JP7184686B2 - 研削装置のアイドリング方法 - Google Patents
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Description
2:装置ハウジング
21:静止指示板
22、23:案内レール
3:粗研削ユニット
31:ユニットハウジング
33:粗研削ホイール
35:移動基台
36:研削送り機構
4:仕上げ研削ユニット
41:ユニットハウジング
43:仕上げ研削ホイール
45:移動基台
46:研削送り機構
5:ターンテーブル
6:チャックテーブル
61:基台
62:吸着チャック
7:第1のカセット
8:第2のカセット
9:仮置き手段
10:研削水供給手段
10a:研削水タンク
10b:開閉バルブ
11:洗浄手段
12:被加工物搬送手段
13:第1の搬送手段
14:第2の搬送手段
15:操作パネル
17A:第1のハイトゲージ(厚み計測手段)
17B:第2のハイトゲージ(厚み計測手段)
100:制御手段
110:制御プログラム
A:被加工物搬入・搬出域
B:粗研削加工域
C:仕上げ研削加工域
W:ウエーハ
Claims (2)
- 被加工物を保持し回転するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、該研削砥石に研削水を供給する研削水供給手段と、被加工物の厚みを計測する厚み計測手段と、から少なくとも構成された研削装置のアイドリング方法であって、
該チャックテーブルに被加工物を保持する被加工物保持工程と、
該厚み計測手段を該チャックテーブルに保持された被加工物に作用する厚み計測手段作用工程と、
アイドリング運転を開始するアイドリング運転工程と、
アイドリング運転中において該厚み計測手段からの厚み信号の変化の幅が許容値であるか否かを監視する厚み信号監視工程と、
該厚み信号監視工程において、厚み信号の変化の幅が該許容値に収まったと判断した際に、アイドリング運転を終了する研削装置のアイドリング方法。 - 該アイドリング運転は、研削ホイールの回転、チャックテーブルの回転、及び研削水の供給を含む請求項1に記載の研削装置のアイドリング方法。
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JP2019054756A JP7184686B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 研削装置のアイドリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2019054756A JP7184686B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 研削装置のアイドリング方法 |
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JP2020151828A JP2020151828A (ja) | 2020-09-24 |
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JP2019054756A Active JP7184686B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 研削装置のアイドリング方法 |
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Citations (4)
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2019
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US20170095902A1 (en) | 2015-10-06 | 2017-04-06 | Disco Corporation | Grinding method |
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