KR102530860B1 - 보관 시스템 - Google Patents

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KR102530860B1
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에이지 와다
요시키 유아사
코스케 이리노
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

(과제) 물품을 보관하는 선반을 수평 방향으로 용이하게 확장한다.
(해결 수단) 보관 시스템(SYS)은 크레인용 천장 궤도(20)와, 물품(2)을 적재하는 보관부(11)를 상하 방향으로 복수단 구비하는 선반(10)과, 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 복수단의 보관부(11) 사이에서 물품(2)을 이재하는 크레인(40)을 구비하는 천장 스토커(100)와, 소정의 이재처에 대하여 물품(2)의 주고받음을 행하는 천장 반송차 시스템(200)과, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송하는 반송 장치(300)를 구비하는 보관 시스템(SYS)으로서, 천장 반송차 시스템(200)은 천장 스토커(100)의 하단보다 하방에 설치된다.

Description

보관 시스템
본 발명은 보관 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등에서는 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 또는 레티클을 수용하는 레티클 포드 등의 물품을 천장 반송차 시스템에 구비하는 천장 반송차에 의해 반송하고, 처리 장치의 로드 포트 등의 이재처에 대하여 물품의 주고받음을 행하는 것이 알려져 있다. 또한, 물품을 천장 반송차에 의해 반송하고, 건물 등의 천장에 설치된 선반의 보관부에 적재해서 보관하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에서는 천장에 설치된 천장 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차에 의해 물품을 선반의 보관부에 대하여 주고받는 것에 대하여 개시되어 있다.
일본특허공개 2017-030944호 공보
특허문헌 1에서는 선반과 천장 반송차가 측면에서 볼 때에 있어서 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 천장 반송차가 주행하는 천장 궤도는 로드 포트 등의 이재처에 대응하여, 예를 들면 이재처의 바로 위를 통과하도록 배치된다. 따라서, 이재처에 맞춰 천장 궤도를 부설한 결과, 이 천장 궤도를 피한 스페이스에 선반을 배치하지 않으면 안 되고, 선반을 수평 방향으로 확장하는 것이 어렵다는 문제가 있다. 예를 들면, 병행하는 천장 궤도 간의 스페이스가 좁은 경우는 선반을 설치할 수 없거나, 또는 병행하는 천장 궤도 간의 스페이스에 따라서는 선반을 정수배로 나란히 배치할 수 없는 등 물품의 보관 효율이 좋지 않다는 과제가 있다.
본 발명은 물품을 보관하는 선반을 수평 방향으로 용이하게 확장하는 것이 가능한 보관 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 양태에 의한 보관 시스템은 크레인용 천장 궤도와, 물품을 적재하는 보관부를 상하 방향으로 복수단 구비하는 선반과, 크레인용 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수단의 보관부 사이에서 물품을 이재하는 크레인을 구비하는 천장 스토커와, 소정의 이재처에 대하여 물품의 주고받음을 행하는 천장 반송차 시스템과, 천장 스토커와 천장 반송차 시스템 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하는 보관 시스템으로서, 천장 반송차 시스템은 천장 스토커의 하단보다 하방에 설치된다.
또한, 천장 반송차 시스템과 반송 장치 사이에서 물품을 주고받기 위한 주고받음 포트를 구비해도 좋다. 또한, 주고받음 포트는 복수 배치되어도 좋다.
또한, 천장 반송차 시스템은 천장 스토커의 하단보다 하방에 배치된 천장 궤도와, 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부와, 유지한 물품을 승강시키는 승강 구동부와, 주행부에 대하여 승강 구동부를 횡방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비한 천장 반송차를 갖고, 주고받음 포트는 천장 궤도에 대하여 횡방향 및 하방에 설치되고, 천장 반송차는 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 소정의 이재처와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 주고받음 포트의 상방으로 이동시킨 상태에서 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 횡출 기구에 의해 이동된 승강 구동부의 하방에 존재하는 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능해도 좋다.
또한, 반송 장치는 크레인용 천장 궤도를 주행하는 제 2 주행부와, 유지한 물품을 승강시키는 제 2 승강 구동부와, 제 2 주행부에 대하여 제 2 승강 구동부를 횡방향으로 이동시키는 제 2 횡출 기구를 구비하는 제 2 천장 반송차이며, 주고받음 포트는 제 2 천장 반송차에 대하여 하방에 설치되고, 제 2 천장 반송차는 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 제 2 횡출 기구에 의해 제 2 승강 구동부를 복수단의 보관부 중 적어도 1개의 보관부의 상방으로 이동시킨 상태에서 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 제 2 횡출 기구에 의해 이동된 제 2 승강 구동부의 하방에 존재하는 보관부와의 사이에서 물품을 주고받음가능해도 좋다.
또한, 주고받음 포트와, 소정의 이재처는 평면으로 볼 때에 있어서 어긋나 있어도 좋다. 또한, 선반의 일부와, 소정의 이재처는 평면으로 볼 때에 있어서 겹쳐 있어도 좋다. 또한, 크레인은 크레인용 천장 궤도를 주행하는 크레인용 주행부와, 복수단의 보관부 사이에서 물품을 이재하는 이재 장치를 구비하고, 이재 장치는 크레인용 주행부로부터 매달린 상태에서 상하 방향으로 연장되는 마스트와, 마스트를 따라 승강하는 승강대와, 승강대를 승강시키는 구동부와, 승강대로부터 크레인용 주행부의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축가능한 신축부와, 신축부의 선단에 설치되어 물품을 유지하는 유지부를 구비해도 좋다.
상기 양태의 보관 시스템에 의하면, 천장 스토커와 천장 반송차 시스템이 측면에서 볼 때에 있어서 겹쳐 있지 않다. 따라서, 천장 반송차 시스템의 천장 궤도를 소정의 이재처에 맞춰 부설한 경우에도 이 천장 궤도의 배치에 관계없이 선반을 배치할 수 있으므로, 선반을 수평 방향으로 용이하게 확장할 수 있어 많은 물품을 효율 좋게 보관할 수 있다. 또한, 크레인에 의해 복수단의 보관부 사이에서 물품을 이재하므로, 선반이 수평 방향으로 확장되었을 경우에도 물품의 이재를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 반송 장치에 의해 천장 스토커와 천장 반송차 시스템 사이에서 물품을 효율 좋게 반송할 수 있어 물품의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 천장 반송차 시스템과 반송 장치 사이에서 물품을 주고받기 위한 주고받음 포트를 구비하는 구성에서는 주고받음 대상의 물품을 주고받음 포트에 적재함으로써, 천장 반송차 시스템 또는 반송 장치는 다음 작업을 개시할 수 있고, 물품을 효율 좋게 주고받을 수 있다. 또한, 주고받음 포트가 복수 배치되는 구성에서는 복수의 주고받음 포트에 물품을 적재시킴으로써, 천장 반송차 시스템과 반송 장치 사이에서 효율 좋게 물품을 주고받을 수 있다.
또한, 천장 반송차 시스템이 천장 스토커의 하단보다 하방에 배치된 천장 궤도와, 천장 궤도를 주행하는 주행부와, 승강 구동부와, 횡출 기구를 구비한 천장 반송차를 갖고, 주고받음 포트가 천장 궤도에 대하여 횡방향 및 하방에 설치되고, 천장 반송차가 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 소정의 이재처와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 주고받음 포트의 상방으로 이동시킨 상태에서 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 횡출 기구에 의해 이동된 승강 구동부의 하방에 존재하는 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능한 구성에서는 천장 반송차 시스템에 있어서 상기한 천장 반송차를 사용함으로써, 소정의 이재처 및 주고받음 포트에 대하여 각각 물품을 신속하고 또한 정확하게 주고받을 수 있다.
또한, 반송 장치가 크레인용 천장 궤도를 주행하는 제 2 주행부와, 제 2 승강 구동부와, 제 2 횡출 기구를 구비하는 제 2 천장 반송차이며, 주고받음 포트가 제 2 천장 반송차에 대하여 하방에 설치되고, 제 2 천장 반송차가 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 제 2 횡출 기구에 의해 제 2 승강 구동부를 복수단의 보관부 중 적어도 1개의 보관부의 상방으로 이동시킨 상태에서 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 제 2 횡출 기구에 의해 이동된 제 2 승강 구동부의 하방에 존재하는 보관부와의 사이에서 물품을 주고받음가능한 구성에서는 제 2 천장 반송차의 제 2 주행부가 크레인용 천장 궤도를 주행하므로, 반송 장치를 위한 궤도를 별도 설치할 필요가 없다. 또한, 이러한 제 2 천장 반송차를 사용함으로써, 선반의 보관부 및 주고받음 포트에 대하여 각각 물품을 신속하고 또한 정확하게 주고받을 수 있다.
또한, 주고받음 포트와, 소정의 이재처는 평면으로 볼 때에 있어서 어긋나 있는 구성에서는 소정의 이재처의 바로 위에 천장 반송차 시스템의 천장 궤도를 배치할 수 있고, 천장 반송차가 물품을 승강시킴으로써, 소정의 이재처에 대하여 물품의 주고받음을 행할 수 있다. 또한, 선반의 일부와, 소정의 이재처가 평면으로 볼 때에 있어서 겹쳐 있는 구성에서는 소정의 이재처의 상방까지 선반을 수평 방향으로 확장할 수 있어 많은 물품을 선반의 보관부에 보관시킬 수 있다. 또한, 크레인이 상기한 크레인용 주행부와, 이재 장치를 구비하고, 이재 장치가 상기한 마스트와, 승강대와, 구동부와, 신축부와, 유지부를 구비하는 구성에서는 복수단의 보관부와의 사이에서 물품을 효율 좋게 이재할 수 있다.
도 1은 제 1 실시형태에 의한 보관 시스템의 일례를 Y방향으로부터 본 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 보관 시스템의 일례를 X방향으로부터 본 도면이다.
도 3은 보관 시스템을 평면으로 볼 때에 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 천장 스토커의 크레인의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5는 반송 장치로서의 제 2 천장 반송차의 일례를 나타내느 도면이다.
도 6은 도 3의 일부를 확대해서 나타내는 도면이다.
도 7은 도 3의 일부를 확대해서 나타내는 도면이다.
도 8은 반송 장치에 의해 보관부의 물품을 받는 동작을 나타내는 도면이다.
도 9는 반송 장치에 의해 주고받음 포트에 물품을 건네주는 동작을 나타내는 도면이다.
도 10은 천장 반송차 시스템에 의해 주고받음 포트의 물품을 받는 동작을 나타내는 도면이다.
도 11은 천장 반송차 시스템에 의해 소정의 이재처에 물품을 건네주는 동작을 나타내는 도면이다.
도 12는 제 2 실시형태에 의한 보관 시스템의 일례를 X방향으로부터 본 도면이다.
이하, 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 이하에 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시형태를 설명하기 위해서 일부분을 크게 또는 강조해서 기재하는 등 적당히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서는 XYZ 좌표계를 사용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에서는 연직 방향을 Z방향으로 하고, 수평 방향을 X방향, Y방향으로 한다. Y방향은 수평 방향 내에 있어서의 일방향으로서, 후술하는 크레인(40), 천장 반송차(50), 제 2 천장 반송차(60)의 주행 방향이다. X방향은 Y방향과 직교하는 방향이다. 또한, X, Y, Z방향의 각 방향에 대하여 적당히 화살표가 가리키는 방향을 +방향(예를 들면, +X방향)으로 표현하고, 화살표가 가리키는 방향과는 반대 방향을 -방향(예를 들면, -X방향)으로 표현한다.
[제 1 실시형태]
도 1은 제 1 실시형태에 의한 보관 시스템(SYS)의 일례를 Y방향으로부터 본 도면이다. 도 2는 보관 시스템(SYS)을 X방향으로부터 본 도면이다. 도 3은 보관 시스템(SYS)을 평면으로 볼 때에 모식적으로 나타낸 도면이다. 또한, 도 3에서는 도면을 판별하기 쉽게 하기 위해서 천장 스토커(100)의 크레인용 천장 궤도(20) 및 보관부(11)를 흰 바탕으로 나타내고, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30) 및 주고받음 포트(12)를 해칭으로 나타내고, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)를 검게 칠하여 나타내고 있다.
도 1부터 도 3에 나타내는 보관 시스템(SYS)은 예를 들면, 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 설치되고, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 또는 레티클 등을 수용한 레티클 포드 등의 물품(2)을 보관한다. 본 실시형태에서는 물품(2)이 FOUP인 예를 이용하여 설명하지만, 물품(2)은 FOUP 이외이어도 좋다. 또한, 보관 시스템(SYS)은 반도체 제조 분야 이외의 설비에 적용가능하며, 물품(2)은 보관 시스템(SYS)에서 보관가능한 다른 물품이어도 좋다.
보관 시스템(SYS)은 도 1부터 도 3에 나타내는 바와 같이 천장 스토커(100)와, 천장 반송차 시스템(200)과, 반송 장치(300)를 구비한다. 천장 스토커(100)는 복수의 보관부(11)를 구비하는 선반(10)과, 크레인용 천장 궤도(20)와, 크레인(40)을 구비한다. 선반(10)은 평면으로 볼 때에 있어서 크레인(40)이 주행하는 크레인용 천장 궤도(20)의 내측 및 외측에 배치된다(도 3 참조). 또한, 선반(10)에 구비하는 복수의 보관부(11)는 도 1에 나타내는 바와 같이 프레임(13)에 유지되어 상하 방향(Z방향)으로 3단 배치되어 있다. 보관부(11)의 단수는 임의로 설정할 수 있다. 또한, 복수의 보관부(11)는 후술하는 크레인(40)의 주행 방향(Y방향)을 따라 복수 나란히 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 보관부(11)는 물품(2)을 적재해서 보관하는 공간, 또는 보관 스페이스의 의미로 사용하고 있다. 즉, 보관부(11)는 물품(2)을 적재하는 면(예를 들면, 선반판(11a)의 상면)과, 이 면으로부터 상방의 천장 등(예를 들면, 선반판(11a)의 하면)까지의 공간을 합한 물품(2)의 보관 공간 또는 보관 스페이스이다.
복수의 보관부(11)는 물품(2)을 적재하는 선반판(11a)을 구비하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 보관부(11)에 물품(2)을 두는 것은 보관부(11)의 선반판(11a)에 물품(2)을 두는 것을 의미한다. 또한, 보관부(11)의 선반판(11a)에는 각각 물품(2)을 적재했을 때에 물품(2)의 저면에 형성된 홈부에 삽입하는 복수의 핀이 설치되어도 좋다. 이 핀이 물품(2)의 홈부에 삽입함으로써, 물품(2)은 보관부(11)에 대하여 위치 결정된다.
선반(10)은 프레임(13)에 의해 시스템 천장(SC1)으로부터 매달린 상태로 설치된다. 시스템 천장(SC1)은 매달림 금구(3)에 의해 건물의 천장(C)으로부터 매달린 상태로 배치되어 있다. 또한, 프레임(13)은 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 직접 매달려도 좋다. 선반(10)의 하단은 바닥면(F)으로부터의 처리 장치(TL)의 높이보다 높아지도록 설정되어 있다. 처리 장치(TL)는 예를 들면, 물품(2)인 FOUP에 수용되어 있는 반도체 웨이퍼에 대하여 제막 처리 또는 에칭 처리 등의 각종 처리를 행한다. 또한, 후술하는 크레인(40)의 하단의 높이도 처리 장치(TL)의 높이보다 높아지도록 설정되어 있다. 즉, 천장 스토커(100)는 처리 장치(TL)보다 상방에 배치되어 있다. 또한, 크레인(40)의 하단은 작업자 등이 바닥면(F)을 지장 없이 통행하는 것이 가능한 높이에 설정된다. 그 결과, 천장 스토커(100)의 하방의 공간의 일부를 작업자용 통로(PS)로서 이용가능해진다.
보관부(11)는 크레인(40)에 의해 물품(2)이 적재되고, 또한 물품(2)이 인출된다. 또한, 보관부(11)는 후술하는 제 2 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 적재되고, 또한 물품(2)이 인출된다. 제 2 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 주고받아지는 보관부(11)는 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)이다. 보관부(11)의 상하 치수는 후술하는 크레인(40)의 이재 장치(42)가 물품(2)을 들어 올리기 위해서 필요한 치수이다. 크레인(40)의 이재 장치(42)는 예를 들면, 물품(2)을 하면측으로부터 지지해서 들어 올리는 구성이 채용되어 있고, 물품(2)의 상방에 큰 스페이스를 필요로 하지 않는다. 예를 들면, 보관부(11)의 상하 치수는 물품(2)의 상하 치수에 몇 센티 더하는 정도의 치수로 하는 것도 가능하다.
크레인용 천장 궤도(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이 시스템 천장(SC1)으로부터 매달림 금구(5)에 의해 매달린 상태로 설치된다. 또한, 크레인용 천장 궤도(20)는 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 직접 매달려도 좋다. 크레인용 천장 궤도(20)는 도 3에 나타내는 바와 같이 Y방향으로 연장되는 직선부(21)와, 주회부(22)를 갖는 환 형상의 궤도이다. 크레인용 천장 궤도(20)가 환 형상의 궤도임으로써, 평면으로 볼 때에 있어서 선반(10)을 2개의 직선부(21)에 대하여 X방향의 양측에 설치할 수 있다. 크레인용 천장 궤도(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)보다 바닥면(F)으로부터의 높이가 높다.
크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 주행해서 물품(2)을 유지하여 이동한다. 크레인(40)은 보관부(11)와 다른 보관부(11) 사이에서 물품(2)을 이재한다. 크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 주회 주행한다. 또한, 1개의 크레인용 천장 궤도(20)에 배치되는 크레인(40)은 1대에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1개의 크레인용 천장 궤도(20)에 2대 이상의 크레인(40)이 배치되어도 좋다. 크레인(40)은 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 크레인용 천장 궤도(20)로부터 매달린 상태로 설치된다.
도 4는 크레인(40)의 일례를 나타내는 도면이다. 크레인(40)은 천장측에 부설된 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하므로, 바닥면(F)측(지상측)에 궤도를 설정할 필요가 없다. 크레인(40)은 2대의 크레인용 주행부(41)(도 2 참조)와, 이재 장치(42)를 구비한다. 크레인용 주행부(41)의 하방에는 부착부(46)을 개재하여 상부 지지부(47)가 부착되고, 상부 지지부(47)에 의해 2대의 크레인용 주행부(41)가 연결되어 있다. 각 크레인용 주행부(41)는 도시하지 않은 주행 구동부 및 복수의 차륜(41a)을 구비하고, 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 주행 구동부는 예를 들면, 크레인용 주행부(41)에 구비되어서 차륜(41a)을 구동하는 전동 모터이어도 좋고, 크레인용 천장 궤도(20)를 사용하여 설치된 리니어 모터이어도 좋다.
본 실시형태의 크레인(40)에서는 2대의 크레인용 주행부(41)를 사용함으로써, 중량물인 이재 장치(42) 및 물품(2)을 확실하게 지지할 수 있다. 또한, 크레인(40)은 2대의 크레인용 주행부(41)가 사용되고 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 1대 또는 3대 이상의 크레인용 주행부(41)가 사용되어도 좋다.
이재 장치(42)는 마스트(43)와, 승강대(44)와, 구동부(45)과, 신축부(48)와, 적재대(49)를 구비한다. 마스트(43)는 상부 지지부(47)(크레인용 주행부(41))로부터 매달린 상태에서 상하 방향으로 연장되고, 크레인용 주행부(41)의 주행 방향의 전후에 각각 1개씩 설치되어 있다(도 2 참조). 마스트(43)는 중공 또는 중실의 봉 형상으로 형성되고, 단면이 원 형상, 타원 형상, 장원 형상, 또는 사각 형상 등의 다각 형상으로 형성된다. 상부 지지부(47)에의 마스트(43)의 부착은 예를 들면, 볼트 및 너트 등의 체결 부재가 사용되어도 좋고, 용접 등이 사용되어도 좋다. 또한, 마스트(43)는 합계 2개인 것에 한정되지 않고, 1개이어도 좋다. 마스트(43)는 상기한 바와 같이 바닥면(F)으로부터의 하단의 높이가 처리 장치(TL)의 높이보다 높아지도록 설치되어 있다. 예를 들면, 마스트(43)의 하단이 크레인(40)의 하단이다.
신축부(48)는 크레인용 주행부(41)의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축가능한 복수의 암에 의해 구성되어 있다. 적재대(49)는 신축부(48)의 선단에 설치되어 있다. 적재대(49)는 물품(2)을 적재가능한 삼각 형상의 판 형상 부재이다. 적재대(49)는 물품(2)이 적재됨으로써 물품(2)을 유지하는 유지부이다. 적재대(49)의 상면에는 물품(2)의 저면에 구비하는 홈부에 삽입하여 물품(2)을 위치 결정하는 핀이 설치되어 있다. 또한, 상기한 선반판(11a)에는 적재대(49)가 상하 방향으로 통과가능한 도시하지 않은 노치가 형성되어 있다.
이재 장치(42)는 보관부(11)로부터 물품(2)을 받을 때, 신축부(48)를 늘려 적재대(49)를 물품(2)의 하방에 위치시킨 상태에서 승강대(44)를 상승시킴으로써, 적재대(49)에서 물품(2)을 떠올린다. 이재 장치(42)는 적재대(49)에 물품(2)을 적재한 채 신축부(48)를 줄임으로써, 물품(2)을 적재한 적재대(49)를 승강대(44)의 상방에 배치시킨다. 또한, 이재 장치(42)에 의해 물품(2)을 보관부(11)에 건네줄 때는 상기의 역동작에 의해 행한다. 또한, 이재 장치(42)는 상기한 구성에 한정되지 않고, 물품(2)의 일부(예를 들면, 물품(2)인 FOUP의 상부에 설치된 플랜지부(2a))를 유지하여 들어 올리는 구성 등 다른 구성이 사용되어도 좋다.
구동부(45)는 예를 들면, 호이스트 등이 사용되고, 마스트(43)를 따라 승강대(44)를 승강시킨다. 구동부(45)는 매달림 부재(45a) 및 도시하지 않은 구동부를 구비한다. 매달림 부재(45a)는 예를 들면, 벨트 또는 와이어 등이며, 승강대(44)는 이 매달림 부재(45a)에 의해 상부 지지부(47)로부터 매달려 있다. 도시하지 않은 구동부는 예를 들면, 상부 지지부(47)에 설치되고, 매달림 부재(45a)의 조출, 권취를 행한다. 승강대(44)는 구동부가 매달림 부재를 조출하면, 마스트(43)에 안내되어서 하강한다. 또한, 승강대(44)는 구동부가 매달림 부재(45a)를 권취하면, 마스트(43)에 안내되어서 상승한다. 구동부(45)는 도시하지 않은 제어 장치 등에 제어되고, 소정의 속도로 승강대(44)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 구동부(45)는 제어 장치 등에 제어되고, 승강대(44)를 목표의 높이에 유지한다.
구동부(45)는 도 4에 나타내는 바와 같이 상부 지지부(47)(크레인용 주행부(41))에 설치된다. 또한, 구동부(45)는 상부 지지부(47)에 설치되는 것 대신에, 예를 들면 승강대(44)에 설치되어도 좋다. 승강대(44)에 구동부(45)가 설치되는 구성으로서는 예를 들면, 상부 지지부(47)로부터 매달린 벨트 또는 와이어 등을 승강대(44)에 탑재한 호이스트 등에 의해 감아 올림 또는 조출을 행하여 승강대(44)를 승강시켜도 좋다. 또한, 승강대(44)에 피니언 기어를 구동하는 전동 모터 등이 탑재되고, 이 피니언 기어가 맞물리는 랙이 마스트(43)에 형성되고, 전동 모터 등을 구동하여 피니언 기어를 회전시킴으로써 승강대(44)를 승강시켜도 좋다.
천장 반송차 시스템(200)은 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 천장 궤도(30)보다 하방에 배치된 소정의 이재처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)의 주고받음을 행하는 천장 반송차(50)를 구비한다. 천장 궤도(30)는 도 1에 나타내는 바와 같이 시스템 천장(SC2)의 하면측에 부착된 상태로 설치된다. 시스템 천장(SC2)은 천장(C)으로부터 매달림 금구(4)에 의해 매달린 상태로 설치된다. 또한, 천장 궤도(30)는 시스템 천장(SC2)으로부터 매달리는 것 대신에, 시스템 천장(SC1)으로부터 매달려도 좋고, 천장(C)으로부터 매달려도 좋다.
천장 궤도(30)는 평면으로 볼 때 인터베이 루트(베이 간 궤도)(R1)와 인터베이 루트(R2) 사이에 배치되어 있다. 천장 궤도(30)는 베이 내(인트라베이 내)에 각각 설치된 인트라베이 루트이며, 인터베이 루트(R1) 등은 인트라베이 루트로서의 복수의 천장 궤도(30)를 서로 접속하기 위해서 설치되어 있다. 천장 궤도(30)는 인터베이 루트(R1)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2개의 지선(S1)을 개재하여 접속되고, 인터베이 루트(R2)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2개의 지선(S2)을 개재하여 접속되어 있다.
천장 궤도(30)는 직선부(31)와, 주회부(32)와, 분기부(33)를 갖는다. 천장 반송차(50)는 직선부(31) 및 주회부(32)를 따라 일방향(예를 들면, 평면으로 볼 때 시계 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다. 직선부(31)는 로드 포트(LP)의 바로 위에 있어서 복수의 로드 포트(LP)를 따라 Y방향으로 배치된다. 2개의 직선부(31)는 평면으로 볼 때 크레인용 천장 궤도(20)의 직선부(21)와 병행하도록 배치되어 있다. 주회부(32)는 곡선부를 포함하여 +Y측 및 -Y측의 양단에 배치되고, 2개의 직선부(31)끼리를 접속한다. 분기부(33)는 주회 궤도인 천장 궤도(30)에 있어서 평면으로 볼 때 내측에 배치되고, 2개의 직선부(31)끼리를 접속한다(도 3 참조). 분기부(33)의 +X측 및 -X측에는 물품(2)을 적재가능한 버퍼(B)가 설치된다(도 1 참조). 또한, 분기부(33) 및 버퍼(B)는 설치되지 않아도 좋다.
천장 궤도(30)는 크레인(40)(마스트(43))의 하단(천장 스토커(100)의 하단)보다 하방에 배치된다. 크레인(40)의 하단은 바닥면(F)으로부터 높이 H1에 설정되고, 천장 궤도(30)의 상단은 바닥면(F)으로부터 높이 H2에 설정되어 있다(도 2 참조). 높이 H2는 높이 H1보다 낮게 설정되어 있고, 그 결과 천장 궤도(30)는 천장 스토커(100)의 하단보다 하방에 배치된다. 또한, 이 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)는 천장 스토커(100)의 하단보다 하방에 있어서 주행한다. 이 구성에 의해, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)가 측면에서 볼 때에 있어서 겹치지 않는다.
천장 반송차(50)는 인터베이 루트(R1, R2)로부터 지선(S1, S2)을 개재하여 천장 궤도(30)에 진입하거나, 또는 천장 궤도(30)로부터 지선(S1, S2)을 개재하여 인터베이 루트(R1, R2)로 퇴출한다. 천장 반송차(50)는 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 직선부(31)에 있어서 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)와, 후술하는 주고받음 포트(12) 사이에서 물품(2)의 이재를 행한다.
천장 궤도(30)의 직선부(31)는 소정의 간격(작업자용 통로(PS))을 사이에 두고 서로 대향하는 복수의 로드 포트(LP)의 바로 위를 따라 설치되어 있다. 본 실시형태에서는 로드 포트(LP)가 1대의 처리 장치(TL)에 있어서 4개소 설치되어 있지만(도 3 참조), 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1대의 처리 장치(TL)에 있어서 1개소로부터 3개소의 로드 포트(LP)가 설치되어도 좋고, 5개소 이상의 로드 포트(LP)가 설치되어도 좋다. 천장 궤도(30)는 로드 포트(LP)의 바로 위에 설치되어 있으므로, 천장 궤도(30)의 천장 반송차(50)가 물품(2)을 승강시키는 것만으로 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있다. 또한, 천장 궤도(30)의 천장 반송차(50)가 주고받음 포트(12)에 대해서는 파지부(53)를 횡출하여(횡이재에 의해) 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있다.
천장 반송차(50)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 주행부(51)와, 본체부(52)를 갖는다. 본체부(52)는 물품(2)을 유지하는 파지부(53)와, 유지한 물품(2)을 승강시키는 승강 구동부(54)와, 주행부(51)에 대하여 승강 구동부(54)를 횡방향으로 이동시키는 횡출 기구(55)를 구비한다. 주행부(51)는 도시하지 않은 주행 구동부 및 복수의 차륜(51a)을 구비하고, 천장 궤도(30)를 따라 주행한다. 주행 구동부는 예를 들면, 주행부(51)에 구비되어서 차륜(51a)을 구동하는 전동 모터이어도 좋고, 천장 궤도(30)를 이용하여 설치된 리니어 모터이어도 좋다.
본체부(52)는 부착부(52a)를 개재하여 주행부(51)의 하부에 부착되어 있다. 본체부(52)는 물품(2)을 유지하는 파지부(53)와, 파지부(53)를 매달아 승강시키는 승강 구동부(54)와, 승강 구동부(54)를 궤도의 측방으로 이동시키는 횡출 기구(55)를 갖는다. 파지부(53)는 물품(2)의 플랜지부(2a)를 상방으로부터 파지함으로써, 물품(2)을 매달아 유지한다. 파지부(53)는 예를 들면, 수평 방향으로 진퇴가능한 복수의 클로부(53a)를 갖는 척이며, 클로부(53a)를 물품(2)의 플랜지부(2a)의 하방에 진입시키고, 파지부(53)를 상승시킴으로써 물품(2)을 매달린 상태로 유지한다. 파지부(53)는 와이어 또는 벨트 등의 매달림 부재(53b)와 접속되어 있다. 파지부(53)는 승강 구동부(54)로부터 매달린 상태로 승강한다..
승강 구동부(54)는 예를 들면, 호이스트이며, 매달림 부재(53b)를 조출함으로써 파지부(53)를 하강시키고, 매달림 부재(53b)를 권취함으로써 파지부(53)를 상승시킨다. 승강 구동부(54)는 도시하지 않은 제어 장치 등에 제어되고, 소정의 속도로 파지부(53)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(54)는 제어 장치 등에 의해 제어되고, 파지부(53)를 목표의 높이에 유지한다.
횡출 기구(55)는 예를 들면, 상하 방향으로 겹쳐 배치된 가동판을 갖는다. 가동판은 주행부(51)의 주행 방향의 측방(주행 방향에 직교하는 방향, 횡방향)으로 이동가능하다. 가동판에는 승강 구동부(54)가 부착되어 있다. 본체부(52)는 횡출 기구(55)를 안내하는 도시하지 않은 가이드, 및 횡출 기구(55)를 구동하는 도시하지 않은 구동부 등을 갖는다. 횡출 기구(55)는 전동 모터 등의 구동부로부터의 구동력에 의해 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 돌출 위치와 격납 위치 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는 본체부(52)로부터 파지부(53)를 측방으로 돌출시키는 위치이다. 격납 위치는 본체부(52) 내에 파지부(53)를 격납하는 위치이다. 또한, 승강 구동부(54)와 파지부(53) 사이에는 승강 구동부(54)(파지부(53))를 상하 방향의 축 주위로 회전시키기 위한 회전 기구가 설치되어도 좋다.
천장 반송차(50)는 승강 구동부(54)에 의해 물품(2)을 승강시켜서 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 것이 가능하다. 또한, 천장 반송차(50)는 횡출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54)를 복수의 주고받음 포트(12) 중 어느 하나의 상방으로 이동시킨 상태에서 승강 구동부(54)에 의해 물품(2)을 승강시켜서 횡출 기구(55)에 의해 이동된 승강 구동부(54)의 하방에 존재하는 주고받음 포트(12)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 것이 가능하다.
반송 장치(300)는 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 본 실시형태에서는 반송 장치(300)는 제 2 천장 반송차(60)이다. 또한, 보관 시스템(SYS)은 천장 반송차 시스템(200)과 반송 장치(300)(제 2 천장 반송차(60)) 사이에서 물품을 주고받기 위한 주고받음 포트(12)를 구비한다. 주고받음 포트(12)는 제 2 천장 반송차(60)가 주행하는 크레인용 천장 궤도(20)의 직선부(21)의 하방에 복수 배치된다. 또한, 주고받음 포트(12)는 천장 궤도(30)에 대하여 횡방향 및 하방에 배치된다. 그 결과, 상기한 바와 같이 천장 반송차(50)는 주고받음 포트(12)에 대하여 횡이재에 의해 물품(2)의 주고받음이 가능하다.
제 2 천장 반송차(60)는 천장 스토커(100)와, 주고받음 포트(12) 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 도 5는 제 2 천장 반송차(60)의 일례를 나타내는 도면이다. 제 2 천장 반송차(60)는 제 2 주행부(61)와, 제 2 본체부(62)를 갖는다. 제 2 주행부(61)는 크레인(40)의 크레인용 주행부(41)와 마찬가지의 구성이 적용되어 있고, 도시하지 않은 주행 구동부 및 복수의 차륜(61a)을 구비하고, 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행한다.
제 2 본체부(62)는 부착부(62a)를 개재하여 제 2 주행부(61)의 하부에 부착되어 있다. 제 2 본체부(62)는 물품(2)을 유지하는 제 2 파지부(63)와, 제 2 파지부(63)를 승강시키는 제 2 승강 구동부(64)와, 제 2 승강 구동부(64)를 궤도의 측방으로 이동시키는 제 2 횡출 기구(65)를 갖는다. 제 2 파지부(63)는 예를 들면, 클로부(63a)를 갖는 척이며, 매달림 부재(63b)와 접속되어 있다.
제 2 승강 구동부(64)는 예를 들면, 호이스트이며, 매달림 부재(63b)의 조출 또는 권취에 의해 제 2 파지부(63)를 승강시킨다. 제 2 횡출 기구(65)는 제 2 승강 구동부(64) 및 제 2 파지부(63)를 돌출 위치와 격납 위치 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는 제 2 본체부(62)로부터 제 2 파지부(63)를 측방으로 돌출시키는 위치이다. 격납 위치는 제 2 본체부(62) 내에 제 2 파지부(63)를 격납하는 위치이다. 또한, 제 2 횡출 기구(65)와 제 2 승강 구동부(64) 사이에는 제 2 승강 구동부(64)(제 2 파지부(63))를 상하 방향의 축 주위로 회전시키기 위한 회전 기구가 설치되어도 좋다.
이들 제 2 주행부(61), 제 2 본체부(62), 제 2 파지부(63), 제 2 승강 구동부(64), 및 제 2 횡출 기구(65)는 상기한 천장 반송차(50)의 주행부(51), 본체부(52), 파지부(53), 승강 구동부(54), 횡출 기구(55)와 마찬가지의 구성이 적용된다. 따라서, 제 2 천장 반송차(60)는 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 그대로 적용가능하다. 또한, 제 2 천장 반송차(60)는 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하므로 별도 궤도를 설정할 필요가 없어 보관 시스템(SYS)의 제조 비용을 저감할 수 있다.
제 2 천장 반송차(60)는 제 2 승강 구동부(64)에 의해 물품(2)을 승강시켜서 주고받음 포트(12)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 것이 가능하다. 또한, 제 2 천장 반송차(60)는 제 2 횡출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 복수단의 보관부(11) 중 적어도 1개의 보관부(11)의 상방으로 이동시킨 상태에서 제 2 승강 구동부(64)에 의해 물품(2)을 승강시켜서 제 2 횡출 기구(65)에 의해 이동된 제 2 승강 구동부(64)의 하방에 존재하는 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 것이 가능하다. 본 실시형태에서는 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 것이 가능하다. 또한, 제 2 천장 반송차(60)와의 사이에서 물품(2)을 주고받는 보관부(11)는 최상단 이외의 보관부(11)이어도 좋다.
도 6은 도 3의 일부를 확대해서 나타내는 도면이고, 천장 스토커(100)의 선반(10)과 로드 포트(LP)의 위치 관계의 일례를 나타내고 있다. 도 6에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에서는 선반(10)의 일부와, 소정의 이재처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)가 평면으로 볼 때에 있어서 겹쳐 있다. 따라서, 선반(10)을 로드 포트(LP)의 상방까지 수평 방향으로 확장할 수 있어 많은 물품(2)을 보관할 수 있다. 또한, 선반(10)은 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)에 대해서도 평면으로 볼 때 겹쳐 있다. 즉, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)의 배치에 관계없이 선반(10)을 설치할 수 있으므로, 선반(10)의 배치의 자유도가 높아 물품(2)의 수납 효율이 좋은 선반(10)의 배치를 용이하게 실현할 수 있다.
도 7은 도 3의 일부를 확대해서 나타내는 도면이고, 주고받음 포트(12)와 로드 포트(LP)의 위치 관계의 일례를 나타내고 있다. 도 7에서는 도면을 판별하기 쉽게 하기 위해서 천장 스토커(100)측의 구성을 생략하고 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이 주고받음 포트(12)와, 로드 포트(LP)는 평면으로 볼 때에 있어서 어긋나 배치되어 있다. 즉, 주고받음 포트(12)와, 로드 포트(LP)의 바로 위에 있는 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)는 평면으로 볼 때에 있어서 어긋나 배치되어 있다(평면으로 볼 때에 있어서 겹쳐 있지 않다).
이 때문에 제 2 천장 반송차(60)가 주고받음 포트(12)에 대하여 물품(2)의 주고받음을 행할 때에 천장 궤도(30) 또는 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)와의 간섭을 회피할 수 있다. 또한, 제 2 천장 반송차(60)가 주고받음 포트(12)에 대하여 물품(2)의 주고받음을 행할 때에 천장 반송차(50)의 주행을 허용하므로, 천장 반송차 시스템(200)에 의한 물품(2)의 반송 효율을 저하시키는 것을 회피할 수 있다.
또한, 보관 시스템(SYS)은 도시하지 않은 제어 장치를 갖는다. 이 제어 장치는 보관 시스템(SYS)을 통괄하여 제어한다. 제어 장치는 무선 또는 유선에 의한 통신에 의해 크레인(40), 천장 반송차(50), 및 제 2 천장 반송차(60)의 동작을 제어한다. 또한, 제어 장치는 크레인(40)을 제어하는 제어 장치와, 천장 반송차(50)를 제어하는 제어 장치와, 제 2 천장 반송차(60)를 제어하는 제어 장치로 분할되어도 좋다.
도 8부터 도 11은 보관 시스템(SYS)에 있어서 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)에 물품(2)을 반송하는 경우의 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 도시하지 않은 제어 장치는 최상단의 보관부(11)로부터 반송 대상의 물품(2)을 받고, 지정된 주고받음 포트(12)에 물품(2)을 건네주도록 제 2 천장 반송차(60)(반송 장치(300))를 제어한다. 우선, 반송 대상의 물품(2)이 최상단 이외의 보관부(11)에 있는 경우, 천장 스토커(100)의 크레인(40)은 물품(2)을 선반(10)에 있어서의 최상단의 보관부(11)에 이재한다.
계속해서, 도 8에 나타내는 바와 같이 제 2 천장 반송차(60)는 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 반송 대상의 물품(2)이 적재된 보관부(11)의 측방에 정지해서 제 2 횡출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 돌출시킨 후에 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 하강시키고, 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 파지한다. 계속해서, 제 2 천장 반송차(60)는 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 상승시킨 후, 제 2 횡출 기구(65)를 줄여 제 2 파지부(63)를 격납 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 제 2 본체부(62) 내에 수용한다.
계속해서, 제 2 천장 반송차(60)는 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 유지한 상태에서 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 지정된 주고받음 포트(12)의 바로 위에서 정지한다. 계속해서, 도 9에 나타내는 바와 같이 제 2 천장 반송차(60)는 제 2 승강 구동부(64)를 구동하여 제 2 파지부(63) 및 물품(2)을 하강시키고, 물품(2)을 주고받음 포트(12)에 적재시킨 후에 제 2 파지부(63)에 의한 파지를 해방함으로써 물품(2)을 주고받음 포트(12)에 건네준다.
이어서, 도시하지 않은 제어 장치는 주고받음 포트(12)로부터 물품(2)을 받고, 지정된 로드 포트(LP)에 물품(2)을 건네주도록 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 제어한다. 도 10에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(50)는 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 물품(2)이 적재된 주고받음 포트(12)의 측방에 정지해서 횡출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54)를 돌출시킨 후에 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 하강시키고, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 파지한다. 그 후, 천장 반송차(50)는 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 상승시킨 후, 횡출 기구(55)를 줄여 파지부(53)를 격납 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 본체부(52) 내에 수용한다.
계속해서, 천장 반송차(50)는 파지부(53)에 의해 물품(2)을 유지한 상태에서 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 지정된 로드 포트(LP)의 바로 위에서 정지한다. 계속해서, 도 11에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(50)는 승강 구동부(54)를 구동하여 파지부(53) 및 물품(2)을 하강시키고, 물품(2)을 로드 포트(LP)에 적재시킨 후에 파지부(53)에 의한 파지를 해방함으로써 물품(2)을 로드 포트(LP)에 건네준다. 이 일련의 동작에 의해, 물품(2)은 주고받음 포트(12)를 경유하여 천장 스토커(100)의 보관부(11)(선반(10))로부터 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로 반송된다.
또한, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 물품(2)을 반송하는 경우는 상기한 도 8부터 도 11에 나타내는 일련의 동작의 역동작을 행함으로써, 물품(2)은 주고받음 포트(12)를 경유하여 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 반송된다. 또한, 물품(2)의 이재처가 로드 포트(LP) 이외이어도 상기와 마찬가지이고, 로드 포트(LP) 이외로부터 물품(2)을 받는 경우에 대해서도 상기와 마찬가지이다.
이렇게, 본 실시형태에 의한 보관 시스템(SYS)에 의하면, 천장 스토커(100)의 하단보다 하방에 있어서 천장 반송차 시스템(200)의 제 2 천장 반송차(60)가 주행하므로, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)를 로드 포트(LP)에 맞춰 부설한 경우에도 천장 궤도(30)의 배치에 관계없이 선반(10)을 배치할 수 있어 물품(2)의 보관 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 선반(10)을 수평 방향으로 용이하게 확장함으로써, 많은 물품(2)을 보관할 수 있다. 또한, 크레인(40)에 의해 복수단의 보관부(11) 사이에서 물품(2)을 이재하므로, 선반(10)이 수평 방향으로 확장되었을 경우에도 물품(2)의 이재를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 제 2 천장 반송차(60)(반송 장치(300))에 의해 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 물품(2)을 효율 좋게 반송할 수 있어 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
[제 2 실시형태]
상기한 제 1 실시예에서는 반송 장치(300)가 제 2 천장 반송차(60)인 구성을 나타내고 있지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 도 12는 제 2 실시형태에 의한 보관 시스템(SYS2)의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 12는 보관 시스템(SYS2)을 X방향으로부터 본 도면이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기한 제 1 실시형태와 동일 또는 동등한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략 또는 간략화한다.
도 12에 나타내는 보관 시스템(SYS2)에서는 반송 장치(300A)로서 컨베이어 장치(70)가 사용된다. 컨베이어 장치(70)는 복수의 보관부(11)의 최하단의 일부에 배치되는 상부 포트(14)와, 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행하는 하부 포트(15)를 갖는다. 따라서, 하부 포트(15)는 컨베이어 장치(70)(반송 장치(300A))와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행하는 주고받음 포트(12)이다. 상부 포트(14) 및 하부 포트(15)에는 상하 방향으로 승강가능한 승강 선반판(11b)이 배치된다. 승강 선반판(11b)은 물품(2)을 적재할 수 있도록 설치되어 있고, 도시하지 않은 승강 구동부에 의해 상부 포트(14)에 설정되는 제 1 위치(P1)와, 하부 포트(15)에 설정되는 제 2 위치(P2) 사이를 승강가능하다.
도 12에서는 2기의 컨베이어 장치(70)가 사용되어 있다. 이 경우, 2기의 컨베이어 장치(70)의 쌍방에 있어서, 천장 스토커(100)에 대한 물품(2)의 반입 및 반출을 행하는 형태이어도 좋고, 일방의 컨베이어 장치(70)를 천장 스토커(100)로부터의 물품(2)의 반출용으로서 사용하고, 타방의 컨베이어 장치(70)를 천장 스토커(100)로의 물품(2)의 반입용으로서 사용하는 형태이어도 좋다. 또한, 컨베이어 장치(70)의 수는 임의이며, 반송 장치(300A)로서 1기의 컨베이어 장치(70)가 사용되어도 좋고, 3기 이상의 컨베이어 장치(70)가 사용되어도 좋다.
보관 시스템(SYS2)에 있어서, 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송하는 경우, 도시하지 않은 제어 장치는 천장 스토커(100)의 크레인(40)이 보관부(11)로부터 상부 포트(14)로 물품(2)을 이동시키도록 크레인(40)을 제어한다. 크레인(40)은 소정의 보관부(11)로부터 물품(2)을 받은 후, 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 상부 포트(14)의 측방에 정지해서 이재 장치(42)에 의해 물품(2)을 상부 포트(14)의 승강 선반판(11b)에 건네준다. 이 동작에 의해, 물품(2)은 보관부(11)로부터 상부 포트(14)로 반송된다.
계속해서, 도시하지 않은 제어 장치는 컨베이어 장치(70)에 의해 물품(2)을 상부 포트(14)로부터 하부 포트(15)로 반송하도록 컨베이어 장치(70)를 제어한다. 컨베이어 장치(70)는 물품(2)이 적재된 상태의 승강 선반판(11b)을 제 1 위치(P1)로부터 제 2 위치(P2)로 하강시킨다. 그 결과, 물품(2)은 하부 포트(15)로 이동한다. 즉, 물품(2)은 주고받음 포트(12)에 적재된 상태가 된다.
이어서, 도시하지 않은 제어 장치는 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)가 하부 포트(15)의 승강 선반판(11b)으로부터 물품(2)을 받아서 로드 포트(LP)에 건네주도록 천장 반송차(50)를 제어한다. 천장 반송차(50)는 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 물품(2)이 적재된 하부 포트(15)의 승강 선반판(11b)의 측방에 정지해서 횡출 기구(55)를 돌출시킨 후에 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 하강시키고, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 파지한다. 그 후, 천장 반송차(50)는 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 상승시킨 후, 횡출 기구(55)를 줄여서 파지부(53)를 격납 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 본체부(52) 내에 수용한다.
계속해서, 천장 반송차(50)는 파지부(53)에 의해 유지한 물품(2)을 지정된 로드 포트(LP)에 건네주는 점은 상기한 제 1 실시형태와 마찬가지이다. 또한, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 물품(2)을 반송하는 경우는 상기한 동작의 역동작을 행함으로써, 물품(2)은 컨베이어 장치(70)의 승강 선반판(11b)을 개재하여 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 반송된다. 또한, 물품(2)의 이재처가 로드 포트(LP) 이외이어도 상기와 마찬가지이며, 로드 포트(LP) 이외로부터 물품(2)을 받는 경우에 대해서도 상기와 마찬가지이다.
이렇게, 제 2 실시형태에 의한 보관 시스템(SYS2)에 의하면, 제 1 실시형태의 보관 시스템(SYS)과 마찬가지로, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 궤도(30)를 로드 포트(LP)에 맞춰 부설한 경우에도 천장 궤도(30)의 배치에 관계없이 선반(10)을 배치할 수 있어 물품(2)의 보관 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 선반(10)을 수평 방향으로 용이하게 확장함으로써, 많은 물품(2)을 보관할 수 있다. 또한, 크레인(40)에 의해 복수단의 보관부(11) 사이에서 물품(2)을 이재하므로, 선반(10)이 수평 방향으로 확장되었을 경우이어도 물품(2)의 이재를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 컨베이어 장치(70)(반송 장치(300A))에 의해 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 물품(2)을 효율 좋게 반송할 수 있어 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 보관 시스템(SYS2)은 반송 장치(300A)인 컨베이어 장치(70) 대신에, 예를 들면 로컬 반송대차가 사용되어도 좋다. 이 로컬 반송대차는 1개 또는 복수의 보관부(11)의 바로 위로부터 주고받음 포트(12)의 바로 위에 걸쳐 설정된 로컬 궤도를 따라 주행하고, 물품(2)을 유지하여 승강시키는 호이스트를 구비하고 있다. 로컬 반송대차는 로컬 궤도를 따라 주행하고, 로컬 궤도의 바로 아래의 보관부(11)에 적재된 물품(2)을 받고, 로컬 궤도를 따라 주행해서 주고받음 포트(12)의 바로 위에서 정지한 후, 물품(2)을 호이스트에 의해 하강시켜서 주고받음 포트(12)에 물품(2)을 건네줄 수 있다. 또한, 로컬 반송대차는 주고받음 포트(12)에 적재된 물품(2)을 받아 호이스트에 의해 물품(2)을 상승시킨 후, 로컬 궤도를 따라 주행하여 보관부(11)의 바로 위에 정지해서 로컬 반송대차의 직하의 보관부(11)에 물품(2)을 건네줄 수 있다.
이렇게, 보관 시스템(SYS2)에서는 컨베이어 장치(70) 대신에, 예를 들면 로컬 반송대차를 반송 장치로서 사용하는 구성이어도 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200) 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송할 수 있다.
이상, 실시형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러가지의 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기한 실시형태에서는 보관 시스템(SYS, SYS2)에 있어서 크레인용 천장 궤도(20)와 천장 궤도(30)가 접속되지 않은 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 크레인용 천장 궤도(20)와 천장 궤도(30)가 접속 궤도 등을 통해 접속되어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에서는 보관 시스템(SYS, SYS2)에 있어서 선반(10), 크레인용 천장 궤도(20), 천장 궤도(30)가 천장(C) 또는 시스템 천장(SC1, SC2)으로부터 매달린 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 선반(10), 크레인용 천장 궤도(20), 및 천장 궤도(30) 중 적어도 1개가 바닥면(F) 상에 설치된 지주 또는 프레임, 가대 등에 의해 지지되고, 선반(10) 등의 하중을 바닥면(F)에서 받는 구성이어도 좋다.
또한, 상술의 실시형태 등에서 설명한 요건 중 1개 이상은 생략되는 경우가 있다. 또한, 상술의 실시형태 등에서 설명한 요건은 적당히 조합할 수 있다. 또한, 법령에서 허용되는 한에 있어서, 일본특허출원인 특원 2018-242936, 및 상술의 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
LP…로드 포트(이재처)
SYS, SYS2…보관 시스템
TL…처리 장치
2…물품
10…선반
11…보관부
11a…선반판
12…주고받음 포트
20…크레인용 천장 궤도
30…천장 궤도
40…크레인
41…크레인용 주행부
42…이재 장치
45…구동부
54, 64…승강 구동부
50…천장 반송차
51…주행부
52…본체부
53…파지부
55…횡출 기구
60…제 2 천장 반송차
61…제 2 주행부
62…제 2 본체부
63…제 2 파지부
65…제 2 횡출 기구
70…컨베이어 장치
100…천장 스토커
200…천장 반송차 시스템
300, 300A…반송 장치

Claims (8)

  1. 크레인용 천장 궤도와, 물품을 적재하는 보관부를 상하 방향으로 복수단 구비하는 선반과, 상기 크레인용 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수단의 상기 보관부 사이에서 물품을 이재하는 크레인을 구비하는 천장 스토커와,
    소정의 이재처에 대하여 물품의 주고받음을 행하는 천장 반송차 시스템과,
    상기 천장 스토커와 상기 천장 반송차 시스템 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하는 보관 시스템으로서,
    상기 천장 반송차 시스템과 상기 반송 장치 사이에서 물품을 주고받기 위한 주고받음 포트를 구비하며,
    상기 천장 반송차 시스템은 상기 천장 스토커의 하단보다 하방에 설치되는 보관 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 주고받음 포트는 복수 배치되는 보관 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 천장 반송차 시스템은,
    상기 천장 스토커의 하단보다 하방에 배치된 천장 궤도와,
    상기 천장 궤도를 따라 주행하는 주행부와, 유지한 물품을 승강시키는 승강 구동부와, 상기 주행부에 대하여 상기 승강 구동부를 횡방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비한 천장 반송차를 갖고,
    상기 주고받음 포트는 상기 천장 궤도에 대하여 횡방향 및 하방에 설치되고,
    상기 천장 반송차는 상기 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 상기 소정의 이재처와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 상기 횡출 기구에 의해 상기 승강 구동부를 상기 주고받음 포트의 상방으로 이동시킨 상태에서 상기 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 상기 횡출 기구에 의해 이동된 상기 승강 구동부의 하방에 존재하는 상기 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능한 보관 시스템.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 반송 장치는 상기 크레인용 천장 궤도를 주행하는 제 2 주행부와, 유지한 물품을 승강시키는 제 2 승강 구동부와, 상기 제 2 주행부에 대하여 상기 제 2 승강 구동부를 횡방향으로 이동시키는 제 2 횡출 기구를 구비하는 제 2 천장 반송차이며,
    상기 주고받음 포트는 상기 제 2 천장 반송차에 대하여 하방에 설치되고,
    상기 제 2 천장 반송차는 상기 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 상기 주고받음 포트와의 사이에서 물품을 주고받음가능하며, 상기 제 2 횡출 기구에 의해 상기 제 2 승강 구동부를 복수단의 상기 보관부 중 적어도 1개의 상기 보관부의 상방으로 이동시킨 상태에서 상기 제 2 승강 구동부에 의해 물품을 승강시켜서 상기 제 2 횡출 기구에 의해 이동된 상기 제 2 승강 구동부의 하방에 존재하는 상기 보관부와의 사이에서 물품을 주고받음가능한 보관 시스템.
  6. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 주고받음 포트와, 상기 소정의 이재처는 평면으로 볼 때에 있어서 어긋나 있는 보관 시스템.
  7. 크레인용 천장 궤도와, 물품을 적재하는 보관부를 상하 방향으로 복수단 구비하는 선반과, 상기 크레인용 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수단의 상기 보관부 사이에서 물품을 이재하는 크레인을 구비하는 천장 스토커와,
    소정의 이재처에 대하여 물품의 주고받음을 행하는 천장 반송차 시스템과,
    상기 천장 스토커와 상기 천장 반송차 시스템 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하는 보관 시스템으로서,
    상기 천장 반송차 시스템은 상기 천장 스토커의 하단보다 하방에 설치되고,
    상기 선반의 일부와, 상기 소정의 이재처는 평면으로 볼 때에 있어서 겹쳐 있는 보관 시스템.
  8. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 크레인은 상기 크레인용 천장 궤도를 주행하는 크레인용 주행부와, 복수단의 상기 보관부 사이에서 물품을 이재하는 이재 장치를 구비하고,
    상기 이재 장치는 상기 크레인용 주행부로부터 매달린 상태에서 상하 방향으로 연장되는 마스트와, 상기 마스트를 따라 승강하는 승강대와, 상기 승강대를 승강시키는 구동부와, 상기 승강대로부터 상기 크레인용 주행부의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축가능한 신축부와, 상기 신축부의 선단에 설치되어 물품을 유지하는 유지부를 구비하는 보관 시스템.
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