WO2007058037A1 - 基板検査用治具及び検査用プローブ - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a substrate inspection jig and an inspection probe used for inspecting the electrical characteristics of a substrate to be inspected.
- the present invention is not limited to a printed wiring board, and for example, a flexible board, a multilayer wiring board, an electrode board for a liquid crystal display or a plasma display, and various substrates such as a package board or a film carrier for a semiconductor package.
- these various wiring boards are collectively referred to as “substrates”.
- a circuit board is formed with a plurality of wiring patterns, and various circuit board inspection apparatuses have conventionally been used to inspect whether or not the wiring pattern is finished as designed. Proposed and put into practical use.
- inspection positions on any two sets of wirings are selected from a plurality of wirings constituting a wiring pattern, and these inspection positions are electrically disconnected from each other, or are electrically conductive.
- a device for inspecting electrical characteristics such as squirrel.
- a substrate inspection jig holding a plurality of inspection probes is used, one end of the inspection probe is brought into contact with the inspection point of the inspected substrate, and the other end is connected.
- One having a structure in which an inspection apparatus and a substrate to be inspected are electrically connected by being brought into contact with an electrode portion is known.
- a substrate inspection jig for holding such an inspection probe is used to pivot the inspection probe in order to eliminate the problem of contact between the inspection probe and the electrode portion of the substrate to be inspected or the substrate inspection jig.
- a panel that expands and contracts in the axial direction of the inspection probe is attached, or the inspection probe itself has elasticity, or is configured to hold in the axial direction of the inspection probe force. It was.
- a substrate inspection jig J as shown in FIG. 6 has an inspection probe by holding a flexible inspection probe P so as to be sandwiched between the substrate to be inspected 100 and the electrode part E. An urging force acts outward in the axial direction of P, and a contact pressure is generated with respect to the inspection position 101 and the electrode portion E of the inspected substrate 100.
- the contact pressure is used to solve the contact problem of the inspection probe P with the substrate 100 to be inspected or the electrode part E (see, for example, Patent Document 1 or 2).
- Patent Document 1 Japanese Patent No. 3690796
- Patent Document 2 Japanese Patent No. 3690801
- the present invention has been made in view of such circumstances, and in the case where the inspection probe is used for electrically connecting the substrate to be inspected and the electrode portion of the substrate inspection jig, Provided are an inspection probe and a substrate inspection jig capable of providing a stable contact state when a load is applied to an inspection probe to be in a conductive contact state.
- the invention according to claim 1 is characterized in that the first end of the inspection probe is in conductive contact with a predetermined inspection position of the substrate to be inspected, and the electrode is in conductive contact with the second end of the inspection probe.
- a substrate inspection jig comprising: a connection electrode body having a portion; and a holding body that is disposed between the substrate to be inspected and the connection electrode body and holds the probe for inspection.
- a first guide part for guiding the first end of the inspection probe to the inspection position, and a second guide for guiding the second end part of the inspection probe to the electrode part.
- a second guide portion in which a hole is formed, and the inspection probe includes a linear conductor portion having the first end portion and the second end portion and having flexibility.
- the invention according to claim 2 is characterized in that the electrode portion is formed so as to be flush with the surface of the connection electrode body. I will provide a.
- the invention according to claim 3 provides the substrate inspection jig according to claim 1 or 2, wherein the connection electrode body and the second guide portion are arranged in close contact with each other. To do.
- the invention according to claim 4 is characterized in that a maximum diameter of the inspection probe is formed smaller than a diameter of the second guide portion. Providing jigs for plate inspection.
- the invention according to claim 5 provides the substrate inspection jig according to any one of claims 1 to 4, wherein the electrode portion is formed of a cylindrical conducting wire.
- the invention of claim 6 is directed to an inspection probe in conductive contact with a predetermined inspection position of a substrate to be inspected, the first end of which is inspected, and an electrode in conductive contact with the second end of the inspection probe.
- a substrate inspection jig comprising: a connection electrode body having a portion; and a holding body that is disposed between the substrate to be inspected and the connection electrode body and holds the probe for inspection.
- a first guide part for guiding the first end of the inspection probe to the inspection position, and a second guide for guiding the second end part of the inspection probe to the electrode part.
- a hole is formed and a second guide portion is disposed at a predetermined distance from the first guide portion, and the inspection probe has the first end portion and the second end portion, and can be used.
- a linear conductor having flexibility, the first end and the second end; The outer end of the conductor portion excluding the insulating portion is covered with an insulating coating, and the second end portion is the electrode portion when the first end portion is brought into contact with the test substrate and the inspection probe is bent.
- the second end portion and a portion of the insulating portion adjacent to the second end portion are located in the second guide hole, and a portion of the insulating portion is It is inserted into the second guide hole with a small interval, and the length of the inserted insulating portion is longer than the length of the second end portion, and the second end portion is arranged in the major axis direction.
- Board inspection characterized in that the length is formed to be substantially the same or shorter than the outer diameter of the insulating part of the inspection probe Provide jigs.
- the invention of claim 7 is directed to an inspection probe in conductive contact with a predetermined inspection position of a substrate to be inspected, the first end of which is inspected, and an electrode in conductive contact with the second end of the inspection probe.
- a substrate inspection jig comprising: a connection electrode body having a portion; and a holding body that is disposed between the substrate to be inspected and the connection electrode body and holds the probe for inspection.
- a first guide part for guiding the first end of the inspection probe to the inspection position, and a second guide for guiding the second end part of the inspection probe to the electrode part.
- a hole is formed and a second guide portion is disposed at a predetermined distance from the first guide portion, and the inspection probe has the first end portion and the second end portion, and can be used.
- a linear conductor having flexibility, the first end and the second end; The outer end of the conductor portion excluding the insulating portion is covered with an insulating coating, and the second end portion is the electrode portion when the first end portion is brought into contact with the test substrate and the inspection probe is bent.
- the second end portion and a portion of the insulating portion adjacent to the second end portion are located in the second guide hole, and a portion of the insulating portion is It is inserted into the second guide hole with a minute interval, the length of the inserted insulating part is longer than the length of the second end part, and the minimum diameter of the second guide hole is Provided is a substrate inspection jig characterized in that it is formed larger than the outer diameter of the insulating portion of the inspection probe.
- the second guide portion is formed by laminating a plurality of plate-like members each having a guide hole for guiding the second end portion, and the second guide hole is
- the guide holes of the plate-like member are formed so as to be inclined with respect to the direction perpendicular to the plate surface by being shifted by a predetermined amount in the same direction, and the boundary between the second end portion and the insulating portion is the 8.
- the invention according to claim 9 is held by a holding body of an inspection substrate jig that electrically connects an inspection substrate to be inspected and an inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection substrate. And an inspection probe for electrically connecting the substrate to be inspected and an electrode portion of the jig for the inspection substrate, which are in conductive contact with the inspection position of the substrate to be inspected when being held by a holding body.
- a first end and a second end in conductive contact with the electrode portion of the jig for the substrate to be inspected A linear conductor portion having flexibility and an insulating portion force that insulates the outer periphery of the conductor portion excluding the first end portion and the second end portion, and the second end portion of the inspection probe
- an inspection probe characterized in that the length is shorter than the length of the guide hole.
- the invention according to claim 10 is held by a holding body of an inspection substrate jig for electrically connecting an inspection substrate to be inspected and an inspection apparatus for inspecting the electrical characteristics of the inspection substrate.
- the holder is passed through a first guide hole that guides to an inspection point of the substrate to be inspected and a second guide hole that guides to an electrode portion of the inspection substrate jig, and the substrate to be inspected
- An inspection probe for electrically connecting the electrode portions of the inspection substrate jig, and when being held by a holder, is in conductive contact with the inspection position of the substrate to be inspected and is connected to the first guide hole.
- a flexible linear conductor having a first end that is electrically conductively contacted with the electrode portion of the jig for the substrate to be inspected and a second end that is passed through the second guide hole And an insulating portion force for insulatingly covering the outer periphery of the conductor portion excluding the first end portion and the second end portion,
- the end portion is brought into contact with the substrate to be inspected and the inspection probe is bent, the second end portion and the second end portion are in contact with the electrode portion without lateral displacement.
- a part of the insulating part adjacent to the end part is located in the second guide hole, and a part of the insulating part is inserted into the second guide hole and has a minute interval and is inserted.
- the length of the insulating portion is longer than the length of the second end portion, and the length in the major axis direction of the second end portion is substantially the same as or shorter than the outer diameter of the insulating portion of the inspection probe.
- the invention according to claim 11 is held by a holding body of an inspection substrate jig for electrically connecting an inspection substrate to be inspected and an inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection substrate.
- the holder is passed through a first guide hole that guides to an inspection point of the substrate to be inspected and a second guide hole that guides to an electrode portion of the inspection substrate jig, and the substrate to be inspected
- An inspection probe for electrically connecting the electrode portions of the inspection substrate jig, and when being held by a holder, is in conductive contact with the inspection position of the substrate to be inspected and is connected to the first guide hole.
- a flexible linear conductor having a first end that is electrically conductively contacted with the electrode portion of the jig for the substrate to be inspected and a second end that is passed through the second guide hole And said When the first end is brought into contact with the substrate to be inspected and the inspection probe is bent, the first end and the second end are insulated.
- the second end portion and a part of the insulating portion adjacent to the second end portion are located in the second guide hole, and When the part of the insulating part is inserted into the second guide hole, the insulating part has a small interval, and the length of the inserted insulating part is longer than the length of the second end part, and the inspection probe An outer diameter force of the insulating portion of the inspection probe is characterized by being formed smaller than the minimum diameter of the second guide hole.
- the first end portion of the flexible inspection probe is guided by the first guide hole of the first guide portion of the holding body and contacts the inspection position of the substrate to be inspected.
- the second end portion of the inspection probe is guided by the second guide hole of the second guide portion of the holding body and contacts the electrode portion of the connection electrode body, and the length of the second end portion of the inspection probe is the first length. Since the inspection guide is held between the substrate to be inspected and the connection electrode body and the inspection probe is pinched, the second end is Provided is a substrate inspection jig that makes contact with a surface of an electrode portion so as to be substantially perpendicular to the surface.
- tool provides the stable contact condition.
- the second end portion is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion, it is possible to prevent generation of a scar due to sliding on the surface of the electrode portion, and the contact position between the second end portion and the electrode portion. Prevent misalignment.
- connection electrode body since the electrode portion of the connection electrode body is formed on the same plane as the surface of the connection electrode body, in the manufacturing process! It is possible to use an electrode part that is easily formed, and to form an electrode part that makes contact with the surface of the electrode part so that the second end part is more perpendicular to the surface of the electrode part. It is possible to prevent the inspection probe and the electrode part from contacting each other more stably.
- connection electrode body and the second guide portion are disposed in close contact with each other, the electrode portion contact surface of the second end portion is in contact with the surface of the second guide portion. Enables contact on substantially the same surface, enabling more stable contact between the inspection probe and the electrode part [0021]
- the inspection probe since the maximum diameter of the inspection probe is smaller than the diameter of the second guide hole, the inspection probe can be easily removed from the holding body of the substrate inspection jig. The inspection probe can be easily exchanged.
- the electrode portion is formed of a cylindrical conductive wire !, when the inspection probe comes into contact with the electrode portion, the inspection portion is inserted into the hole portion of the electrode portion. A part of the probe is inserted to enable stable contact between the inspection probe and the electrode part.
- the first end of the flexible inspection probe is guided by the first guide hole of the first guide portion of the holding body and contacts the inspection position of the substrate to be inspected.
- the second end portion of the inspection probe is guided by the second guide hole of the second guide portion of the holding body to contact the electrode portion of the connection electrode body, and the first end portion is brought into contact with the substrate to be inspected.
- the inspection probe is bent, the second end and the insulating portion adjacent to the second end are in contact with the electrode without causing lateral displacement.
- a part of the insulating part is located in the second guide hole, and a part of the insulating part is inserted into the second guide hole with a minute interval.
- the length of the second end is longer than the length of the second end, and the length in the longitudinal direction of the second end is substantially the same as or shorter than the outer diameter of the insulating portion of the inspection probe. Even when the inspection probe is held between the substrate to be inspected and the connection electrode body, and the inspection probe is pinched, the second end is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion. Contact so as to provide a substrate inspection jig.
- tool provides the stable contact condition.
- the second end portion is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion, it is possible to prevent generation of a scar due to sliding on the surface of the electrode portion, and the contact position between the second end portion and the electrode portion. Prevent misalignment.
- the first end portion of the flexible inspection probe is guided by the first guide hole of the first guide portion of the holding body and contacts the inspection position of the substrate to be inspected.
- the second end portion of the inspection probe is guided by the second guide hole of the second guide portion of the holding body to contact the electrode portion of the connection electrode body, and the first end portion is brought into contact with the substrate to be inspected.
- the second end abuts against the electrode part without lateral displacement. Therefore, the second end portion and a portion of the insulating portion adjacent to the second end portion are located in the second guide hole, and a portion of the insulating portion has a minute interval with the second end.
- the length of the insulating part to be inserted is formed longer than the length of the second end, and the minimum diameter of the second guide hole is larger than the outer diameter of the insulating part of the inspection probe. Since the inspection probe is held between the substrate to be inspected and the connection electrode body and the inspection probe is pinched, the second end portion is in contact with the surface of the electrode portion. Providing a substrate inspection jig that makes contact at approximately a right angle.
- tool provides the stable contact condition.
- the second end portion is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion, it is possible to prevent generation of a scar due to sliding on the surface of the electrode portion, and the contact position between the second end portion and the electrode portion. Prevent misalignment.
- tool provides the stable contact condition.
- the second end portion is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion, it is possible to prevent generation of a scar due to sliding on the surface of the electrode portion, and the contact position between the second end portion and the electrode portion. Prevent misalignment.
- the second guide portion is formed by laminating a plurality of plate-like members each having a guide hole for guiding the second end portion, and the second guide hole. Is formed so as to be inclined with respect to the direction perpendicular to the plate surface by arranging the guide holes of the plate-like member shifted by a predetermined amount in the same direction, and the boundary between the second end portion and the insulating portion is Since it is disposed in the guide hole of the plate-shaped member that contacts the connection electrode body, it can be controlled so that the inspection probes are held in substantially the same amount in the same direction when performing inspection.
- the first end portion of the flexible inspection probe is guided by the first guide hole of the first guide portion of the holding body and contacts the inspection position of the substrate to be inspected.
- the second end portion of the inspection probe is guided by the second guide hole of the second guide portion of the holding body and contacts the electrode portion of the connection electrode body, and the length of the second end portion of the inspection probe is the first length. Since the inspection guide is held between the substrate to be inspected and the connection electrode body and the inspection probe is pinched, the second end is Provided is an inspection probe that comes into contact with a surface of an electrode portion so as to be substantially perpendicular.
- the inspection probe provides a stable contact state.
- the second end is almost perpendicular to the surface of the electrode part, scratches are generated by sliding on the electrode part surface. And the displacement of the contact position between the second end portion and the electrode portion is prevented.
- the inspection substrate jig to be inspected is electrically connected to the inspection substrate to be inspected and the inspection device for inspecting the electrical characteristics of the inspection substrate.
- the holding body is passed through a first guide hole that guides to an inspection point of the substrate to be inspected, and a second guide hole that guides to an electrode portion of the jig for the inspection substrate.
- a flexible linear shape including a first end portion passed through and a second end portion passed through the second guide hole while being in conductive contact with the electrode portion of the jig for the substrate to be inspected.
- the length of the second end portion of the inspection probe is shorter than the length of the guide hole, and the second end portion is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion when in use.
- the length of the insulating portion inside the second guide hole is longer than the length of the second end portion, and the length of the second end portion in the major axis direction is outside the insulating portion of the inspection probe.
- an inspection probe characterized by being formed so as to be substantially the same as or shorter than the diameter. For this reason, the inspection probe provides a stable contact state.
- the second end is substantially perpendicular to the surface of the electrode part, it is possible to prevent the occurrence of a scar due to sliding on the surface of the electrode part and the contact position between the second end part and the electrode part. Prevent misalignment.
- the substrate for inspection substrate jig for electrically connecting the substrate to be inspected and the inspection device for inspecting the electrical characteristics of the substrate to be inspected is provided.
- the holding body is passed through a first guide hole that guides to an inspection point of the substrate to be inspected, and a second guide hole that guides to an electrode portion of the jig for the inspection substrate.
- a flexible linear shape including a first end portion passed through and a second end portion passed through the second guide hole while being in conductive contact with the electrode portion of the jig for the substrate to be inspected. And an insulating portion that covers the outer periphery of the conductor portion excluding the first end portion and the second end portion.
- the first end is brought into contact with the substrate to be inspected and the inspection probe is bent, the second end is brought into contact with the electrode portion without lateral displacement.
- a part of the insulating part adjacent to the second end is located in the second guide hole, and a part of the insulating part has a minute interval when inserted into the second guide hole.
- the length of the insulating portion to be inserted is longer than the length of the second end portion, and the outer diameter of the insulating portion of the inspection probe is smaller than the minimum diameter of the second guide hole.
- the inspection probe provides a stable contact state.
- the second end is substantially perpendicular to the surface of the electrode part, it is possible to prevent the occurrence of a scar due to sliding on the surface of the electrode part and the contact position between the second end part and the electrode part. Prevent misalignment.
- FIG. 1 shows a cross-sectional view of a substrate inspection jig according to an embodiment of the present invention
- Fig. 1 (a) shows a state before a load is applied to the inspection probe
- Fig. 1 (b) shows It shows a state in which a load is applied to the inspection probe.
- FIG. 2 (a) shows a cross-sectional view of the substrate inspection jig holder of the embodiment of the present invention
- FIG. 2 (b) shows an enlarged state in which the inspection probe is inserted.
- FIG. 3 shows a side view of the inspection probe of the embodiment of the present invention.
- FIG. 4 (a) shows a cross-sectional view of the connection electrode body of the substrate inspection jig of the embodiment of the present invention
- FIG. 4 (b) shows a perspective view of the electrode portion of another embodiment
- FIG. (c) shows the state where the inspection probe is in contact with the electrode part of (b).
- Each configuration of the substrate inspection jig described in this specification is described for one inspection probe. However, in actuality, the number of inspection inspections corresponding to the inspection points is not limited. Probes are used and several tens of thousands of inspection probes are provided.
- the substrate inspection jig 1 includes an inspection probe 2, a holding body 3, and a connection electrode body 4.
- the inspection probe 2 is in conductive contact with the inspection position 101 of the inspected substrate 100 and is in conductive contact with the electrode portion 41 of the connection electrode body 4.
- the holder 3 guides and holds the inspection probe 2 to a predetermined inspection position 101 and the electrode portion 41.
- the connection electrode body 4 transmits the detected signal to an inspection device (not shown).
- the holding body 3 is disposed between the inspected substrate 100 and the connection electrode body 4 and holds the inspection probe 2.
- the holding body 3 includes a first guide portion 31 having a first guide hole 311, which guides the first end portion 23 of the inspection probe 2 and makes contact with a predetermined inspection position 101 of the substrate 100 to be inspected.
- a second guide portion 32 having a second guide hole 321 for guiding the second end portion 24 of the probe 2 to contact the electrode portion 41 is provided.
- the holding body 3 shown in the embodiment of the present specification is composed of a first guide part 31, a second guide part 32, and a column 33 as shown in FIG.
- the first guide portion 31 and the second guide portion 32 are also formed with separate members, and these members are fixed so as to be integrated with the support column 33.
- the number, shape, and length of the columns 33 are determined as necessary. Incidentally, since the thickness of the holding body 3 (the length in the vertical direction shown in FIG. 2) is determined by the length of the support 33, it is set according to the design requirement of the inspection jig.
- the first guide portion 31 has a first guide hole 311 for guiding the first end portion 23 of the inspection probe 2 as described above to the inspection position 101.
- the diameter 311W of the first guide hole 311 is formed to be smaller than the maximum diameter of the insulating portion 22 of the inspection probe 2 (diameter 22W of the inspection probe 2). Prevents jumping upwards.
- the first guide portion 31 shown in FIG. 2 is formed of three plate-like bodies in order to have three types of functions to be described later, but is not limited to this number. It may be formed from, or may be formed from two or more plate-like bodies.
- the first guide portion 31 shown in FIG. 2 has three plate-like bodies 312, 313, and 314.
- the plate-like body 312 moves to the inspection position 101 and the inspection probe 2 (the first end portion 23 of the inspection probe 2).
- the thickness of the first guide portion 31 is shorter than the length 23L of the first end portion 23.
- the second guide portion 32 has a second guide hole 321 for inserting the second end portion 24 of the inspection probe 2 as described above into the electrode portion 41.
- the diameter 321W of the second guide hole 321 is formed to be larger than the maximum diameter of the inspection probe 2, and the inspection probe 2 is Can be inserted and removed.
- the second guide portion 32 shown in FIG. 2 has three types of functions. Therefore, the force that forms three plate-like body forces is not limited to this number.
- the second guide portion 32 shown in FIG. 2 (a) may be formed from a single plate-like body, or may be formed from two or more plate-like bodies.
- the plate-like body 322 is a plate-like body for forming a screw hole for fixing the support 33
- the plate-like body 323 is the second plate-like body 323.
- a plate-like body for adjusting the thickness of the guide portion 32, and the plate-like body 324 is a plate-like body for guiding the inspection probe 2 (second end portion 24 thereof) to the electrode portion 41.
- FIG. 2 (b) is an enlarged view of the dotted line portion shown in FIG. 2 (a), and shows a state in which the inspection probe 2 is inserted into the holding body 3.
- the boundary 26 between the second end 24 and the insulating portion 22 exists in the second guide hole 321, the influence of the stagnation of the inspection probe 2 Can be minimized.
- the length 24L of the second end 24 (see FIG. 3) is formed shorter than the thickness 32T of the second guide portion 32, so that even when a load is applied to the inspection probe 2, A boundary 26 is present inside the second guide hole 321.
- the insulating part 22 exists inside the second guide part 321, the gap S between the second guide part 321 and the diameter 321W becomes small, and even when the inspection probe 2 is pinched. Since the second end portion 24 comes into contact with the surface of the electrode portion 41 so as to be substantially at right angles, the detection probe 2 is prevented from slipping and the swinging motion is suppressed. For this reason, this board
- tool 1 can provide the contact state to the electrode part more stable than the conventional test
- the diameter 321W of the second guide hole 321 is the maximum diameter of the inspection probe 2 as described above.
- the diameter 321W is formed to be 1 to 50 m, more preferably 10 to 30 m larger than the diameter 22W of the inspection probe 2.
- the two guide holes 321 can be formed with a diameter of 0.12 mm, and have a suitable holding force between the inspection probe 2 and the holding body 3.
- the first guide hole 311 and the second guide hole 321 coincide with each other in a substantially vertical direction, but the first guide part 31 or the second guide part 32 is predetermined in the parallel direction. It may be arranged at a distance. In this case, since the first guide hole 311 and the second guide hole 321 do not coincide with each other in a straight line in the vertical direction, when the inspection probe 2 is inserted, the inspection probe 2 bends and the first guide hole 311 Alternatively, the second guide hole 321 is locked by being brought into frictional contact with the side portion of the second guide hole 321, and the fall can be prevented.
- the inspection probe 2 includes a linear conductor portion 21 and an insulating portion 22 that covers the outer periphery of the conductor portion 21 (see FIG. 3).
- the conductor portion 21 is made of a flexible material, and when a load from the axial direction of the conductor portion 21 is applied, the conductor portion 21 squeezes in a direction substantially perpendicular to the axial direction. Is formed. By this stagnation, a contact force is generated for the inspection probe 2 to come into contact with the inspection position and an electrode portion described later.
- the material of the conductor portion 21 is a flexible material as described above, a force capable of appropriately using a suitable material, for example, beryllium copper (BeCu) or tungsten (W) may be used. it can.
- a suitable material for example, beryllium copper (BeCu) or tungsten (W) may be used. it can.
- the length of the inspection probe 2 in the axial direction (the length of the conductor portion 21) is held by the holding body 3 as shown in FIG.
- a length that satisfies the following conditions is required.
- the length of the conductor portion 21 (the length in the axial direction) of the inspection probe 2 is a force determined according to the size and length of the holding body 3. It is set appropriately according to the size of the jig 1.
- the conductor portion 21 of the inspection probe 2 includes a first end portion 23 that contacts an inspection position 101 of the substrate 100 to be inspected, and a second end portion 24 that contacts an electrode portion 41 of a connection electrode body 4 to be described later. Have.
- the first end portion 23 and the second end portion 24 are formed on the conductor portion 21 exposed from the insulating portion 22 as shown in FIG.
- the first end portion 23 is arranged so as to protrude outward (upward in the drawing) from the first guide hole 311 of the first guide portion 31 as shown in FIG.
- a second end portion 24 to be described later is disposed so as to protrude outward (downward in the drawing) from the second guide hole 321 of the second guide portion 32.
- the inspection probe 2 is arranged so as to penetrate through the first and second guide holes 311 and 321 of the holding body 3.
- the protruding amounts of the first and second end portions 23 and 24 from the holding body 3 are determined as necessary.
- the inspection probe 2 needs to be pinched so that the connection electrode body 4 and the substrate to be inspected 100 can be in close contact with and fixed to the holder 3. is there.
- the boundary 25 between the first end portion 23 and the insulating portion 22 is disposed on the inner side than the first guide portion 31.
- the length 23L of the first end 23 is appropriately set according to the relationship with the holding body 3 as long as the above conditions are satisfied, but is preferably 10 to 50 mm, more preferably about 20 to 40 mm. Preferably it is formed. By having a length in this range, the inspection position 101 and the first end 23 can generate a stable contact state when the inspection probe 2 is pinched.
- the second end 24 is in contact with the electrode part 41 of the connection electrode body 4.
- a boundary 26 with the insulating portion 22 forming the second end portion 24 is disposed in the second guide hole 321 of the second guide portion 32 as shown in FIG.
- the protrusion amount of the second end portion 24 from the second guide portion 32 as described above is determined according to the degree of stagnation of the inspection probe 2 at the time of inspection.
- the inspection probe 2 is pinched, and the connection electrode body 4 and the inspected substrate 100 are fixed in close contact with the holding body 3.
- the second end 24 of the inspection probe 2 can come into contact with the surface of the electrode portion 41 at a substantially right angle. For this reason, when a load is applied to the inspection probe as in the prior art, the inspection probe can be prevented from coming into contact with the electrode portion 41 in an inclined state. This prevents sliding on the surface and generating scratches on the electrode part 41.
- the length 24L of the second end portion 24 is formed to be shorter than the length (thickness) of the second guide hole 321. With this formation, a load is applied to the inspection probe 2. This is because the boundary 26 is arranged inside the second guide hole 321 even in such a case.
- the tips of the first end portion 23 and the second end portion 24 are preferably processed to have a hemispherical round shape or a tapered shape.
- the length of the second end 24 is such that, in use, the insulating portion inside the second guide hole 32 is such that the second end 24 is substantially perpendicular to the surface of the electrode portion 41.
- the length of 22 is formed longer than the length of the second end 24, and the length of the second end 24 in the long axis direction is formed to be substantially the same as or shorter than the outer diameter of the insulating portion of the inspection probe. I like to be heard.
- the second end portion 24 is disposed on the second guide portion 32 and the inspection probe 2 is pinched. This is because it can be erected at a substantially right angle.
- the insulating portion 22 forming the inspection probe 2 is covered with the conductor portion 21 so that the first end portion 23 and the second end portion 24 are exposed as described above.
- the material forming the film is an insulating material and is preferably a material excellent in workability.
- a suitable material is appropriately selected according to the processability.
- PTFE polytetrafluoroethylene
- Teflon registered trademark
- polyurethane resin is used. be able to.
- a polyurethane resin excellent in microfabrication the boundaries 25 and 26 shown in FIG.
- the inspection probe 2 described in this specification and the drawings is formed in a cylindrical shape, and the diameter of the conductor portion 21 and the insulating portion 22 depends on the size of the inspection position 101 of the substrate 100 to be inspected.
- the diameter is such that it can pass through the second guide hole 321 so that the inspection probe 2 can be inserted into and removed from the board inspection jig 1.
- connection electrode body 4 includes an electrode part 41, a base part 42, and a fixing part 43.
- the connection electrode body 4 receives electrical signals such as current and voltage obtained from the inspection probe 2.
- the electrode portion 41 is formed so as to be flush with the surface of the connection electrode body 4 as shown in FIG. By being formed in this way, the second end portion 24 inside the second guide hole 321 can come into stable contact with the electrode portion 41.
- the electrode portion 41 is formed of a conducting wire as shown in FIG. 4, one end of the conducting wire is located on the surface of the connection electrode body 4, and the other end of the conducting wire is connected to the inspection device.
- the base part 42 is a base material that holds the electrode part 41.
- the fixing portion 43 is a fixing material for arranging the electrode portion 41.
- connection electrode body 4 In the method of forming the connection electrode body 4, for example, a hole for forming the electrode part 41 in a desired position in advance in the base part 42 is formed. Next, a conductive wire to be the electrode portion 41 is disposed, and an adhesive that forms the fixing portion 43 is filled in order to fix the conductive wire. After the fixing portion 43 is formed, the conductive wire protruding from the surface of the connection electrode body 4 (the surface in contact with the inspection probe 2) is removed. In this way, the connection electrode body 4 is formed.
- the electrode part 41 can also use a cylindrical conducting wire as shown in FIG. 4 (b).
- a cylindrical conducting wire As shown in FIG. 4 (b).
- the conductors of the cylindrical electrode portion 4 1 when the inspection probe 2 in contact with the electrode portion 41, the internal part of the electrode portion 41 of the tip of the second end 24 of the testing probe 2 The peripheral edge of the inner diameter 41W2 of the electrode part 41 comes into contact with the second end part 24 to provide a stable contact state (see FIG. 4 (c)).
- the inner diameter 41W2 of the electrode part 41 is formed to be smaller than at least the diameter 21W of the second end part 24 (conductor part 21).
- the outer diameter 41 W1 of the electrode portion 41 is preferably substantially the same length as the diameter 21 W of the conductor portion 21 of the inspection probe 2.
- connection electrode body 4 Since the connection electrode body 4 is disposed in close contact with the second guide portion 32 of the holding body 3 in use, the holding body 3 and the connection electrode body 4 are in contact with each other without a gap. The contact state between the second end portion 24 and the electrode portion 41 can be further stabilized.
- FIG. 1 A specific example of the inspection substrate jig 1 and the inspection probe 2 according to the embodiment of the present invention will be described below.
- the present invention is not limited to the dimensions and shapes shown in this specific example. An outline of one specific example is shown in FIG.
- the conductor part 21 of the inspection probe 2 is formed by processing tungsten into a columnar shape or cylindrical shape (linear shape) having a length of about 30 mm and a diameter of 0.07 mm. At this time, it is processed so that both ends of the conductor portion 21 are rounded.
- the insulating part 22 is formed of polyurethane resin so as to cover the outer periphery of the conductor part 21. At this time, the first end 23 is formed to 3 mm, and the second end 24 is formed to 0.05 mm. Insulation 22 diameter 22W is formed to 0.09mm.
- the insulating portion 22 is formed of a polyurethane resin that can be easily formed, the boundaries 25 and 26 can be finely processed at a substantially right angle to the conductor portion 21.
- the first guide hole 311 and the second guide hole 321 are formed as described above.
- the first guide portion 31 is formed of two plate-like bodies 312 and 313.
- the first guide hole 311 is formed by a side portion of a plate-like body having two steps. This is because when the first guide hole 311 is formed, the first guide hole 311 having a desired length is obtained by forming the upper end portion and the lower end portion of the first proposed inner hole 311 so as to have a desired diameter. Because it can.
- the second guide portion 32 is formed of three plate-like bodies 322, 323, and 324 having steps.
- these three plate-like bodies are used to form the second guide hole 321. Further, in this embodiment, these three plate-like bodies 322, 323, 324 are arranged at a predetermined interval. As a result, the second guide hole 321 is formed as a slanted hole, and when the inspection probe 2 is inserted into the inspection board jig 1, it is arranged with a certain degree of sag. Will be. For this reason, all the inspection probes 2 inserted into the substrate inspection jig 1 are held in substantially the same amount in substantially the same direction.
- the first guide hole 311 is formed with a diameter of about 0.08 mm, which is larger than the diameter 21W of the conductor portion 21 of the inspection probe 2 and smaller than the diameter 22W of the insulating portion 22.
- 321 is formed to have a diameter of about 0.12 mm when the inspection probe 2 as described above is prepared.
- the electrode portion 41 of the connection electrode body 4 is formed of a conductive wire having a diameter of approximately 0.09 mm and approximately the same diameter as the inspection probe 2. .
- the diameter of the surface side of the connection electrode body 4 of the fixing portion 43 is formed to be about 0.10 mm.
- the substrate inspection jig 1 created under these conditions is such that the second end 24 is substantially perpendicular to the electrode portion 41 even when a load is applied to the inspection probe 2 from the axial direction for each inspection. Therefore, it is possible to maintain a good contact state.
- the substrate inspection jig and the inspection probe of the embodiment of the present invention can provide a stable contact state by preventing the contact position of the inspection probe from being moved by a plurality of load loads. It is effective in board inspection.
- FIG. 1 A cross-sectional view of a substrate inspection jig of an embodiment of the present invention, (a) showing a state before a load is applied to the inspection probe, and (b) an inspection probe. Shows a state where a load is applied.
- FIG. 2 (a) is a cross-sectional view of the substrate inspection jig holder of the embodiment of the present invention, and (b) is an enlarged view of the state in which the inspection probe is inserted into the holder. Show me!
- FIG. 3 shows a side view of an inspection probe according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 4 (a) is a cross-sectional view of a connection electrode body of a substrate inspection jig of an embodiment of the present invention, (b) is a perspective view of an electrode portion of another embodiment, (c) Shows the state where the inspection probe is in contact with the electrode part of (b).
- FIG. 5 shows an embodiment of a substrate inspection jig according to a specific example of the present invention.
- FIG. 6 A conventional board inspection jig and inspection probe are shown.
- Electrode part 100 Substrate to be inspected 101 ... Inspection position
Landscapes
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Abstract
【課題】 検査対象である被検査基板の電気的特性を検査するために使用される基板検査用治具及び検査用プローブの提供。 【解決手段】 第一端部23が検査対象である被検査基板100の所定検査位置101と導電接触する検査用プローブ2と、検査用プローブ2の第二端部24と導電接触する電極部41を有する接続電極体4と、検査用プローブ2を保持する保持体3とからなる基板検査用治具1であって、保持体3は検査位置101へ第一端部23を案内する第一案内孔311を有する第一案内部31と電極部41へ第二端部24を案内する第二案内孔321が形成される第二案内部32を有し、検査用プローブ2は第一端部23と第二端部24を有し且つ可撓性を有する線状の導体部21と、第一端部23と第二端部24を除く導体部21の外周に絶縁被覆された絶縁部22からなり、第二端部24の長さが、第二案内孔321の長さよりも短く形成されている。
Description
明 細 書
基板検査用治具及び検査用プローブ
技術分野
[0001] 本発明は、検査対象である被検査基板の電気的特性を検査するために使用される 基板検査用治具及び検査用プローブに関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基 板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用 のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に 適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
背景技術
[0002] 基板には、複数の配線カゝらなる配線パターンが形成されており、配線パターンが設 計通りに仕上がって 、る力否かを検査するために、従来から種々の基板検査装置が 提案され、実用化されている。
このような基板検査装置として、例えば、配線パターンを構成する複数の配線から 任意の 2組の配線上の検査位置を選択し、これらの検査位置同士が電気的に断線し て 、るか又は導電して 、るか等の電気的特性を検査する装置が存在して 、る。
[0003] このような装置の中には、複数の検査用プローブを保持する基板検査用治具を利 用して、検査用プローブの一端を被検査基板の検査点に接触させ、他端を電極部に 接触させて、検査装置と検査対象基板を電気的に接続する構造を有したものが知ら れている。
このような検査用プローブを保持する基板検査用治具は、検査用プローブと被検 查基板又は基板検査用治具の電極部との接触問題を解消するために、検査用プロ 一ブを軸方向外側に付勢するために、検査用プローブの軸方向に伸縮するパネを 取り付けたり、又は、検査用プローブそれ自体に弾性を持たせたり、検査用プローブ 力 の軸方向に橈むように構成されて 、た。
このような構成とすることによって、検査用プローブが接触部に接触する際に接触 圧が発生することになり、この接続不良の問題を解消していた。
[0004] 例えば、図 6に示される如き基板検査用治具 Jは、可撓性の検査用プローブ Pを被 検査基板 100と電極部 Eとの間で橈むように保持することによって、検査用プローブ Pの軸方向外側に向かって付勢が働き、被検査基板 100の検査位置 101と電極部 E に対して接触圧が発生する。この接触圧を利用して、検査用プローブ Pの被検査基 板 100又は電極部 Eとの接触問題の解決を図っている(例えば、特許文献 1又は 2参 照)。
[0005] し力しながら、特許文献 1又は 2に開示される如き基板検査用治具 Jでは、検査用プ ローブ Pが接触圧を発生して電極部に接触する場合に、検査用プローブ 2が電極部 E表面に対して斜めに傾斜することになり、荷重が負荷される毎に、電極部表面で検 查用プローブの先端が滑り、配線上に搔痕が発生したり、電極部 Eと検査用プローブ Pの接触位置が移動したりするため、安定した接触ではな力つた。
特許文献 1:特許第 3690796号公報
特許文献 2:特許第 3690801号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、検査用プローブを被検査基板 と基板検査用治具の電極部を導電可能に接続するために使用する場合に於いて、 検査用プローブに荷重が負荷されて導電接触状態となる場合に、安定した接触状況 を提供することのできる検査用プローブ及び基板検査用治具を提供する。
課題を解決するための手段
[0007] 請求項 1記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置 と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する 電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置さ れるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であ つて、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する 第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二 端部を案内する第二案内孔が形成される第二案内部を有し、前記検査用プローブ は、前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と
、前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部 からなり、前記第二端部の長さが、前記第二案内孔の長さよりも短く形成されているこ とを特徴とする基板検査用治具を提供する。
[0008] 請求項 2記載の発明は、前記電極部が、前記接続電極体の表面と同一面になるよ うに形成されて!ヽることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。
[0009] 請求項 3記載の発明は、前記接続電極体と前記第二案内部は、密接して配置され ていることを特徴とする請求項 1又は 2に記載の基板検査用治具を提供する。
[0010] 請求項 4記載の発明は、前記検査用プローブの最大直径は、前記第二案内部の 直径よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 3いずれかに記載の基 板検査用治具を提供する。
[0011] 請求項 5記載の発明は、前記電極部が、円筒形の導線から形成されていることを特 徴とする請求項 1乃至 4いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
[0012] 請求項 6記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置 と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する 電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置さ れるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であ つて、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する 第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二 端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有し て配置される第二案内部を有し、前記検査用プローブは、前記第一端部と前記第二 端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端 部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、前記第一端部が被検 查基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部 に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前 記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して 該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部 の長さより長く形成され、前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブ の絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されることを特徴とする基板検査
用治具を提供する。
[0013] 請求項 7記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置 と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する 電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置さ れるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であ つて、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する 第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二 端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有し て配置される第二案内部を有し、前記検査用プローブは、前記第一端部と前記第二 端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端 部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、前記第一端部が被検 查基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部 に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前 記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して 該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部 の長さより長く形成され、前記第二案内孔の最小径が、前記検査用プローブの絶縁 部の外径よりも大きく形成されていることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
[0014] 請求項 8記載の発明は、前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内する案 内孔が形成される複数の板状部材が積層され、前記第二案内孔は、前記板状部材 の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配置されることにより板面の直角方向に 対して傾斜して形成され、前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続電極体と 接する前記板状部材の案内孔内に配置されていることを特徴とする請求項 6又は 7 に記載の基板検査用治具を提供する。
[0015] 請求項 9記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性 を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されると ともに、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プ ローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触 する第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触する第二端部を備え
る、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の 外周に絶縁被覆する絶縁部力 なり、前記検査用プローブの第二端部の長さは、前 記案内孔の長さよりも短く形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供す る。
[0016] 請求項 10記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特 性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持される とともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検 查基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と該検査 基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持 される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に揷 通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記 第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記 第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部力 なり、前記 第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端 部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端 部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第 二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の 長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記第二端部の長軸方向の長さが、 前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されている ことを特徴とする検査用プローブを提供する。
[0017] 請求項 11記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特 性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持される とともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検 查基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と該検査 基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持 される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に揷 通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記 第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記
第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部力 なり、前記 第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端 部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端 部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第 二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の 長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記検査用プローブの絶縁部の外径 力 前記第二案内孔の最小径よりも小さく形成されていることを特徴とする検査用プ ローブを提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を解決する。
発明の効果
[0018] 請求項 1記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の 第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに
、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接 続電極体の電極部に接触し、検査用プローブの第二端部の長さが第二案内孔の長 さよりも短く形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に 保持されて、検査用プローブが橈んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に 対して略直角になるように接触する基板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が 電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発 生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
[0019] 請求項 2記載の発明によれば、接続電極体の電極部が接続電極体表面と同一面 に形成されて ヽるので、製造工程に於!ヽて容易に形成される電極部を利用すること ができるとともに、第二端部が電極部の表面とより直角になるように接触する電極部を 形成することになるので第二端部の滑りを防止することができ検査用プローブと電極 部をより安定して接触させることを可能にする。
[0020] 請求項 3記載の発明によれば、接続電極体と第二案内部が密接して配置されること になるので、第二端部の電極部接触面が第二案内部の表面と略同一面で接触する ことを可能にし、検査用プローブと電極部をより安定して接触させることを可能にする
[0021] 請求項 4記載の発明によれば、検査用プローブの最大直径が第二案内孔の直径よ りも小さく形成されているので、検査用プローブを基板検査用治具の保持体から容易 に抜き差しすることができ、検査用プローブを容易に交換することを可能にする。
[0022] 請求項 5記載の発明によれば、電極部が円筒形状の導線から形成されて!、るので 、検査用プローブが電極部に接触した場合に、この電極部の孔部に検査用プローブ の一部が嵌入され、検査用プローブと電極部を安定して接触させることを可能にする
[0023] 請求項 6記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の 第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに
、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接 続電極体の電極部に接触し、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プロ ーブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接する ために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内 に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるととも に、挿入される前記絶縁部の長さが第二端部の長さより長く形成され、第二端部の長 軸方向の長さが、検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形 成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、 検査用プローブが橈んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直 角になるように接触する基板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が 電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発 生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
[0024] 請求項 7記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の 第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに
、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接 続電極体の電極部に接触し、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プロ ーブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接する
ために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内 に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるととも に、挿入される前記絶縁部の長さが第二端部の長さより長く形成され、第二案内孔の 最小径が検査用プローブの絶縁部の外径よりも大きく形成されているので、検査用 プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、検査用プローブが橈んだ 場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるように接触する基 板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が 電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発 生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。 このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が 電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発 生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
[0025] 請求項 8記載の発明によれば、前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内 する案内孔が形成される複数の板状部材が積層され、前記第二案内孔は、前記板 状部材の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配置されることにより板面の直角 方向に対して傾斜して形成され、前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続 電極体と接する前記板状部材の案内孔内に配置されているので、検査を行う場合に 検査用プローブが略同じ方向に略同じ量だけ橈むように制御することができる。
[0026] 請求項 9記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の 第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに
、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接 続電極体の電極部に接触し、検査用プローブの第二端部の長さが第二案内孔の長 さよりも短く形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に 保持されて、検査用プローブが橈んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に 対して略直角〖こなるように接触する検査用プローブを提供する。
このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電 極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発生
させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
[0027] 請求項 10記載の発明によれば、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電 気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保 持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔 と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と 該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体 に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内 孔に揷通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するととも に前記第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と 、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり 、前記検査用プローブの第二端部の長さは、前記案内孔の長さよりも短く形成され、 且つ、使用時において、前記第二端部が前記電極部の表面に対して略直角になる ように、前記第二案内孔内部にある前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さよりも 長く形成され、第二端部の長軸方向の長さが検査用プローブの絶縁部の外径と略同 じ又はより短くなるように形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電 極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発生 させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
[0028] 請求項 11記載の発明によれば、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電 気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保 持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔 と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と 該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体 に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内 孔に揷通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するととも に前記第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と 、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり
、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記 第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該 第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一 部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記 絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記検査用プローブの絶縁 部の外径が、前記第二案内孔の最小径よりも小さく形成されていることを特徴とする 検査用プローブを提供する。
このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電 極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる搔痕を発生 させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。 発明を実施するための最良の形態
[0029] 本発明の実施例の基板検査用治具 1の構成を図面を参照しつつ説明する。
図 1は、本発明の実施例の基板検査用治具の断面図を示し、図 1 (a)は検査用プロ ーブに荷重が負荷される前の状態を示し、図 1 (b)は検査用プローブに荷重が負荷 された状態を示している。図 2 (a)は、本発明の実施例の基板検査用治具の保持体 の断面図を示しており、図 2 (b)は検査用プローブが挿入された状態を拡大して示し ている。図 3は、本発明の実施例の検査用プローブの側面図を示す。図 4 (a)は、本 発明の実施例の基板検査用治具の接続電極体の断面図を示し、図 4 (b)は他の実 施例の電極部の斜視図を示し、図 4 (c)は (b)の電極部に検査用プローブが接触す る状況を示す。
尚、本明細書中で説明される基板検査用治具の各構成は、一本の検査用プロ一 ブを対象として説明を行っているが、実際には、検査点に応じた本数の検査用プロ ーブが利用され、数本力も数万本程度の検査用プローブが設けられている。
[0030] 基板検査用治具 1は、検査用プローブ 2と保持体 3と接続電極体 4を有してなる。
検査用プローブ 2は、被検査基板 100の検査位置 101に導電接触するとともに、接 続電極体 4の電極部 41に導電接触する。保持体 3は、検査用プローブ 2を所定の検 查位置 101及び電極部 41に案内して保持する。接続電極体 4は、検査装置(図示せ ず)へ検出された信号を伝達する。
[0031] 保持体 3は、被検査基板 100と接続電極体 4との間に配置され、検査用プローブ 2 を保持する。この保持体 3は、検査用プローブ 2の第一端部 23を案内して、被検査基 板 100の所定検査位置 101へ接触させる第一案内孔 311を有する第一案内部 31と 、検査用プローブ 2の第二端部 24を案内して、電極部 41へ接触させる第二案内孔 3 21を有する第二案内部 32を有している。
本明細書の実施例中で示される保持体 3は、図 2に示す如ぐ第一案内部 31と第 二案内部 32と支柱 33から構成されている。この第一案内部 31と第二案内部 32は夫 々別の部材カも形成され、これら部材が支柱 33で一体となるように固定されている。 この支柱 33が設けられる数、形状や長さは、必要に応じて決定される。尚、この支柱 33の長さにより保持体 3の厚み(図 2で示す縦方向の長さ)が決定されることになるの で、検査治具の設計上の要請に応じて設定される。
[0032] 第一案内部 31は、上記の如ぐ検査用プローブ 2の第一端部 23を検査位置 101 へ案内するための第一案内孔 311を有している。この第一案内孔 311の直径 311W は、検査用プローブ 2の絶縁部 22が有する最大直径 (検査用プローブ 2の直径 22W )よりも小さく形成されており、検査用プローブ 2が図面に向力つて上方向に飛び出す ことを防止する。
図 2で示される第一案内部 31は、後述する 3種類の機能を有するために 3枚の板 状体から形成されているが、この枚数に限定されるものではなぐ一枚の板状体から 形成されて ヽても良 、し、 2枚以上の板状体から形成されて ヽても良 、。
この図 2で示される第一案内部 31は、 3枚の板状体 312, 313, 314を有しており、 板状体 312は検査位置 101へ検査用プローブ 2 (の第一端部 23)を案内するための 板状体であり、板状体 313は第一案内部 31の厚みを調整するための板状体であり、 板状体 314は支柱 33を固定するためのネジ穴が形成されている。
尚、この第一案内部 31の厚みは、第一端部 23の長さ 23Lよりも短く形成されている
[0033] 第二案内部 32は、上記の如ぐ検査用プローブ 2の第二端部 24を電極部 41へ案 内するための第二案内孔 321を有している。この第二案内孔 321の直径 321Wは、 検査用プローブ 2が有する最大直径よりも大きく形成されており、検査用プローブ 2を
抜き差しすることができる。
図 2で示される第二案内部 32は、第一案内部 31と同様、 3種類の機能を有するた めに 3枚の板状体力も形成されている力 この枚数に限定されるものではなぐ一枚 の板状体から形成されて 、ても良 、し、 2枚以上の板状体から形成されて 、ても良 ヽ この図 2 (a)で示される第二案内部 32は、 3枚の板状体 322, 323, 324を有してお り、板状体 322は支柱 33を固定するためのネジ穴が形成されるための板状体であり 、板状体 323は第二案内部 32の厚みを調整するための板状体であり、板状体 324 は電極部 41へ検査用プローブ 2 (の第二端部 24)を案内するための板状体である。
[0034] 図 2 (b)は、図 2 (a)で示される点線箇所の拡大図であり、検査用プローブ 2が保持 体 3に挿入された状態を示して 、る。
本発明の実施例の基板検査用治具 1では、この第二案内孔 321内に第二端部 24 と絶縁部 22の境界 26が存在しているので、検査用プローブ 2の橈みの影響を最小 限に抑制することができる。
また、この第二端部 24の長さ 24L (図 3参照)は、第二案内部 32の厚み 32Tよりも 短く形成されているので、検査用プローブ 2に荷重が負荷された場合にもこの境界 2 6が第二案内孔 321内部に存在する。
このように絶縁部 22が第二案内部 321内部に存在することになるため、第二案内 部 321の直径 321Wとの隙間 Sが小さくなり、検査用プローブ 2が橈んだ場合であつ ても、第二端部 24が電極部 41の表面に対して略直角になるように接触するため、検 查用プローブ 2の滑りを防止したり、揺れ動きを抑制したりすることになる。このため、 本基板検査用治具 1は、従来の検査治具よりも安定的な電極部への接触状態を提 供することができる。
[0035] 第二案内孔 321の直径 321Wは、上記の如き検査用プローブ 2が有する最大直径
(図 3で示される 22W)よりも大きく形成されることになる。この直径 321Wは、検査用 プローブ 2の直径 22Wよりも、 1〜50 m、より好ましくは、 10〜30 m大きくなるよう に形成されている。
例えば、検査用プローブ 2の最大直径が 0. 09mmに形成されている場合には、第
二案内孔 321を直径 0. 12mmに形成することができ、検査用プローブ 2と保持体 3と の間で、好適な保持力を有する。
[0036] 図 2で示される保持体 3は、第一案内孔 311と第二案内孔 321が略垂直方向に一 致するが、第一案内部 31又は第二案内部 32を平行方向に所定間隔ずらせて配置 しても構わない。この場合、第一案内孔 311と第二案内孔 321が垂直方向の一直線 上に一致していないので、検査用プローブ 2を挿入した際に、検査用プローブ 2が撓 み、第一案内孔 311又は第二案内孔 321の側部に摩擦接触して係止されることにな り、落下を防止することができる。
[0037] 検査用プローブ 2は、線状の導体部 21と導体部 21の外周に被覆される絶縁部 22 からなる(図 3参照)。
この導体部 21は、可撓性を有する素材で形成されており、導体部 21の軸方向から の荷重が負荷された場合には、軸方向に対して略直角方向に導体部 21が橈むよう に形成されている。この橈みにより、検査用プローブ 2が検査位置と後述する電極部 に接触するための接触力を生み出すことになる。
この導体部 21の素材は、上記の如き可撓性を有する素材であれば、適宜好適な素 材を利用することができる力 例えば、ベリリウム銅 (BeCu)やタングステン (W)を利用 することができる。
尚、検査用プローブ 2の軸方向長さ(導体部 21の長さ)は、図 1で示す如ぐ保持体 3により保持されるため、少なくとも保持体 3の厚みよりも長く形成される必要があると ともに、下記の条件を満たすための長さが必要である。
この検査用プローブ 2の導体部 21の長さ(軸方向長さ)は、保持体 3の大きさや長さ に応じて決定される力 10〜: LOOmm程度に形成されていればよぐ検査基板用治 具 1の大きさに応じて適宜設定される。
[0038] 検査用プローブ 2の導体部 21は、被検査基板 100の検査位置 101に接触する第 一端部 23と、後述する接続電極体 4の電極部 41と接触する第二端部 24とを有して いる。
第一端部 23と第二端部 24は、図 3で示す如ぐ絶縁部 22から露出した導体部 21 に形成される。
この第一端部 23は、図 1で示される如ぐ第一案内部 31の第一案内孔 311から外 側(図面の上方向)に突出するように配置されている。また、後述する第二端部 24は 第二案内部 32の第二案内孔 321から外側(図面の下方向)に突出するように配置さ れている。検査用プローブ 2は、保持体 3の第一及び第二案内孔 311、 321を貫通し て配置されて ヽること〖こなる。
また、第一及び第二端部 23、 24の保持体 3 (第一案内部 31及び第二案内部 32) からの夫々の突出量は、必要に応じて決定されるが、接続電極体 4と被検査基板 10 0が接触して配置された際に、検査用プローブ 2が橈み、接続電極体 4と被検査基板 100が夫々保持体 3に密着して固定することができることが必要である。
[0039] この第一端部 23と絶縁部 22の境界 25は、第一案内部 31よりも内側に配置される。
この第一端部 23の長さ 23Lは、上記の如き条件を満たすのであれば、保持体 3との 関係に応じて適宜設定されるが、 10〜50mm、更に好ましくは、 20〜40mm程度に 形成されることが好ましい。この範囲の長さを有することによって、検査用プローブ 2 が橈んだ際に、検査位置 101と第一端部 23が安定した接触状態を生み出すことが できる力 である。
[0040] 第二端部 24は、接続電極体 4の電極部 41と接触する。第二端部 24を形成する絶 縁部 22との境界 26は、図 1に示す如ぐ第二案内部 32の第二案内孔 321内に配置 される。この第二端部 24も、上記の如ぐ第二案内部 32からの突出量は、検査時に 於ける検査用プローブ 2の橈みの程度に応じて決定されるが、接続電極体 4と被検 查基板 100が接触した際に、検査用プローブ 2が橈み、接続電極体 4と被検査基板 100が夫々保持体 3に密着して固定される。
この境界 26が、第二案内孔 321内部に配置されることによって、電極部 41の表面 に対して検査用プローブ 2の第二端部 24が略直角に接触することができる。このため 、従来のように検査用プローブに荷重が負荷された場合に検査用プローブが電極部 41に対して、傾斜した状態で接触することを防止することができ、検査用プローブが 電極部 41上を滑つたり、電極部 41に搔痕を生じさせることを防止する。
また、この第二端部 24の長さ 24Lは、第二案内孔 321の長さ (厚み)よりも短く形成 されている。このように形成されることによって、検査用プローブ 2に荷重が負荷され
た場合であっても、境界 26が第二案内孔 321内部に配されていることになるからであ る。
尚、これら第一端部 23及び第二端部 24の先端は、半球状の如き丸みを帯びるよう 又は、先細りしたテーパ形状を有するよう加工されて 、ることが好ま 、。
[0041] この第二端部 24の長さは、使用時において、この第二端部 24が電極部 41の表面 に対して略直角になるように、第二案内孔 32内部にある絶縁部 22の長さが第二端 部 24の長さよりも長く形成され、第二端部 24の長軸方向の長さが検査用プローブの 絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されて ヽることが好ま 、。
このように第二端部 24が形成されることにより、第二端部 24が第二案内部 32に配 置されて検査用プローブ 2が橈んだ場合であって、電極部 41の表面に対して略直角 に立設させることが可能となるからである。
[0042] 検査用プローブ 2を形成する絶縁部 22は、上記の如ぐ第一端部 23及び第二端 部 24が露出するよう導体部 21に被覆されることになるので、この絶縁部 22を形成す る素材は、絶縁素材であり、加工性に優れた素材であることが好ましい。
上記の如き素材であれば、加工性に応じて適宜好適な素材が選択されるが、例え ば、ポリテトラフルォロエチレン (PTFE) (所謂テフロン (登録商標))やポリウレタン榭 脂を利用することができる。特に、微細加工に優れるポリウレタン榭脂を利用すること により、図 3で示される境界 25, 26を導体部 21に対して略直角に形成することが可 能となる。
尚、本明細書及び図面で説明される検査用プローブ 2は円柱形状に形成されてお り、導体部 21及び絶縁部 22の直径は、被検査基板 100の検査位置 101の大きさ〖こ 応じて好適に決定される力 検査用プローブ 2を基板検査用治具 1から抜き差しする ことができるように、第二案内孔 321を通過できる直径である。
[0043] 接続電極体 4は、電極部 41と基部 42と固着部 43とカゝらなる。この接続電極体 4は、 検査用プローブ 2から得られる電流や電圧等の電気信号を受信する。
この電極部 41は、図 4で示される如ぐ接続電極体 4の表面に対して、同一面となる ように形成されている。このように形成されることによって、第二案内孔 321内部にあ る第二端部 24が電極部 41で安定して接触することができるようになる。
この電極部 41は、図 4で示される如ぐ導線で形成されており、この導線の一端が 接続電極体 4の表面上に位置し、導線の他端が検査装置に接続されている。基部 4 2は、電極部 41を保持する基材である。固着部 43は、電極部 41を配置するため固 定材である。
尚、この接続電極体 4が形成される方法は、例えば、基部 42に予め所望の位置に 電極部 41を形成するための孔部が形成される。次に、電極部 41となる導線が配置さ れ、この導線を固定するために固着部 43を形成する接着剤が充填される。固着部 4 3が形成された後、接続電極体 4の表面 (検査用プローブ 2と接触する面)から突出し ている導線を取り除く。このようにして、接続電極体 4が形成されることになる。
[0044] 電極部 41は、図 4 (b)で示す如ぐ円筒形の導線を利用することもできる。電極部4 1に円筒形の導線を利用することによって、検査用プローブ 2がこの電極部 41に接触 する場合に、検査用プローブ 2の第二端部 24の先端の一部が電極部 41内部に配置 されるようになり、電極部 41の内径 41W2の周縁が第二端部 24に当接し、安定した 接触状況を提供する(図 4 (c)参照)。
このような接触状況を有するために、電極部 41の内径 41W2は、少なくとも第二端 部 24 (導体部 21)の直径 21Wよりも小さく形成されている。尚、電極部 41の外径 41 W1は、検査用プローブ 2の導体部 21の直径 21Wと略同じ長さが好ましい。
[0045] この接続電極体 4は、使用時に於いて保持体 3の第二案内部 32と密接して配置さ れること〖こなるので、保持体 3と接続電極体 4は隙間無く当接している状態となり、第 二端部 24と電極部 41の接触状況を更に安定的なものとすることができる。
[0046] 以下に、本発明の実施例の検査基板用治具 1と検査用プローブ 2の一具体例を説 明する。但し、本発明はこの具体例で示される寸法や形状に限定されるものではな い。尚、この一具体例の概略を図 5に示す。
検査用プローブ 2の導体部 21を長さ約 30mm、直径 0. 07mmの円柱形又は円筒 形 (の線状)に、タングステンを加工して形成する。このとき、導体部 21の両先端が丸 みを帯びるように加工しておく。
この導体部 21の外周を被覆するように絶縁部 22をポリウレタン榭脂で形成する。こ のとき、第一端部 23を 3mmに形成し、第二端部 24を 0. 05mmに形成する。絶縁部
22の直径 22Wは 0. 09mmに形成する。
尚、絶縁部 22が加工形成の容易なポリウレタン榭脂で形成されることになるので、 境界 25, 26を導体部 21に対して略直角に微細加工することができる。
[0047] 保持体 3を形成する第一案内部 31と第二案内部 32には、上記の如ぐ夫々に第一 案内孔 311と第二案内孔 321が形成される。この実施例では、第一案内部 31が 2枚 の板状体 312、 313から形成されている。第一案内孔 311は、 2枚の段差のある板状 体の側部により形成されている。これは第一案内孔 311を形成する場合に、第一案 内孔 311の上端部と下端部を所望する径を有するように形成することにより、所望長 さを有する第一案内孔 311を得ることができるためである。
[0048] 第二案内部 32は、 3枚の段差のある板状体 322、 323、 324から形成されている。
第一案内孔 311を形成する場合と同様、第二案内孔 321を形成するためにこれら 3 枚の板状体が利用されている。また、この実施例では、これら 3枚の板状体 322、 32 3、 324が所定の間隔でずれて配置されている。このことにより第二案内孔 321が斜 め方向の孔部と形成されることになり、検査用プローブ 2が検査基板用治具 1に挿入 された場合に、一定の橈みを有して配置されることになる。このため、この基板検査用 治具 1に挿入される全ての検査用プローブ 2は、略同じ方向に略同じ量だけ橈むこと になる。
尚、この場合、第一案内孔 311は、検査用プローブ 2の導体部 21の直径 21Wより も大きく且つ絶縁部 22の直径 22Wよりも小さい約 0. 08mmに形成されており、第二 案内孔 321は、上記の如き検査用プローブ 2を作成した場合には、約 0. 12mmの直 径に形成される。
[0049] 接続電極体 4の電極部 41は、上記の如き検査用プローブ 2や保持体 3を形成する 場合には、検査用プローブ 2と略同直径の約 0. 09mmの導線で形成される。尚、固 着部 43の接続電極体 4の表面側の直径は約 0. 10mmに形成される。
[0050] このような条件で作成した基板検査用治具 1は、検査毎に検査用プローブ 2を軸方 向から荷重を負荷しても、第二端部 24が電極部 41に略直角を成すように接触するこ とになるので、良好な接触状態を維持することが可能となる。
産業上の利用可能性
[0051] 本発明の実施例の基板検査用治具及び検査用プローブは、複数回の荷重負荷に よる検査用プローブの接触位置の移動を防止することによって、安定した接触状態を 提供することができ、基板検査に於 ヽて有効な効果を奏する。
図面の簡単な説明
[0052] [図 1]本発明の実施例の基板検査用治具の断面図を示し、(a)は検査用プローブに 荷重が負荷される前の状態を示し、 (b)は検査用プローブに荷重が負荷された状態 を示す。
[図 2] (a)は、本発明の実施例の基板検査用治具の保持体の断面図を示しており、 ( b)は検査用プローブが保持体に挿入された状態を拡大して示して!/、る。
[図 3]本発明の実施例の検査用プローブの側面図を示す。
[図 4] (a)は、本発明の実施例の基板検査用治具の接続電極体の断面図を示し、 (b )は他の実施例の電極部の斜視図を示し、(c)は (b)の電極部に検査用プローブが 接触する状況を示す。
[図 5]本発明の具体例の基板検査用治具の一実施例を示す。
[図 6]従来の基板検査用治具及び検査用プローブを示す。
符号の説明
[0053] 1 基板検査用治具
2 検査用プローブ
21····導体部
22····絶縁部
23····第一端部
24····第二端部
25 · · · .¾界
26 · · ·,¾界
3 保持体
31····第一案内部
311···第一案内孔
32····第二案内部
321···第二案内孔
4 接続電極体
41·…電極部 100···被検査基板 101···検査位置
Claims
請求の範囲
[1] 第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プ ローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極 体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プ ローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成 される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成さ れる第二案内部を有し、
前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、 前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁 部からなり、
前記第二端部の長さが、前記第二案内孔の長さよりも短く形成されていることを特 徴とする基板検査用治具。
[2] 前記電極部が、前記接続電極体の表面と同一面になるように形成されていることを 特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。
[3] 前記接続電極体と前記第二案内部は、密接して配置されて!ヽることを特徴とする請 求項 1又は 2に記載の基板検査用治具。
[4] 前記検査用プローブの最大直径は、前記第二案内部の直径よりも小さく形成され ていることを特徴とする請求項 1乃至 3いずれかに記載の基板検査用治具。
[5] 前記電極部が、円筒形の導線力 形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 4
V、ずれかに記載の基板検査用治具。
[6] 第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プ ローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極 体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プ ローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成 される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成さ れるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、 前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、 前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁 部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記 第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該 第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一 部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁 部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同 じ又はより短くなるように形成されることを特徴とする基板検査用治具。
第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プ ローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極 体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プ ローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成 される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成さ れるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、 前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、 前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁
部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記 第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該 第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一 部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁 部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二案内孔の最小径が、前記検査用プローブの絶縁部の外径よりも大きく形 成されて!/ヽることを特徴とする基板検査用治具。
[8] 前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内する案内孔が形成される複数の 板状部材が積層され、
前記第二案内孔は、前記板状部材の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配 置されることにより板面の直角方向に対して傾斜して形成され、
前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続電極体と接する前記板状部材の 案内孔内に配置されていることを特徴とする請求項 6又は 7に記載の基板検査用治 具。
[9] 検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を 電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該被検査基板と 該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、 保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触する第一端部と、 前記被検査基板用治具の電極部と導電接触する第二端部を備える、可撓性を有す る線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり 前記検査用プローブの第二端部の長さは、前記案内孔の長さよりも短く形成されて いることを特徴とする検査用プローブ。
[10] 検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を 電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有す る該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ
案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電 気的に接続する検査用プローブであって、
保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記 第一案内孔に揷通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触 するとともに前記第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状 の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり 前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記 第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該 第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一 部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記 絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同 じ又はより短くなるように形成されていることを特徴とする検査用プローブ。
検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を 電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有す る該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ 案内する第二案内孔に揷通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電 気的に接続する検査用プローブであって、
保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記 第一案内孔に揷通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触 するとともに前記第二案内孔に揷通される第二端部を備える、可撓性を有する線状 の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり 前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記 第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該
第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一 部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記 絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記検査用プローブの絶縁部の外径が、前記第二案内孔の最小径よりも小さく形 成されていることを特徴とする検査用プローブ。
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