JP6948355B2 - インクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの温度調節方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッドの温度を調節する機能を有するインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの温度調節方法に関するものである。

ガラスやフィルム等の基材上にインクジェット法により塗布液を液滴状に吐出し、線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）が形成されている。このインクジェット法による膜パターンを形成するインクジェット塗布装置は、図１に示すように、基材Ｗを載置するステージ１０と、ステージ１０に載置された基材Ｗに対して液滴を吐出するインクジェットヘッド３１が複数配列されて保持されたヘッドユニット２１とを備えて構成されており、このヘッドユニット２１と基材Ｗを相対的に移動させつつ、液滴を基材Ｗ上の所定位置に着弾させることにより膜パターンが形成される。

インクジェットヘッド３１は、図４、図５に示すように、液滴Ｐを吐出するノズル孔３１ａが形成されるノズル面３５と反対側のヘッド本体部３２に、塗布液が貯留される貯留部３３が設けられており、この貯留部３３を形成する隔壁３４に圧力をかけることにより液滴Ｐを吐出することができる。すなわち、通常、貯留部３３が拡幅されることによりノズル孔３１ａ先端に所定形状のメニスカスＭが形成され、吐出時には貯留部３３が押圧されることによりノズル孔３１ａから精度よく液滴Ｐが吐出される。このメニスカスＭの形成、及び、液滴Ｐの吐出精度は、貯留部３３の隔壁３４に作用する電圧が精度よく調節されることによって維持されている。

なお、図１、図４、図５は本発明のインクジェット塗布装置の図であるが、従来技術と共通する構成については、図１、図４及び図５とその符号を共通に用いて説明する。

特開２０１５−１２８８６２号公報

ところが、上記インクジェット塗布装置では、吐出精度を維持することが困難であるという問題があった。すなわち、インクジェットヘッド３１から液滴Ｐを吐出して連続的に膜パターンを形成すると、インクジェットヘッド３１の吐出を制御する駆動基板の温度が上昇することにより、インクジェットヘッド３１全体の温度が上昇し、ヘッド本体部３２に貯留される塗布液の温度も上昇する。塗布液の温度が上昇すると、塗布液の粘度、表面張力等、塗布液の特性が変化することにより、塗布位置精度、液滴Ｐのサイズ等の精度が設定通りにならず、塗布品質に影響を与えるという問題があった。

また、インクジェットヘッド３１に冷却機構を設けることによりインクジェットヘッド３１の温度を調節することも考えられるが、インクジェットヘッド３１は、ヘッドユニット２１に複数設けられているため、これらのインクジェットヘッド３１をすべて均一に温度調節することは困難である。すなわち、冷却機構の近くに位置するインクジェットヘッド３１と遠くに位置するインクジェット３１とでは冷却状態が異なるため、インクジェットヘッド３１毎に温度が異なってしまい、吐出精度が均一に維持できないという問題があった。

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、複数のインクジェットヘッドそれぞれの温度を均一に調節し、吐出精度を維持することができるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの温度調節方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、基材を載置するステージと、前記ステージに載置された基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッドが複数配列されて保持されたヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを制御する制御装置と、を有するインクジェット塗布装置であって、前記インクジェットヘッドは、塗布液が貯留されるヘッド本体部を有し、このヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を備えており、前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部を冷却する冷却ユニットを備えており、前記制御装置は、前記冷却ユニットによりインクジェットヘッドの設定温度以下に調節した後、前記加温調節部によりインクジェットヘッドの設定温度に調節することを特徴としている。

上記インクジェット塗布装置によれば、すべてのインクジェットヘッドが冷却ユニットにより設定温度以下に冷却され、その後、加熱調節部により設定温度まで加温されることにより、すべてのインクジェットヘッドのヘッド本体部が所定の設定温度に調節される。すなわち、冷却ユニットによりヘッド本体部が冷却されると、すべてのヘッド本体部が冷却される。ここで、ヘッド本体部それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッドには、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部が備えられているため、ヘッド本体部が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド（ヘッド本体部内の塗布液）の温度を共通の温度に維持することができ、インクジェットヘッド毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッドから吐出される液滴が安定し、吐出精度を維持することができる。

また、前記冷却ユニットは、前記ヘッド本体部側にエアを送り出す送風口と、ヘッド本体部側のエアを吸い込む吸込口と、前記送風口と前記吸込口とを連結するダクト部とを有しており、前記ダクト部には熱交換器が設けられ、前記吸込口から吸い込んだエアが前記ダクト部を通じて前記熱交換器で冷却され、前記送風口から送り出されることにより、前記ヘッド本体部側のエアが循環しつつ、前記ヘッド本体部が冷却される構成にしてもよい。

この構成によれば、ヘッド本体部付近のエアが吸込口から吸引され、熱交換器で冷却された後、再度、ヘッド本体部付近に供給されるため、ヘッド本体部を効率よく冷却することができる。

また、前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部と前記冷却ユニットとを収容する収容部を備えており、前記冷却ユニットは前記収容部内のエアを循環させることにより、前記ヘッド本体部が前記収容部内で冷却される構成としてもよい。

この構成によれば、外気を遮断できる収容部内を冷却すればよいため、温度変化を小さくすることができ、すべてのヘッド本体部を効率的に冷却することができる。

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェットヘッドの温度調節方法は、ステージに載置された基材に対して液滴を吐出し、塗布液が貯留されるヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を有するインクジェットヘッドの温度調節方法であって、前記ヘッド本体部に冷風を送風して前記ヘッド本体部の設定温度以下に冷却するヘッド冷却工程と、前記加温調節部により前記ヘッド本体部を加温して前記設定温度に調節するヘッド加温調節工程と、をこの順に有することを特徴としている。

上記インクジェットヘッドの温度調節方法によれば、ヘッド冷却工程により、すべてのインクジェットヘッドが設定温度以下に冷却され、その後、ヘッド加温調節工程により、すべてのインクジェットヘッドが設定温度まで加温されることにより、ヘッド本体部が所定の設定温度に調節される。ここで、ヘッド本体部それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッドには、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部が備えられているため、ヘッド本体部が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド（ヘッド本体部内の塗布液）の温度を一定に維持することができ、インクジェットヘッド毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッドから吐出される液滴が安定し、吐出精度を維持することができる。

本発明によれば、複数のインクジェットヘッドそれぞれの温度を均一に調節し、吐出精度を維持することができる。

本発明のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。 上記インクジェット塗布装置の上面図である。 上記インクジェット塗布装置のヘッドユニットを示す図である。 インクジェットヘッドのノズル孔側を示す図である。 ヘッド本体部を示す図であり、（ａ）は隔壁を拡幅しメニスカスを形成した状態を示す図であり、（ｂ）は隔壁を狭幅させて液滴を吐出した状態を示す図である。 上記インクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの温度調節方法を示すフローチャートである。

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基材Ｗを載置するステージ１０と、基材Ｗに液滴Ｐ（塗布液）を塗布する塗布ユニット２とを有しており、塗布ユニット２がステージ１０に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、液滴Ｐを吐出することにより、基材Ｗ上に塗布膜が形成される。

なお、以下の説明では、この塗布ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（主走査方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向（副走査方向、又は、幅方向）、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージ１０、塗布ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上にステージ１０が設けられており、このステージ１０をＹ軸方向に跨ぐように塗布ユニット２が設けられている。

ステージ１０は、基材Ｗを載置するものであり、載置された基材Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置できるようになっている。具体的には、ステージ１０の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ１０の表面に基材Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基材Ｗが水平な姿勢でステージ１０の表面に吸着保持できるようになっている。

また、塗布ユニット２は、基材Ｗ上に塗布液である液滴Ｐを着弾させて塗布するものであり、塗布液を吐出するヘッドユニット２１と、このヘッドユニット２１を支持するガントリ部２２とを有している。

このガントリ部２２は、ステージ１０のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びるビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにヘッドユニット２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ１０をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。

また、リニアモータには、エンコーダ（リニアエンコーダ）が設けられており、エンコーダからの周期的な駆動パルス信号により、ヘッドユニット２１のＸ軸方向の位置を把握することができる。すなわち、エンコーダと後述の制御装置（コントローラ）とが接続されており、エンコーダからの駆動パルス信号を受信した制御装置により、ヘッドユニット２１のＸ軸上の位置が検出されるようになっている。

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材である。このビーム部材２２ｂには、ヘッドユニット２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂのＸ軸方向一方側の側面に、ヘッドユニット２１が取り付けられており、このヘッドユニット２１に設けられたノズル孔３１ａがステージ１０の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、ヘッドユニット２１もそれに付随してＸ軸方向に移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ１０の表面に載置された基材Ｗ上にヘッドユニット２１を位置させて基材Ｗ上に塗布液である液滴Ｐを吐出できるようになっている。

また、ヘッドユニット２１は、複数のノズル孔３１ａを一体化させたものである。本実施形態では、ヘッドユニット２１は、図３に示すように、複数のインクジェットヘッド３１を有しており、それぞれのインクジェットヘッド３１から液滴Ｐを吐出できるようになっている。本実施形態では、複数のインクジェットヘッド３１がＹ軸方向（副走査方向）に沿って配列されており、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図４の例では、隣接するインクジェットヘッド３１がＸ軸方向に交互にずらして配置されている。そして、これらのインクジェットヘッド３１は、液滴Ｐが吐出されるノズル孔３１ａが形成されており、平坦なノズル面３５に所定間隔を有するように１列に並んで配列されている。このノズル孔３１ａの配置間隔とインクジェットヘッド３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。これにより、ヘッドユニット２１は、Ｘ軸方向に見て通常ノズル孔３１ａがＹ軸方向に等間隔で配置されており、インクジェトヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべての通常ノズル孔３１ａがＹ軸方向に沿って一定の配列ピッチで配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置されている。

また、インクジェットヘッド３１は、図５に示すように、ノズル面３５と反対側にヘッド本体部３２を有している。ヘッド本体部３２には、塗布液が貯留される貯留部３３が設けられており、塗布動作に必要となる量の塗布液が貯留されている。貯留部３３は、隔壁３４により圧力室として形成されており、隔壁３４に駆動電圧を印加させることにより、拡幅、狭幅させることができる。すなわち、駆動電圧を隔壁３４に印加して貯留部３３を拡幅、狭幅させることにより、ノズル孔３１ａから液滴Ｐの吐出動作、停止動作を制御することができる。すなわち、貯留部３３には、ノズル孔３１ａが連通して形成されており、貯留部３３を拡幅させることにより、ノズル孔３１ａにメニスカスＭが形成された状態を保持させることができる。また、貯留部３３を狭幅させて貯留部３３の内圧を上昇させることにより、ノズル孔３１ａから液滴Ｐを吐出させることができるようになっている。この隔壁３４への駆動電圧の制御は、ヘッド本体部３２に設けられた駆動基板４０（図３参照）により制御される。駆動基板４０は、各インクジェットヘッド３１毎に設けられており、インクジェット塗布装置を制御する制御装置（不図示）と接続されている。そして、制御装置で予め設定されたマッピングデータに基づいて駆動基板４０を介して各インクジェットヘッド３１の吐出動作が制御される。すなわち、それぞれの駆動基板４０により、設定された吐出位置以外の場所では、ノズル孔３１ａに所定のメニスカスＭが形成されるように貯留部３３が拡幅されるように隔壁３４に与える駆動電圧が制御され、ノズル孔３１ａが吐出位置に位置する際には貯留部３３が狭幅されるように隔壁３４に与える駆動電圧が制御される。

また、ヘッド本体部３２には、加温調節部５０が設けられている。本実施形態では、加温調節部５０は、ヘッド本体部３２に設けられたヒータ部５１と、ヒータ部５１を制御する駆動基板４０によって形成されている。ヒータ部５１は、図５に示すように、貯留部３３内に配置されるヒータと、貯留部３３の上部に配置される面ヒータで構成されている。そして、駆動基板４０により、予め設定された設定温度に到達するように構成されている。すなわち、貯留部３３内には、温度検出器（不図示）が設けられており、貯留部３３内が設定温度に到達していない場合には、ヒータ部５１を作動させて貯留部３３内を加温し、貯留部３３が設定温度に到達すると、ヒータ部５１の作動を停止させる。このように、加温調節部５０は、それぞれのヘッド本体部３２における貯留部３３を設定温度に調節することにより、貯留部３３内に貯留された塗布液を設定温度に維持することができる。

また、ヘッドユニット２１には冷却ユニット６が設けられており、この冷却ユニット６によりインクジェットヘッド３１が冷却されるようになっている。冷却ユニット６は、本実施形態では、図３に示すように、すべてのインクジェットヘッド３１のヘッド本体部３２が収容されるケーシング部材である収容部２１ａ内に配置されており、ヘッド本体部３２と対向する上方に配置されている。そして、冷却ユニット６が収容部２１ａ内のエアを吸い込んで冷却し、再度、収容部２１ａ内に戻すことにより、ヘッド本体部３２が冷却されるようになっている。すなわち、冷却ユニット６により、収容部２１ａ内のエアが循環され、その循環経路内でエアが冷却されることにより、収容部２１ａ内のすべてのヘッド本体部３２が冷却されるようになっている。

冷却ユニット６は、収容部２１ａに設置されるダクト部６１と、収容部２１ａ内のエアを吸い込む吸込口６２と、ダクト部６１内で冷却されたエアが送り出される送風口６３とを有している。

ダクト部６１は、エアを導く流路であり、断面形状が矩形の一方向に延びる管状配管に形成されている。図３の例では、インクジェットヘッド３１の配列方向（本実施形態ではＹ軸方向）に延びるように配置されており、収容部２１ａのＹ軸方向一方端から他方端まで延びて配置されている。本実施形態では、ダクト部６１の中央部分に仕切板６１ａが設けられており、中央部分で仕切られるように形成されている。すなわち、本実施形態では、タクト部は、仕切板６１ａを基準に左右対称になるように形成されており、それぞれ同様の構成で独立して機能するように形成されている。

また、ダクト部６１には、熱交換器６４が配置されており、ダクト部６１を流れるエアが熱交換器６４により冷却されるようになっている。図３の例では、熱交換器６４は、ダクト部６１のＹ軸方向両端部に設けられており、熱交換器６４に接触したエアは、熱交換器６４で吸熱されることにより冷却されるようになっている。すなわち、それぞれの熱交換器６４は、図示しないチラー（冷却水循環装置）と配管によって接続されており、熱交換器６４にはチラーにより所定温度の冷却水が循環して供給されるようになっている。そのため、熱交換器６４を通過したエアは、熱交換器６４で熱交換が行われることにより吸熱され、所定の温度に冷却されるようになっている。（削除）
また、ダクト部６１には、吸込口６２と送風口６３とが設けられており、図３の例では、吸込口６２がＹ軸方向両端部に設けられ、送風口６３がＹ軸方向に亘って所定間隔で設けられている。すなわち、収容部２１ａ内のエアは、吸込口６２から吸引され、ダクト部６１で冷却された後、送風口６３から収容部２１ａに送り出されるようになっており、収容部２１ａ内のエアがダクト部６１を通じて循環するように構成されている。具体的には、吸込口６２のダクト部６１内には、ファン６２ａが設けられており、ファン６２ａを作動させることにより、エアがダクト部６１内を流れるようになっている。すなわち、ファン６２ａを作動させると、収容部２１ａのエアは、吸込口６２から吸い込まれ、ダクト部６１を通じて中央部分に向かって流れ、各送風口６３から排出されるようになっている。図３の例では、中央部分の仕切板６１ａに当接し中央部分の送風口６３と、経路途中の送風口６３から排出されるようになっている。

また、収容部２１ａには、整流板６５が設けられている。整流板６５は、収容部２１ａのエアの流れを整えるためのものである。図３の例では、中央部分と、Ｙ軸方向両端部分にそれぞれ配置されている。すなわち、中央部分に配置される整流板６５は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる形状を有しており、中央部分の送風口６３から排出されたエアは、この中央部分の整流板６５に当接することにより、隣のダクト部６１側に流れるのが抑えられつつ、直下のヘッド本体部３２側に流れるように整流される。また、端部に配置される整流板６５は、収容部２１ａの側壁から吸込口６２に対向する姿勢となるように配置されており、各送風口６３から排出され中央部側から流れてきたエアがヘッド本体部３２側（下側）に留まるのを抑えられ、吸込口６２側（上側）に流れるように整流される。これにより、収容部２１ａのエアが、左右それぞれのダクト部６１によって独立して循環させることができるため、収容部２１ａのエアを効率よく冷却させることができるようになっている。

また、インクジェット塗布装置には、制御装置が設けられており、制御装置によりインクジェット塗布装置が統括的に制御されている。すなわち、制御装置は、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、各ユニットの駆動装置を駆動制御するとともに、塗布動作に必要な各種演算を行うものである。具体的には、吐出位置の演算、インクジェットヘッド３１に液滴Ｐを吐出させるための駆動電圧の作成及び修正を行うことができる。そして、ヘッドユニット２１についても制御され、各インクジェットヘッド３１が駆動基板４０を介して駆動制御される。

次に、インクジェットヘッド３１の温度調節方法について図６のフローチャートに基づいて説明する。このインクジェットヘッド３１温度調節方法は、複数のインクジェットヘッド３１それぞれの温度を均一に調節するものであり、塗布動作を行う前に、各インクジェットヘッド３１の貯留部３３で貯留された塗布液の温度を均一にすることにより、各インクジェットヘッド３１の吐出状態のバラツキが抑えられ、吐出精度を維持させることができる。

まず、ステップＳ１により、ヘッド冷却工程が行われる。すなわち、冷却ユニット６を作動させることにより、ヘッド本体部３２の温度が予め設定された設定温度よりも低くなるように調節される。具体的には、チラーにより一定温度に冷却された冷却水が熱交換器６４に供給され循環される。そして、ファン６２ａが作動することにより収容部２１ａ内のエアが吸込口６２から吸い込まれ、熱交換器６４を通過することにより冷却される。そして、ダクト部６１を通過し、各送風口６３から冷却されたエアが送り出される。送風口６３から送り出された冷却後のエアは、ファン６２ａに吸い込まれると共に、整流板６５に沿って流れることにより、各ヘッド本体部３２に直接当接し、ヘッド本体部３２を冷却する。これにより、ヘッド本体部３２の貯留部３３が冷却され、同時に貯留部３３内の塗布液が冷却される。

そして、冷却ユニット６により、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下になるように冷却される。すなわち、個々のヘッド本体部３２に設けられた温度検出器によってヘッド本体部３２の温度が監視され、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下に冷却される。ここで、冷却ユニット６により冷却されたエアは、送風口６３から送り出されるため、送風口６３に近いヘッド本体部３２ほど、急速に冷却される。そのため、送風口６３に近いヘッド本体部３２と、送風口６３から離れたヘッド本体部３２とに冷却状態が異なり、個々のヘッド本体部３２の温度にバラツキが生じるが、最終的にすべてのヘッド本体部３２が設定温度以下に冷却される。

次にヘッド加温調節工程が行われる。具体的には、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下になった後、冷却ユニット６が冷却されたエアの送風を停止し、ヘッド本体部３２のヒータ部５１が作動することによりヘッド本体部３２が加温される。そして、すべてのヘッド本体部３２が設定温度を維持するように制御される。具体的には、すべてのヘッド本体部３２が設定温度まで加温されるとヒータ部５１が一時的に停止し、ヘッド本体部３２が設定温度以下になると、再度、ヒータ部５１が作動することにより、ヘッド本体部３２が設定温度を維持するように制御される。これにより、ヘッド冷却工程によりすべてのヘッド本体部３２が設定温度よりも低い温度に調節された状態で、その後、設定温度まで加温し、設定温度を維持するように制御されるため、すべてのヘッド本体部３２が設定温度に調節され、ヘッド本体部３２の貯留部３３内の塗布液がほぼ同じ温度に調節される。

次に、ステップＳ３により塗布工程が行われ、基板上に塗布液を吐出することにより塗布膜が形成される。

このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッド３１の温度調節方法によれば、すべてのインクジェットヘッド３１が冷却ユニット６により設定温度以下に冷却され、その後、加熱調節部により設定温度まで加温されることにより、すべてのインクジェットヘッド３１のヘッド本体部３２が所定の設定温度に調節される。すなわち、冷却ユニット６によりヘッド本体部３２が冷却されると、すべてのヘッド本体部３２が冷却される。ここで、ヘッド本体部３２それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッド３１には、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部５０が備えられているため、ヘッド本体部３２が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部３２は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド３１（ヘッド本体部３２内の塗布液）の温度を共通の温度に維持することができ、インクジェットヘッド３１毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッド３１から吐出される液滴Ｐが安定し、吐出精度を維持することができる。

また、上記実施形態では、冷却ユニット６とヘッド本体部３２とが同じ収容部２１ａに収容される例について説明したが、収容部２１ａのないものであってもよい。この場合、冷却ユニット６の冷却効率は低くなるが、コスト面、メンテナンス性を向上させることができる。

また、上記実施形態では、冷却ユニット６が、タクト部と、このダクト部６１に送風口６３と吸込口６２とが設けられる構成について説明したが、このような構成に限定されず、例えば、外部で生成した冷風をホースで誘導し、ホースから直接ヘッド本体部３２に送風する構成であってもよい。

２ 塗布ユニット
６ 冷却ユニット
１０ ステージ
２１ ヘッドユニット
３１ ヘッド本体部
５０ 加温調節部
６１ ダクト部
６２ 吸込口
６３ 送風口
６４ 熱交換器
６５ 整流板
Ｗ 基材

Claims (4)

1. 基材を載置するステージと、
   前記ステージに載置された基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッドが複数配列されて保持されたヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットを制御する制御装置と、
   を有するインクジェット塗布装置であって、
   前記インクジェットヘッドは、塗布液が貯留されるヘッド本体部を有し、このヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を備えており、
   前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部を冷却する冷却ユニットを備えており、
   前記制御装置は、前記冷却ユニットによりインクジェットヘッドの設定温度以下に調節した後、前記加温調節部によりインクジェットヘッドの設定温度に調節することを特徴とするインクジェット塗布装置。
2. 前記冷却ユニットは、前記ヘッド本体部側にエアを送り出す送風口と、ヘッド本体部側のエアを吸い込む吸込口と、前記送風口と前記吸込口とを連結するダクト部とを有しており、前記ダクト部には熱交換器が設けられ、前記吸込口から吸い込んだエアが前記ダクト部を通じて前記熱交換器で冷却され、前記送風口から送り出されることにより、前記ヘッド本体部側のエアが循環しつつ、前記ヘッド本体部が冷却されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
3. 前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部と前記冷却ユニットとを収容する収容部を備えており、前記冷却ユニットは前記収容部内のエアを循環させることにより、前記ヘッド本体部が前記収容部内で冷却されることを特徴とするインクジェット塗布装置。
4. ステージに載置された基材に対して液滴を吐出し、塗布液が貯留されるヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を有するインクジェットヘッドの温度調節方法であって、
   前記ヘッド本体部に冷風を送風して前記ヘッド本体部の設定温度以下に冷却するヘッド冷却工程と、
   前記加温調節部により前記ヘッド本体部を加温して前記設定温度に調節するヘッド加温調節工程と、
   をこの順に有することを特徴とするインクジェットヘッドの温度調節方法。

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