JP7169164B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
被加工物を研削する際、被加工物の厚さが測定される。このために、たとえば、被加工物にプローブを接触させて該被加工物の厚さを測定する接触式厚さ測定器が使用される(たとえば、特許文献1および2参照)。
本発明の目的は、被加工物の厚さを、非接触で、広い範囲にわたって厚さ制御することにある。
本研削装置では、該研削砥石検出手段は、透過センサであってもよい。
チャックテーブル18は、その上面中央に、ウェーハ1を吸引保持する保持面19を有している。保持面19は、図示しない吸引源に連通されており、図4に示すように、ウェーハ1の裏面8が露出するように、ウェーハ1の表面保護テープ10を吸引保持する。
スピンドル32の上端側には、モータ等の回転駆動源(図示せず)が連結されている。この回転駆動源により、スピンドル32は、Z軸方向に延びる回転軸心の周りに回転する。
さらに、ホイールマウント34は、スピンドル装着面34aの反対面であるホイール装着面34bを介して、研削ホイール36を支持する。
移動軸であるロッド55は、ハウジング57内に、Z軸方向に沿って移動可能に設けられている。ロッド55の先端には、研削砥石検出手段51が取り付けられている。
まず、搬入出位置において、ウェーハ1が、図4に示したチャックテーブル18の保持面19に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面19に伝達されることにより、保持面19が、ウェーハ1の裏面8が露出するように、ウェーハ1の表面保護テープ10を吸引保持する。
また、研削装置12では、研削加工の際、制御部71は、上記の研削水供給システムによって、ウェーハ1の裏面8と研削砥石40とが接触する箇所に、研削水を供給する。
また、ウェーハ1を透過する測定光を用いる必要もないので、ウェーハ1の厚さを、任意の厚さとすることが可能である。すなわち、従来の非接触式厚さ測定器では厚さを測定できないような薄いウェーハであっても、その厚さを制御することができる。
このように、研削装置12では、ウェーハ1の厚さを、非接触で、広い範囲にわたって制御することができる。
また、研削装置12では、研削砥石検出手段51として、透過センサを用いている。これにより、研削砥石検出手段51を容易に実現することができる。
一方、このような場合(多枚貼りの場合)、上記のような問題が生じないようにするためには、研削手段を上方の待機位置にいったん戻してからウェーハの厚さを測定するポストプロセスを実施する必要があった。
10:表面保護テープ、
12:研削装置、
15:保持手段、18:チャックテーブル、18a:回転シャフト、
19:保持面、
16:研削送り手段、
26:研削手段、30:スピンドルハウジング、32:スピンドル、
34:ホイールマウント、36:研削ホイール、
38:ホイール基台、40:研削砥石、
50:検出装置、
53:検出器位置調整手段、55:ロッド、57:ハウジング、
51:研削砥石検出手段、65:発光素子、67:受光素子、
71:制御部
Claims (2)
- 格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された領域にデバイスが形成された表面を有する被加工物が所望の厚さを有するように、該被加工物の裏面を研削砥石によって研削する研削装置であって、
該被加工物の該表面に貼着された表面保護部材を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる鉛直方向に延びる第1の回転軸とを備える保持手段と、
該保持面と直交する第2の回転軸と、研削水の供給を受けながら該第2の回転軸によって回転されて該被加工物の該裏面を研削する研削砥石と、を備える研削手段と、
該研削手段と該保持手段とが相対的に接近及び離反する方向である研削送り方向に沿って、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、
互いに対向するように配置された発光素子および受光素子を備え、該研削砥石の先端位置を検出する研削砥石検出手段と、
先端に該研削砥石検出手段が取り付けられており該研削送り方向に移動可能な移動軸を備え、該研削砥石検出手段の検出位置を該被加工物の仕上げ厚さに対応する位置に移動する検出器位置調整手段と、を備え、
該研削砥石検出手段が該研削砥石の先端を検出した時点で研削を終了することを特徴とする研削装置。 - 該研削砥石検出手段は、透過センサであることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
Priority Applications (1)
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JP2018205073A JP7169164B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018205073A JP7169164B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 研削装置 |
Publications (2)
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JP2020072172A JP2020072172A (ja) | 2020-05-07 |
JP7169164B2 true JP7169164B2 (ja) | 2022-11-10 |
Family
ID=70548070
Family Applications (1)
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Citations (2)
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2018
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