JP6969397B2 - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6969397B2 JP6969397B2 JP2018006873A JP2018006873A JP6969397B2 JP 6969397 B2 JP6969397 B2 JP 6969397B2 JP 2018006873 A JP2018006873 A JP 2018006873A JP 2018006873 A JP2018006873 A JP 2018006873A JP 6969397 B2 JP6969397 B2 JP 6969397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- sensor
- magnetic sensor
- magnetic material
- sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
図1及び図2は本発明の第1の実施形態による磁気センサ10Aの構造を説明するための図であり、図1は略斜視図、図2は略上面図である。
図6は、本発明の第2の実施形態による磁気センサ10Bの外観を示す略斜視図である。
図16は、本発明の第3の実施形態による磁気センサ100の外観を示す略斜視図である。
20 基板
21 実装領域
22 端子電極
30 センサチップ
31 素子形成面
32 端子電極
40 磁性体
41 下面
42 上面
42a,42b 突起部
50 磁気シールド
51 第1の側壁部
52 第2の側壁部
53 第1の天板部
54 第2の天板部
55 底板部
60 被測定部材
BW ボンディングワイヤ
G ギャップ
M1,M2 磁気パターン
R1〜R4 磁気検出素子
φ 磁束
Claims (6)
- 磁気検出素子が形成された素子形成面を有するセンサチップと、
前記素子形成面と平行な第1の方向を長手方向とする形状を有し、磁束を前記磁気検出素子に集める磁性体と、を備え、
前記磁性体は、前記素子形成面と対向する下面と、前記下面の反対側に位置する上面を有し、
前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における位置によって前記素子形成面からの高さが異なる凹凸形状を有していることを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁性体の前記第1の方向におけるサイズは、前記センサチップの前記第1の方向におけるサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における略中央部が突出した形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。
- 前記磁性体の前記上面は、前記第1の方向における両端部又はその近傍が突出した形状を有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記センサチップ及び前記磁性体を覆う磁気シールドをさらに備え、
前記磁気シールドは、前記第1の方向と直交する第2の方向から前記センサチップを挟み込む第1及び第2の側壁部と、前記第1の側壁部の一端に接続され、前記磁性体に向けて前記第2の方向に延在する第1の天板部と、前記第2の側壁部の一端に接続され、前記磁性体に向けて前記第2の方向に延在する第2の天板部とを含み、
前記磁性体は、前記第1及び第2の天板部と接することなく、前記第1の天板部の先端と前記第2の天板部の先端によって形成されるギャップ内に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第2の方向は、被測定部材のスキャン方向であることを特徴とする請求項5に記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018006873A JP6969397B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018006873A JP6969397B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 磁気センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019124644A JP2019124644A (ja) | 2019-07-25 |
JP6969397B2 true JP6969397B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=67397860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018006873A Active JP6969397B2 (ja) | 2018-01-19 | 2018-01-19 | 磁気センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6969397B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021101168A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-08 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002367120A (ja) * | 2001-06-08 | 2002-12-20 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
US7358724B2 (en) * | 2005-05-16 | 2008-04-15 | Allegro Microsystems, Inc. | Integrated magnetic flux concentrator |
US9594130B2 (en) * | 2012-04-23 | 2017-03-14 | Hitachi Metals, Ltd. | Magnetic sensor device |
JP6305181B2 (ja) * | 2014-04-15 | 2018-04-04 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
JP6597369B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-10-30 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
-
2018
- 2018-01-19 JP JP2018006873A patent/JP6969397B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019124644A (ja) | 2019-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6610178B2 (ja) | 磁気センサ | |
CN104204835B (zh) | 磁性传感器装置 | |
JP6819361B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6822127B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2004514875A (ja) | 強磁性の対象物を無接触で検出する測定装置 | |
JP7115242B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2020071198A (ja) | 磁気センサ | |
JP7095350B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7020176B2 (ja) | 磁気センサ | |
CN110622020B (zh) | 磁传感器 | |
JP6969397B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2020071096A (ja) | 磁気センサ | |
WO2018198627A1 (ja) | 磁界センサ | |
JP7047610B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6973090B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7192227B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2019219293A (ja) | 磁気センサ | |
JP2020071095A (ja) | 磁気センサ | |
WO2017077871A1 (ja) | 磁気センサ | |
JP7077679B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6874869B2 (ja) | 磁気センサ | |
CN110998349B (zh) | 磁传感器 | |
JP7119351B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7172178B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP2019211330A (ja) | 磁気センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6969397 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |