JP7001439B2 - 監視方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係る監視方法は、半導体製造現場であるクリーンルーム内で所定の工程作業を行うロボット20を監視するために、当該ロボット20を備えるロボットシステム10において実行される。
本実施形態に係るロボット20は、半導体製造現場であるクリーンルーム内において半導体ウェハWを搬送するための搬送用ロボットである。また、ロボット20は、いわゆる水平多関節型の3軸ロボットであり、3つの関節軸(第1関節軸AX1、第2関節軸AX2、及び第3関節軸AX3)を備える。ロボット20は、基台22と、基台22の上面に設けられる上下方向に伸縮可能な昇降軸(図示せず)と、当該昇降軸の上端部に取り付けられるロボットアーム30と、ロボットアーム30の先端部に取り付けられるエンドエフェクタ38と、ロボットアーム30及びエンドエフェクタ38を制御するロボット制御部40と、を備える。
収容部50は、互いに隣接して配置された第1収容部52、第2収容部54、第3収容部56及び第4収容部58から構成され、第1収容部52、第2収容部54、第3収容部56及び第4収容部58それぞれに予め半導体ウェハWが収容されてある。第1収容部52、第2収容部54、第3収容部56及び第4収容部58は、それぞれ、その前面全域に開口が形成された中空の直方体形状であり、当該開口からそれぞれの内部にエンドエフェクタ38が挿入される。第1収容部52、第2収容部54、第3収容部56及び第4収容部58は、それぞれ、複数枚の半導体ウェハWを所定の間隔を空けて上下方向に積層した状態で収容することが可能である。
プリアライナ70は、プリアライナ本体72と、半導体ウェハWが載置されるターンテーブル74と、ターンテーブル74を回転させるための図示しない駆動源と、当該駆動源により回転している状態の半導体ウェハWの外縁部分を検出する光学センサ76と、光学センサ76で検出した情報などを処理する図示しない処理部と、を備える。プリアライナ70は、上記構成により、半導体ウェハWの外周に形成された切欠(notch)又は直線部(orientation flat)の周方向における位置を合わせることで、半導体ウェハWの角度合わせを行う。
処理装置90は、プリアライナ70で角度合わせされた半導体ウェハWを受け入れ、当該半導体ウェハWに処理を施す。処理装置90は、処理を施すための処理室91を有し、処理室91を形成する外壁には、未処理の半導体ウェハWを処理室91に挿入するための挿入口92と、処理室91で処理を施された半導体ウェハWを取り出すための取出口94と、が穿設される。
ここで、上記したロボットシステム10でロボット20が行う所定の工程動作について詳細に説明する。当該所定の工程動作は、時間軸上で順次なされる複数の工程部分を含む。本実施形態では、当該複数の工程部分が、それぞれ、所定の工程動作をロボット20が行う動作単位ごとに区切ることで構成されている。
第1~第3関節軸AX1~AX3それぞれに設けられるモータ(複数の駆動部)のうちの少なくとも1つが監視対象として設定され、監視対象として設定されたモータのそれぞれに、その動作に関する少なくとも1種の監視パラメータが予め設定される。本実施形態では、監視パラメータとして、モータの動作に関する位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及び電流値が設定されている。そして、上記した1~44番目の工程部分(複数の工程部分)それぞれにおいて監視対象として設定された少なくとも1つのモータが動作する。
上記したロボットシステム10において実行される本実施形態に係る監視方法の一例について説明する。図2は、本実施形態に係る監視方法のフローチャートである。
準備運転工程S1では、上記所定の工程動作を1回以上行い、上記1~44番目の工程部分それぞれにおいて、動作する監視対象として設定された全てのモータに関し、設定されている全ての監視パラメータ(本実施形態では、モータの動作に関する位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及び電流値)を検出する。
ランク付け工程S2では、上記準備運転工程S1において検出された全ての監視パラメータそれぞれに対して所定の負荷評価方法に基づき負荷度合いを導出し、当該負荷度合いが大きいものから順に検出された全ての工程部分をランク付けする。ここでいう負荷評価方法は、例えば、検出された位置偏差、速度偏差、及び加速度偏差それぞれが予め定められた許容限度に対してどの程度の割合まで達したか、又は電流値について予め定められた基準値超過の許容限度に対してどの程度まで達したかなどを算出して負荷度合いを導出するものであってもよい(例えば、許容限度100%に対して90%まで達したなど)。なお、負荷度合いが大きい場合、通常、モータに流れる電流値が大きくなるため、上記負荷評価方法などによって負荷度合いを導出することが可能となる。
通常運転工程S3では、主に、ランク付け工程S2において上位にランク付けされた工程部分を、その監視パラメータが検出された工程部分におけるモータ(駆動部)について監視する。なお、本実施形態では、通常運転工程S3で、ランク付け工程S2において上位にランク付けされた監視パラメータのみを、その監視パラメータが検出された工程部分におけるモータ(駆動部)について監視する。
本実施形態に係る監視方法は、主に、ランク付け工程S2において上位(ここでは図3~6それぞれに示す3位まで)にランク付けされた工程部分を、その監視パラメータが検出された工程部分におけるモータ(駆動部)について監視する。
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び/又は機能の詳細を実質的に変更できる。
20 ロボット
30 ロボットアーム
32a 第1アーム部
32b 第2アーム部
32c 手首部
38 エンドエフェクタ
40 ロボット制御部
50 収容部
52 第1収容部
54 第2収容部
56 第3収容部
70 プリアライナ
72 プリアライナ本体
74 ターンテーブル
76 光学センサ
90 処理装置
91 処理室
92 挿入口
94 取出口
AX 関節軸
S1 準備運転工程
S2 ランク付け工程
S3 通常運転工程
W 半導体ウェハ
Claims (10)
- 複数の駆動部を有し、且つ所定の工程動作を行うロボットを監視するための監視方法であって、
前記複数の駆動部のうちの少なくとも1つが監視対象として設定され、
監視対象として設定された駆動部のそれぞれに、その動作に関する少なくとも1種の監視パラメータが予め設定され、
前記所定の工程動作は時間軸上で順次なされる複数の工程部分を含み、前記複数の工程部分それぞれにおいて監視対象として設定された少なくとも1つの駆動部が動作し、
前記所定の工程動作を1回以上行い、前記複数の工程部分それぞれにおいて、動作する監視対象として設定された全ての駆動部に関し、設定されている全ての監視パラメータを検出する準備運転工程と、
前記準備運転工程において検出された全ての監視パラメータそれぞれに対して所定の負荷評価方法に基づき負荷度合いを導出し、前記負荷度合いが大きいものから順に前記検出された全ての工程部分をランク付けするランク付け工程と、
主に、前記ランク付け工程において上位にランク付けされた工程部分を、その監視パラメータが検出された前記工程部分における駆動部について監視する通常運転工程と、を備えることを特徴とする、監視方法。 - 前記駆動部は、前記ロボットが有する少なくとも1つの関節軸それぞれに設けられるモータである、請求項1に記載の監視方法。
- 前記通常運転工程で、前記ランク付け工程において上位にランク付けされた工程部分のみを、その監視パラメータが検出された前記工程部分における駆動部について監視する、請求項1又は2に記載の監視方法。
- 前記監視パラメータとして前記駆動部の動作に関する位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及び電流値のうちの少なくも1種が設定されている、請求項1乃至3のいずれかに記載の監視方法。
- 前記監視パラメータは、各駆動部それぞれにつき複数設定されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の監視方法。
- 前記複数の工程部分は、それぞれ、前記所定の工程動作を前記ロボットが行う作業単位又は動作単位ごとに区切ることで構成されている、請求項1乃至5のいずれかに記載の監視方法。
- 前記ランク付け工程の完了時にその旨を報知する、請求項1乃至6のいずれかに記載の監視方法。
- 前記通常運転工程において監視している駆動部の負荷度合いが所定の閾値を超えた場合に警報を発する、請求項1乃至7のいずれかに記載の監視方法。
- 前記ロボットは、前記所定の工程動作を製造現場で行う搬送用ロボットである、請求項1乃至8のいずれかに記載の監視方法。
- 前記製造現場は半導体製造現場であり、前記ロボットは半導体ウェハを搬送するための搬送用ロボットである、請求項9に記載の監視方法。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013066987A (ja) | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Nikon Corp | 異常判定装置、駆動装置及びロボット装置 |
JP2017170471A (ja) | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 溶接ロボット機構 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3448413C2 (de) * | 1983-11-25 | 1996-02-29 | Canon Kk | Bildreproduktionsgerät |
US5241482A (en) * | 1990-04-13 | 1993-08-31 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Monitoring system for automated assemblies |
JPH07282090A (ja) * | 1994-04-14 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | データ収集方式 |
JP3625901B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2005-03-02 | 三菱電機株式会社 | サーボ制御システムの自動適正化方法および装置 |
JP2002183504A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-06-28 | Tadashi Goino | オークション方法、オークションシステム及びサーバ |
US6899765B2 (en) * | 2002-03-29 | 2005-05-31 | Applied Materials Israel, Ltd. | Chamber elements defining a movable internal chamber |
JP3994956B2 (ja) * | 2002-12-18 | 2007-10-24 | ソニー株式会社 | ロボット装置、並びに負荷吸収装置及び負荷吸収方法 |
CN101156312B (zh) * | 2005-04-08 | 2010-08-25 | 三菱电机株式会社 | 伺服电动机的控制装置 |
JP4667140B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2011-04-06 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
KR101322434B1 (ko) * | 2005-07-11 | 2013-10-28 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 지능형 상태 감시 및 결함 진단 시스템 |
US9104650B2 (en) * | 2005-07-11 | 2015-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Intelligent condition monitoring and fault diagnostic system for preventative maintenance |
JP4508164B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2010-07-21 | トヨタ自動車株式会社 | 多関節ロボット及びその制御プログラム |
JP4966693B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2012-07-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料搬送装置及び方法 |
US8303231B2 (en) * | 2007-09-28 | 2012-11-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Apparatus and method for semiconductor wafer transfer |
US8276506B2 (en) * | 2007-10-10 | 2012-10-02 | Panasonic Corporation | Cooking assistance robot and cooking assistance method |
EP2394310A4 (en) * | 2009-02-09 | 2013-07-31 | Auckland Uniservices Ltd | MECHANICAL-SENSITIVE OPERATOR ARRANGEMENT |
JP5689704B2 (ja) * | 2010-08-08 | 2015-03-25 | 日本電産サンキョー株式会社 | モータ制御装置およびモータ制御方法 |
JP5717797B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2015-05-13 | ファナック株式会社 | 物品を搬送するためのロボットハンド、ロボットハンドを備えたロボットおよびロボットシステム、ならびにロボットハンドの制御方法 |
US9162357B2 (en) * | 2013-06-26 | 2015-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Control method for robot system and robot system |
KR102061693B1 (ko) * | 2013-10-07 | 2020-01-02 | 삼성전자주식회사 | 액추에이터 유닛, 이를 포함한 로봇 및 감속기 장치 |
CN103762910A (zh) * | 2014-01-29 | 2014-04-30 | 南京艾凌节能技术有限公司 | 一种多电机拖动***功率平衡控制装置及其控制方法 |
CN107251211B (zh) * | 2015-02-13 | 2020-10-23 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机械手及其运转方法 |
US9808246B2 (en) * | 2015-03-06 | 2017-11-07 | Ethicon Endo-Surgery, Llc | Method of operating a powered surgical instrument |
JP6760717B2 (ja) * | 2015-06-22 | 2020-09-23 | ライフロボティクス株式会社 | ロボット装置 |
JP6655926B2 (ja) | 2015-09-25 | 2020-03-04 | 三菱重工業株式会社 | 異常診断システム |
JP6544291B2 (ja) | 2016-05-02 | 2019-07-17 | トヨタ自動車株式会社 | 関節駆動ロボットの異常診断方法及び異常診断装置 |
DE112017002300T5 (de) * | 2016-06-07 | 2019-02-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Anomaliefeststellungsvorrichtung und Anomaliefeststellungsverfahren |
-
2017
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013066987A (ja) | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Nikon Corp | 異常判定装置、駆動装置及びロボット装置 |
JP2017170471A (ja) | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 溶接ロボット機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11440200B2 (en) | 2022-09-13 |
KR102366250B1 (ko) | 2022-02-23 |
KR20200070351A (ko) | 2020-06-17 |
CN111356563A (zh) | 2020-06-30 |
WO2019102688A1 (ja) | 2019-05-31 |
JP2019093503A (ja) | 2019-06-20 |
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US20200298416A1 (en) | 2020-09-24 |
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