CN114063238A - 光学装置、制造光学装置的方法和操作光学装置的方法 - Google Patents

Abstract

光学装置(1)，包括：光学元件(10)，所述光学元件经由平台(30)安装在承载件(20)上；平台(30)，所述平台包括基部(32)和弹性结构(31)，其中，所述基部(32)连接至所述光学元件(10)，所述弹性结构(31)将所述基部(32)与所述承载件(20)连接，所述平台(30)沿着由x方向(101)和y方向(102)限定的x‑y平面延伸；致动器(40)，所述致动器被设置为在沿着所述x‑y平面的方向上向所述基部(32)施加力，所述弹性结构(32)在所述x方向(101)和所述y方向(102)上是弹性的，以及所述基部(32)和所述弹性结构(31)以单件的方式制成。

Description

光学装置、制造光学装置的方法和操作光学装置的方法

技术领域

本申请涉及光学装置、制造光学装置的方法和操作光学装置的方法。

背景技术

光学装置用于对撞击在光学装置上的电磁辐射的特性进行主动控制，所述特性例如是电磁辐射的方向、相互干扰、光谱和/或焦点。

发明内容

本文描述的光学装置被设置为用于主动控制撞击在光学装置上的电磁辐射的特性。特别地，电磁辐射在可见光的波长范围内。所述特性可以是光束的方向、相互干扰、光谱和/或焦点。特别地，该光学装置是散斑减少器，其被设置为减少由一组相干波前的相互干涉产生的散斑图案。

用于制造光学装置的方法特别适用于制造所述光学装置。用于操作光学装置的方法特别适用于操作所述光学装置。

该光学装置包括光学元件，该光学元件通过平台安装在承载件上。该光学元件可以是透明的或反射式光学元件，其被设置为与电磁辐射相互作用。特别地，该光学元件被设置为漫反射或透射电磁辐射。例如，该光学元件是漫射器。该光学元件可以基本上具有方形形状，其具有33mm乘以 31mm的边长以及900mm²的基本上二次的光学可用面积。该光学元件可以是具有单个漫射器表面的漫射器。特别地，所述漫射器表面可以设置在具有附加光学元件的光学***的像平面中。

该光学元件附接至平台。该平台附接至承载件。特别地，该平台和/或承载件被设置为以可限定的方式移动光学元件。该平台和/或承载件可以具有电磁辐射可透射的开口。该平台和/或承载件可以设置成使得在预期操作中，电磁辐射与光学元件相互作用而不与平台和/或承载件相互作用。

该平台包括基部和弹性结构。光学元件附接至基部。弹性结构将基部与承载件连接。基部与弹性结构以单件的方式制成。因此，弹性结构包括与基部相同的材料。例如，基部和弹性结构由片材制成，特别是由聚合物片材或金属片材制成。弹性结构与基部之间的过渡没有紧固件、粘合剂和紧固区域。

弹性结构与承载件可以通过联锁和形状配合连接部来进行连接。平台，特别是基部，基本上沿着xy平面延伸，该xy平面由x方向和y方向限定，两个方向都沿着xy平面延伸。特别地，x方向和y方向相对于彼此垂直地延伸。弹性结构在x方向和y方向上是弹性的。此处和下文中，在某个方向上的弹性是指物体在所述方向上具有特别低的弹性模量。例如，在未明确分配弹性特性的方向上的弹性模量是在分配弹性特性的方向上的弹性模量的至少5倍大，优选地是至少10倍大。

光学装置包括致动器，该致动器被设置为施加力。该力抵抗弹性结构的弹力而作用于基部与承载件之间。例如，致动器直接将力施加至平台和承载件。致动器施加的力可以是磁力和/或电磁力。特别地，致动器施加的力的主要部分沿xy平面作用。例如，致动器被设置为在单个方向上施加力，其中所述单个方向沿着xy平面延伸。

致动器能够使基部相对于承载件进行受控移动。特别地，光学装置被设置成使得光学元件沿着基本上沿xy平面延伸的路径相对于承载件移动。特别地，该路径具有椭圆形或圆形形状，该路径在30Hz与200Hz之间(优选地在50Hz与80Hz之间)的频率下可以具有介于0.5mm与3mm之间的幅度。特别地，该路径在垂直于xy平面的方向上延伸小于0.1mm，优选地延伸小于0.05mm。

根据该光学装置的一种实施方式，该光学装置包括光学元件，该光学元件通过平台安装在承载件上。平台包括基部和弹性结构，其中基部连接至光学元件，且弹性结构将基部与承载件连接。基部和弹性结构可以以单件的方式制成。平台沿着由x方向和y方向限定的xy平面延伸。致动器被设置为在沿着xy平面的方向上向基部施加力，并且弹性结构在x方向和y 方向上是弹性的。

该光学元件是透射光学元件。特别地，该光学元件可以是在漫射上是透明的。该光学装置被设置为经由透射而与电磁辐射(特别是光)相互作用。

本文描述的光学装置基于以下考虑。以可移动方式安装在平台上的光学元件需要精确安装，其中安装要求明确限定的机械特性。此外，许多应用需要特别具有成本效益的制造。

本文描述的光学装置利用包括基部和弹性结构的平台，其中基部和弹性结构以单件的方式制成。

有利地，单件的方式生产的平台提供具有可准确限定的机械特性的特别精确的安装，其中平台在其制造中简单且具有成本效益。

根据一种实施方式，平台具有沿x方向的第一谐振频率和沿y方向的第二谐振频率。第一谐振频率基本上是由基部和光学元件的质量以及弹性结构沿x方向的弹性模量来限定的。第二谐振频率基本上是由基部和光学元件的质量以及弹性结构沿y方向的弹性模量来限定的。

根据第一替代方案，第一谐振频率和第二谐振频率基本上相同。特别地，第一谐振频率与第二谐振频率之间的偏差小于第一谐振频率和第二谐振频率的平均频率的1％(特别地是小于0.1％)。有利地，当接近第一谐振频率和第二谐振频率进行驱动时，基本上相同的谐振频率能够以致动器的相对低的功耗实现对光学元件的运动路径的简化控制。

根据第二替代方案，第一谐振频率与第二谐振频率彼此相差在介于第一谐振频率和第二谐振频率的平均频率的0.1％与10％之间(特别地是1％与5％之间)。有利地，当致动器以第一谐振频率与第二谐振频率之间的频率驱动运动时，第二替代方案允许通过致动器在单个方向上施加力来控制光学元件的运动路径。这允许对光学装置的特别简化的控制。

根据一种实施方式，弹性结构包括x弹簧和y弹簧，其中x弹簧包括至少一个第一类弯曲梁，且y弹簧包括至少一个第二类弯曲梁。在未偏转状态下，第一类弯曲梁以垂直于x方向的方式延伸，且第二类弯曲梁以垂直于y方向的方式延伸。x弹簧可以包括多个结构，特别是多个第一类弯曲梁，其具有明确限定的弹性模量。y弹簧可以包括多个结构，特别是多个第二类弯曲梁，其具有明确限定的弹性模量。第一类梁的弹性模量由其在垂直于x方向的方向上的长度来限定。第二类梁的弹性模量由其在垂直于y 方向的方向上的长度来限定。有利地，包括基本上限定弹性模量的梁的弹簧结构是特别容易制造的。

根据一种实施方式，基部具有外部轮廓。该外部轮廓形成基部的周向轮廓。如在基部的俯视图中所见，外部轮廓可以形成多边形，优选地为矩形。俯视图是在沿光学装置的光轴的方向上。

第一类弯曲梁可以沿着外部轮廓的第一区域延伸，且第二类弯曲梁可以沿着外部轮廓的第二区域延伸。特别地，在非偏转状态下，第一类弯曲梁沿着外部轮廓的第一区域平行延伸，且第二类弯曲梁沿着外部轮廓的第二区域平行延伸。例如，第一类弯曲梁和第二类弯曲梁部分地框住基部。有利地，弯曲梁的这种设置导致光学装置的占用面积特别小。

根据一种实施方式，弹性结构的用于在相对于x-y平面倾斜(特别是垂直)的方向上移动的刚度是弹性结构的用于沿x-y平面的方向移动的刚度的至少10倍大。光学元件移动所沿的路径基本上沿xy平面延伸。特别地，光学元件的移动的幅度是光学元件在垂直于xy平面的方向上的移动的幅度的至少10倍大，优选地为至少100倍大。有利地，在垂直于xy平面的方向上的小幅度使得能够在光学***的光学路径中对光学元件进行特别精确的定位。

根据一种实施方式，光学装置包括传感器，该传感器被设置为对基部的相对于承载件的位置进行检测，并且光学装置包括控制器，该控制器被设置为对平台的相对于基部的相对运动的频率和/或幅度进行控制。特别地，传感器和控制器使得能够对光学元件的运动路径进行闭环控制。有利地，传感器和控制器能够对光学元件的运动进行精确的监测和控制。

根据一种实施方式，致动器是音圈致动器，其中该音圈致动器是传感器。例如，基部包括磁体并且承载件包括线圈，反之亦然。致动器可以被设置为在承载件与平台之间施加力并且交替地对承载件与平台的相对位置进行测量。有利地，传感器集成在致动器中实现了光学装置的特别紧凑的设计。

根据一种实施方式，光学装置包括传动元件，其中该传动元件被设置为对平台的相对于承载件在沿xy平面的所有方向上的最大偏转进行限制，其中沿xy平面的所有方向上的最大偏转基本相同。特别地，传动元件可以包括机械止动件，该机械止动件对平台的相对于承载件沿着xy平面的运动进行限制。例如，传动元件包括：销，该销固定连接至承载件；以及平台中的开口，其中销的直径小于开口的直径。可替代地，销固定附接至平台并且承载件包括所述开口。

例如，致动器使平台相对于承载件移动，使得销抵靠限定开口的轮廓的内边缘。因此，平台沿着由所述轮廓限定的路径移动。特别地，该轮廓具有圆形轮廓。销的直径与开口的直径的比率限定了平台的偏转幅度。特别地，传动元件包括多个开口和多个销，其中每个销被分配给多个开口中的一个开口。

传动元件可以被设置为引导平台相对于承载件的运动。特别地，传动元件包括凸轮(cam)，该凸轮限定平台沿xy平面的运动路径。

例如，当光学装置包括传动元件时，弹性结构具有特别高的弹性模量。例如，第一谐振频率和第二谐振频率均低于10Hz，特别地是低于5Hz。

根据一种实施方式，基部与弹性结构以单件的方式制成。

根据一种实施方式，光学装置包括延伸通过光学元件的光轴。该光轴表示光穿过光学装置的期望路径。特别地，光学元件是光学装置的唯一部分，其设置在光轴上。例如，光轴不与承载件、基部或弹性结构相交。光轴延伸通过光学装置。换言之，光轴从光学装置的第一侧延伸至光学装置的第二侧，其中第一侧与第二侧相反。特别地，光学装置包括通光孔径，其中光轴延伸通过所述通光孔径。仅光学元件设置在通光孔径中。通光孔径至少部分地被平台和/或承载件包围。特别地，承载件和/或平台在侧向方向上的至少三个侧面上相邻，其中侧向方向相对于光轴垂直地延伸。优选地，通光孔径在侧向方向上完全被承载件和/或平台包围。

还详细说明了一种用于生产光学装置的方法。特别地，本文描述的光学装置可以用所述方法生产。这意味着针对光学装置公开的所有特征也是针对该方法公开的，反之亦然。

该方法用于制造包括平台的光学装置。该平台具有基部和弹性结构，其中基部和弹性结构由普通的金属片制成。在方法步骤中，例如经由冲压或蚀刻来限定金属片的轮廓。特别地，在所述方法步骤中，限定了基部的轮廓和弹性结构的轮廓。

基部包括金属片的第一部分并且弹性结构包括金属片的第二部分。在方法步骤中，第一部分和第二部分被弯曲，使得第一部分相对于第二部分基本上倾斜地延伸。特别地，金属片被弯曲成使得第一部分相对于第二部分垂直地延伸。通过将第一部分相对于第二部分弯曲90°来制造弹性结构。

根据一种实施方式，弹性结构包括具有第一类弯曲梁的x弹簧和具有第二类弯曲梁的y弹簧。第一类弯曲梁和第二类弯曲梁以单件的方式制造。特别地，第一类弯曲梁和第二类弯曲梁通过将金属片的第二部分进行弯曲来制造。特别地，第二部分包括第一子部分和第二子部分，其中第一子部分包括第一类弯曲梁，且第二子部分包括第二类弯曲梁。例如，第一子部分垂直于x方向延伸并且第二子部分垂直于y方向延伸。第一谐振频率取决于第一子部分的沿与x方向垂直的方向的长度。第二谐振频率取决于第二子部分的垂直于y方向的长度。

还详细描述了一种用于驱动光学装置的方法。特别地，这里描述的光学装置可以用所述方法驱动。这意味着针对光学装置和针对制造光学装置的方法公开的所有特征也是针对该方法公开的，反之亦然。

用于驱动光学装置的方法包括经由平台安装在承载件上的光学元件。致动器是由具有激励频率的周期性激励信号来驱动的。平台具有基部，该基部具有在x方向上的第一谐振频率和在y方向上的第二谐振频率。第一谐振频率基本上取决于基部和光学元件的质量以及弹性结构沿x方向的弹性模量。第二谐振频率取决于基部和光学元件的质量以及弹性结构沿y方向的弹性模量。

根据第一替代方案，激励频率大于或小于第一谐振频率和第二谐振频率两者。例如，第一谐振频率和第二谐振频率与第一谐振频率和第二谐振频率的平均频率相差小于5％、优选地相差小于3％。特别地，致动器被设置为沿着xy平面施加两个力，其中这两个力沿着xy平面在不同方向上被引导，并且这两个力就其相位(phase)而言可以彼此不同。有利地，特别接近于第一谐振频率和第二谐振频率的激励频率实现了能量有效的操作，因为小的力导致较大幅度的光学元件运动。

根据第二替代方案，激励频率介于第一谐振频率与第二谐振频率之间，且激励频率与第一谐振频率之间的差的绝对值和激励频率与第二频率之间的差的绝对值基本相同。例如，第一谐振频率和第二谐振频率与第一谐振频率和第二谐振频率的平均频率相差大于5％、特别是大于3％。此外，致动器的力沿xy平面相对于x方向和y方向倾斜地作用。有利地，第一谐振频率与第二谐振频率之间的驱动频率能够驱动具有在沿着xy平面的单个方向上施加力的致动器的光学装置。特别地，该致动器是用单通道信号驱动的。因此，操作该装置所需的电路的复杂性被保持得特别低。

根据一种实施方式，该光学装置包括：传感器，该传感器被设置为对基部的相对于承载件的位置进行检测；以及控制器，该控制器被设置为对基部的相对于承载件的相对运动的频率和/或幅度进行控制，其中基部的相对于承载件的运动路径由基于位置的闭环控制电路来控制，该闭环控制电路包括传感器和控制器。特别地，基部沿着相对于平台的移动路径而运动。该运动路径可以具有椭圆形状，特别地是圆形形状。特别地，该运动路径可以具有利萨如(Lissajous)轨道的形状。优选地，该移动路径经由传感器来确定，其中该传感器具有的检测频率是基部的圆周运动的频率的至少10 倍大。

附图说明

光学装置、用于制造光学装置的方法和用于操作光学装置的方法的另外的优点及有利的改进和发展从结合附图示出的以下示例性实施方式中产生。

图1以示意性立体图示出了光学装置的示例性实施方式；

图2以示意性立体图示出了光学装置的示例性实施方式；

图3以示意性立体图示出了光学装置的示例性实施方式；

图4在示例性实施方式中以示意性立体图示出了光学装置的平台；

图5以示意性立体图示了出具有传动结构的光学装置的示例性实施方式；

图6以示意性俯视图示出了具有传动结构的光学装置的示例性实施方式；以及

图7以示意性俯视图示出了具有传动结构的光学装置的示例性实施方式。

相同、或相同地作用的元件在图中设有相同的附图标记。图与图中所示的元件的彼此的比例不应被视为按比例绘制。相反，为了更好的可显示性和/或更好的可理解性，可以放大单个元件的大小。

具体实施方式

图1以示意性立体图示出了光学装置1的示例性实施方式。光学装置 1包括光学元件10，该光学元件10经由平台30安装在承载件20上。光学元件10是漫射器。平台30包括基部32和弹性结构31。基部32连接至光学元件10，且弹性结构31将基部32与承载件20连接。

弹性结构31包括x弹簧和y弹簧。x弹簧包括至少一个第一类弯曲梁311，且y弹簧包括至少一个第二类弯曲梁312。在未偏转状态下，第一类弯曲梁311垂直于x方向101延伸，并且在未偏转状态下，第二类弯曲梁312垂直于y方向102延伸。平台30具有沿着x方向101的第一谐振频率和沿着y方向102的第二谐振频率，并且第一谐振频率和第二谐振频率基本相同，或者第一谐振频率和第二谐振频率彼此相差在介于1％与5％之间。第一谐振频率基本上取决于x弹簧的弹性以及基部32和光学元件10 的质量。第二谐振频率基本上取决于y弹簧的弹性以及基部32和光学元件 10的质量。

平台30沿着由x方向101和y方向102限定的x-y平面延伸。弹性结构31在x方向101和y方向102上是弹性的。

弹性结构32的用于在相对于x-y平面倾斜(特别是垂直)的方向上移动的刚度是弹性结构32的用于在沿x-y平面的方向上移动的刚度的至少10 倍大。

致动器40被设置为在沿着x-y平面的方向上向基部32施加力。致动器40包括多个音圈致动器，其中线圈集成在承载件20中。特别地，承载件20是PCB并且该PCB的传导轨道形成了集成在PCB中的线圈。此外，致动器40包括附接至基部32的多个磁体(图中未示出)。音圈致动器用作传感器51以对基部32的相对于承载件20的位置进行检测。控制器50被设置为对基部32的相对于承载件20的相对运动的频率和/或幅度进行控制。

基部32和弹性结构31由普通的金属片以单件的方式制成。基部32包括金属片的第一部分，且弹性结构31包括金属片的第二部分。通过将第一部分相对于第二部分弯曲90°来制造弹性结构31。因此，弹性结构31相对于xy平面垂直地延伸。

弹性结构包括具有两个第一类弯曲梁311的x弹簧和具有两个第二类弯曲梁312的y弹簧。每个第一类弯曲梁311机械连接至第二类弯曲梁312 中的一个第二类弯曲梁。每个第一类弯曲梁311与第二类弯曲梁312以单件的方式制造。

在操作中，致动器40是由具有激励频率的周期性激励信号来驱动的。或者激励频率大于或小于第一谐振频率和第二谐振频率两者，或者激励频率介于第一谐振频率与第二谐振频率之间并且激励频率与第一谐振频率之间的差的绝对值和激励频率与第二频率的差的绝对值基本相同。在操作中，致动器40被驱动成使得基部32沿着xy平面相对于承载件20执行椭圆(优选圆形)运动。特别地，控制器50实现闭环控制。特别地，控制器具有两个通道，其中第一通道被设置为控制致动器40沿x方向101的力，且第二通道被设置为控制致动器40沿y方向102的力。所述运动的频率优选地介于30Hz与200Hz之间，高度优选地介于50Hz与80Hz之间。所述运动的峰峰值幅度在0.5mm至5mm的范围内，而在垂直于xy平面的方向上的运动幅度低于0.1mm。

图2以示意性立体图示出了光学装置1的示例性实施方式。图2所示的光学装置1与图1所示实施方式的不同之处在于弹性结构的设计。图2 中的实施方式包括具有四个第一类弯曲梁311的x弹簧和具有四个第二类弯曲梁312的y弹簧。

图3以示意性立体图示出了光学装置1的示例性实施方式。图3所示的实施方式与图2所示实施方式的不同之处在于光学元件10附接至基部 32。光学元件10经由固定元件34附接至基部32。固定元件34是夹具，其经由非刚性连接将光学元件10附接至基部32。

图4在示例性实施方式中以示意性立体图示出光学装置1的平台30。该平台包括基部32。基部32中是凹部，该凹部对于可见波长范围内的光是透明的。

图5以示意性立体图示出具有传动结构60的光学装置1的示例性实施方式。传动结构60包括设置在基部32中的四个开口62和四个销61。开口 62和销61二者从俯视图中看都具有圆形轮廓。每个销61延伸通过开口62 中的一个开口。销61具有比开口62小的直径。开口的直径与销的直径的比率限定了基部32的运动路径的幅度。传动结构限制了基部32相对于承载件20沿xy平面的偏转。在操作中，销抵靠对开口62进行限制的内部轮廓。由此开口62的轮廓限定了基部32的移动路径。

图6以示意性俯视图示出了具有传动结构60的光学装置的示例性实施方式。x弹簧和y弹簧被设计成使得第一谐振频率和第二谐振频率低于 10Hz。因此，基本上传动结构60引导基部32的运动。

图7以示意性俯视图示出了具有传动结构60的光学装置1的示例性实施方式。图7所示的传动结构60与图6所示的传动结构的实施方式不同。传动结构60是凸轮65，其具有轴63和轴承64。轴63是在预期操作期间轴承64旋转所围绕的旋转轴。轴63偏离轴承64的中心。因此，基部被迫相对于承载件20进行圆周运动。轴63到轴承64的距离分别限定了基部32 的圆周运动路径的幅度。

本发明不限于基于这些示例性实施方式描述的示例性实施方式。

相反，本发明涵盖每个新特征和特征的每个组合，尤其包括专利权利要求中的特征的每个组合，即使该特征或该组合本身没有在专利权利要求或示例性实施方式中明确指定。

Claims (14)

1.光学装置(1)，所述光学装置包括光学元件(10)，所述光学元件经由平台(30)安装在承载件(20)上，

-所述平台(30)包括基部(32)和弹性结构(31)，其中，

-所述基部(32)连接至所述光学元件(10)，

-所述弹性结构(31)将所述基部(32)与所述承载件(20)连接，

-所述平台(30)沿着由x方向(101)和y方向(102)限定的x-y平面延伸，

-设置有致动器(40)以在沿着所述x-y平面的方向上向所述基部(32)施加力，

-所述弹性结构(32)在所述x方向(101)和所述y方向(102)上是弹性的，以及

-所述光学元件(10)是透射光学元件。

2.根据权利要求1所述的光学装置(1)，其中，所述平台(30)具有沿着所述x方向(101)的第一谐振频率和沿着所述y方向(102)的第二谐振频率，以及

-所述第一谐振频率和所述第二谐振频率基本相同，或者

-所述第一谐振频率和所述第二谐振频率彼此相差在介于1％与5％之间。

3.根据权利要求1或2所述的光学装置(1)，其中，所述弹性结构(32)包括x弹簧和y弹簧，其中，所述x弹簧包括至少一个第一类弯曲梁(311)，并且所述y弹簧包括至少一个第二类弯曲梁(312)，其中，

-在未偏转状态下，所述第一类弯曲梁(311)以垂直于所述x方向(101)的方式延伸，并且

-在未偏转状态下，所述第二类弯曲梁(312)以垂直于所述y方向(102)的方式延伸。

4.根据权利要求3所述的光学装置(101)，其中，所述基部具有外部轮廓，

所述第一类弯曲梁沿着所述外部轮廓的第一区域延伸，

所述第二类弯曲梁沿着所述外部轮廓的第二区域延伸。

5.根据权利要求1或2所述的光学装置(101)，其中，所述弹性结构(32)的用于在相对于所述x-y平面倾斜的方向上的移动的刚度是所述弹性结构(32)的用于在沿着所述x-y平面的方向上的移动的刚度的至少10倍大。

6.根据权利要求1或2的光学装置(1)，所述光学装置包括：

-传感器(51)，所述传感器被设置为对所述基部(32)的相对于所述承载件(31)的位置进行检测，以及

-控制器(50)，所述控制器被设置为对所述基部(32)的相对于所述承载件(20)的相对运动的频率和/或幅度进行控制。

7.根据权利要求6的光学装置(1)，其中，所述致动器(40)是音圈致动器，其中，所述音圈致动器是所述传感器(51)。

8.根据权利要求1或2所述的光学装置(1)，所述光学装置包括传动元件(60)，其中，所述传动元件被设置为限制所述基部(32)的相对于所述承载件(20)在沿着所述x-y平面的所有方向上的最大偏转，其中，沿着所述x-y平面的所有方向上的所述最大偏转基本相同。

9.根据权利要求1或2所述的光学装置，其中，所述基部(32)和所述弹性结构(31)以单件的方式制成。

10.根据权利要求1或2所述的光学装置，所述光学装置包括延伸通过所述光学元件(10)的光轴。

11.用于制造光学装置(1)的方法，所述光学装置包括具有基部(32)和弹性结构(31)的平台(30)，其中，

-由普通的金属片制成所述基部(32)和所述弹性结构(31)；

-使所述基部(32)包括所述金属片的第一部分，并且使所述弹性结构(31)包括所述金属片的第二部分，其中，

-通过将所述第一部分相对于所述第二部分弯曲90°来制造所述弹性结构(31)。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，使所述弹性结构(31)包括具有第一类弯曲梁(311)的x弹簧和具有第二类弯曲梁(312)的y弹簧，其中，将所述第一类弯曲梁(311)和所述第二类弯曲梁(312)以单件的方式制造。

13.用于驱动光学装置(1)的方法，所述光学装置包括光学元件(10)，所述光学元件经由平台(30)安装在承载件(20)上，其中，

-致动器(40)施加力以使所述光学元件(10)相对于所述承载件(20)偏转，

-所述致动器(40)是由具有激励频率的周期性激励信号来驱动的，

-使所述平台(30)具有在x方向(101)上的第一谐振频率和在y方向(102)上的第二谐振频率，其中，

-使所述激励频率大于或小于所述第一谐振频率和所述第二谐振频率二者，

-或者，使所述激励频率介于所述第一谐振频率和所述第二谐振频率之间，并且使所述激励频率与所述第一谐振频率之间的差的绝对值和所述激励频率与第二频率的差的绝对值基本相同。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述光学装置包括：传感器(51)，所述传感器被设置为对所述基部(32)的相对于所述承载件(31)的位置进行检测；以及控制器(50)，所述控制器被设置为对所述基部(32)的相对于所述承载件(20)的相对运动的频率和/或幅度进行控制，其中，所述基部的相对于所述承载件的移动路径由基于位置的闭环控制电路控制，所述基于位置的闭环控制电路包括所述传感器(51)和所述控制器(50)。

Images