、VCOMP filter Enableは電流電圧変換回路64に含まれるRCローパスフィルター68のイネーブル信号である。A13に示すタイミングにおいてレギュレーター80の第2RCローパスフィルター88の動作が有効になり、その後、A14に示すタイミングにおいて、電流電圧変換回路64のRCローパスフィルター68の動作が有効となる。以上のように、本実施形態における所定ウェイト期間とは、クロック信号CKの出力イネーブル信号であるEN_OUTの立ち上がりタイミングA11からRCローパスフィルター68の動作が有効となるタイミングA14までの期間WT1であってもよい。A11に示すタイミングは、振動子10の出力が安定するタイミングA10に対応する。また所定ウェイト期間は、レギュレーター80の第2RCローパスフィルター88の動作が有効になるタイミングA13からRCローパスフィルター68の動作が有効となるタイミングA14までの期間WT2であってもよい。なお、期間WT1は、EN_OUTの立ち上がりタイミングA11から第2RCローパスフィルター88の動作が有効となったタイミングA13までの期間WT3と、第2RCローパスフィルター88の動作が有効となったタイミングA13からRCローパスフィルター68の動作が有効となるタイミングA14までの期間WT2を合わせた期間である。なお、ここでは所定ウェイト期間が各イネーブル信号の立ち上がり開始タイミングを基準として設定される例について説明した。しかし基準となるタイミングは、イネーブル信号が所与の基準電圧値に到達したタイミングとしてもよい。或いは、A11に示すタイミングに変えて、実際にクロック信号CLKOの出力が開始されたタイミングA12を、WT1及びWT3の始点としてもよい。その他、所定ウェイト期間の設定については、種々の変形実施が可能である。
3.電子機器、移動体
また本実施形態の手法は、上記の回路装置20と、回路装置20からの出力信号に基づいて処理を行う処理装置と、を含む電子機器又は移動体に適用できる。
図10に、本実施形態の回路装置20を含む電子機器500の構成例を示す。電子機器500は、本実施形態の回路装置20と、回路装置20の発振回路30の発振信号OSCに基づくクロック信号CKにより動作する処理装置520を含む。具体的には電子機器500は、本実施形態の回路装置20を有する発振器4を含み、処理装置520は、発振器4からのクロック信号に基づいて動作する。また電子機器500は、アンテナANT、通信インターフェース510、操作インターフェース530、表示部540、メモリー550を含むことができる。なお電子機器500は図10の構成に限定されず、これらの一部の構成要素を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
電子機器500は、例えば基地局又はルーター等のネットワーク関連機器、距離、時間、流速又は流量等の物理量を計測する高精度の計測機器、生体情報を測定する生体情報測定機器、或いは車載機器などである。生体情報測定機器は例えば超音波測定装置、脈波計又は血圧測定装置等である。車載機器は自動運転用の機器等である。また電子機器500は、頭部装着型表示装置や時計関連機器などのウェアラブル機器、ロボット、印刷装置、投影装置、スマートフォン等の携帯情報端末、コンテンツを配信するコンテンツ提供機器、或いはデジタルカメラ又はビデオカメラ等の映像機器などであってもよい。
また電子機器500としては、5Gなどの次世代移動通信システムに用いられる機器がある。例えば次世代移動通信システムの基地局、リモートレディオヘッド(RRH)又は携帯通信端末などの種々の機器に本実施形態の回路装置20を用いることができる。次世代移動通信システムでは、時刻同期等のために高精度のクロック周波数が要望されており、高精度のクロック信号を生成できる本実施形態の回路装置20の適用例として好適である。
通信インターフェース510は、アンテナANTを介して外部からデータを受信したり、外部にデータを送信する処理を行う。プロセッサーである処理装置520は、電子機器500の制御処理や、通信インターフェース510を介して送受信されるデータの種々のデジタル処理などを行う。処理装置520の機能は、例えばマイクロコンピューターなどのプロセッサーにより実現できる。操作インターフェース530は、ユーザーが入力操作を行うためのものであり、操作ボタンやタッチパネルディスプレイなどにより実現できる。表示部540は、各種の情報を表示するものであり、液晶や有機ELなどのディスプレイにより実現できる。メモリー550は、データを記憶するものであり、その機能はRAMやROMなどの半導体メモリーにより実現できる。
なお図10では、電子機器500が発振器4を含む場合を例に説明したが、電子機器500の構成はこれに限定されない。電子機器500は、温度センサー40からの温度検出電圧VTSに基づいて温度補償電圧VCOMPを生成する回路装置20と、当該温度補償電圧VCOMPに基づいて動作する処理装置とを含めばよい。
図11に、本実施形態の回路装置20を含む移動体の例を示す。移動体は、本実施形態の回路装置20と、回路装置20の発振回路30の発振信号OSCに基づくクロック信号CKにより動作する処理装置220を含む。具体的には移動体は、本実施形態の回路装置20を有する発振器4を含み、処理装置220は、発振器4からのクロック信号に基づいて動作する。本実施形態の回路装置20は、例えば、車、飛行機、バイク、自転車、或いは船舶等の種々の移動体に組み込むことができる。移動体は、例えばエンジンやモーター等の駆動機構、ハンドルや舵等の操舵機構、各種の電子機器を備えて、地上や空や海上を移動する機器・装置である。図11は移動体の具体例としての自動車206を概略的に示している。自動車206には、本実施形態の回路装置20が組み込まれる。具体的には、移動体である自動車206は、制御装置208を含み、制御装置208は、本実施形態の回路装置20を含む発振器4と、発振器4により生成されたクロック信号に基づき動作する処理装置220を含む。制御装置208は、例えば車体207の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪209のブレーキを制御する。例えば制御装置208により、自動車206の自動運転を実現してもよい。なお本実施形態の回路装置20が組み込まれる機器は、このような制御装置208には限定されず、自動車206等の移動体に設けられるメーターパネル機器やナビゲーション機器などの種々の車載機器に組み込むことが可能である。
なお図11では、移動体が発振器4を含む場合を例に説明したが、移動体の構成はこれに限定されない。移動体は、温度センサー40からの温度検出電圧VTSに基づいて温度補償電圧VCOMPを生成する回路装置20と、当該温度補償電圧VCOMPに基づいて動作する処理装置とを含めばよい。
以上で説明したように本実施形態の回路装置20は、電流生成回路と、電流電圧変換回路を含む。電流生成回路は、温度検出電圧に基づいて温度補償電流を生成する。電流電圧変換回路は、温度補償電流が入力される第1入力ノード及び温度補償電圧を出力する出力ノードを有する演算増幅器と、演算増幅器の第1入力ノードと出力ノードとの間に設けられるフィードバック回路とを有し、温度補償電流を電流電圧変換することで温度補償電圧を出力する。演算増幅器は、カレントミラー回路と差動対トランジスターとを有する差動部と、温度補償電圧を出力する出力部と、差動部の出力信号をローパスフィルター処理した信号を出力部の入力ノードに出力するRCローパスフィルターと、を有する。
本実施形態によれば、演算増幅器の内部にRCローパスフィルターが設けられるため、フィードバックによって抵抗の熱雑音を低減できる。抵抗値を大きくできるため、RCローパスフィルターのキャパシターの小型化が可能になる。また、抵抗に電流が流れないことによってフリッカーノイズの影響を抑制できる。そのため抵抗の面積を小さくできる。
また本実施形態では、RCローパスフィルターは、差動部の出力ノードと出力部の入力ノードとの間に設けられ、抵抗値が可変である可変抵抗回路と、一端が差動部の出力ノードに接続されたキャパシターと、を有してもよい。
このようにすれば、差動部と出力部の間に適切にRCローパスフィルターを設けること、及びRCローパスフィルターの抵抗を可変抵抗回路とすることが可能になる。可変抵抗回路を用いることによって、回路装置の周波数特性を柔軟に調整できる。
また本実施形態では、可変抵抗回路は、差動部の出力ノードと出力部の入力ノードとの間に設けられる抵抗と、差動部の出力ノードと出力部の入力ノードとの間に、抵抗と並列に設けられるスイッチと、を有してもよい。
このようにすれば、スイッチのオンオフを制御することによって、可変抵抗回路の抵抗値を調整することが可能になる。
また本実施形態では、回路装置は、第2RCローパスフィルターを有し、電流生成回路にレギュレート電圧を供給するレギュレーターを含んでもよい。電流電圧変換回路の演算増幅器に含まれるスイッチは、第2RCローパスフィルターの動作が有効になってから所定ウェイト期間が経過した後に、オンからオフになってもよい。
このようにすれば、レギュレーターの出力であるレギュレート電圧が安定した後に、RCローパスフィルターのフィルター機能をオンにすることが可能になる。
また本実施形態では、レギュレーターは、第2演算増幅器を含んでもよい。第2演算増幅器は、第2カレントミラー回路と第2差動対トランジスターとを有する第2差動部と、レギュレート電圧を出力する第2出力部と、第2RCローパスフィルターと、を有する。第2RCローパスフィルターは、第2差動部の出力信号をローパスフィルター処理した信号を第2出力部の入力ノードに出力する。
このようにすれば、レギュレーターに含まれる演算増幅器についても、小型化とノイズ低減を両立させることが可能になる。
また本実施形態では、出力部は、高電位側電源電圧と演算増幅器の出力ノードとの間に設けられ、出力部の入力ノードがゲートに接続されるP型トランジスターと、演算増幅器の出力ノードと低電位側電源電圧の間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力されるバイポーラートランジスターと、を有してもよい。
このように、出力部にバイポーラートランジスターを用いることによって、ノイズを低減することが可能になる。
また本実施形態では、差動部は、差動対トランジスターとして、第1入力ノードがベースに接続される第1バイポーラートランジスターと、基準電圧が入力される第2入力ノードがベースに接続される第2バイポーラートランジスターと、を有してもよい。
このように、差動部にバイポーラートランジスターを用いることによって、ノイズを低減することが可能になる。
また本実施形態では、差動部は、第1バイポーラートランジスター及び第2バイポーラートランジスターと低電位側電源電圧との間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力される第3バイポーラートランジスターを含んでもよい。
このように、差動部にバイポーラートランジスターを用いることによって、ノイズを低減することが可能になる。
また本実施形態では、回路装置は、振動子を発振させる発振回路と、発振回路の出力信号に基づいてクロック信号を出力する出力回路と、を含んでもよい。発振回路は、電流電圧変換回路からの温度補償電圧が入力される。電流電圧変換回路の演算増幅器に含まれるスイッチは、出力回路がクロック信号の出力を開始してから所定ウェイト期間が経過した後、オンからオフになる。
このようにすれば、クロック信号の出力開始に伴う温度変化に対する追従性を高くすること、及び温度が安定した後にはフィルター機能をオンにすることでノイズ低減を行うことが可能になる。
また本実施形態の発振器は、上記の回路装置と、振動子と、を含む。
また本実施形態の電子機器は、上記のいずれかに記載の回路装置と、回路装置からの出力信号に基づいて動作する処理装置と、を含む。
また本実施形態の移動体は、上記のいずれかに記載の回路装置と、回路装置からの出力信号に基づいて動作する処理装置と、を含む。
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本開示の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本開示の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本開示の範囲に含まれる。また回路装置、発振器、電子機器、移動体の構成・動作等も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。
4…発振器、10…振動子、20…回路装置、30…発振回路、32…駆動回路、35…出力回路、40…温度センサー、60…温度補償回路、61…電流生成回路、62…1次補正回路、63…高次補正回路、64…電流電圧変換回路、65…差動部、66…カレントミラー回路、67…差動対トランジスター、68…RCローパスフィルター、69…出力部、70…不揮発性メモリー、80…レギュレーター、85…第2差動部、86…第2カレントミラー回路、87…第2差動対トランジスター、88…第2RCローパスフィルター、89…第2出力部、206…自動車、207…車体、208…制御装置、209…車輪、220…処理装置、500…電子機器、510…通信インターフェース、520…処理装置、530…操作インターフェース、540…表示部、550…メモリー、600…比較例の温度補償回路、ANT…アンテナ、C0,CC,Cn,Cn2…キャパシター、CCOMP…可変容量キャパシター、FB…フィードバック回路、L1,L2,N1~N5…ノード、NIN,NIN2…第1入力ノード、OUT,OUT2…出力ノード、OPC、OPC2…演算増幅器、OSC…発振信号、R0,R3,Rn1,Rn2…抵抗、R4,R5,Rn…可変抵抗回路、SW1,SW2…スイッチ、T1,T2,TCK…端子、Tr4~Tr6,Tr8,Tr9,Tr13…P型トランジスター、Tr1~Tr3,Tr7,Tr10~Tr12…バイポーラートランジスター、VCOMP…温度補償電圧、VDD…高電位側電源電圧、VRC…基準電圧、VREG…レギュレート電圧、VSS…低電位側電源電圧、VTS…温度検出電圧

Claims (11)

  1. 温度検出電圧に基づいて温度補償電流を生成する電流生成回路と、
    前記温度補償電流を電流電圧変換することで温度補償電圧を出力する電流電圧変換回路と、を含み、
    前記電流電圧変換回路は、
    前記温度補償電流が入力される第1入力ノード、及び前記温度補償電圧を出力する出力ノードを有する演算増幅器と、
    前記演算増幅器の前記第1入力ノードと前記出力ノードとの間に設けられるフィードバック回路と、を有し、
    前記演算増幅器は、
    カレントミラー回路と差動対トランジスターとを有する差動部と、
    前記温度補償電圧を出力する出力部と、
    前記差動部の出力信号をローパスフィルター処理した信号を前記出力部の入力ノードに出力するRCローパスフィルターと、
    を有することを特徴とする回路装置。
  2. 請求項1に記載の回路装置において、
    前記RCローパスフィルターは、
    前記差動部の出力ノードと前記出力部の前記入力ノードとの間に設けられ、抵抗値が可変である可変抵抗回路と、
    一端が前記出力部の前記入力ノードにおいて前記可変抵抗回路に接続されたキャパシターと、
    を有することを特徴とする回路装置。
  3. 請求項2に記載の回路装置において、
    前記可変抵抗回路は、
    前記差動部の前記出力ノードと前記出力部の前記入力ノードとの間に設けられる抵抗と、
    前記差動部の前記出力ノードと前記出力部の前記入力ノードとの間に、前記抵抗と並列に設けられるスイッチと、
    を有することを特徴とする回路装置。
  4. 請求項3に記載の回路装置において、
    記電流生成回路にレギュレート電圧を供給するレギュレーターを含み、
    前記レギュレーターは、第2演算増幅器を含み、
    前記第2演算増幅器は、
    第2カレントミラー回路と第2差動対トランジスターとを有する第2差動部と、
    前記レギュレート電圧を出力する第2出力部と、
    前記第2差動部の出力信号をローパスフィルター処理した信号を、前記第2出力部の入力ノードに出力する第2RCローパスフィルターと、
    を有し、
    前記スイッチは、前記第2RCローパスフィルターの動作が有効になってから所定ウェイト期間が経過した後に、オンからオフになることを特徴とする回路装置。
  5. 請求項1乃至のいずれか一項に記載の回路装置において、
    前記出力部は、
    高電位側電源電圧と前記演算増幅器の前記出力ノードとの間に設けられ、前記出力部の前記入力ノードがゲートに接続されるP型トランジスターと、
    前記演算増幅器の前記出力ノードと低電位側電源電圧の間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力されるバイポーラートランジスターと、
    を有することを特徴とする回路装置。
  6. 請求項1乃至のいずれか一項に記載の回路装置において、
    前記差動部は、
    前記差動対トランジスターとして、前記第1入力ノードがベースに接続される第1バイポーラートランジスターと、基準電圧が入力される第2入力ノードがベースに接続される第2バイポーラートランジスターと、を有することを特徴とする回路装置。
  7. 請求項に記載の回路装置において、
    前記差動部は、
    前記第1バイポーラートランジスター及び前記第2バイポーラートランジスターと低電位側電源電圧との間に設けられ、ベースにバイアス電圧が入力される第3バイポーラートランジスターを含むことを特徴とする回路装置。
  8. 請求項3に記載の回路装置において、
    振動子を発振させる発振回路と、
    前記発振回路の出力信号に基づいてクロック信号を出力する出力回路と、
    を含み、
    前記発振回路は、前記電流電圧変換回路からの前記温度補償電圧が入力され、
    前記スイッチは、前記出力回路が前記クロック信号の出力を開始してから所定ウェイト期間が経過した後、オンからオフになることを特徴とする回路装置。
  9. 請求項に記載の回路装置と、
    前記振動子と、
    を含むことを特徴とする発振器。
  10. 請求項1乃至のいずれか一項に記載の回路装置と、
    前記回路装置からの出力信号に基づいて動作する処理装置と、
    を含むことを特徴とする電子機器。
  11. 請求項1乃至のいずれか一項に記載の回路装置と、
    前記回路装置からの出力信号に基づいて動作する処理装置と、
    を含むことを特徴とする移動体。
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