JP7063266B2 - 剥離層形成用組成物及び剥離層 - Google Patents
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Description
特に、新世代ディスプレイでは、軽量なフレキシブルプラスチック基板(以下、樹脂基板と表記する)を用いたアクティブマトリクス型フルカラーTFTディスプレイパネルの開発が求められている。この新世代ディスプレイに関する技術は、フレキシブルディスプレイや、フレキシブルスマートフォン、ミラーディスプレイ等の様々な分野への転用が期待されている。
しかも、被剥離層が大面積である場合には、レーザー処理に長時間を要するため、デバイス作製の生産性を上げることが難しい。
[1]下記式(1)で表されるポリアミック酸と有機溶媒とを含むことを特徴とする剥離層形成用組成物。
[5]上記Xにおいて、上記式(2b)で表される芳香族基が、下記式(7b)又は(8b)で表される芳香族基であり、上記Zが、互いに独立して、下記式(9b)又は式(10b)で表される芳香族基である[1]~[3]のいずれかに記載の剥離層形成用組成物。
[6]上記有機溶媒が、下記式(S1)~(S7)で表される構造を有するものから選ばれる少なくとも1種である[1]~[5]のいずれかに記載の剥離層形成用組成物。
[7]上記有機溶媒が、プロピレングリコールモノメチルエーテル又はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである[6]記載の剥離層形成用組成物。
[8][1]~[7]のいずれかに記載の剥離層形成用組成物を用いて形成される剥離層。
[9][8]記載の剥離層を用いる樹脂基板の製造方法。
[10]上記樹脂基板が、ポリイミド樹脂基板又は波長400nmの光透過率が80%以上である樹脂基板である[9]記載の製造方法。
本発明の剥離層形成用組成物は、下記式(1)で表されるポリアミック酸と、有機溶媒とを含むものである。
上記テトラカルボン酸二無水物成分としては、ベンゼンテトラカルボン酸二無水物又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物を使用する。上記ジアミン成分としては、フッ素原子を有するものであれば、脂鎖、脂環、芳香族、芳香脂環族のいずれでもよいが、本発明では、特に低粘度溶媒に対する溶解性を向上させると共に、得られる膜の剥離層としての機能を向上させる観点から、上記ベンゼンテトラカルボン酸二無水物又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、上記芳香族ジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸が好ましく、上記テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとを反応させて得られる全芳香族ポリアミック酸がより好ましい。
以下、上記式(1)で表される構造を有するポリアミック酸の合成に使用できるベンゼンテトラカルボン酸二無水物成分、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物及びジアミン成分について詳述する。
式(S1):3-メトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-エトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-プロポキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-イソプロポキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-sec-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-tert-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド
式(S2):2-ピロリドン、N-メチル-2-ピロリドン、N-エチル-2-ピロリドン
式(S3):N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルプロピルアミド、N,N-ジメチルブタンアミド
式(S4):γ-ブチロラクトン
式(S5):シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン
式(S6):乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸n-プロピル、乳酸n-ブチル、乳酸イソアミル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル、2-ヒドロキシイソ酪酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸プロピル、2-ヒドロキシイソ酪酸ブチル
式(S7):エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチレングリコール、1-メトキシ-2-プロパノール、1-エトキシ-2-プロパノール、1-ブトキシ-2-プロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール-1-モノメチルエーテル-2-アセテート、プロピレングリコール-1-モノエチルエーテル-2-アセテート
本発明の剥離層形成用組成物を用いて、上述の方法によって、ガラス基体上に剥離層を形成する。この剥離層の上に、樹脂基板を形成するための樹脂溶液を塗布し、この塗膜を加熱することで、本発明の剥離層を介して、ガラス基体に固定された樹脂基板を形成する。この際、剥離層を全て覆うようにして、剥離層の面積と比較して大きい面積で、基板を形成する。樹脂基板としては、フレキシブル電子デバイスの樹脂基板として代表的なポリイミド樹脂やアクリル樹脂、シクロオレフィンポリマー樹脂からなる基板が挙げられ、それを形成するための樹脂溶液としては、ポリイミド溶液、ポリアミック酸溶液、アクリルポリマー溶液及びシクロオレフィンポリマー溶液等が挙げられる。当該樹脂基板の形成方法は、常法に従えばよい。また、透明性が高い樹脂基板としては、アクリル樹脂やシクロオレフィンポリマー樹脂で形成される樹脂基板を例示することができ、特に波長400nmの光透過率が80%以上であるものが好ましい。
[1]化合物の略語
p-PDA:p-フェニレンジアミン
TPDA:4,4''-ジアミノ-p-ターフェニル
TFMB:2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
BPDA:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
DMCBDA:1,3-ジメチルシクロブタン酸二無水物
CBDA:シクロブタン酸二無水物
MMA:メタクリル酸メチル
MAA:メタクリル酸
HEMA:メタクリル酸2-ヒドロキシエチル
AIBN:アゾビスイソブチロニトリル
CHMI:シクロヘキシルマレイミド
エポリード GT-401:ブタンテトラカルボン酸、テトラ(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル)、修飾ε-カプロラクトン、(株)ダイセル製
セロキサイド 2021P:3’,4’-エポキシシクロヘキシルメチル 3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(株)ダイセル製
VESTAGON B 1530:エボニックジャパン(株)製
NMP:N-メチル-2-ピロリドン
BCS:ブチルセロソルブ
PGME:プロピレングリコールモノメチルエーテル
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ポリマーの重量平均分子量(以下Mwと略す)及び分子量分布の測定は、日本分光(株)製GPC装置(カラム:Shodex製 KD801及びKD805;溶離液:ジメチルホルムアミド/LiBr・H2O(29.6mM)/H3PO4(29.6mM)/THF(0.1質量%);流量:1.0mL/分;カラム温度:40℃;Mw:標準ポリスチレン換算値)を用いて行った。
以下の方法によって、実施例及び比較例で使用する各種ポリマーを合成した。
なお、得られたポリマー含有反応液からポリマーを単離せず、後述の通りに、反応液を希釈することで、樹脂基板形成用組成物又は剥離層形成用組成物を調製した。
p-PDA3.218g(30mmol)をNMP88.2gに溶解させた。得られた溶液にBPDA8.581g(29mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは107,300、分子量分布は4.6であった。
p-PDA20.261g(0.1875mol)とTPDA12.206g(0.0469mol)をNMP617.4gに溶解し、15℃に冷却後、PMDA50.112g(0.2298mol)を添加し、窒素雰囲気下、50℃で48時間反応させた。得られたポリマーのMwは82,100、分子量分布は2.7であった。
MMA7.20g(0.0719mol)、HEMA7.20g(0.0553mol)、CHMI10.8g(0.0603mol)、MAA4.32g(0.0502mol)、AIBN2.46g(0.0150mol)をPGMEA46.9gに溶解し、60~100℃にて20時間反応させることによりアクリル重合体溶液(固形分濃度40質量%)を得た。得られたアクリル重合体のMnは3,800、Mwは7,300であった。
TFMB2.73g(8.53mmol)をNMP38.5gに溶解させた。得られた溶液に、PMDA2.06g(9.47mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは17,100、分子量分布1.7であった。得られたポリマー溶液1gをPGME10gに添加した結果、特に析出は見られなかった。
TFMB2.73g(8.53mmol)をPGME40gに溶解させた。得られた溶液に、PMDA2.06g(9.47mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは20,100、分子量分布1.8であった。
TFMB23.7g(74.2mmol)をNMP352gに溶解させた。得られた溶液に、BPDA24.2g(82.5mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは16,500、分子量分布1.7であった。得られたポリマー溶液1gをPGME10gに添加した結果、特に析出は見られなかった。
TFMB9.89g(30.9mmol)をPGME380gに溶解させた。得られた溶液に、BPDA10.0g(34.3mmol)を加え、窒素雰囲気下、50℃で72時間反応させた。得られたポリマーのMwは14,700、分子量分布1.7であった。
p-PDA3.90g(3.60mmol)をNMP35.2gに溶解させた。得られた溶液に、DMCBDA9.27g(4.00mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは45,000、分子量分布3.9であった。得られたポリマー溶液1gをPGME10gに添加した結果、ポリアミック酸が析出した。
TFMB2.86g(8.91mmol)をNMP35.2gに溶解させた。得られた溶液に、CBDA1.94g(9.91mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは69,200、分子量分布2.2であった。得られたポリマー溶液1gをPGME10gに添加した結果、特に析出は見られなかった。
以下の方法によって、樹脂基板形成用組成物を調製した。
合成例S1で得られた反応液をそのまま樹脂基板形成用組成物F1として用いた。
合成例S2で得られた反応液をそのまま樹脂基板形成用組成物F2として用いた。
合成例S3得られた反応液10gにエポリードGT-401 0.60gとPGMEA11.8gを添加し、23℃で24時間撹拌して、樹脂基板形成用組成物F3を調製した。
合成例S3で得られた反応液10gにセロキサイド 2021P 0.80gとPGMEA11.8gを添加し、23℃で24時間撹拌して、樹脂基板形成用組成物F4を調製した。
合成例S3で得られた反応液10gにVESTAGON B 1530 0.60gとPGMEA11.8gを添加し、23℃で24時間撹拌して、樹脂基板形成用組成物F5を調製した。
四塩化炭素100gを入れたナスフラスコに、ゼオノア(登録商標)1020R(日本ゼオン(株)製、シクロオレフィンポリマー樹脂)10g及びGT-401 3gを添加した。この溶液を、窒素雰囲気下、24時間攪拌して溶解し、樹脂基板形成用組成物F6を調製した。
四塩化炭素100gを入れたナスフラスコに、ゼオノア(登録商標)1060R(日本ゼオン(株)製、シクロオレフィンポリマー樹脂)10gを添加した。この溶液を、窒素雰囲気下、24時間攪拌して溶解し、樹脂基板形成用組成物F7を調製した。
[実施例1-1]
合成例L1で得られた反応液に、BCSとNMPを加え、ポリマー濃度が5質量%、BCSが20質量%となるように希釈し、剥離層形成用組成物を得た。
合成例L2で得られた反応溶液をそのまま剥離層形成用組成物とした。
合成例L3で得られた反応液に、BCSとNMPを加え、ポリマー濃度が5質量%、BCSが20質量%となるように希釈し、剥離層形成用組成物を得た。
合成例L4で得られた反応溶液をそのまま剥離層形成用組成物とした。
比較合成例HL1で得られた反応液に、BCSとNMPを加え、ポリマー濃度が5質量%、BCSが20質量%となるように希釈し、剥離層形成用組成物を得た。
比較合成例HL2で得られた反応液に、BCSとNMPを加え、ポリマー濃度が5質量%、BCSが20質量%となるように希釈し、剥離層形成用組成物を得た。
[実施例2-1]
スピンコータ(条件:回転数3,000rpmで約30秒)を用いて、実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を、ガラス基体としての100mm×100mmガラス基板(以下同様)の上に塗布した。
そして、得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で10分間加熱し、その後、オーブンを用いて、300℃で30分間加熱し、加熱温度を400℃まで昇温(10℃/分)し、更に400℃で30分間加熱し、ガラス基板上に厚さ約0.1μmの剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。なお、昇温の間、膜付き基板をオーブンから取り出すことはせず、オーブン内で加熱した。
実施例2-1で用いた樹脂基板形成用組成物F1の代わりに、樹脂基板形成用組成物F2を用いた以外は、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1の代わりに、実施例1-2で得られた剥離層形成用組成物L2を用いた以外は、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
剥離層形成用組成物として、実施例1-2で得られた剥離層形成用組成物L2を用い、樹脂基板形成用組成物として、実施例2-2で用いた樹脂基板形成用組成物F2を用いて、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
剥離層形成用組成物として、実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を用い、樹脂基板形成用組成物として、樹脂基板形成用組成物F4を用いて、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
剥離層形成用組成物として、実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を用い、樹脂基板形成用組成物として、樹脂基板形成用組成物F5を用いて、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
剥離層形成用組成物として、実施例1-2で得られた剥離層形成用組成物L2を用い、樹脂基板形成用組成物として、樹脂基板形成用組成物F5を用いて、実施例2-1と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を用いて、実施例2-1と同様の方法で剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。
その後、すぐにスピンコータ(条件:回転数200rpmで約15秒)を用いて、前記ガラス基板上の剥離層(樹脂薄膜)の上に樹脂基板形成用組成物F6を塗布した。得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で2分間加熱し、その後、ホットプレートを用いて230℃で30分間加熱し、剥離層上に厚さ約3μmの樹脂基板を形成し、樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。その後、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製UV-2600)を用いて光透過率を測定した結果、樹脂基板は、400nmで80%以上の透過率を示した。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1の代わりに、実施例1-2で得られた剥離層形成用組成物L2を用いた以外は、実施例2-8と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を用いて、実施例2-1と同様の方法で剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。
その後、すぐにスピンコータ(条件:回転数200rpmで約15秒)を用いて、前記ガラス基板上の剥離層(樹脂薄膜)の上に樹脂基板形成用組成物F7を塗布した。得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で2分間加熱し、その後、ホットプレートを用いて230℃で30分間加熱し、剥離層上に厚さ約3μmの樹脂基板を形成し、樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。その後、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製UV-2600)を用いて光透過率を測定した結果、樹脂基板は、400nmで80%以上の透過率を示した。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1の代わりに、実施例1-2で得られた剥離層形成用組成物L2を用いた以外は、実施例2-10と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物の代わりに、比較例1-1~1-2で得られた剥離層形成用組成物を用いた以外は、上記実施例と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。剥離層と樹脂基板の組み合わせは表1に示した通りである。
スピンコーター(条件:回転数3,000rpmで約30秒)を用いて、実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3を、ガラス基体としての100mm×100mmガラス基板(以下同様)の上に塗布した。
そして、得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で10分間加熱し、その後、オーブンを用いて、300℃で30分間加熱し、加熱温度を400℃まで昇温(10℃/分)し、更に400℃で30分間加熱し、ガラス基板上に厚さ約0.1μmの剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。なお、昇温の間、膜付き基板をオーブンから取り出すことはせず、オーブン内で加熱した。
実施例2-12で用いた樹脂基板形成用組成物F3の代わりに、樹脂基板形成用組成物F4を用いた以外は、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例2-12で用いた樹脂基板形成用組成物F3の代わりに、樹脂基板形成用組成物F5を用いた以外は、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3の代わりに、実施例1-4で得られた剥離層形成用組成物L4を用いた以外は、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
剥離層形成用組成物として、実施例1-4で得られた剥離層形成用組成物L4を用い、樹脂基板形成用組成物として、実施例2-14で用いた樹脂基板形成用組成物F5を用いて、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3を用いて、実施例2-12と同様の方法で剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。
その後、すぐにスピンコータ(条件:回転数200rpmで約15秒)を用いて、前記ガラス基板上の剥離層(樹脂薄膜)の上に樹脂基板形成用組成物F6を塗布した。得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で2分間加熱し、その後、ホットプレートを用いて230℃で30分間加熱し、剥離層上に厚さ約3μmの樹脂基板を形成し、樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。その後、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製UV-2600)を用いて光透過率を測定した結果、樹脂基板は、400nmで80%以上の透過率を示した。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3の代わりに、実施例1-4で得られた剥離層形成用組成物L4を用いた以外は、実施例2-17と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3を用いて、実施例2-12と同様の方法で剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。
その後、すぐにスピンコータ(条件:回転数200rpmで約15秒)を用いて、前記ガラス基板上の剥離層(樹脂薄膜)の上に樹脂基板形成用組成物F7を塗布した。得られた塗膜を、ホットプレートを用いて80℃で2分間加熱し、その後、ホットプレートを用いて230℃で30分間加熱し、剥離層上に厚さ約3μmの樹脂基板を形成し、樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。その後、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製UV-2600)を用いて光透過率を測定した結果、樹脂基板は、400nmで80%以上の透過率を示した。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3の代わりに、実施例1-4で得られた剥離層形成用組成物L4を用いた以外は、実施例2-19と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
実施例1-3で得られた剥離層形成用組成物L3の代わりに、比較例1-1で得られた剥離層形成用組成物HL1を用いた以外は、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。剥離層と樹脂基板の組み合わせは表2に示した通りである。
剥離層形成用組成物として、比較例1-2で得られた剥離層形成用組成物HL2を用い、樹脂基板形成用組成物として、実施例2-13で用いた樹脂基板形成用組成物F4を用いて、実施例2-12と同様の方法で、剥離層及び樹脂基板を作製し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。
得られた実施例2-1~2-20、比較例2-1~2-6で作製した剥離層付きガラス基板の剥離層上にNMPとPGMEをピペットを用いて0.1ml滴下した。1分後、該剥離層を純水で洗浄した後、溶剤を滴下した部分の剥離層の状態を目視で観察して、剥離層の溶剤耐性を評価した。判定基準は以下の通りである。結果を表1及び表2に示す。
<判定基準>
○:特に液滴の跡も見られず、溶解がみられない。
△:液滴の跡がみられるが、残膜がみられる。
×:溶解している。
剥離層が、滴下した溶媒に溶解しないことは、剥離層上に樹脂基板を形成した際に、樹脂基板形成用組成物に含まれる有機溶剤に溶解しないことを意味し、ガラス基板から樹脂基板を損傷することなく剥離できることを意味する。
上記実施例2-1~2-20及び比較例2-1~2-6で得られた樹脂基板・剥離層付きガラス基板について、剥離層とガラス基板との剥離性を、下記手法にて確認した。なお、下記の試験は、同一のガラス基板で行った。
実施例2-1~2-20及び比較例2-1~2-6で得られた剥離層付きガラス基板上の剥離層をクロスカット(縦横1mm間隔、以下同様)し、100マスカットを行った。すなわち、このクロスカットにより、1mm四方のマス目を100個形成した。
そして、この100マスカット部分に粘着テープを張り付けて、そのテープを剥がし、以下の基準(5B~0B,B,A,AA)に基づき、剥離の程度を評価した。
更に、全て剥離した基板のうち、実施例2-5~2-20で作製した樹脂基板・剥離層付きガラス基板を用いて、剥離力評価試験を実施した。試験方法は、樹脂基板・剥離層付きガラス基板の樹脂基板を25mm×50mm幅の長方形に、カッターナイフにて樹脂基板の背面まで貫通するように切り込みを入れ、短冊を作製した。更に、作製した短冊上に、セロハンテープ(ニチバンCT-24)をはった後、オートグラフAG-500N((株)島津製作所製)を用いて、基板の面に対して90度で、すなわち、垂直方向に剥離し、剥離力を測定し、100%剥離(すべて剥離)で、なおかつ剥離力が0.1N/25mm未満のものをAAAとした。
以上の結果を表1及び表2に示す。
<判定基準>
5B:0%剥離(剥離なし)
4B:5%未満の剥離
3B:5~15%未満の剥離
2B:15~35%未満の剥離
1B:35~65%未満の剥離
0B:65%~80%未満の剥離
B:80%~95%未満の剥離
A:95%~100%未満の剥離
AA:100%剥離(すべて剥離)
AAA:100%剥離で剥離力が0.1N/25mm未満
実施例2-1~2-20及び比較例2-1~2-6で得られた樹脂基板・剥離層付きガラス基板について、上記の剥離性評価と同様の手順でその剥離性を評価した。結果を表1及び表2に示す。
一方、比較例2-1~2-6の剥離層は、ガラス基板との密着性に優れるが、樹脂基板との剥離性に劣っていることが確認された。
Claims (7)
- 上記有機溶媒が、プロピレングリコールモノメチルエーテル又はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである請求項4記載の積層体。
- 上記樹脂基板が、ポリイミド樹脂基板又は波長400nmの光透過率が80%以上である樹脂基板である請求項1~5のいずれか1項記載の積層体。
- 請求項1~6のいずれか1項記載の積層体を用いる樹脂基板の製造方法。
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