JP7035451B2 - アクチュエーター、光学装置及びプロジェクター - Google Patents
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Description
以下、図1等を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係るアクチュエーターについて、一例を詳細に説明する。
以下、図4等を参照して、第2実施形態に係るアクチュエーターについて説明する。本実施形態は、第1実施形態の変形例であり、駆動部の構成を除いて、第1実施形態の場合と同様であるので、同一の機能を有するものについては、同じ符号を適用し、各部の詳細な説明については省略する。
以下、図7を参照して、第3実施形態に係る上記アクチュエーターを搭載した光学装置及びプロジェクターについて説明する。ここでは一例として、第1実施形態に例示したアクチュエーター100を搭載した光学装置900を例示するが、他のアクチュエーターを搭載してもよい。
この発明は、上記の各実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
Claims (12)
- 可動部と、
前記可動部に接続される第1梁部と、
前記第1梁部に接続されるとともに前記第1梁部と異なる方向に延在する第2梁部と、
前記第1及び第2梁部を介して、前記第1梁部の延在方向及び前記第2梁部の延在方向に平行な面の面内方向における振動によって曲線運動を前記可動部に行わせる駆動部とを備え、
前記第1梁部と前記第2梁部とのうち少なくとも一方は、前記面内方向に対して垂直な面外方向への前記可動部の振動を抑制する面外振動抑制構造を有する、アクチュエーター。 - 前記面外振動抑制構造は、前記第1梁部と前記第2梁部とのうち少なくとも一方において、前記面外方向の厚みを前記面内方向の厚みよりも厚くすることで構成される、請求項1に記載のアクチュエーター。
- 前記第1梁部は、一の方向に延在するとともに、中央に前記可動部を載置させる内梁であり、
前記第2梁部は、前記第1梁部の両端に設けられる一対構成であり、他の方向に延在する外梁である、請求項1及び2のいずれか一項に記載のアクチュエーター。 - 前記内梁としての前記第1梁部は、孔部を有する、請求項3に記載のアクチュエーター。
- 前記第1梁部は、前記面外振動抑制構造として、互いに離間してかつ延在方向に平行に延びる複数の部材を有する、請求項3及び4のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
- 前記第1梁部と前記第2梁部とが交差する接続箇所に設けられ、振動を分離する振動分離部をさらに備える、請求項3~5のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
- 前記駆動部は、前記第1梁部の延在方向に沿って配置されている、請求項3~6のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
- 前記可動部は、前記駆動部による前記曲線運動として、前記駆動部からの加振によって生じる2つの振動方向のうち少なくとも一方向について動いているように維持される運動をする、請求項1~7のいずれか一項に記載のアクチュエーター。
- 前記第1梁部と前記第2梁部とは、前記面外方向についての振動に対応する共振モードと異なる共振モードを、前記面内方向についての振動に対応する共振モードとするように構成され、
前記駆動部は、前記面内方向についての共振モードに対応する駆動周波数で動作し、前記可動部を共振振動させる、請求項1~8のいずれか一項に記載のアクチュエーター。 - 請求項1~9のいずれか一項に記載のアクチュエーターと、
前記可動部に設けられて前記曲線運動をする光学素子と
を備える、光学装置。 - 前記光学素子は、光拡散板である、請求項10に記載の光学装置。
- 請求項10及び11のいずれか一項に記載の光学装置を備え、
前記光学装置で反射されるレーザー光により画像投射をする、プロジェクター。
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