JP7114176B2 - 樹脂パッケージ基板の加工方法 - Google Patents
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Description
13 基板
13a 表面
13b 裏面
15 デバイス領域
17 端材領域
19 切断予定ライン(ストリート)
21 ステージ
23 モールド樹脂層
25 電極パターン
27 マーカー
31 粘着テープ
32 離型シート
33a 非粘着領域
33b 粘着領域
34 基材層
36 粘着層
40 ローラー
42 テーブル
45 環状フレーム
47 被加工物ユニット
51 キャリアシート
51a 上面
51b 下面
52 光照射装置
53 硬化型液状樹脂
54a テーブル
54b テーブル台
56 光源
58 移動ユニット
58a,58b 吸着パッド
60 チャックテーブル
62 ポーラス板
62a 保持面
64 流路
66 クランプ
68 研削機構
70 研削ホイール
72 ホイール基台
74 研削砥石
76 ホイールマウント
78 スピンドル
Claims (3)
- 凹凸のある電極パターンを有するデバイス領域と該デバイス領域を囲む端材領域とを表面に備える基板と、該デバイス領域に対応して該基板の裏面に設けられ該デバイス領域の裏面側を覆うモールド樹脂層と、を備える樹脂パッケージ基板の加工方法であって、
該デバイス領域に対応し粘着層を有しない非粘着領域と、該端材領域に対応し該非粘着領域を囲み該粘着層を有する粘着領域と、を備える粘着テープを準備する粘着テープ準備ステップと、
該電極パターンの該凹凸に倣うように該デバイス領域の該表面側に該粘着テープの該非粘着領域を密着させつつ、該端材領域に該粘着領域を貼り付けることにより、該樹脂パッケージ基板の該表面に該粘着テープを貼り付ける粘着テープ貼り付けステップと、
刺激を与えることによって硬化させる硬化型液状樹脂が上面に供給されたキャリアシートを平坦なテーブル上に準備するキャリアシート準備ステップと、
該キャリアシートの該上面の該硬化型液状樹脂に、一時的に反りが矯正された状態の該樹脂パッケージ基板の該粘着テープ側をめり込ませた後、該硬化型液状樹脂に刺激を与えて硬化させ、該樹脂パッケージ基板と該キャリアシートとを該粘着テープを介して該硬化型液状樹脂で固定する硬化型液状樹脂固定ステップと、
該樹脂パッケージ基板の該キャリアシート側をチャックテーブルで吸引して保持し、該樹脂パッケージ基板のモールド樹脂層を研削砥石で研削する研削ステップと、
を備えることを特徴とする樹脂パッケージ基板の加工方法。 - 該硬化型液状樹脂は紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型液状樹脂であり、該キャリアシートは紫外線を透過する部材であることを特徴する請求項1に記載の樹脂パッケージ基板の加工方法。
- 該粘着テープ貼り付けステップでは、該樹脂パッケージ基板が環状フレームの開口で該粘着テープにより支持されるように、該粘着テープは該環状フレームに貼り付けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂パッケージ基板の加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JP2019212710A JP2019212710A (ja) | 2019-12-12 |
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JP (1) | JP7114176B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012151156A (ja) | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削方法 |
WO2013021644A1 (ja) | 2011-08-09 | 2013-02-14 | 三井化学株式会社 | 半導体装置の製造方法およびその方法に用いられる半導体ウエハ表面保護用フィルム |
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