JP7161157B2 - アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 - Google Patents
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Description
(2)上記(1)の態様において、前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向の上死点で、圧電センサに当接してもよい。
(3)本発明に係る別の1つの態様は、流体制御弁であって、上記(1)又は(2)に記載のアクチュエータと、制御流体用の通路を有するボディと、前記制御流体用の通路を開閉する弁体と、を備えるものである。
(4)本発明に係る更に別の1つの態様は、弁監視装置であって、上記(3)に記載の流体制御弁と、前記駆動流体の供給又は停止を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記圧電センサからの前記信号が入力されるものである。
(5)上記(4)の態様において、前記制御装置は、前記制御流体又は前記駆動流体の少なくとも一方の圧力変動による前記信号の変動を検出可能であってもよい。
(6)上記(4)又は(5)の態様において、前記制御装置は、前記信号に基づいて、前記弁棒の衝突速度を演算してもよい。
(7)上記(4)から(6)までのいずれか1つの態様において、前記流体制御弁は、複数個備えられてもよい。
アクチュエータ200は、ケーシング210内に、弁棒20と、ピストン30と、を備えており、ケーシング210に固定されたボンネット220内に、弁体110を閉方向に付勢するための弾性部材40を備えている。
図1に示すように、制御装置320は、複数の流体制御弁10の圧電センサ50、各流体制御弁10に駆動流体CAを供給する電磁弁EV、マスフローコントローラMFC、圧力計PT、半導体製造装置の上位制御盤などが接続されており、各種信号をこれらから及び/又はこれらへ送受信可能になっている。
上記実施形態において、制御流体Gは、ガス(気体)でなく、液体、粉体、蒸気(エアロゾル)などであってもよい。
20 弁棒、21 先端部、22 後端部、23 弁体押さえ、
30 ピストン、31 第1ピストン、32 第2ピストン、33 カウンタプレート
40 コイルスプリング(弾性部材)
50 圧電センサ、51 信号線
100 弁部
110 ダイヤフラム(弁体)、111 弁座
120 ボディ、121 第1ボディ、122 第2ボディ、123 上部ボディ
130 通路、131 流入通路、132 流出通路
200 アクチュエータ、201 袋ナット
210 ケーシング、211 上部ケーシング、212 下部ケーシング、
220 ボンネット、221 後端部、222 弁体ホルダ
230 キャップ
300 弁監視装置
310 集積化ガスシステム
320 制御装置
Claims (7)
- 弁体を開方向又は閉方向に移動させる弁棒と、
前記弁棒に固定され、駆動流体により前記弁棒を前記弁体の開方向又は閉方向の一方に駆動するピストンと、
前記ピストンによる前記弁棒の駆動方向とは反対の方向に前記弁棒を付勢する弾性部材と、を備える流体制御弁用のアクチュエータであって、
前記弾性部材は、前記ピストンよりも前記弁体側に設けられ、
前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向において、前記駆動流体の圧力による外力の大きさに応じた信号を出力する圧電センサに、前記弁体の設置位置とは反対の反弁体側の端部で直接当接する、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記弁棒は、前記弁体の開方向又は閉方向の上死点で、圧電センサに当接する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 請求項1又は2に記載のアクチュエータと、
制御流体用の通路を有するボディと、
前記制御流体用の通路を開閉する弁体と、を備える、
ことを特徴とする流体制御弁。 - 請求項3に記載の流体制御弁と、
前記駆動流体の供給又は停止を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記圧電センサからの前記信号が入力される、
ことを特徴とする弁監視装置。 - 前記制御装置は、前記制御流体又は前記駆動流体の少なくとも一方の圧力変動による前記信号の変動を検出可能である、
ことを特徴とする請求項4に記載の弁監視装置。 - 前記制御装置は、前記信号に基づいて、前記弁棒の衝突速度を演算する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の弁監視装置。 - 前記流体制御弁は、複数個備えられる、
ことを特徴とする請求項4から6までのいずれか1項に記載の弁監視装置。
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