KR100937544B1 - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 기판의 주연부(周緣部)에 대한 세정처리를 위한 기판처리장치로서,기판을 파지하는 기판파지기구와,상기 기판파지기구에 파지된 기판의 표면에 수직인 종(縱)방향에 대해 경사지는 세정면(洗淨面)을 가지는 브러시와,상기 브러시를 상기 종방향 및 이것과 직교하는 횡방향으로 이동시키기 위한 브러시이동기구와,상기 브러시에 대해 상기 종방향으로 가해지는 하중을 검출하기 위한 하중검출유닛과,상기 하중검출유닛의 출력에 의거하여, 세정처리시에 상기 브러시가 배치되어야 할 처리시위치(處理時位置)로 상기 브러시를 안내할 때의 기준이 되는 기준위치에, 상기 브러시가 배치되었는지 아닌지를 판단하는 제1 판단유닛을 포함하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 기준위치는, 상기 브러시가 해당 기준위치에 배치된 상태에서, 상기 기판파지기구에 파지된 기판의 표면(表面) 또는 이면(裏面)과 주단면(周端面)이 이루는 각부(角部)가 상기 세정면에 소정량만큼 파고들 수 있는 위치인 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 브러시가 상기 기판파지기구에 파지된 기판과 접촉해 있지 않은 상태에서, 상기 브러시에 소정의 초기하중을 가하는 초기하중부가기구를 포함하며,상기 제 1 판단유닛은, 상기 하중검출유닛에 의해 검출되는 하중의 상기 초기하중에 대한 변화량에 근거하여, 상기 브러시가 상기 기준위치에 배치되었는지 아닌지를 판단하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 브러시가 상기 처리시위치에 배치되어 있을 때, 상기 하중검출유닛에 의해 검출되는 하중이 소정의 하중 범위 내인지 아닌지를 판단하는 제2 판단유닛을 포함하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 브러시이동기구를 제어하여, 상기 브러시를 상기 기판파지기구에 파지된 기판을 향해 이동시키면서 상기 하중검출유닛의 출력을 감시하고, 상기 브러시가 해당 기판에 접촉했던 것에 의해, 상기 하중검출유닛에 의해 검출되는 하중이 예정(豫定)된 문턱값을 넘었던 것에 응답하여, 그때의 상기 브러시의 위치를 상기 기준위치로 설정하는 기준위치설정유닛을 포함하는 기판처리장치.
- 제5항에 있어서,상기 처리시위치에 배치된 상기 브러시에 대해 상기 종방향으로 가해지는 하중을 기억하는 하중기억장치와,상기 브러시이동기구를 제어하여, 상기 브러시를 상기 기준위치로부터 상기 처리시위치로 이동시키고, 상기 브러시가 상기 처리시위치에 배치되었을 때 상기 하중검출유닛에 의해 검출되는 하중을, 상기 기준위치로부터 상기 처리시위치까지의 거리와 대응지워서, 상기 하중기억장치에 기억시키는 기억제어유닛을 포함하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 처리시위치는, 상기 기준위치로부터의 거리가 서로 다른 복수의 위치에 설정되어 있고,상기 기판처리장치는, 상기 처리시위치마다, 상기 기준위치로부터 상기 처리시위치까지의 거리와, 해당 처리시위치에 상기 브러시가 배치되었을 때의 기판의 표면에 대한 상기 브러시의 접촉폭을 대응지워서 기억하는 접촉폭기억장치를 포함하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 세정면은, 상기 종방향으로 연장되는 중심축선 주위로 회전대칭인 형상을 가지고 있는 기판처리장치.
- 제8항에 있어서,상기 세정면은, 상기 종방향의 일방측(一方側)을 향해 좁아지는 형상으로 된 제1 부분과, 이 제1 부분의 상기 일방측의 가장자리(端緣)로부터 상기 종방향의 상기 일방측을 향해 넓어지는 형상으로 된 제2 부분을 구비하고 있는 기판처리장치.
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