JP7212239B2 - 不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法 - Google Patents
不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法 Download PDFInfo
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Description
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置の一例を示す図である。
図1では、1セクタ分のメモリセルアレイ11a、コラムデコーダ11b、ロウデコーダ11cが示されているが、不揮発性メモリ10は、これらの構成を各々複数有していてもよい。メモリセルアレイ11aは図示を省略しているが複数のワード線と複数のビット線と、各々が複数のワード線の何れかに接続されるとともに複数のビット線の何れかに接続される複数のメモリセルを備える。各メモリセルは、コラムアドレスとロウアドレスに基づいて、コラムデコーダ11b及びロウデコーダ11cにより選択される。メモリセルとして、たとえば、ゲート電極の側壁に形成されるサイドウォール絶縁膜に電荷を蓄積することによってデータを記憶するサイドウォールトラップ型のメモリトランジスタが用いられる。なお、メモリセルとして、フローティングゲートに電荷を蓄積することによってデータを記憶するフローティングゲート型のメモリトランジスタが用いられてもよい。
制御回路12は、供給されるコマンドに応じて、コラムデコーダ11bやロウデコーダ11cを制御する。また、制御回路12は、メモリセルアレイ11aの複数のメモリセルの何れかを対象にした消去処理を伴う書き換え処理の回数をカウントする。そして、制御回路12は、その書き換え処理の回数が所定回数に達するまで、メモリセルアレイ11aの全体よりも小さい範囲を書き換え単位とするように、コラムデコーダ11b及びロウデコーダ11cを制御する。上記所定回数は、たとえば、書き換え処理の際に非選択(書き換え対象外)となるメモリセルにおいて発生するディスターブの影響により変動する閾値電圧の変動量の許容値に基づいて設定される。たとえば、データが0から1または1から0に反転しないように、所定のマージンを考慮して許容値が決定される。
まず、制御回路12は、カウンタ12aの計数値Nを0に初期化させる(ステップS1)。計数値Nは、メモリセルアレイ11aの複数のメモリセルの何れかを対象にした書き換え処理の回数を示す。ステップS1の処理後、制御回路12は、不揮発性メモリ10のメモリセルアレイ11aのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信したか否かを判定する(ステップS2)。制御回路12は、メモリセルアレイ11aのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信していない場合には受信待ちを行い(ステップS8)、ステップS2からの処理を繰り返す。
ステップS5の処理では、制御回路12は、たとえば、指定されたコラムアドレスに対応するサブブロックに含まれるメモリセルに記憶されているデータを、一旦、図示しない記憶部(レジスタやSRAM(Static Random Access Memory)など)に保持させる。その後、制御回路12は、書き換えを指示するコマンドとともに供給される新たなデータにより、記憶部に保持されているデータを更新させる。さらに、制御回路12の制御のもと、書き換え対象のサブブロックのメモリセルに記憶されているデータが消去され、その後、記憶部に保持されているデータが書き換え対象のサブブロックに書き込まれる。
ステップS6の処理では、制御回路12は、たとえば、メモリセルアレイ11aの全メモリセルに記憶されているデータを、一旦、図示しない記憶部に保持させる。その後、制御回路12は、書き換えを指示するコマンドとともに供給される新たなデータにより、記憶部に保持されているデータを更新させる。さらに、制御回路12の制御もと、メモリセルアレイ11aの全メモリセルに記憶されているデータが消去され、その後、記憶部に保持されているデータがメモリセルアレイ11aの全メモリセルに書き込まれる。
上記のような不揮発性メモリ10では、書き換え処理の回数が所定回数に達するまでは、メモリセルアレイ11aの全体よりも小さい範囲が書き換え単位となるため、書き換え処理の際に非選択となる範囲のメモリセルではディスターブの影響を受ける。しかし、制御回路12は、書き換え処理の回数が所定回数に達した場合に、より大きな単位での書き換えを行うことで、ディスターブの影響をリセットするため、記憶データの劣化を抑制できる。
図2は、第2の実施の形態の不揮発性メモリの一例の全体ブロック図である。
不揮発性メモリ20は、セクタ21a1,21a2,…,21am、制御回路22、アドレスレジスタ23、ロウデコーダ24、ライトバッファ25、出力バッファ26を有する。
コラムスイッチ21eは、コラムデコーダ21bが出力する信号に基づいて、複数のビット線の何れかをセンスアンプ21fに接続する。
制御回路22は、受信したコマンドやコラムアドレスに基づいて、コラムデコーダ21bやロウデコーダ24などを制御する。なお、制御回路22は、カウンタ22aを有する。カウンタ22aは、制御回路22の外にあってもよい。
ロウデコーダ24は、アドレスレジスタ23から供給されるロウアドレスに対応するワード線に接続されたメモリセルを選択するための信号を出力する。
出力バッファ26は、セクタ21a1~21amから読み出されたデータを保持し出力する。
図4は、メモリトランジスタの一例の断面構造と、メモリトランジスタに対する書き込み及び消去の例を示す図である。
一方、図3に示したメモリセルアレイ21dにおいて、メモリトランジスタ21t1のデータを消去する場合、メモリトランジスタ21t1の対となるメモリトランジスタ21t2に、一旦、“0”が書き込まれる。この処理は、必須ではないが、メモリトランジスタ対への書き込み履歴を等価しておくことで、メモリトランジスタ対の特性ばらつきを抑えることができる。その後、たとえば、ワード線WL0に-6Vの電圧が印加され、ソース線SL0に4.5Vの電圧が印加され、ビット線BL0~BLx,/BL0~/BLxはフローティング状態とされる。その他のソース線SL1~SLx、ワード線WL1~WLyは0Vに設定される。これにより、メモリトランジスタ21t1,21t2のデータはともに“1”となる。
図5は、消去時に非選択のメモリトランジスタに生じるドレインディスターブの影響を示す図である。横軸はディスターブタイム(sec)を表し、縦軸は閾値電圧Vth(V)を表す。
図7では、1セクタ分のメモリセルアレイ21dが、y方向(図示しないワード線に直交する方向)に、8つのサブブロック21d1,21d2,…,21d8に分割されている例が示されている。なお、図示しないワード線はx方向に伸びている。
なお、以下では、セクタ21a1のメモリセルアレイ21dに含まれるメモリセルの書き換え処理を説明する。他のセクタ21a2~21amのメモリセルアレイに含まれるメモリセルの書き換え処理も同様に行われる。
まず、制御回路22は、カウンタ22aの計数値Nを0に初期化させる(ステップS10)。計数値Nは、メモリセルアレイ21dの複数のメモリセルの何れかを対象にした書き換え処理の回数を示す。ステップS10の処理後、制御回路22は、メモリセルアレイ21dのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信したか否かを判定する(ステップS11)。制御回路22は、メモリセルアレイ21dのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信していない場合には受信待ちを行い(ステップS25)、ステップS11からの処理を繰り返す。
図9は、消去処理の一例の流れを示すフローチャートである。
以上のような不揮発性メモリ20及び書き換え方法によれば、書き換え処理の回数が所定回数(上記の例では1000回)に達するまでは、サブブロック単位で書き換え処理が行われる。そのため、毎回セクタ単位で書き換えを行うよりもエネルギー効率を高められ、省電力化が可能となる。
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態の不揮発性メモリは、図2に示した不揮発性メモリ20と同様のハードウェア構成にて実現されるが、制御回路22は、以下に示すようにコラムデコーダ21bとロウデコーダ24を制御する。
なお、以下では、セクタ21a1のメモリセルアレイ21dに含まれるメモリセルの書き換え処理を説明する。他のセクタ21a2~21amのメモリセルアレイに含まれるメモリセルの書き換え処理も同様に行われる。
まず、制御回路22は、カウンタ22aの計数値Mを0に初期化させる(ステップS40)。計数値Mは、メモリセルアレイ21dの複数のメモリセルの何れかを対象にした書き換え処理(第3の実施の形態の不揮発性メモリでは、複数のワード線の何れかに接続されたメモリセル群に対する書き換え処理)の回数を示す。
以上のような第3の実施の形態の不揮発性メモリ及び書き換え方法によれば、書き換え処理の回数が所定回数(上記の例では10回)に達するまでは、複数のワード線の各々に接続されたメモリセル群を書き換え単位とした書き換え処理が行われる。そのため、毎回セクタ単位で書き換えを行うよりもエネルギー効率を高められ、省電力化が可能となる。
(第4の実施の形態)
図11は、第4の実施の形態の不揮発性メモリの一例を示す図である。図11において、図2に示した要素と同じ要素については同一符号が付されている。
カウンタ部41aは、同一ビット線に接続された複数のメモリセルの何れかについての書き換え処理の回数をカウントするためのカウンタを、複数のビット線の各々について有している。また、カウンタ部41aは、同一ワード線に接続されたメモリセルの何れかについての書き換え処理の回数をカウントするためのカウンタを、複数のワード線の各々について有していてもよい。
なお、以下では、セクタ21a1のメモリセルアレイ21dに含まれるメモリセルの書き換え処理を説明する。メモリセルアレイ21dは、256本のワード線、256本のビット線(またはビット線対)を有するものとする。また、他のセクタ21a2~21amのメモリセルアレイに含まれるメモリセルの書き換え処理も同様に行われる。
まず、制御回路41は、N(i)(i=0~255)、M(j)(j=0~255)の各々を1に初期化する(ステップS60)。ステップS60の処理後、制御回路41は、メモリセルアレイ21dのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信したか否かを判定する(ステップS61)。制御回路41は、メモリセルアレイ21dのメモリセルに対する書き換えを指示するコマンドを受信していない場合には受信待ちを行い(ステップS77)、ステップS61からの処理を繰り返す。
M(j)が10よりも小さい場合、制御回路41は、コラムデコーダ21bとロウデコーダ24を制御して、番号jのビット線に接続された複数のメモリセルのうち、番号iaのワード線に接続されたメモリセルのデータを消去させる(ステップS68)。M(j)が10に達した場合、制御回路41は、コラムデコーダ21bとロウデコーダ24を制御して、番号jのビット線に接続された全てのメモリセルのデータを消去させる(ステップS69)。
以上のような第4の実施の形態の不揮発性メモリ及び書き換え方法によれば、M(j)が所定回数(上記の例では10回)に達するまでは、メモリセル単位(1ビット単位)で書き換え処理が行われる。そのため、毎回セクタ単位で書き換えを行うよりもエネルギー効率を大幅に高められ、省電力化が可能となる。
ところで、上記の第4の実施の形態の不揮発性メモリ40の例では、同一ビット線に接続された複数のメモリセルは、書き換え回数が所定回数(たとえば、10回)までは、1つずつ(1ビット単位で)消去が行われる。このような処理を実現する場合、ロウデコーダ24として、複数のワード線の各々に、選択的に負の高電圧(たとえば、図4に示したように-6V)を供給する回路構成が適用される。ただ、負の高電圧を供給する回路構成は複雑になりがちであるため、ロウデコーダ24を、複数のワード線に一括して同じ負の高電圧を供給するような回路構成とすることで、回路レイアウトを容易化できる。
図13では、8本のワード線(たとえば、ワード線WL0~WL7,WL8~WL15)からなるワード線群50,51のそれぞれに、ロウデコーダ24の同一電圧供給部24a,24bにより、まとめて負の高電圧が供給される例が示されている。
コラムデコーダ21bは、サブブロック21d1~21d8の数に対応して、8つの同一電圧供給部21b1,21b2,…,21b8を有する。同一電圧供給部21b1~21b8の各々は、消去処理時に、対応するサブブロックに含まれる複数のビット線に対して一括して同一の電圧を供給する。
複数のメモリトランジスタの各々のドレインには、ビット線BL0,BL1,…,BLyの何れかが接続される。たとえば、メモリトランジスタ61t1,61t2,61t3のドレインにはビット線BL0が接続され、メモリトランジスタ61t4のドレインにはビット線BLyが接続される。複数のメモリトランジスタの各々のソースには、ソース線SL0~SLxの何れかが接続される。たとえば、メモリトランジスタ61t1,61t2,61t4のソースにはソース線SL0が接続され、メモリトランジスタ61t3のソースにはソース線SLxが接続される。また、複数のメモリトランジスタの各々のゲートには、ワード線WL0,WL1,…,WLxの何れかが接続される。たとえば、メモリトランジスタ61t1,61t4のゲートにはワード線WL0が接続され、メモリトランジスタ61t2のゲートにはワード線WL1が接続され、メモリトランジスタ61t3のゲートにはワード線WLxが接続される。
メモリトランジスタ61t1は、p型の半導体基板70の上方に設けられたトンネル酸化膜71、トンネル酸化膜71の上方に順に積層されたフローティングゲート72、絶縁膜73、コントロールゲート74を有する。また、メモリトランジスタ61t1は、トンネル酸化膜71とフローティングゲート72と絶縁膜73とコントロールゲート74とによる積層構造の側壁に設けられたサイドウォール絶縁膜75を有する。サイドウォール絶縁膜75は、たとえば、絶縁膜である酸化膜75aと窒化膜75bが積層された構造を含む。メモリトランジスタ61t1は、さらに、半導体基板70内にそれぞれ設けられ、ソース領域またはドレイン領域として機能する不純物領域76a及び不純物領域76bを有する。メモリトランジスタ61t1は、サイドウォール絶縁膜75の下方の半導体基板70内で、不純物領域76a及び不純物領域76bの内側に、LDD領域77a及びLDD領域77bを有してもよい。
図17において実線は、消去時に選択されるメモリトランジスタにおける、消去時間と閾値電圧Vthとの関係の測定結果を示している。図17において点線は、その測定結果を得たメモリトランジスタのデバイス構造をモデル化したものに対して、消去時に非選択となるメモリトランジスタに印加される電圧条件を適用したときの、消去時間と閾値電圧Vthとの関係を計算した結果を示す。なお、1回の消去時間は100msecである。
ところで、前述のように、ディスターブが生じるのは、書き換え対象となるメモリセル(選択メモリセル)とワード線またはビット線を共有し、書き換え対象外となるメモリセル(非選択メモリセル)である。そのため、書き換え処理の回数自体が所定回数に達した場合でも、メモリセルアレイに含まれるどのメモリセルにおいても、連続して書き換え処理の対象外となる回数がその所定回数に達しておらず、ディスターブの影響が小さい可能性がある。
第5の実施の形態の不揮発性メモリ80において、制御回路81は、たとえば、図7に示したサブブロック21d1~21d8の各々が、書き換え対象外となる回数をカウントするカウンタ81a1,81a2,…,81a8を有する。たとえば、カウンタ81a1は、サブブロック21d1が書き換え対象外となる回数をカウントし、カウンタ81a8は、サブブロック21d8が書き換え対象外となる回数をカウントする。
図20は、第5の実施の形態の不揮発性メモリの書き換え方法の一例の流れを示すフローチャートである。
以上説明した複数の実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
前記複数のメモリセルの何れかを対象にした消去処理を伴う書き換え処理の回数が所定回数に達するまで、前記対象としたメモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位とし、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記対象としたメモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットする制御回路と、
を有する不揮発性半導体記憶装置。
付記1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
(付記4)前記第1の範囲は、前記メモリセルアレイを前記複数のビット線に直交する方向に分割した複数の領域の各々に含まれる第1のメモリセル群であり、前記第2の範囲は、前記メモリセルアレイの全体である、
付記1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
(付記6)前記所定回数は、1000回である付記2乃至5の何れか1つに記載の不揮発性半導体記憶装置。
付記1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
付記8に記載の不揮発性半導体記憶装置。
(付記11)前記ロウデコーダは、前記メモリセルアレイにおける所定数のワード線ごとに一括して同一の電圧を供給して、前記複数の第2のメモリセルのデータを一括して消去する、付記8乃至10の何れか1つに記載の不揮発性半導体記憶装置。
付記1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
(付記14)複数のワード線と複数のビット線と、各々が前記複数のワード線の何れかに接続されるとともに前記複数のビット線の何れかに接続され、コラムデコーダ及びロウデコーダにより選択される複数のメモリセルとを備えるメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルの何れかである選択メモリセルに対する消去処理を伴う書き換え処理時に、前記メモリセルアレイにおいて前記選択メモリセルとワード線またはビット線を共有する非選択メモリセルが、連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が所定回数に達するまで、前記選択メモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位とし、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記選択メモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットする制御回路と、
を有する不揮発性半導体記憶装置。
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記対象としたメモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットする、
不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法。
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記選択メモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットする、
不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法。
11a メモリセルアレイ
11a1~11an サブブロック
11b コラムデコーダ
11c ロウデコーダ
12 制御回路
12a カウンタ
Claims (11)
- 複数のワード線と複数のビット線と、各々が前記複数のワード線の何れかに接続されるとともに前記複数のビット線の何れかに接続され、コラムデコーダ及びロウデコーダにより選択される複数のメモリセルとを備えるメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルの何れかを対象にした消去処理を伴う書き換え処理の回数が所定回数に達するまで、前記対象としたメモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位とし、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記対象としたメモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットする制御回路と、を有し、
前記所定回数は、ゲートディスターブとドレインディスターブのうち、前記メモリセルアレイにおいて前記対象としたメモリセルとワード線またはビット線を共有し、前記書き換え処理の対象とならない非選択メモリセルの閾値電圧に影響を与えるディスターブによる前記閾値電圧の変動量の許容値に基づいて設定されている、
不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の範囲は、前記メモリセルアレイを前記複数のワード線に直交する方向に分割した複数の領域の各々に含まれる第1のメモリセル群であり、前記第2の範囲は、前記メモリセルアレイの全体である、
請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記コラムデコーダは、前記複数の領域の各々に含まれるメモリセルのデータを消去する際に、前記複数の領域の各々に含まれる複数の第1のビット線に一括して同一の電圧を供給する、請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の範囲は、前記メモリセルアレイにおいて同一ビット線に接続された複数の第1のメモリセルのうちの各々または前記複数の第1のメモリセルよりも少ない複数の第2のメモリセルであり、前記第2の範囲は、前記複数の第1のメモリセルの全てである、
請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記制御回路は、前記メモリセルアレイにおいて同一ワード線に接続された複数の第3のメモリセルの何れかについての消去処理を伴う書き換え処理の回数が第1の回数に達する場合に、前記メモリセルアレイの全体の書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御する、
請求項4に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記ロウデコーダは、前記メモリセルアレイにおける所定数のワード線ごとに一括して同一の電圧を供給して、前記複数の第2のメモリセルのデータを一括して消去する、請求項4または5に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の範囲は、前記複数のメモリセルのうち、前記複数のワード線の各々に接続された第2のメモリセル群であり、前記第2の範囲は、前記メモリセルアレイの全体である、
請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 複数のワード線と複数のビット線と、各々が前記複数のワード線の何れかに接続されるとともに前記複数のビット線の何れかに接続され、コラムデコーダ及びロウデコーダにより選択される複数のメモリセルとを備えるメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルの何れかである選択メモリセルに対する消去処理を伴う書き換え処理時に、前記メモリセルアレイにおいて前記選択メモリセルとワード線またはビット線を共有する非選択メモリセルが、連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が所定回数に達するまで、前記選択メモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位とし、前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が前記所定回数に達する場合に、前記選択メモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が前記所定回数に達するたびに前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数をリセットする制御回路と、を有し、
前記所定回数は、ゲートディスターブとドレインディスターブのうち、前記非選択メモリセルの閾値電圧に影響を与えるディスターブによる前記閾値電圧の変動量の許容値に基づいて設定されている、
不揮発性半導体記憶装置。 - 制御回路は、メモリセルアレイにおける複数のメモリセルの何れかを対象にした消去処理を伴う書き換え処理の回数が所定回数に達するまで、前記対象としたメモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位として、書き換えを行うように、前記複数のメモリセルの何れかを選択するコラムデコーダ及びロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達する場合に、前記対象としたメモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記書き換え処理の回数が前記所定回数に達するたびに前記書き換え処理の回数をリセットし、
前記所定回数は、ゲートディスターブとドレインディスターブのうち、前記メモリセルアレイにおいて前記対象としたメモリセルとワード線またはビット線を共有し、前記書き換え処理の対象とならない非選択メモリセルの閾値電圧に影響を与えるディスターブによる前記閾値電圧の変動量の許容値に基づいて設定されている、
不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法。 - 制御回路は、メモリセルアレイにおける複数のメモリセルの何れかである選択メモリセルに対する消去処理を伴う書き換え処理時に、前記メモリセルアレイにおいて前記選択メモリセルとワード線またはビット線を共有する非選択メモリセルが、連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が所定回数に達するまで、前記選択メモリセルを含み前記メモリセルアレイの全体よりも小さい第1の範囲を書き換え単位として、書き換えを行うように、前記複数のメモリセルの何れかを選択するコラムデコーダ及びロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が前記所定回数に達する場合に、前記選択メモリセルを含み前記第1の範囲よりも大きい第2の範囲を前記書き換え単位として、書き換えを行うように前記コラムデコーダ及び前記ロウデコーダを制御し、
前記制御回路は、前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数が前記所定回数に達するたびに前記連続して前記書き換え処理の対象外となる回数をリセットし、
前記所定回数は、ゲートディスターブとドレインディスターブのうち、前記非選択メモリセルの閾値電圧に影響を与えるディスターブによる前記閾値電圧の変動量の許容値に基づいて設定されている、
不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法。 - 前記所定回数は、前記ドレインディスターブよりも前記ゲートディスターブが前記閾値電圧に影響を与える場合、前記ゲートディスターブよりも前記ドレインディスターブが前記閾値電圧に影響を与える場合よりも、大きい値が設定される、請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107582A JP7212239B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法 |
US16/401,439 US10878927B2 (en) | 2018-06-05 | 2019-05-02 | Non-volatile semiconductor memory device and method for reprogramming thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018107582A JP7212239B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019212351A JP2019212351A (ja) | 2019-12-12 |
JP7212239B2 true JP7212239B2 (ja) | 2023-01-25 |
Family
ID=68694297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018107582A Active JP7212239B2 (ja) | 2018-06-05 | 2018-06-05 | 不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶装置の書き換え方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10878927B2 (ja) |
JP (1) | JP7212239B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10910076B2 (en) * | 2019-05-16 | 2021-02-02 | Sandisk Technologies Llc | Memory cell mis-shape mitigation |
US11342024B2 (en) | 2019-12-31 | 2022-05-24 | Micron Technology, Inc. | Tracking operations performed at a memory device |
US11801539B2 (en) | 2020-05-06 | 2023-10-31 | NuclearSAFE Technology LLC | Self loading waste disposal systems and method |
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JP6150672B2 (ja) | 2013-08-26 | 2017-06-21 | オリンパス株式会社 | 医療用マニピュレータ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6097059A (en) | 1996-12-27 | 2000-08-01 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Transistor, transistor array, method for manufacturing transistor array, and nonvolatile semiconductor memory |
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-
2018
- 2018-06-05 JP JP2018107582A patent/JP7212239B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-02 US US16/401,439 patent/US10878927B2/en active Active
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JP6150672B2 (ja) | 2013-08-26 | 2017-06-21 | オリンパス株式会社 | 医療用マニピュレータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019212351A (ja) | 2019-12-12 |
US20190371419A1 (en) | 2019-12-05 |
US10878927B2 (en) | 2020-12-29 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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