JP6955977B2 - チップの形成方法 - Google Patents
チップの形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6955977B2 JP6955977B2 JP2017225603A JP2017225603A JP6955977B2 JP 6955977 B2 JP6955977 B2 JP 6955977B2 JP 2017225603 A JP2017225603 A JP 2017225603A JP 2017225603 A JP2017225603 A JP 2017225603A JP 6955977 B2 JP6955977 B2 JP 6955977B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- dress
- cutting
- device wafer
- metal paste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
図2に示すように、デバイスウェーハWの表面Waに表面保護部材1を貼着する。表面保護部材1は、少なくともデバイスウェーハWと略同径の大きさを有し、例えばポリオレフィンやポリ塩化ビニル、ポリエチレンタフタレートなどの樹脂からなる基材上にアクリル系やゴム系の樹脂からなる糊層から構成された表面保護テープである。表面保護部材1をデバイスウェーハWの表面Waに貼着して、その表面Waの全面を覆うことにより、各デバイスDを保護する。表面保護部材1は、表面保護テープに限定されず、ガラスやシリコンウェーハなどのハードプレートで構成してもよい。
図3に示すように、例えば、デバイスウェーハWを保持テーブル20の保持面21で保持し、保持テーブル20の上方側に配設された研削手段10によってデバイスウェーハWの裏面Wbを研削してチップの仕上げ厚みへと薄化する。研削手段10は、保持面21と直交する鉛直方向の軸心を有するスピンドル11と、スピンドル11の下端にマウント12を介して装着された研削ホイール13と、研削ホイール13の下部に環状に固着された研削砥石14とを備えている。研削手段10には、図示しない昇降手段が接続され、昇降手段によって研削ホイール13を回転させながら研削手段10の全体を昇降させることができる。
薄化ステップを実施した後、図4に示すように、デバイスウェーハWの裏面Wbに金属ペースト2を介してドレスウェーハW1を配設して複合ウェーハ3を形成する。ドレスウェーハW1は、後述する切断ステップを実施するときに切削ブレードを整形及び目立てするためのドレス部材として機能する。ドレスウェーハW1の材質は、デバイスウェーハWと異なる材質でもよいが、デバイスウェーハWと同じ材質からなることがより好ましい。
ドレスウェーハ配設ステップを実施した後、図6に示すように、被加工物を切削する切削手段30を用いて分割予定ラインSに沿ってデバイスウェーハWの表面WaからドレスウェーハW1に至るまで切削して金属ペースト2とともにデバイスウェーハWを切断する。切削手段30は、水平方向(図示の例ではY軸方向)の軸心を有するスピンドル31と、スピンドル31を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング32と、スピンドル31の先端に装着された切削ブレード33とを少なくとも備え、スピンドル31の回転によって切削ブレード33も回転する構成となっている。切削手段30には、切削手段30を加工送り方向(図示の例ではX軸方向)と直交するインデックス送り方向(Y軸方向)とに移動させる図示しない移動手段と、切削手段30を鉛直方向に昇降させる昇降手段とが接続されている。
図7に示すように、複合ウェーハ3の表面(デバイスウェーハWの表面Wa)に第2表面保護部材1AをデバイスウェーハWの表面Waに貼着して、その表面Waの全面を覆うことにより、各デバイスDを保護する。第2表面保護部材1Aは、上記した表面保護部材1と同様に、表面保護テープでもよいし、ガラスやシリコンウェーハなどのハードプレートで構成してもよい。
切断ステップ及び第2表面保護部材配設ステップを実施した後、図8に示すように、研削手段10を用いて、複合ウェーハ3の裏面(ドレスウェーハW1の裏面)を研削して除去する。具体的には、デバイスウェーハWの表面Waに貼着された第2表面保護部材1A側を保持テーブル20の保持面21で保持して、ドレスウェーハW1の裏面を上向きに露出させ、保持テーブル20を例えば矢印A方向に回転させる。次いで、研削手段10は、研削ホイール13を例えば矢印A方向に回転させながら、所定の研削送り速度で下降させ、回転する研削砥石14で金属ペースト2に至るまで複合ウェーハ3の裏面を押圧しながら研削することによりドレスウェーハW1を除去する。
図10に示すように、デバイスウェーハWの表裏を反転させて、中央に開口を有するフレームFに貼着されたテープTの上に金属ペースト2を介してデバイスウェーハWの裏面Wbを貼着するとともに、デバイスウェーハWの表面Waを上向きにさせる。その後、デバイスウェーハWの表面Waから第2表面保護部材1Aを引き剥がすことにより除去する。これにより、チップCに個片化されたデバイスウェーハWの表面Waが露出した状態となる。
図11に示すように、例えば、コレット40によりチップCをピックアップする。コレット40は、チップCを吸着する吸着面41を有しており、上下方向に移動可能となっている。コレット40は、チップCの実装面を吸着するとともに上昇することにより、金属ペースト2を有するチップCをテープTから引き剥がしてピックアップする。このようにして、裏面に金属ペースト2を有するチップCを形成する。ピックアップされたチップCは、次の工程に移送され、金属フレームや実装基板上にダイボンディングされる。
10:研削手段 11:スピンドル 12:マウント 13:研削ホイール
14:研削砥石
20:保持テーブル 21:保持面
30:切削手段 31:スピンドル 32:スピンドルハウジング 33:切削ブレード
40:コレット 41:吸着面
Claims (2)
- 表面にデバイスを有し裏面に金属層を有したチップの形成方法であって、
表面の交差する複数の分割予定ラインで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成されたデバイスウェーハの裏面を研削して該チップの仕上げ厚みへと薄化する薄化ステップと、
該薄化ステップを実施した後、デバイスウェーハの該裏面に金属ペーストを介してドレスウェーハを配設して複合ウェーハを形成するドレスウェーハ配設ステップと、
該ドレスウェーハ配設ステップを実施した後、該複合ウェーハの該表面から切削ブレードを該ドレスウェーハに至るまで切り込ませつつ該切削ブレードで該分割予定ラインに沿って該金属ペーストとともにデバイスウェーハを切断する切断ステップと、
該切断ステップを実施した後、該金属ペーストに至るまで該複合ウェーハの裏面を研削することで該ドレスウェーハを除去するドレスウェーハ除去ステップと、を備えたチップの形成方法。 - 前記ドレスウェーハは、前記デバイスウェーハと同じ材質からなる、請求項1に記載のチップの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017225603A JP6955977B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | チップの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017225603A JP6955977B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | チップの形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019096762A JP2019096762A (ja) | 2019-06-20 |
JP6955977B2 true JP6955977B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=66971990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225603A Active JP6955977B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | チップの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6955977B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3013786B2 (ja) * | 1996-09-11 | 2000-02-28 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2006049419A (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Nec Tokin Corp | ダイシング方法 |
JP2008258412A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | シリコンウエハの個片化方法 |
JP5498857B2 (ja) * | 2010-05-26 | 2014-05-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
US9478453B2 (en) * | 2014-09-17 | 2016-10-25 | International Business Machines Corporation | Sacrificial carrier dicing of semiconductor wafers |
JP2016086006A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2017
- 2017-11-24 JP JP2017225603A patent/JP6955977B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019096762A (ja) | 2019-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI686854B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
US8048780B2 (en) | Method of processing optical device wafer | |
TWI732949B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
CN108022876B (zh) | 晶片的加工方法 | |
CN110875173A (zh) | SiC基板的加工方法 | |
TW201701344A (zh) | 晶圓的加工方法 | |
TWI729180B (zh) | 積層晶圓的加工方法 | |
KR20130007424A (ko) | 피가공물의 연삭 방법 | |
JP6887313B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR102023203B1 (ko) | 가공 방법 | |
CN109285771B (zh) | 晶片的加工方法和切削装置 | |
JP2012222310A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6955977B2 (ja) | チップの形成方法 | |
JP7166794B2 (ja) | 面取り加工方法 | |
JP2015213969A (ja) | ドレスシート及びドレスシートを使用した加工方法 | |
JP7037422B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
KR20170085949A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
JP7175628B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP2018148135A (ja) | リチウムタンタレートウェーハの加工方法 | |
JP7084718B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
TW202133992A (zh) | 刀片整形方法、加工方法及切削刀片 | |
JP2017100255A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP5912310B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP7450460B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6196846B2 (ja) | 被加工物の分割方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210830 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6955977 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |