JP7140210B2 - 保管システム - Google Patents

保管システム Download PDF

Info

Publication number
JP7140210B2
JP7140210B2 JP2020562909A JP2020562909A JP7140210B2 JP 7140210 B2 JP7140210 B2 JP 7140210B2 JP 2020562909 A JP2020562909 A JP 2020562909A JP 2020562909 A JP2020562909 A JP 2020562909A JP 7140210 B2 JP7140210 B2 JP 7140210B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
article
ceiling
crane
overhead
track
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020562909A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020137225A1 (ja
Inventor
栄治 和田
良樹 湯浅
功輔 入野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of JPWO2020137225A1 publication Critical patent/JPWO2020137225A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7140210B2 publication Critical patent/JP7140210B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
    • B66C17/06—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports specially adapted for particular purposes, e.g. in foundries, forges; combined with auxiliary apparatus serving particular purposes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0414—Storage devices mechanical using stacker cranes provided with satellite cars adapted to travel in storage racks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0485—Check-in, check-out devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/06—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level
    • B65G1/065—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level with self propelled cars
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Aerials With Secondary Devices (AREA)

Description

本発明は、保管システムに関する。
半導体製造工場等では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルポッドなどの物品を天井搬送車システムに備える天井搬送車により搬送して、処理装置のロードポートなどの移載先に対して物品の受け渡しを行うことが知られている。また、物品を天井搬送車により搬送し、建屋等の天井に設けられた棚の保管部に載置して保管することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、天井に設けられた天井軌道に沿って走行する天井搬送車により、物品を棚の保管部に対して受け渡すことについて開示されている。
特開２０１７－０３０９４４号公報
特許文献１では、棚と天井搬送車とが側面視において重なるように配置されている。また、天井搬送車が走行する天井軌道は、ロードポートなどの移載先に対応して、例えば移載先の直上を通るように配置される。従って、移載先に合わせて天井軌道を敷設した結果、この天井軌道を避けたスペースに棚を配置しなければならず、棚を水平方向に拡張することが難しいといった問題がある。例えば、並行する天井軌道の間のスペースが狭い場合は棚を設けることができず、又は、並行する天井軌道の間のスペースによっては棚を整数倍に並べて配置できないなど、物品の保管効率がよくないといった課題がある。
本発明は、物品を保管する棚を水平方向に容易に拡張することが可能な保管システムを提供することを目的とする。
本発明の態様においては、保管システムが提供される。保管システムは、クレーン用天井軌道と、物品を載置する保管部を上下方向に複数段備える棚と、クレーン用天井軌道に沿って走行し、複数段の保管部の間で物品を移載するクレーンと、を備える天井ストッカを備える。保管システムは、所定の移載先に対して物品の受け渡しを行う天井搬送車システムを備える。保管システムは、天井ストッカと天井搬送車システムとの間で上下方向に物品を搬送する搬送装置を備える。保管システムは、天井搬送車システムと搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートを備える。天井搬送車システムは、天井ストッカの下端より下方に設けられる。搬送装置は、保持した物品を昇降させる搬送装置用昇降駆動部を備える。搬送装置は、受け渡しポートの上方と複数段の保管部のうちの少なくとも１つの保管部の上方との間で昇降駆動部を横方向に移動させる搬送装置用横出し機構を備える。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部を受け渡しポートの上方に位置させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能である。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部を少なくとも１つの保管部の上方に移動させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能である。
受け渡しポートは、複数配置されてよい。
天井搬送車システムは、天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道を備えてよい。天井搬送車システムは、天井軌道に沿って走行する天井搬送車を備えてよい。天井搬送車は、天井軌道に沿って走行する走行部を備えてよい。天井搬送車は、保持した物品を昇降させる昇降駆動部を備えてよい。天井搬送車は、走行部に対して昇降駆動部を横方向に移動させる横出し機構を備えてよい。受け渡しポートは、天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられてよい。天井搬送車は、昇降駆動部により物品を昇降させて、所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であってよい。天井搬送車は、横出し機構により昇降駆動部を受け渡しポートの上方に移動させた状態で、昇降駆動部により物品を昇降させて、横出し機構により移動された昇降駆動部の下方に存在する受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であってよい。
搬送装置は、クレーン用天井軌道を走行する搬送装置用走行部を備えてよい。受け渡しポートは、搬送装置に対して下方に設けられてよい。搬送装置は、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であってよい。搬送装置は、搬送装置用横出し機構により搬送装置用昇降駆動部を複数段の保管部のうちの少なくとも１つの保管部の上方に移動させた状態で、搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、搬送装置用横出し機構により移動された搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能であってよい。
受け渡しポートと所定の移載先とは、平面視においてずれていてよい。棚の一部と所定の移載先とは、平面視において重なっていてよい。クレーンは、クレーン用天井軌道を走行するクレーン用走行部を備えてよい。クレーンは、複数段の保管部の間で物品を移載する移載装置を備えてよい。移載装置は、クレーン用走行部から吊り下げられた状態で上下方向に延在するマストを備えてよい。移載装置は、マストに沿って昇降する昇降台を備えてよい。移載装置は、昇降台を昇降させる駆動部を備えてよい。移載装置は、昇降台からクレーン用走行部の走行方向と直交する方向に伸縮可能に設けられた伸縮部を備えてよい。移載装置は、伸縮部の先端に設けられて物品を保持する保持部を備えてよい。
上記態様の保管システムによれば、天井ストッカと天井搬送車システムとが側面視において重なっていない。従って、天井搬送車システムの天井軌道を所定の移載先に合わせて敷設した場合でも、この天井軌道の配置に関わらず棚を配置できるので、棚を水平方向に容易に拡張することができ、多くの物品を効率よく保管することができる。また、クレーンにより複数段の保管部の間で物品を移載するので、棚が水平方向に拡張された場合であっても物品の移載を容易に行うことができる。また、搬送装置により天井ストッカと天井搬送車システムとの間で物品を効率よく搬送することができ、物品の搬送効率を向上させることができる。
また、天井搬送車システムと搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートを備える構成では、受け渡し対象の物品を受け渡しポートに載置することで、天井搬送車システム又は搬送装置は次の作業を開始することができ、物品を効率よく受け渡すことができる。また、受け渡しポートが、複数配置される構成では、複数の受け渡しポートに物品を載置させることにより、天井搬送車システムと搬送装置との間で効率よく物品を受け渡すことができる。
また、天井搬送車システムが、天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道と、天井軌道を走行する走行部と、昇降駆動部と、横出し機構と、を備えた天井搬送車と、を有し、受け渡しポートが、天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられ、天井搬送車が、昇降駆動部により物品を昇降させて、所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であり、横出し機構により昇降駆動部を受け渡しポートの上方に移動させた状態で、昇降駆動部により物品を昇降させて、横出し機構により移動された昇降駆動部の下方に存在する受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能な構成では、天井搬送車システムにおいて、上記した天井搬送車を用いることにより、所定の移載先及び受け渡しポートに対して、それぞれ物品を迅速かつ正確に受け渡すことができる。
また、搬送装置が、クレーン用天井軌道を走行する第２走行部と、第２昇降駆動部と、第２横出し機構と、を備える第２天井搬送車であり、受け渡しポートが、第２天井搬送車に対して下方に設けられ、第２天井搬送車が、第２昇降駆動部により物品を昇降させて、受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、第２横出し機構により第２昇降駆動部を複数段の保管部のうちの少なくとも１つの保管部の上方に移動させた状態で、第２昇降駆動部により物品を昇降させて、第２横出し機構により移動された第２昇降駆動部の下方に存在する保管部との間で物品を受け渡し可能な構成では、第２天井搬送車の第２走行部がクレーン用天井軌道を走行するので、搬送装置のための軌道を別途設ける必要がない。さらに、このような第２天井搬送車を用いることにより、棚の保管部及び受け渡しポートに対して、それぞれ物品を迅速かつ正確に受け渡すことができる。
また、受け渡しポートと、所定の移載先とは、平面視においてずれている構成では、所定の移載先の直上に天井搬送車システムの天井軌道を配置でき、天井搬送車が物品を昇降させることにより、所定の移載先に対して物品の受け渡しを行うことができる。また、棚の一部と、所定の移載先とが、平面視において重なっている構成では、所定の移載先の上方まで棚を水平方向に拡張することができ、多くの物品を棚の保管部に保管させることができる。また、クレーンが、上記したクレーン用走行部と、移載装置と、を備え、移載装置が、上記したマストと、昇降台と、駆動部と、伸縮部と、保持部と、を備える構成では、複数段の保管部との間で物品を効率よく移載することができる。
第１実施形態に係る保管システムの一例をＹ方向から見た図である。 図１に示す保管システムの一例をＸ方向から見た図である。 保管システムを平面視で模式的に示した図である。 天井ストッカのクレーンの一例を示す図である。 搬送装置としての第２天井搬送車の一例を示す図である。 図３の一部を拡大して示す図である。 図３の一部を拡大して示す図である。 搬送装置により保管部の物品を受け取る動作を示す図である。 搬送装置により受け渡しポートに物品を渡す動作を示す図である。 天井搬送車システムにより受け渡しポートの物品を受け取る動作を示す図である。 天井搬送車システムにより所定の移載先に物品を渡す動作を示す図である。 第２実施形態に係る保管システムの一例をＸ方向から見た図である。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｙ方向は、水平方向内における一方向であって、後述するクレーン４０、天井搬送車５０、第２天井搬送車６０の走行方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、矢印が指す向きとは反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る保管システムＳＹＳの一例をＹ方向から見た図である。図２は、保管システムＳＹＳをＸ方向から見た図である。図３は、保管システムＳＹＳを平面視で模式的に示した図である。なお、図３では、図を判別しやすくするため、天井ストッカ１００のクレーン用天井軌道２０及び保管部１１を白地で示し、天井搬送車システム２００の天井軌道３０及び受け渡しポート１２をハッチングで示し、処理装置ＴＬのロードポートＬＰを黒で塗って示している。
図１から図３に示す保管システムＳＹＳは、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設けられ、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどを収容したレチクルポッドなどの物品２を保管する。本実施形態では、物品２がＦＯＵＰである例を用いて説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、保管システムＳＹＳは、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、保管システムＳＹＳで保管可能な他の物品でもよい。
保管システムＳＹＳは、図１から図３に示すように、天井ストッカ１００と、天井搬送車システム２００と、搬送装置３００と、を備える。天井ストッカ１００は、複数の保管部１１を備える棚１０と、クレーン用天井軌道２０と、クレーン４０とを備える。棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行するクレーン用天井軌道２０の内側及び外側に配置される（図３参照）。また、棚１０に備える複数の保管部１１は、図１に示すように、フレーム１３に保持されて、上下方向（Ｚ方向）に３段配置されている。保管部１１の段数は任意に設定できる。また、複数の保管部１１は、後述するクレーン４０の走行方向（Ｙ方向）に沿って複数並んで配置される。本実施形態において、保管部１１は、物品２を載置して保管する空間、あるいは保管スペースの意味で用いている。すなわち、保管部１１は、物品２を載置する面（例えば棚板１１ａの上面）と、この面から上方の天井等（例えば棚板１１ａの下面）までの空間とを合わせた物品２の保管空間あるいは保管スペースである。
複数の保管部１１は、物品２を載置する棚板１１ａを備えている。以下の説明において、保管部１１に物品２を置くことは、保管部１１の棚板１１ａに物品２を置くことを意味する。なお、保管部１１の棚板１１ａには、それぞれ物品２を載置した際に物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、物品２は、保管部１１に対して位置決めされる。
棚１０は、フレーム１３によりシステム天井ＳＣ１から吊り下げられた状態で設けられる。システム天井ＳＣ１は、吊り金具３により建屋の天井Ｃから吊り下げられた状態で配置されている。なお、フレーム１３は、システム天井ＳＣ１から吊り下げられることに代えて、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。棚１０の下端は、床面Ｆからの処理装置ＴＬの高さよりも高くなるように設定されている。処理装置ＴＬは、例えば、物品２であるＦＯＵＰに収容されている半導体ウエハに対して製膜処理又はエッチング処理等の各種処理を行う。また、後述するクレーン４０の下端の高さも処理装置ＴＬの高さよりも高くなるように設定されている。すなわち、天井ストッカ１００は、処理装置ＴＬよりも上方に配置されている。なお、クレーン４０の下端は、作業者等が床面Ｆを支障なく通行することが可能な高さに設定される。その結果、天井ストッカ１００の下方の空間の一部を、作業者用通路ＰＳとして利用可能となる。
保管部１１は、クレーン４０により物品２が載置され、また、物品２が取り出される。また、保管部１１は、後述する第２天井搬送車６０により物品２が載置され、また、物品２が取り出される。第２天井搬送車６０により物品２が受け渡される保管部１１は、棚１０のうち最上段の保管部１１である。保管部１１の上下寸法は、後述するクレーン４０の移載装置４２が物品２を持ち上げるために必要な寸法である。クレーン４０の移載装置４２は、例えば、物品２を下面側から支持して持ち上げる構成が採用されており、物品２の上方に大きなスペースを必要としない。例えば、保管部１１の上下寸法は、物品２の上下寸法に数センチ加える程度の寸法とすることも可能である。
クレーン用天井軌道２０は、図１に示すように、システム天井ＳＣ１から吊り金具５により吊り下げられた状態で設けられる。なお、クレーン用天井軌道２０は、システム天井ＳＣ１から吊り下げられることに代えて、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。クレーン用天井軌道２０は、図３に示すように、Ｙ方向に延びる直線部２１と、周回部２２とを有する環状の軌道である。クレーン用天井軌道２０が環状の軌道であることにより、平面視において棚１０を２本の直線部２１に対してＸ方向の両側に設置することができる。クレーン用天井軌道２０は、図１に示すように、天井搬送車システム２００の天井軌道３０よりも床面Ｆからの高さが高い。
クレーン４０は、クレーン用天井軌道２０を走行して物品２を保持して移動する。クレーン４０は、保管部１１と他の保管部１１との間で物品２を移載する。クレーン４０は、クレーン用天井軌道２０を周回走行する。なお、１つのクレーン用天井軌道２０に配置されるクレーン４０は、１台に限定されない。例えば、１つのクレーン用天井軌道２０に２台以上のクレーン４０が配置されてもよい。クレーン４０は、図１及び図２に示すように、クレーン用天井軌道２０から吊り下げられた状態で設けられる。
図４は、クレーン４０の一例を示す図である。クレーン４０は、天井側に敷設されたクレーン用天井軌道２０を走行するので、床面Ｆ側（地上側）に軌道を設ける必要がない。クレーン４０は、２台のクレーン用走行部４１（図２参照）と、移載装置４２と、を備える。クレーン用走行部４１の下方には、取付部４６を介して上部支持部４７が取り付けられ、上部支持部４７により２台のクレーン用走行部４１が連結されている。各クレーン用走行部４１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪４１ａを備え、クレーン用天井軌道２０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、クレーン用走行部４１に備えられて車輪４１ａを駆動する電動モータであってもよいし、クレーン用天井軌道２０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
本実施形態のクレーン４０では、２台のクレーン用走行部４１を用いることにより、重量物である移載装置４２及び物品２を確実に支持することができる。なお、クレーン４０は、２台のクレーン用走行部４１が用いられているが、この構成に限定されず、１台又は３台以上のクレーン用走行部４１が用いられてもよい。
移載装置４２は、マスト４３と、昇降台４４と、駆動部４５と、伸縮部４８と、載置台４９とを備える。マスト４３は、上部支持部４７（クレーン用走行部４１）から吊り下げられた状態で上下方向に延在し、クレーン用走行部４１の走行方向の前後にそれぞれ１本ずつ設けられている（図２参照）。マスト４３は、中空又は中実の棒状に形成され、断面が円形状、楕円形状、長円形状、又は四角形状等の多角形状に形成される。上部支持部４７へのマスト４３の取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。なお、マスト４３は、合計２本であることに限定されず、１本であってもよい。マスト４３は、上記したように、床面Ｆからの下端の高さが処理装置ＴＬの高さよりも高くなるように設けられている。例えば、マスト４３の下端がクレーン４０の下端である。
伸縮部４８は、クレーン用走行部４１の走行方向と直交する方向に伸縮可能な複数のアームにより構成されている。載置台４９は、伸縮部４８の先端に設けられている。載置台４９は、物品２を載置可能な三角形状の板状部材である。載置台４９は、物品２が載置されることにより物品２を保持する保持部である。載置台４９の上面には、物品２の底面に備える溝部に挿入して物品２を位置決めするピンが設けられている。なお、上記した棚板１１ａには、載置台４９が上下方向に通過可能な不図示の切り欠きが設けられている。
移載装置４２は、保管部１１から物品２を受け取る際、伸縮部４８を伸ばして載置台４９を物品２の下方に位置させた状態で昇降台４４を上昇させることにより、載置台４９で物品２をすくい上げる。移載装置４２は、載置台４９に物品２を載置したまま伸縮部４８を縮めることにより、物品２を載置した載置台４９を昇降台４４の上方に配置させる。また、移載装置４２により物品２を保管部１１に渡す際は、上記の逆の動作により行う。なお、移載装置４２は、上記した構成に限定されず、物品２の一部（例えば、物品２であるＦＯＵＰの上部に設けられたフランジ部２ａ）を保持して持ち上げる構成など、他の構成が用いられてもよい。
駆動部４５は、例えば、ホイストなどが用いられ、マスト４３に沿って昇降台４４を昇降させる。駆動部４５は、吊り下げ部材４５ａ及び不図示の駆動部を備える。吊り下げ部材４５ａは、例えば、ベルトあるいはワイヤなどであり、昇降台４４は、この吊り下げ部材４５ａによって上部支持部４７から吊り下げられている。不図示の駆動部は、例えば上部支持部４７に設けられ、吊り下げ部材４５ａの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台４４は、駆動部が吊り下げ部材を繰り出すと、マスト４３に案内されて下降する。また、昇降台４４は、駆動部が吊り下げ部材４５ａを巻き取ると、マスト４３に案内されて上昇する。駆動部４５は、不図示の制御装置等に制御されて、所定の速度で昇降台４４を下降あるいは上昇させる。また、駆動部４５は、制御装置等に制御されて、昇降台４４を目標の高さに保持する。
駆動部４５は、図４に示すように、上部支持部４７（クレーン用走行部４１）に設けられる。なお、駆動部４５は、上部支持部４７に設けられることに代えて、例えば、昇降台４４に設けられてもよい。昇降台４４に駆動部４５が設けられる構成としては、例えば、上部支持部４７から吊り下げたベルトあるいはワイヤなどを昇降台４４に搭載したホイストなどにより巻き上げ又は繰り出しを行って昇降台４４を昇降させてもよい。また、昇降台４４にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト４３に形成され、電動モータ等を駆動してピニオンギアを回転させることにより昇降台４４を昇降させてもよい。
天井搬送車システム２００は、天井軌道３０に沿って走行し、天井軌道３０より下方に配置された所定の移載先である処理装置ＴＬのロードポートＬＰに対して物品２の受け渡しを行う天井搬送車５０を備える。天井軌道３０は、図１に示すように、システム天井ＳＣ２の下面側に取り付けられた状態で設けられる。システム天井ＳＣ２は、天井Ｃから吊り金具４により吊り下げられた状態で設けられる。なお、天井軌道３０は、システム天井ＳＣ２から吊り下げられることに代えて、システム天井ＳＣ１から吊り下げられてもよいし、天井Ｃから吊り下げられてもよい。
天井軌道３０は、平面視でインターベイルート（ベイ間軌道）Ｒ１とインターベイルートＲ２との間に配置されている。天井軌道３０は、ベイ内（イントラベイ内）にそれぞれ設けられたイントラベイルートであり、インターベイルートＲ１等は、イントラベイルートとしての複数の天井軌道３０を相互に接続するために設けられている。天井軌道３０は、インターベイルートＲ１から進入用又は退出用の２本の支線Ｓ１を介して接続され、インターベイルートＲ２から進入用又は退出用の２本の支線Ｓ２を介して接続されている。
天井軌道３０は、直線部３１と、周回部３２と、分岐部３３とを有する。天井搬送車５０は、直線部３１及び周回部３２に沿って一方向（例えば平面視で時計回りの方向）に周回走行することが可能である。直線部３１は、ロードポートＬＰの直上において、複数のロードポートＬＰに沿ってＹ方向に配置される。２本の直線部３１は、平面視でクレーン用天井軌道２０の直線部２１と並行するように配置されている。周回部３２は、曲線部を含んで＋Ｙ側及び－Ｙ側の両端に配置され、２つの直線部３１同士を接続する。分岐部３３は、周回軌道である天井軌道３０において平面視で内側に配置され、２本の直線部３１同士を接続する（図３参照）。分岐部３３の＋Ｘ側及び－Ｘ側には、物品２を載置可能なバッファＢが設けられる（図１参照）。なお、分岐部３３及びバッファＢは、設けられなくてもよい。
天井軌道３０は、クレーン４０（マスト４３）の下端（天井ストッカ１００の下端）より下方に配置される。クレーン４０の下端は、床面Ｆから高さＨ１に設定され、天井軌道３０の上端は、床面Ｆから高さＨ２に設定されている（図２参照）。高さＨ２は、高さＨ１より低く設定されており、その結果、天井軌道３０は、天井ストッカ１００の下端より下方に配置される。また、この天井軌道３０を走行する天井搬送車５０は、天井ストッカ１００の下端より下方において走行する。この構成により、天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００の天井搬送車５０とが側面視において重ならない。
天井搬送車５０は、インターベイルートＲ１、Ｒ２から支線Ｓ１、Ｓ２を介して天井軌道３０に進入し、又は天井軌道３０から支線Ｓ１、Ｓ２を介してインターベイルートＲ１、Ｒ２に退出する。天井搬送車５０は、天井軌道３０に沿って走行し、直線部３１において処理装置ＴＬのロードポートＬＰと、後述する受け渡しポート１２との間で物品２の移載を行う。
天井軌道３０の直線部３１は、所定の間隔（作業者用通路ＰＳ）を隔てて相対向する複数のロードポートＬＰの直上に沿って設けられている。本実施形態では、ロードポートＬＰが、１台の処理装置ＴＬにおいて４カ所設けられているが（図３参照）、この形態に限定されない。例えば、１台の処理装置ＴＬにおいて１カ所から３カ所のロードポートＬＰが設けられてもよいし、５か所以上のロードポートＬＰが設けられてもよい。天井軌道３０は、ロードポートＬＰの直上に設けられているので、天井軌道３０の天井搬送車５０が物品２を昇降させるだけでロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しを行うことができる。また、天井軌道３０の天井搬送車５０が、受け渡しポート１２に対しては把持部５３を横出しして（横移載により）物品２の受け渡しを行うことができる。
天井搬送車５０は、図１及び図２に示すように、走行部５１と、本体部５２とを有する。本体部５２は、物品２を保持する把持部５３と、保持した物品２を昇降させる昇降駆動部５４と、走行部５１に対して昇降駆動部５４を横方向に移動させる横出し機構５５と、を備える。走行部５１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪５１ａを備え、天井軌道３０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、走行部５１に備えられて車輪５１ａを駆動する電動モータであってもよいし、天井軌道３０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
本体部５２は、取付部５２ａを介して走行部５１の下部に取り付けられている。本体部５２は、物品２を保持する把持部５３と、把持部５３を吊り下げて昇降させる昇降駆動部５４と、昇降駆動部５４を軌道の側方に移動させる横出し機構５５とを有する。把持部５３は、物品２のフランジ部２ａを上方から把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。把持部５３は、例えば、水平方向に進退可能な複数の爪部５３ａを有するチャックであり、爪部５３ａを物品２のフランジ部２ａの下方に進入させ、把持部５３を上昇させることにより物品２を吊り下げた状態で保持する。把持部５３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材５３ｂと接続されている。把持部５３は、昇降駆動部５４から吊り下げられた状態で昇降する。
昇降駆動部５４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材５３ｂを繰り出すことにより把持部５３を下降させ、吊り下げ部材５３ｂを巻き取ることにより把持部５３を上昇させる。昇降駆動部５４は、不図示の制御装置等に制御され、所定の速度で把持部５３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部５４は、制御装置等により制御され、把持部５３を目標の高さに保持する。
横出し機構５５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、走行部５１の走行方向の側方（走行方向に直交する方向、横方向）に移動可能である。可動板には、昇降駆動部５４が取り付けられている。本体部５２は、横出し機構５５を案内する不図示のガイド、及び横出し機構５５を駆動する不図示の駆動部などを有する。横出し機構５５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部５４及び把持部５３を突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、本体部５２から把持部５３を側方に突出する位置である。格納位置は、本体部５２内に把持部５３を格納する位置である。なお、昇降駆動部５４と把持部５３との間には、昇降駆動部５４（把持部５３）を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよい。
天井搬送車５０は、昇降駆動部５４により物品２を昇降させて、ロードポートＬＰとの間で物品２を受け渡すことが可能である。また、天井搬送車５０は、横出し機構５５により昇降駆動部５４を複数の受け渡しポート１２のいずれかの上方に移動させた状態で、昇降駆動部５４により物品２を昇降させて、横出し機構５５により移動された昇降駆動部５４の下方に存在する受け渡しポート１２との間で物品２を受け渡すことが可能である。
搬送装置３００は、天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００との間で上下方向に物品２を搬送する。本実施形態では、搬送装置３００は、第２天井搬送車６０である。また、保管システムＳＹＳは、天井搬送車システム２００と搬送装置３００（第２天井搬送車６０）との間で物品を受け渡すための受け渡しポート１２を備える。受け渡しポート１２は、第２天井搬送車６０が走行するクレーン用天井軌道２０の直線部２１の下方に複数配置される。また、受け渡しポート１２は、天井軌道３０に対して横方向かつ下方に配置される。その結果、上記のように、天井搬送車５０は受け渡しポート１２に対して横移載により物品２の受け渡しが可能である。
第２天井搬送車６０は、天井ストッカ１００と、受け渡しポート１２との間で上下方向に物品２を搬送する。図５は、第２天井搬送車６０の一例を示す図である。第２天井搬送車６０は、第２走行部６１と、第２本体部６２とを有する。第２走行部６１は、クレーン４０のクレーン用走行部４１と同様の構成が適用されており、不図示の走行駆動部及び複数の車輪６１ａを備え、クレーン用天井軌道２０に沿って走行する。
第２本体部６２は、取付部６２ａを介して第２走行部６１の下部に取り付けられている。第２本体部６２は、物品２を保持する第２把持部６３と、第２把持部６３を昇降させる第２昇降駆動部６４と、第２昇降駆動部６４を軌道の側方に移動させる第２横出し機構６５とを有する。第２把持部６３は、例えば、爪部６３ａを有するチャックであり、吊り下げ部材６３ｂと接続されている。
第２昇降駆動部６４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材６３ｂの繰り出し又は巻き取りにより第２把持部６３を昇降させる。第２横出し機構６５は、第２昇降駆動部６４及び第２把持部６３を、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、第２本体部６２から第２把持部６３を側方に突出する位置である。格納位置は、第２本体部６２内に第２把持部６３を格納する位置である。なお、第２横出し機構６５と第２昇降駆動部６４との間には、第２昇降駆動部６４（第２把持部６３）を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよい。
これら第２走行部６１、第２本体部６２、第２把持部６３、第２昇降駆動部６４、及び第２横出し機構６５は、上記した天井搬送車５０の走行部５１、本体部５２、把持部５３、昇降駆動部５４、横出し機構５５と同様の構成が適用される。従って、第２天井搬送車６０は、天井搬送車システム２００の天井搬送車５０をそのまま適用可能である。さらに、第２天井搬送車６０は、クレーン用天井軌道２０を走行するので別途軌道を設ける必要がなく、保管システムＳＹＳの製造コストを低減できる。
第２天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４により物品２を昇降させて、受け渡しポート１２との間で物品２を受け渡すことが可能である。また、第２天井搬送車６０は、第２横出し機構６５により第２昇降駆動部６４を複数段の保管部１１のうちの少なくとも１つの保管部１１の上方に移動させた状態で、第２昇降駆動部６４により物品２を昇降させて、第２横出し機構６５により移動された第２昇降駆動部６４の下方に存在する保管部１１との間で物品２を受け渡すことが可能である。本実施形態では、棚１０のうち最上段の保管部１１との間で物品２を受け渡すことが可能である。なお、第２天井搬送車６０との間で物品２を受け渡す保管部１１は、最上段以外の保管部１１であってもよい。
図６は、図３の一部を拡大して示す図であり、天井ストッカ１００の棚１０とロードポートＬＰとの位置関係の一例を示している。図６に示すように、本実施形態では、棚１０の一部と、所定の移載先である処理装置ＴＬのロードポートＬＰとが、平面視において重なっている。従って、棚１０をロードポートＬＰの上方まで水平方向に拡張することができ、多くの物品２を保管することができる。また、棚１０は、天井搬送車システム２００の天井軌道３０に対しても平面視で重なっている。すなわち、天井搬送車システム２００の天井軌道３０の配置にかかわらず、棚１０を設けることができるので、棚１０の配置の自由度が高く、物品２の収納効率がよい棚１０の配置を容易に実現できる。
図７は、図３の一部を拡大して示す図であり、受け渡しポート１２とロードポートＬＰとの位置関係の一例を示している。図７では、図を判別しやすくするため、天井ストッカ１００側の構成を省略している。図７に示すように、受け渡しポート１２と、ロードポートＬＰとは、平面視においてずれて配置されている。すなわち、受け渡しポート１２と、ロードポートＬＰの直上にある天井搬送車システム２００の天井軌道３０とは、平面視においてずれて配置されている（平面視において重なっていない）。
このため、第２天井搬送車６０が受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しを行う際に、天井軌道３０あるいは天井軌道３０を走行する天井搬送車５０との干渉を回避できる。また、第２天井搬送車６０が受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しを行う際に、天井搬送車５０の走行を許容するので、天井搬送車システム２００による物品２の搬送効率を低下させることを回避できる。
また、保管システムＳＹＳは、不図示の制御装置を有する。この制御装置は、保管システムＳＹＳを統括して制御する。制御装置は、無線又は有線による通信によりクレーン４０、天井搬送車５０、及び第２天井搬送車６０の動作を制御する。なお、制御装置は、クレーン４０を制御する制御装置と、天井搬送車５０を制御する制御装置と、第２天井搬送車６０を制御する制御装置と、に分割されてもよい。
図８から図１１は、保管システムＳＹＳにおいて保管部１１からロードポートＬＰに物品２を搬送する場合の動作の一例を示す図である。不図示の制御装置は、最上段の保管部１１から搬送対象の物品２を受け取り、指定された受け渡しポート１２に物品２を渡すように第２天井搬送車６０（搬送装置３００）を制御する。まず、搬送対象の物品２が最上段以外の保管部１１にある場合、天井ストッカ１００のクレーン４０は、物品２を棚１０における最上段の保管部１１に移載する。
続いて、図８に示すように、第２天井搬送車６０は、クレーン用天井軌道２０に沿って走行し、搬送対象の物品２が載置された保管部１１の側方に停止して、第２横出し機構６５により第２昇降駆動部６４を突出させた後に第２昇降駆動部６４により第２把持部６３を下降させ、第２把持部６３により物品２を把持する。続いて、第２天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４により第２把持部６３を上昇させた後、第２横出し機構６５を縮めて第２把持部６３を格納位置に戻すことにより、物品２を第２本体部６２内に収容する。
続いて、第２天井搬送車６０は、第２把持部６３により物品２を保持した状態でクレーン用天井軌道２０に沿って走行し、指定された受け渡しポート１２の直上で停止する。続いて、図９に示すように、第２天井搬送車６０は、第２昇降駆動部６４を駆動して第２把持部６３及び物品２を下降させ、物品２を受け渡しポート１２に載置させた後に第２把持部６３による把持を解放することにより物品２を受け渡しポート１２に渡す。
次に、不図示の制御装置は、受け渡しポート１２から物品２を受け取り、指定されたロードポートＬＰに物品２を渡すように天井搬送車システム２００の天井搬送車５０を制御する。図１０に示すように、天井搬送車５０は、天井軌道３０に沿って走行し、物品２が載置された受け渡しポート１２の側方に停止して、横出し機構５５により昇降駆動部５４を突出させた後に昇降駆動部５４により把持部５３を下降させ、把持部５３により物品２を把持する。その後、天井搬送車５０は、昇降駆動部５４により把持部５３を上昇させた後、横出し機構５５を縮めて把持部５３を格納位置に戻すことにより、物品２を本体部５２内に収容する。
続いて、天井搬送車５０は、把持部５３により物品２を保持した状態で天井軌道３０に沿って走行し、指定されたロードポートＬＰの直上で停止する。続いて、図１１に示すように、天井搬送車５０は、昇降駆動部５４を駆動して把持部５３及び物品２を下降させ、物品２をロードポートＬＰに載置させた後に把持部５３による把持を解放することにより物品２をロードポートＬＰに渡す。この一連の動作によって、物品２は、受け渡しポート１２を経由して天井ストッカ１００の保管部１１（棚１０）から処理装置ＴＬのロードポートＬＰに搬送される。
また、処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した図８から図１１に示す一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、受け渡しポート１２を経由して処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に搬送される。なお、物品２の移載先がロードポートＬＰ以外であっても上記と同様であり、ロードポートＬＰ以外から物品２を受ける場合についても上記と同様である。
このように、本実施形態に係る保管システムＳＹＳによれば、天井ストッカ１００の下端より下方において天井搬送車システム２００の第２天井搬送車６０が走行するので、天井搬送車システム２００の天井軌道３０をロードポートＬＰに合わせて敷設した場合でも、天井軌道３０の配置にかかわらず棚１０を配置でき、物品２の保管効率を向上させることができる。さらに、棚１０を水平方向に容易に拡張することにより、多くの物品２を保管することができる。また、クレーン４０により複数段の保管部１１の間で物品２を移載するので、棚１０が水平方向に拡張された場合であっても物品２の移載を容易に行うことができる。また、第２天井搬送車６０（搬送装置３００）により天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００との間で物品２を効率よく搬送することができ、物品２の搬送効率を向上させることができる。
［第２実施形態］
上記した第１実施形態では、搬送装置３００が第２天井搬送車６０である構成を示しているが、この構成に限定されない。図１２は、第２実施形態に係る保管システムＳＹＳ２の一例を示す側面図である。図１２は、保管システムＳＹＳ２をＸ方向から見た図である。なお、以下の説明において、上記した第１実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付けて説明を省略又は簡略化する。
図１２に示す保管システムＳＹＳ２では、搬送装置３００Ａとしてコンベヤ装置７０が用いられる。コンベヤ装置７０は、複数の保管部１１の最下段の一部に配置される上部ポート１４と、天井搬送車システム２００との間で物品２の受け渡しを行う下部ポート１５とを有する。従って、下部ポート１５は、コンベヤ装置７０（搬送装置３００Ａ）と天井搬送車システム２００との間で物品２の受け渡しを行う受け渡しポート１２である。上部ポート１４及び下部ポート１５には、上下方向に昇降可能な昇降棚板１１ｂが配置される。昇降棚板１１ｂは、物品２を載置可能に設けられており、不図示の昇降駆動部によって上部ポート１４に設定される第１位置Ｐ１と、下部ポート１５に設定される第２位置Ｐ２との間を昇降可能である。
図１２では、２基のコンベヤ装置７０が用いられている。この場合、２基のコンベヤ装置７０の双方において、天井ストッカ１００に対する物品２の搬入及び搬出を行う形態であってもよいし、一方のコンベヤ装置７０を天井ストッカ１００からの物品２の搬出用として用い、他方のコンベヤ装置７０を天井ストッカ１００への物品２の搬入用として用いる形態であってもよい。なお、コンベヤ装置７０の数は任意であり、搬送装置３００Ａとして１基のコンベヤ装置７０が用いられてもよいし、３基以上のコンベヤ装置７０が用いられてもよい。
保管システムＳＹＳ２において、保管部１１からロードポートＬＰに物品２を搬送する場合、不図示の制御装置は、天井ストッカ１００のクレーン４０が保管部１１から上部ポート１４に物品２を移動するようにクレーン４０を制御する。クレーン４０は、所定の保管部１１から物品２を受け取った後、クレーン用天井軌道２０に沿って走行し、上部ポート１４の側方に停止して、移載装置４２により物品２を上部ポート１４の昇降棚板１１ｂに渡す。この動作により、物品２は、保管部１１から上部ポート１４に搬送される。
続いて、不図示の制御装置は、コンベヤ装置７０により物品２を上部ポート１４から下部ポート１５に搬送するようにコンベヤ装置７０を制御する。コンベヤ装置７０は、物品２が載置された状態の昇降棚板１１ｂを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に下降させる。その結果、物品２は、下部ポート１５に移動する。すなわち、物品２は、受け渡しポート１２に載置された状態となる。
次に、不図示の制御装置は、天井搬送車システム２００の天井搬送車５０が下部ポート１５の昇降棚板１１ｂから物品２を受け取ってロードポートＬＰに渡すように天井搬送車５０を制御する。天井搬送車５０は、天井軌道３０に沿って走行し、物品２が載置された下部ポート１５の昇降棚板１１ｂの側方に停止して、横出し機構５５を突出させた後に昇降駆動部５４により把持部５３を下降させ、把持部５３により物品２を把持する。その後、天井搬送車５０は、昇降駆動部５４により把持部５３を上昇させた後、横出し機構５５を縮めて把持部５３を格納位置に戻すことにより、物品２を本体部５２内に収容する。
続いて、天井搬送車５０は、把持部５３により保持した物品２を指定されたロードポートＬＰに渡す点は、上記した第１実施形態と同様である。また、処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、コンベヤ装置７０の昇降棚板１１ｂを介して処理装置ＴＬのロードポートＬＰから天井ストッカ１００の保管部１１に搬送される。なお、物品２の移載先がロードポートＬＰ以外であっても上記と同様であり、ロードポートＬＰ以外から物品２を受ける場合についても上記と同様である。
このように、第２実施形態に係る保管システムＳＹＳ２によれば、第１実施形態の保管システムＳＹＳと同様に、天井搬送車システム２００の天井軌道３０をロードポートＬＰに合わせて敷設した場合でも、天井軌道３０の配置にかかわらず棚１０を配置でき、物品２の保管効率を向上させることができる。さらに、棚１０を水平方向に容易に拡張することにより、多くの物品２を保管することができる。また、クレーン４０により複数段の保管部１１の間で物品２を移載するので、棚１０が水平方向に拡張された場合であっても物品２の移載を容易に行うことができる。また、コンベヤ装置７０（搬送装置３００Ａ）により天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００との間で物品２を効率よく搬送することができ、物品２の搬送効率を向上させることができる。
なお、保管システムＳＹＳ２は、搬送装置３００Ａであるコンベヤ装置７０に代えて、例えば、ローカル搬送台車が用いられてもよい。このローカル搬送台車は、１つ又は複数の保管部１１の直上から受け渡しポート１２の直上にわたって設けられたローカル軌道に沿って走行し、物品２を保持して昇降させるホイストを備えている。ローカル搬送台車は、ローカル軌道に沿って走行し、ローカル軌道の直下の保管部１１に載置された物品２を受け取り、ローカル軌道に沿って走行して受け渡しポート１２の直上で停止した後、物品２をホイストにより下降させて受け渡しポート１２に物品２を渡すことができる。また、ローカル搬送台車は、受け渡しポート１２に載置された物品２を受け取ってホイストにより物品２を上昇させた後、ローカル軌道に沿って走行して保管部１１の直上に停止し、ローカル搬送台車の直下の保管部１１に物品２を渡すことができる。
このように、保管システムＳＹＳ２では、コンベヤ装置７０に代えて、例えば、ローカル搬送台車を搬送装置として用いる構成であっても、天井ストッカ１００と天井搬送車システム２００との間で上下方向に物品２を搬送することができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、保管システムＳＹＳ、ＳＹＳ２において、クレーン用天井軌道２０と天井軌道３０とが接続されない構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、クレーン用天井軌道２０と天井軌道３０とが接続軌道等を介して接続されてもよい。
また、上記した実施形態では、保管システムＳＹＳ、ＳＹＳ２において、棚１０、クレーン用天井軌道２０、天井軌道３０が、天井Ｃ又はシステム天井ＳＣ１、ＳＣ２から吊り下げられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、棚１０、クレーン用天井軌道２０、及び天井軌道３０の少なくとも１つが、床面Ｆ上に設けられた支柱あるいはフレーム、架台等によって支持され、棚１０等の荷重を床面Ｆで受けるような構成であってもよい。
なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１８－２４２９３６、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
ＬＰ・・・ロードポート（移載先）
ＳＹＳ、ＳＹＳ２・・・保管システム
ＴＬ・・・処理装置
２・・・物品
１０・・・棚
１１・・・保管部
１１ａ・・・棚板
１２・・・受け渡しポート
２０・・・クレーン用天井軌道
３０・・・搬送車用軌道
４０・・・クレーン
４１・・・クレーン用走行部
４２・・・移載装置
４５・・・駆動部
５４，６４・・・昇降駆動部
５０・・・天井搬送車
５１・・・走行部
５２・・・本体部
５３・・・把持部
５５・・・横出し機構
６０・・・第２天井搬送車
６１・・・第２走行部（搬送装置用走行部）
６２・・・第２本体部
６３・・・第２把持部
６４・・・第２昇降駆動部（搬送装置用昇降駆動部）
６５・・・第２横出し機構（搬送装置用横出し機構）
７０・・・コンベヤ装置
１００・・・天井ストッカ
２００・・・天井搬送車システム
３００，３００Ａ・・・搬送装置

Claims (7)

  1. クレーン用天井軌道と、物品を載置する保管部を上下方向に複数段備える棚と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行し、複数段の前記保管部の間で物品を移載するクレーンと、を備える天井ストッカと、
    所定の移載先に対して物品の受け渡しを行う天井搬送車システムと、
    前記天井ストッカと前記天井搬送車システムとの間で上下方向に物品を搬送する搬送装置と、
    前記天井搬送車システムと前記搬送装置との間で物品を受け渡すための受け渡しポートと、を備え、
    前記天井搬送車システムは、前記天井ストッカの下端より下方に設けられ、
    前記搬送装置は、
    保持した物品を昇降させる搬送装置用昇降駆動部と、
    前記受け渡しポートの上方と複数段の前記保管部のうちの少なくとも１つの前記保管部の上方との間で前記搬送装置用昇降駆動部を横方向に移動させる搬送装置用横出し機構と、を備え、
    前記搬送装置用昇降駆動部を前記受け渡しポートの上方に位置させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、
    前記搬送装置用昇降駆動部を前記少なくとも１つの前記保管部の上方に移動させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する前記保管部との間で物品を受け渡し可能である、保管システム。
  2. 前記受け渡しポートは、複数配置される、請求項１に記載の保管システム。
  3. 前記天井搬送車システムは、
    前記天井ストッカの下端よりも下方に配置された天井軌道と、
    前記天井軌道に沿って走行する天井搬送車と、を備え、
    前記天井搬送車は、
    前記天井軌道に沿って走行する走行部と、
    保持した物品を昇降させる昇降駆動部と、
    前記走行部に対して前記昇降駆動部を横方向に移動させる横出し機構と、を備え、
    前記受け渡しポートは、前記天井軌道に対して横方向かつ下方に設けられ、
    前記天井搬送車は、
    前記昇降駆動部により物品を昇降させて、前記所定の移載先との間で物品を受け渡し可能であり、
    前記横出し機構により前記昇降駆動部を前記受け渡しポートの上方に移動させた状態で、前記昇降駆動部により物品を昇降させて、前記横出し機構により移動された前記昇降駆動部の下方に存在する前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能である、請求項１又は請求項２に記載の保管システム。
  4. 前記搬送装置は、前記クレーン用天井軌道を走行する搬送装置用走行部を備え、
    前記受け渡しポートは、前記搬送装置に対して下方に設けられ、
    前記搬送装置は、
    前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記受け渡しポートとの間で物品を受け渡し可能であり、
    前記搬送装置用横出し機構により前記搬送装置用昇降駆動部を複数段の前記保管部のうちの少なくとも１つの前記保管部の上方に移動させた状態で、前記搬送装置用昇降駆動部により物品を昇降させて、前記搬送装置用横出し機構により移動された前記搬送装置用昇降駆動部の下方に存在する前記保管部との間で物品を受け渡し可能である、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の保管システム。
  5. 前記受け渡しポートと前記所定の移載先とは、平面視においてずれている、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の保管システム。
  6. 前記棚の一部と前記所定の移載先とは、平面視において重なっている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の保管システム。
  7. 前記クレーンは、
    前記クレーン用天井軌道を走行するクレーン用走行部と、
    複数段の前記保管部の間で物品を移載する移載装置と、を備え、
    前記移載装置は、
    前記クレーン用走行部から吊り下げられた状態で上下方向に延在するマストと、
    前記マストに沿って昇降する昇降台と、
    前記昇降台を昇降させる駆動部と、
    前記昇降台から前記クレーン用走行部の走行方向と直交する方向に伸縮可能に設けられた伸縮部と、
    前記伸縮部の先端に設けられて物品を保持する保持部と、を備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の保管システム。
JP2020562909A 2018-12-26 2019-11-14 保管システム Active JP7140210B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018242936 2018-12-26
JP2018242936 2018-12-26
PCT/JP2019/044683 WO2020137225A1 (ja) 2018-12-26 2019-11-14 保管システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020137225A1 JPWO2020137225A1 (ja) 2021-11-04
JP7140210B2 true JP7140210B2 (ja) 2022-09-21

Family

ID=71128998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020562909A Active JP7140210B2 (ja) 2018-12-26 2019-11-14 保管システム

Country Status (8)

Country Link
US (1) US11942347B2 (ja)
EP (1) EP3882181A4 (ja)
JP (1) JP7140210B2 (ja)
KR (1) KR102530860B1 (ja)
CN (1) CN113195379B (ja)
SG (1) SG11202106551XA (ja)
TW (1) TWI818135B (ja)
WO (1) WO2020137225A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102684999B1 (ko) * 2020-09-25 2024-07-12 세메스 주식회사 스토커 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치
KR102661744B1 (ko) * 2020-11-05 2024-04-26 세메스 주식회사 컨테이너 반송 장치 및 이를 구비하는 컨테이너 저장 시스템
TWI813393B (zh) * 2022-02-17 2023-08-21 盟立自動化股份有限公司 高空走行式無人搬運車的搬運系統及無人搬運車

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000142909A (ja) 1998-11-16 2000-05-23 Murata Mach Ltd 自動倉庫
US20090022575A1 (en) 2007-07-19 2009-01-22 Asyst Shinko. Inc. Article storing apparatus
WO2013183376A1 (ja) 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3057945B2 (ja) 1993-01-18 2000-07-04 東京エレクトロン株式会社 基板支持装置
JPH11121582A (ja) * 1997-10-15 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備
JPH11191582A (ja) 1997-12-26 1999-07-13 Mitsubishi Electric Corp カセット搬送システム
JP2000124284A (ja) * 1998-10-13 2000-04-28 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 搬送装置
JP2001031213A (ja) * 1999-07-26 2001-02-06 Murata Mach Ltd 自動倉庫とそれを用いた搬送システム
EP1535143A4 (en) 2002-06-19 2010-05-05 Brooks Automation Inc AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS
JP2007022677A (ja) 2005-07-12 2007-02-01 Asyst Shinko Inc ストッカ装置
US7661919B2 (en) * 2005-09-28 2010-02-16 Muratec Automation Co., Ltd. Discontinuous conveyor system
TW200827264A (en) 2006-12-25 2008-07-01 Powerchip Semiconductor Corp Method and system for sharing overhead external buffers in semiconductor manufacturing
DE102009025052A1 (de) * 2009-06-10 2011-04-28 Gottwald Port Technology Gmbh System zum Wechseln einer Batterie eines flurgebundenen Tranportfahrzeuges, insbesondere eines fahrerlosen Schwerlast-Transportfahrzeuges für ISO-Container
JP5515443B2 (ja) * 2009-06-17 2014-06-11 村田機械株式会社 保管庫
WO2011065146A1 (ja) * 2009-11-27 2011-06-03 株式会社ダイフク 天井搬送車
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5700119B2 (ja) * 2011-05-25 2015-04-15 村田機械株式会社 ロードポート装置、搬送システム、及びコンテナ搬出方法
JP5700255B2 (ja) 2012-03-27 2015-04-15 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品搬送設備
CN102616518B (zh) * 2012-03-29 2013-12-11 缪慰时 用于高密度自动仓库中的遥控穿梭车
JP6044467B2 (ja) 2013-06-26 2016-12-14 株式会社ダイフク 保管システム
US10325794B2 (en) 2014-04-28 2019-06-18 Murata Machinery, Ltd. Purge device and purge method
KR101942394B1 (ko) * 2014-09-25 2019-01-25 무라다기카이가부시끼가이샤 퍼지 장치 및 퍼지 방법
KR101993402B1 (ko) * 2015-05-01 2019-06-26 무라다기카이가부시끼가이샤 자동 창고 및 현수식(懸垂式) 스태커 크레인
JP2017030944A (ja) 2015-08-04 2017-02-09 村田機械株式会社 搬送システム
US10043699B2 (en) * 2015-11-13 2018-08-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. High capacity overhead transport (OHT) rail system with multiple levels
JP6766584B2 (ja) 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6718596B2 (ja) * 2016-11-14 2020-07-08 村田機械株式会社 天井搬送システムとこれに用いる中継搬送装置及び搬送方法
KR102633352B1 (ko) 2017-04-06 2024-02-06 다이후쿠 아메리카 코퍼레이션 수직 이송 장치를 포함한 보관 시스템
KR102431540B1 (ko) * 2018-03-22 2022-08-11 무라다기카이가부시끼가이샤 스토커 시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000142909A (ja) 1998-11-16 2000-05-23 Murata Mach Ltd 自動倉庫
US20090022575A1 (en) 2007-07-19 2009-01-22 Asyst Shinko. Inc. Article storing apparatus
WO2013183376A1 (ja) 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202026216A (zh) 2020-07-16
SG11202106551XA (en) 2021-07-29
US20220073275A1 (en) 2022-03-10
EP3882181A4 (en) 2022-08-10
KR102530860B1 (ko) 2023-05-10
CN113195379B (zh) 2022-12-30
WO2020137225A1 (ja) 2020-07-02
EP3882181A1 (en) 2021-09-22
JPWO2020137225A1 (ja) 2021-11-04
US11942347B2 (en) 2024-03-26
KR20210092269A (ko) 2021-07-23
CN113195379A (zh) 2021-07-30
TWI818135B (zh) 2023-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7140210B2 (ja) 保管システム
JP6897864B2 (ja) ストッカシステム
JP7235059B2 (ja) 保管システム
JP7211439B2 (ja) 搬送システム
TWI714809B (zh) 搬送系統
JP6849065B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP7136236B2 (ja) 保管システム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210618

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210618

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220809

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220822

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7140210

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150