JP6948355B2 - Inkjet coating device and inkjet head temperature control method - Google Patents

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Description

本発明は、インクジェットヘッドの温度を調節する機能を有するインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの温度調節方法に関するものである。 The present invention relates to an inkjet coating apparatus having a function of adjusting the temperature of an inkjet head and a method of adjusting the temperature of the inkjet head.

ガラスやフィルム等の基材上にインクジェット法により塗布液を液滴状に吐出し、線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）が形成されている。このインクジェット法による膜パターンを形成するインクジェット塗布装置は、図１に示すように、基材Ｗを載置するステージ１０と、ステージ１０に載置された基材Ｗに対して液滴を吐出するインクジェットヘッド３１が複数配列されて保持されたヘッドユニット２１とを備えて構成されており、このヘッドユニット２１と基材Ｗを相対的に移動させつつ、液滴を基材Ｗ上の所定位置に着弾させることにより膜パターンが形成される。 The coating liquid is ejected into droplets on a substrate such as glass or film by an inkjet method to form coating films (also referred to as film patterns) having various shapes such as line segments and rectangular shapes. As shown in FIG. 1, the inkjet coating apparatus for forming a film pattern by this inkjet method ejects droplets onto a stage 10 on which the base material W is placed and a base material W placed on the stage 10. A head unit 21 in which a plurality of inkjet heads 31 are arranged and held is provided, and the droplet is placed at a predetermined position on the base material W while the head unit 21 and the base material W are relatively moved. A film pattern is formed by landing.

インクジェットヘッド３１は、図４、図５に示すように、液滴Ｐを吐出するノズル孔３１ａが形成されるノズル面３５と反対側のヘッド本体部３２に、塗布液が貯留される貯留部３３が設けられており、この貯留部３３を形成する隔壁３４に圧力をかけることにより液滴Ｐを吐出することができる。すなわち、通常、貯留部３３が拡幅されることによりノズル孔３１ａ先端に所定形状のメニスカスＭが形成され、吐出時には貯留部３３が押圧されることによりノズル孔３１ａから精度よく液滴Ｐが吐出される。このメニスカスＭの形成、及び、液滴Ｐの吐出精度は、貯留部３３の隔壁３４に作用する電圧が精度よく調節されることによって維持されている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the inkjet head 31 has a storage portion 33 in which the coating liquid is stored in the head main body portion 32 on the side opposite to the nozzle surface 35 in which the nozzle hole 31a for ejecting the droplet P is formed. Is provided, and the droplet P can be discharged by applying pressure to the partition wall 34 forming the storage portion 33. That is, normally, the widening of the storage portion 33 forms a meniscus M having a predetermined shape at the tip of the nozzle hole 31a, and the storage portion 33 is pressed during ejection to accurately eject the droplet P from the nozzle hole 31a. NS. The formation of the meniscus M and the ejection accuracy of the droplet P are maintained by accurately adjusting the voltage acting on the partition wall 34 of the storage portion 33.

なお、図１、図４、図５は本発明のインクジェット塗布装置の図であるが、従来技術と共通する構成については、図１、図４及び図５とその符号を共通に用いて説明する。 Although FIGS. 1, 4, and 5 are diagrams of the inkjet coating apparatus of the present invention, a configuration common to the prior art will be described by using the same reference numerals as those of FIGS. 1, 4 and 5. ..

特開２０１５−１２８８６２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-128862

ところが、上記インクジェット塗布装置では、吐出精度を維持することが困難であるという問題があった。すなわち、インクジェットヘッド３１から液滴Ｐを吐出して連続的に膜パターンを形成すると、インクジェットヘッド３１の吐出を制御する駆動基板の温度が上昇することにより、インクジェットヘッド３１全体の温度が上昇し、ヘッド本体部３２に貯留される塗布液の温度も上昇する。塗布液の温度が上昇すると、塗布液の粘度、表面張力等、塗布液の特性が変化することにより、塗布位置精度、液滴Ｐのサイズ等の精度が設定通りにならず、塗布品質に影響を与えるという問題があった。 However, the inkjet coating apparatus has a problem that it is difficult to maintain the ejection accuracy. That is, when the droplet P is ejected from the inkjet head 31 to continuously form a film pattern, the temperature of the drive substrate that controls the ejection of the inkjet head 31 rises, so that the temperature of the entire inkjet head 31 rises. The temperature of the coating liquid stored in the head body 32 also rises. When the temperature of the coating liquid rises, the characteristics of the coating liquid such as the viscosity and surface tension of the coating liquid change, so that the accuracy of the coating position, the size of the droplet P, etc. do not meet the settings, which affects the coating quality. There was a problem of giving.

また、インクジェットヘッド３１に冷却機構を設けることによりインクジェットヘッド３１の温度を調節することも考えられるが、インクジェットヘッド３１は、ヘッドユニット２１に複数設けられているため、これらのインクジェットヘッド３１をすべて均一に温度調節することは困難である。すなわち、冷却機構の近くに位置するインクジェットヘッド３１と遠くに位置するインクジェット３１とでは冷却状態が異なるため、インクジェットヘッド３１毎に温度が異なってしまい、吐出精度が均一に維持できないという問題があった。 Further, it is conceivable to adjust the temperature of the inkjet head 31 by providing a cooling mechanism on the inkjet head 31, but since a plurality of inkjet heads 31 are provided on the head unit 21, all of these inkjet heads 31 are uniform. It is difficult to control the temperature. That is, since the cooling state is different between the inkjet head 31 located near the cooling mechanism and the inkjet 31 located far away, there is a problem that the temperature is different for each inkjet head 31 and the ejection accuracy cannot be maintained uniformly. ..

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、複数のインクジェットヘッドそれぞれの温度を均一に調節し、吐出精度を維持することができるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッドの温度調節方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides an inkjet coating device and an inkjet head temperature adjusting method capable of uniformly adjusting the temperature of each of a plurality of inkjet heads and maintaining ejection accuracy. The purpose is to do.

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、基材を載置するステージと、前記ステージに載置された基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッドが複数配列されて保持されたヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを制御する制御装置と、を有するインクジェット塗布装置であって、前記インクジェットヘッドは、塗布液が貯留されるヘッド本体部を有し、このヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を備えており、前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部を冷却する冷却ユニットを備えており、前記制御装置は、前記冷却ユニットによりインクジェットヘッドの設定温度以下に調節した後、前記加温調節部によりインクジェットヘッドの設定温度に調節することを特徴としている。 In order to solve the above problems, in the inkjet coating apparatus of the present invention, a stage on which a base material is placed and a plurality of inkjet heads for ejecting droplets on the base material placed on the stage are arranged and held. An inkjet coating device having a head unit and a control device for controlling the head unit. The inkjet head has a head body portion in which a coating liquid is stored, and the head body portion is heated. A heating control unit that controls the temperature is provided, the head unit is provided with a cooling unit that cools the head body, and the control device is adjusted to a temperature equal to or lower than the set temperature of the inkjet head by the cooling unit. After that, it is characterized in that the temperature is adjusted to the set temperature of the inkjet head by the heating adjusting unit.

上記インクジェット塗布装置によれば、すべてのインクジェットヘッドが冷却ユニットにより設定温度以下に冷却され、その後、加熱調節部により設定温度まで加温されることにより、すべてのインクジェットヘッドのヘッド本体部が所定の設定温度に調節される。すなわち、冷却ユニットによりヘッド本体部が冷却されると、すべてのヘッド本体部が冷却される。ここで、ヘッド本体部それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッドには、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部が備えられているため、ヘッド本体部が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド（ヘッド本体部内の塗布液）の温度を共通の温度に維持することができ、インクジェットヘッド毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッドから吐出される液滴が安定し、吐出精度を維持することができる。 According to the inkjet coating device, all the inkjet heads are cooled to a set temperature or lower by a cooling unit, and then heated to a set temperature by a heating control unit, so that the head main body of all the inkjet heads is predetermined. It is adjusted to the set temperature. That is, when the head main body is cooled by the cooling unit, all the head main bodies are cooled. Here, even when the head main body is cooled to a different temperature, the inkjet head is individually provided with a heating adjusting unit for adjusting the ejection state when the coating liquid has a high viscosity. After the head main body is heated until it exceeds the set temperature, the heating control is stopped, so that the head main body is controlled to reach the set temperature. Therefore, the temperature of all the inkjet heads (coating liquid in the head body) can be maintained at a common temperature, and the temperature variation of each inkjet head can be suppressed. Therefore, the liquid discharged from each inkjet head. The drops are stable and the ejection accuracy can be maintained.

また、前記冷却ユニットは、前記ヘッド本体部側にエアを送り出す送風口と、ヘッド本体部側のエアを吸い込む吸込口と、前記送風口と前記吸込口とを連結するダクト部とを有しており、前記ダクト部には熱交換器が設けられ、前記吸込口から吸い込んだエアが前記ダクト部を通じて前記熱交換器で冷却され、前記送風口から送り出されることにより、前記ヘッド本体部側のエアが循環しつつ、前記ヘッド本体部が冷却される構成にしてもよい。 Further, the cooling unit has an air outlet for sending air to the head main body side, a suction port for sucking air on the head main body side, and a duct portion connecting the air outlet and the suction port. A heat exchanger is provided in the duct portion, and the air sucked from the suction port is cooled by the heat exchanger through the duct portion and sent out from the air outlet, so that the air on the head body portion side is provided. The head main body may be cooled while circulating.

この構成によれば、ヘッド本体部付近のエアが吸込口から吸引され、熱交換器で冷却された後、再度、ヘッド本体部付近に供給されるため、ヘッド本体部を効率よく冷却することができる。 According to this configuration, air near the head body is sucked from the suction port, cooled by the heat exchanger, and then supplied to the vicinity of the head body again, so that the head body can be cooled efficiently. can.

また、前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部と前記冷却ユニットとを収容する収容部を備えており、前記冷却ユニットは前記収容部内のエアを循環させることにより、前記ヘッド本体部が前記収容部内で冷却される構成としてもよい。 Further, the head unit includes an accommodating portion for accommodating the head main body and the cooling unit, and the cooling unit circulates air in the accommodating portion so that the head main body can be accommodated in the accommodating portion. It may be configured to be cooled.

この構成によれば、外気を遮断できる収容部内を冷却すればよいため、温度変化を小さくすることができ、すべてのヘッド本体部を効率的に冷却することができる。 According to this configuration, since it is sufficient to cool the inside of the accommodating portion that can block the outside air, the temperature change can be reduced and all the head main body portions can be efficiently cooled.

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェットヘッドの温度調節方法は、ステージに載置された基材に対して液滴を吐出し、塗布液が貯留されるヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を有するインクジェットヘッドの温度調節方法であって、前記ヘッド本体部に冷風を送風して前記ヘッド本体部の設定温度以下に冷却するヘッド冷却工程と、前記加温調節部により前記ヘッド本体部を加温して前記設定温度に調節するヘッド加温調節工程と、をこの順に有することを特徴としている。 Further, in order to solve the above problems, in the temperature control method of the inkjet head of the present invention, droplets are ejected onto the base material placed on the stage to heat the head body portion in which the coating liquid is stored. A method for controlling the temperature of an inkjet head having a heating control unit for controlling the temperature, which is a head cooling step of blowing cold air to the head body to cool the temperature below a set temperature of the head body, and the heating control. It is characterized by having a head heating adjustment step of heating the head main body portion by a unit and adjusting the head main body portion to the set temperature in this order.

上記インクジェットヘッドの温度調節方法によれば、ヘッド冷却工程により、すべてのインクジェットヘッドが設定温度以下に冷却され、その後、ヘッド加温調節工程により、すべてのインクジェットヘッドが設定温度まで加温されることにより、ヘッド本体部が所定の設定温度に調節される。ここで、ヘッド本体部それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッドには、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部が備えられているため、ヘッド本体部が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド（ヘッド本体部内の塗布液）の温度を一定に維持することができ、インクジェットヘッド毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッドから吐出される液滴が安定し、吐出精度を維持することができる。 According to the above-mentioned method for adjusting the temperature of the inkjet head, all the inkjet heads are cooled to the set temperature or lower by the head cooling step, and then all the inkjet heads are heated to the set temperature by the head heating adjusting step. As a result, the head body is adjusted to a predetermined set temperature. Here, even when the head main body is cooled to a different temperature, the inkjet head is individually provided with a heating adjusting unit for adjusting the ejection state when the coating liquid has a high viscosity. After the head main body is heated until it exceeds the set temperature, the heating control is stopped, so that the head main body is controlled to reach the set temperature. Therefore, the temperature of all the inkjet heads (coating liquid in the head body) can be kept constant, and the temperature variation of each inkjet head can be suppressed, so that the droplets ejected from each inkjet head can be discharged. It is stable and the discharge accuracy can be maintained.

本発明によれば、複数のインクジェットヘッドそれぞれの温度を均一に調節し、吐出精度を維持することができる。 According to the present invention, the temperature of each of the plurality of inkjet heads can be uniformly adjusted, and the ejection accuracy can be maintained.

本発明のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the inkjet coating apparatus of this invention. 上記インクジェット塗布装置の上面図である。It is a top view of the inkjet coating apparatus. 上記インクジェット塗布装置のヘッドユニットを示す図である。It is a figure which shows the head unit of the said inkjet coating apparatus. インクジェットヘッドのノズル孔側を示す図である。It is a figure which shows the nozzle hole side of an inkjet head. ヘッド本体部を示す図であり、（ａ）は隔壁を拡幅しメニスカスを形成した状態を示す図であり、（ｂ）は隔壁を狭幅させて液滴を吐出した状態を示す図である。It is a figure which shows the head main body part, (a) is the figure which shows the state which widened the partition wall and formed the meniscus, (b) is the figure which shows the state which narrowed the partition wall and ejected a droplet. 上記インクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの温度調節方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the temperature control method of the inkjet head of the said inkjet coating apparatus.

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 An embodiment of the inkjet coating apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。 FIG. 1 is a side view showing an embodiment of an inkjet coating device, and FIG. 2 is a top view of the inkjet coating device.

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基材Ｗを載置するステージ１０と、基材Ｗに液滴Ｐ（塗布液）を塗布する塗布ユニット２とを有しており、塗布ユニット２がステージ１０に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、液滴Ｐを吐出することにより、基材Ｗ上に塗布膜が形成される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet coating apparatus includes a stage 10 on which the base material W is placed, and a coating unit 2 for applying droplets P (coating liquid) to the base material W. A coating film is formed on the base material W by ejecting droplets P while the coating unit 2 moves on the base material W placed on the stage 10.

なお、以下の説明では、この塗布ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（主走査方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向（副走査方向、又は、幅方向）、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the coating unit 2 moves is the X-axis direction (main scanning direction), the direction orthogonal to this in the horizontal plane is the Y-axis direction (sub-scanning direction or width direction), and the X-axis. The description will proceed with the direction orthogonal to both the Y-axis direction and the Y-axis direction as the Z-axis direction.

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージ１０、塗布ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上にステージ１０が設けられており、このステージ１０をＹ軸方向に跨ぐように塗布ユニット２が設けられている。 The inkjet coating apparatus has a base 1, and a stage 10 and a coating unit 2 are provided on the base 1. Specifically, a stage 10 is provided on the base 1, and a coating unit 2 is provided so as to straddle the stage 10 in the Y-axis direction.

ステージ１０は、基材Ｗを載置するものであり、載置された基材Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置できるようになっている。具体的には、ステージ１０の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ１０の表面に基材Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基材Ｗが水平な姿勢でステージ１０の表面に吸着保持できるようになっている。 The stage 10 is for placing the base material W, and the placed base material W can be placed in a state where the placed base material W maintains a horizontal posture. Specifically, the surface of the stage 10 is formed flat, and a plurality of suction holes are formed on the surface. A vacuum pump is connected to this suction hole, and by operating the vacuum pump with the base material W placed on the surface of the stage 10, a suction force is generated in the suction hole and the base material W is horizontal. It can be sucked and held on the surface of the stage 10 in the posture.

また、塗布ユニット２は、基材Ｗ上に塗布液である液滴Ｐを着弾させて塗布するものであり、塗布液を吐出するヘッドユニット２１と、このヘッドユニット２１を支持するガントリ部２２とを有している。 Further, the coating unit 2 is for coating by landing a droplet P which is a coating liquid on the base material W, and a head unit 21 for discharging the coating liquid and a gantry portion 22 for supporting the head unit 21. have.

このガントリ部２２は、ステージ１０のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びるビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにヘッドユニット２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ１０をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。 The gantry portion 22 is formed in a substantially portal shape having leg portions 22a arranged on both outer sides in the Y-axis direction of the stage 10 and a beam member 22b connecting these leg portions 22a and extending in the Y-axis direction. There is. A head unit 21 is attached to the beam member 22b, and the gantry portion 22 is attached so as to be movable in the X-axis direction while straddling the stage 10 in the Y-axis direction. In the present embodiment, rails (not shown) extending in the X-axis direction are installed at both ends of the base 1 in the Y-axis direction, and the legs 22a are slidably attached to the rails. A linear motor is attached to the leg portion 22a, and by driving and controlling the linear motor, the gantry portion 22 moves in the X-axis direction and can be stopped at an arbitrary position.

また、リニアモータには、エンコーダ（リニアエンコーダ）が設けられており、エンコーダからの周期的な駆動パルス信号により、ヘッドユニット２１のＸ軸方向の位置を把握することができる。すなわち、エンコーダと後述の制御装置（コントローラ）とが接続されており、エンコーダからの駆動パルス信号を受信した制御装置により、ヘッドユニット２１のＸ軸上の位置が検出されるようになっている。 Further, the linear motor is provided with an encoder (linear encoder), and the position of the head unit 21 in the X-axis direction can be grasped by the periodic drive pulse signal from the encoder. That is, the encoder and the control device (controller) described later are connected, and the position of the head unit 21 on the X-axis is detected by the control device that receives the drive pulse signal from the encoder.

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材である。このビーム部材２２ｂには、ヘッドユニット２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂのＸ軸方向一方側の側面に、ヘッドユニット２１が取り付けられており、このヘッドユニット２１に設けられたノズル孔３１ａがステージ１０の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、ヘッドユニット２１もそれに付随してＸ軸方向に移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ１０の表面に載置された基材Ｗ上にヘッドユニット２１を位置させて基材Ｗ上に塗布液である液滴Ｐを吐出できるようになっている。 Further, the beam member 22b is a columnar member that connects both leg portions 22a. A head unit 21 is attached to the beam member 22b. Specifically, the head unit 21 is attached to the side surface of the beam member 22b on one side in the X-axis direction, and the nozzle hole 31a provided in the head unit 21 is attached in a posture facing the surface of the stage 10. There is. Therefore, as the gantry unit 22 moves or stops in the X-axis direction, the head unit 21 can also move or stop in the X-axis direction accordingly, and by adjusting the amount of movement of the gantry unit 22, the movement amount of the gantry unit 22 can be adjusted. The head unit 21 is positioned on the base material W placed on the surface of the stage 10 so that the droplet P, which is the coating liquid, can be discharged onto the base material W.

また、ヘッドユニット２１は、複数のノズル孔３１ａを一体化させたものである。本実施形態では、ヘッドユニット２１は、図３に示すように、複数のインクジェットヘッド３１を有しており、それぞれのインクジェットヘッド３１から液滴Ｐを吐出できるようになっている。本実施形態では、複数のインクジェットヘッド３１がＹ軸方向（副走査方向）に沿って配列されており、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図４の例では、隣接するインクジェットヘッド３１がＸ軸方向に交互にずらして配置されている。そして、これらのインクジェットヘッド３１は、液滴Ｐが吐出されるノズル孔３１ａが形成されており、平坦なノズル面３５に所定間隔を有するように１列に並んで配列されている。このノズル孔３１ａの配置間隔とインクジェットヘッド３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。これにより、ヘッドユニット２１は、Ｘ軸方向に見て通常ノズル孔３１ａがＹ軸方向に等間隔で配置されており、インクジェトヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべての通常ノズル孔３１ａがＹ軸方向に沿って一定の配列ピッチで配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置されている。 Further, the head unit 21 is a combination of a plurality of nozzle holes 31a. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the head unit 21 has a plurality of inkjet heads 31, and droplets P can be ejected from each of the inkjet heads 31. In the present embodiment, a plurality of inkjet heads 31 are arranged along the Y-axis direction (sub-scanning direction), and are arranged so as to have portions overlapping each other. In the example of FIG. 4, adjacent inkjet heads 31 are arranged so as to be alternately displaced in the X-axis direction. The inkjet heads 31 are formed with nozzle holes 31a for ejecting droplets P, and are arranged side by side in a row so as to have a predetermined interval on a flat nozzle surface 35. Since the dimensions of the nozzle hole 31a are different from those at both ends of the inkjet head 31, they are arranged in the Y-axis direction while being shifted in the X-axis direction so that the dimensions of the both ends are offset. As a result, in the head unit 21, the normal nozzle holes 31a are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction, and all the normal nozzle holes 31a when viewed in the X-axis direction as the entire ink jet head portion 21. Are arranged at a constant arrangement pitch along the Y-axis direction, and are arranged at equal intervals along the Y-axis direction when viewed from the X-axis direction.

また、インクジェットヘッド３１は、図５に示すように、ノズル面３５と反対側にヘッド本体部３２を有している。ヘッド本体部３２には、塗布液が貯留される貯留部３３が設けられており、塗布動作に必要となる量の塗布液が貯留されている。貯留部３３は、隔壁３４により圧力室として形成されており、隔壁３４に駆動電圧を印加させることにより、拡幅、狭幅させることができる。すなわち、駆動電圧を隔壁３４に印加して貯留部３３を拡幅、狭幅させることにより、ノズル孔３１ａから液滴Ｐの吐出動作、停止動作を制御することができる。すなわち、貯留部３３には、ノズル孔３１ａが連通して形成されており、貯留部３３を拡幅させることにより、ノズル孔３１ａにメニスカスＭが形成された状態を保持させることができる。また、貯留部３３を狭幅させて貯留部３３の内圧を上昇させることにより、ノズル孔３１ａから液滴Ｐを吐出させることができるようになっている。この隔壁３４への駆動電圧の制御は、ヘッド本体部３２に設けられた駆動基板４０（図３参照）により制御される。駆動基板４０は、各インクジェットヘッド３１毎に設けられており、インクジェット塗布装置を制御する制御装置（不図示）と接続されている。そして、制御装置で予め設定されたマッピングデータに基づいて駆動基板４０を介して各インクジェットヘッド３１の吐出動作が制御される。すなわち、それぞれの駆動基板４０により、設定された吐出位置以外の場所では、ノズル孔３１ａに所定のメニスカスＭが形成されるように貯留部３３が拡幅されるように隔壁３４に与える駆動電圧が制御され、ノズル孔３１ａが吐出位置に位置する際には貯留部３３が狭幅されるように隔壁３４に与える駆動電圧が制御される。 Further, as shown in FIG. 5, the inkjet head 31 has a head body portion 32 on the side opposite to the nozzle surface 35. The head main body 32 is provided with a storage unit 33 for storing the coating liquid, and stores an amount of the coating liquid required for the coating operation. The storage portion 33 is formed as a pressure chamber by the partition wall 34, and can be widened or narrowed by applying a driving voltage to the partition wall 34. That is, by applying a driving voltage to the partition wall 34 to widen or narrow the storage portion 33, it is possible to control the ejection operation and the stop operation of the droplet P from the nozzle hole 31a. That is, the nozzle hole 31a is formed in communication with the storage unit 33, and by widening the storage unit 33, the state in which the meniscus M is formed in the nozzle hole 31a can be maintained. Further, by narrowing the storage portion 33 and increasing the internal pressure of the storage portion 33, the droplet P can be discharged from the nozzle hole 31a. The control of the drive voltage to the partition wall 34 is controlled by the drive board 40 (see FIG. 3) provided on the head main body 32. The drive substrate 40 is provided for each inkjet head 31, and is connected to a control device (not shown) that controls the inkjet coating device. Then, the ejection operation of each inkjet head 31 is controlled via the drive substrate 40 based on the mapping data preset by the control device. That is, each drive substrate 40 controls the drive voltage applied to the partition wall 34 so that the storage portion 33 is widened so that a predetermined meniscus M is formed in the nozzle hole 31a at a place other than the set discharge position. Then, when the nozzle hole 31a is located at the discharge position, the drive voltage applied to the partition wall 34 is controlled so that the storage portion 33 is narrowed.

また、ヘッド本体部３２には、加温調節部５０が設けられている。本実施形態では、加温調節部５０は、ヘッド本体部３２に設けられたヒータ部５１と、ヒータ部５１を制御する駆動基板４０によって形成されている。ヒータ部５１は、図５に示すように、貯留部３３内に配置されるヒータと、貯留部３３の上部に配置される面ヒータで構成されている。そして、駆動基板４０により、予め設定された設定温度に到達するように構成されている。すなわち、貯留部３３内には、温度検出器（不図示）が設けられており、貯留部３３内が設定温度に到達していない場合には、ヒータ部５１を作動させて貯留部３３内を加温し、貯留部３３が設定温度に到達すると、ヒータ部５１の作動を停止させる。このように、加温調節部５０は、それぞれのヘッド本体部３２における貯留部３３を設定温度に調節することにより、貯留部３３内に貯留された塗布液を設定温度に維持することができる。 Further, the head body portion 32 is provided with a heating adjusting portion 50. In the present embodiment, the heating control unit 50 is formed by a heater unit 51 provided on the head main body unit 32 and a drive substrate 40 that controls the heater unit 51. As shown in FIG. 5, the heater unit 51 includes a heater arranged in the storage unit 33 and a surface heater arranged in the upper part of the storage unit 33. Then, the drive board 40 is configured to reach a preset set temperature. That is, a temperature detector (not shown) is provided in the storage unit 33, and when the temperature inside the storage unit 33 has not reached the set temperature, the heater unit 51 is operated to move the inside of the storage unit 33. When the storage unit 33 reaches the set temperature after heating, the operation of the heater unit 51 is stopped. In this way, the heating adjusting unit 50 can maintain the coating liquid stored in the storage unit 33 at the set temperature by adjusting the storage unit 33 in each head body unit 32 to the set temperature.

また、ヘッドユニット２１には冷却ユニット６が設けられており、この冷却ユニット６によりインクジェットヘッド３１が冷却されるようになっている。冷却ユニット６は、本実施形態では、図３に示すように、すべてのインクジェットヘッド３１のヘッド本体部３２が収容されるケーシング部材である収容部２１ａ内に配置されており、ヘッド本体部３２と対向する上方に配置されている。そして、冷却ユニット６が収容部２１ａ内のエアを吸い込んで冷却し、再度、収容部２１ａ内に戻すことにより、ヘッド本体部３２が冷却されるようになっている。すなわち、冷却ユニット６により、収容部２１ａ内のエアが循環され、その循環経路内でエアが冷却されることにより、収容部２１ａ内のすべてのヘッド本体部３２が冷却されるようになっている。 Further, the head unit 21 is provided with a cooling unit 6, and the cooling unit 6 cools the inkjet head 31. In the present embodiment, the cooling unit 6 is arranged in the accommodating portion 21a, which is a casing member in which the head main body portions 32 of all the inkjet heads 31 are accommodating, as shown in FIG. It is located above the opposite side. Then, the cooling unit 6 sucks in the air in the accommodating portion 21a to cool it, and then returns it to the accommodating portion 21a again to cool the head main body portion 32. That is, the cooling unit 6 circulates the air in the accommodating portion 21a, and the air is cooled in the circulation path, so that all the head main body portions 32 in the accommodating portion 21a are cooled. ..

冷却ユニット６は、収容部２１ａに設置されるダクト部６１と、収容部２１ａ内のエアを吸い込む吸込口６２と、ダクト部６１内で冷却されたエアが送り出される送風口６３とを有している。 The cooling unit 6 has a duct portion 61 installed in the accommodating portion 21a, a suction port 62 for sucking air in the accommodating portion 21a, and an air outlet 63 for sending out air cooled in the duct portion 61. There is.

ダクト部６１は、エアを導く流路であり、断面形状が矩形の一方向に延びる管状配管に形成されている。図３の例では、インクジェットヘッド３１の配列方向（本実施形態ではＹ軸方向）に延びるように配置されており、収容部２１ａのＹ軸方向一方端から他方端まで延びて配置されている。本実施形態では、ダクト部６１の中央部分に仕切板６１ａが設けられており、中央部分で仕切られるように形成されている。すなわち、本実施形態では、タクト部は、仕切板６１ａを基準に左右対称になるように形成されており、それぞれ同様の構成で独立して機能するように形成されている。 The duct portion 61 is a flow path for guiding air, and is formed in a tubular pipe having a rectangular cross-sectional shape extending in one direction. In the example of FIG. 3, the inkjet heads 31 are arranged so as to extend in the arrangement direction (Y-axis direction in the present embodiment), and are arranged so as to extend from one end to the other end of the accommodating portion 21a in the Y-axis direction. In the present embodiment, a partition plate 61a is provided at the central portion of the duct portion 61, and is formed so as to be partitioned at the central portion. That is, in the present embodiment, the tact portions are formed so as to be symmetrical with respect to the partition plate 61a, and are formed so as to function independently in the same configuration.

また、ダクト部６１には、熱交換器６４が配置されており、ダクト部６１を流れるエアが熱交換器６４により冷却されるようになっている。図３の例では、熱交換器６４は、ダクト部６１のＹ軸方向両端部に設けられており、熱交換器６４に接触したエアは、熱交換器６４で吸熱されることにより冷却されるようになっている。すなわち、それぞれの熱交換器６４は、図示しないチラー（冷却水循環装置）と配管によって接続されており、熱交換器６４にはチラーにより所定温度の冷却水が循環して供給されるようになっている。そのため、熱交換器６４を通過したエアは、熱交換器６４で熱交換が行われることにより吸熱され、所定の温度に冷却されるようになっている。（削除）
また、ダクト部６１には、吸込口６２と送風口６３とが設けられており、図３の例では、吸込口６２がＹ軸方向両端部に設けられ、送風口６３がＹ軸方向に亘って所定間隔で設けられている。すなわち、収容部２１ａ内のエアは、吸込口６２から吸引され、ダクト部６１で冷却された後、送風口６３から収容部２１ａに送り出されるようになっており、収容部２１ａ内のエアがダクト部６１を通じて循環するように構成されている。具体的には、吸込口６２のダクト部６１内には、ファン６２ａが設けられており、ファン６２ａを作動させることにより、エアがダクト部６１内を流れるようになっている。すなわち、ファン６２ａを作動させると、収容部２１ａのエアは、吸込口６２から吸い込まれ、ダクト部６１を通じて中央部分に向かって流れ、各送風口６３から排出されるようになっている。図３の例では、中央部分の仕切板６１ａに当接し中央部分の送風口６３と、経路途中の送風口６３から排出されるようになっている。 Further, a heat exchanger 64 is arranged in the duct portion 61, and the air flowing through the duct portion 61 is cooled by the heat exchanger 64. In the example of FIG. 3, heat exchangers 64 are provided at both ends of the duct portion 61 in the Y-axis direction, and the air in contact with the heat exchanger 64 is cooled by being absorbed by the heat exchanger 64. It has become like. That is, each heat exchanger 64 is connected to a chiller (cooling water circulation device) (not shown) by a pipe, and cooling water having a predetermined temperature is circulated and supplied to the heat exchanger 64 by the chiller. There is. Therefore, the air that has passed through the heat exchanger 64 is absorbed by the heat exchange performed by the heat exchanger 64 and is cooled to a predetermined temperature. (delete)
Further, the duct portion 61 is provided with a suction port 62 and a blower port 63. In the example of FIG. 3, the suction port 62 is provided at both ends in the Y-axis direction, and the blower port 63 extends in the Y-axis direction. It is provided at predetermined intervals. That is, the air in the accommodating portion 21a is sucked from the suction port 62, cooled by the duct portion 61, and then sent out from the air outlet 63 to the accommodating portion 21a, and the air in the accommodating portion 21a is ducted. It is configured to circulate through the section 61. Specifically, a fan 62a is provided in the duct portion 61 of the suction port 62, and by operating the fan 62a, air flows in the duct portion 61. That is, when the fan 62a is operated, the air in the accommodating portion 21a is sucked from the suction port 62, flows toward the central portion through the duct portion 61, and is discharged from each air outlet 63. In the example of FIG. 3, it comes into contact with the partition plate 61a in the central portion and is discharged from the air outlet 63 in the central portion and the air outlet 63 in the middle of the route.

また、収容部２１ａには、整流板６５が設けられている。整流板６５は、収容部２１ａのエアの流れを整えるためのものである。図３の例では、中央部分と、Ｙ軸方向両端部分にそれぞれ配置されている。すなわち、中央部分に配置される整流板６５は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる形状を有しており、中央部分の送風口６３から排出されたエアは、この中央部分の整流板６５に当接することにより、隣のダクト部６１側に流れるのが抑えられつつ、直下のヘッド本体部３２側に流れるように整流される。また、端部に配置される整流板６５は、収容部２１ａの側壁から吸込口６２に対向する姿勢となるように配置されており、各送風口６３から排出され中央部側から流れてきたエアがヘッド本体部３２側（下側）に留まるのを抑えられ、吸込口６２側（上側）に流れるように整流される。これにより、収容部２１ａのエアが、左右それぞれのダクト部６１によって独立して循環させることができるため、収容部２１ａのエアを効率よく冷却させることができるようになっている。 Further, the accommodating portion 21a is provided with a straightening vane 65. The straightening vane 65 is for adjusting the air flow of the accommodating portion 21a. In the example of FIG. 3, they are arranged at the central portion and both end portions in the Y-axis direction, respectively. That is, the straightening vane 65 arranged in the central portion has a shape extending in the vertical direction (Z-axis direction), and the air discharged from the air outlet 63 in the central portion is sent to the straightening vane 65 in the central portion. By abutting, the rectification is performed so that the flow is suppressed to the adjacent duct portion 61 side and flows to the head main body portion 32 side directly below. Further, the straightening vane 65 arranged at the end portion is arranged so as to face the suction port 62 from the side wall of the accommodating portion 21a, and the air discharged from each air outlet 63 and flowing from the central portion side. Is suppressed from staying on the head body 32 side (lower side), and is rectified so as to flow to the suction port 62 side (upper side). As a result, the air in the accommodating portion 21a can be circulated independently by the left and right duct portions 61, so that the air in the accommodating portion 21a can be efficiently cooled.

また、インクジェット塗布装置には、制御装置が設けられており、制御装置によりインクジェット塗布装置が統括的に制御されている。すなわち、制御装置は、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、各ユニットの駆動装置を駆動制御するとともに、塗布動作に必要な各種演算を行うものである。具体的には、吐出位置の演算、インクジェットヘッド３１に液滴Ｐを吐出させるための駆動電圧の作成及び修正を行うことができる。そして、ヘッドユニット２１についても制御され、各インクジェットヘッド３１が駆動基板４０を介して駆動制御される。 Further, the inkjet coating device is provided with a control device, and the inkjet coating device is collectively controlled by the control device. That is, the control device drives and controls the drive device of each unit in order to execute a series of coating operations according to a program stored in advance, and also performs various calculations necessary for the coating operation. Specifically, it is possible to calculate the ejection position and create and modify the drive voltage for ejecting the droplet P to the inkjet head 31. The head unit 21 is also controlled, and each inkjet head 31 is driven and controlled via the drive substrate 40.

次に、インクジェットヘッド３１の温度調節方法について図６のフローチャートに基づいて説明する。このインクジェットヘッド３１温度調節方法は、複数のインクジェットヘッド３１それぞれの温度を均一に調節するものであり、塗布動作を行う前に、各インクジェットヘッド３１の貯留部３３で貯留された塗布液の温度を均一にすることにより、各インクジェットヘッド３１の吐出状態のバラツキが抑えられ、吐出精度を維持させることができる。 Next, the temperature control method of the inkjet head 31 will be described with reference to the flowchart of FIG. This method of adjusting the temperature of the inkjet head 31 uniformly adjusts the temperature of each of the plurality of inkjet heads 31, and before performing the coating operation, the temperature of the coating liquid stored in the storage unit 33 of each inkjet head 31 is adjusted. By making it uniform, the variation in the ejection state of each inkjet head 31 can be suppressed, and the ejection accuracy can be maintained.

まず、ステップＳ１により、ヘッド冷却工程が行われる。すなわち、冷却ユニット６を作動させることにより、ヘッド本体部３２の温度が予め設定された設定温度よりも低くなるように調節される。具体的には、チラーにより一定温度に冷却された冷却水が熱交換器６４に供給され循環される。そして、ファン６２ａが作動することにより収容部２１ａ内のエアが吸込口６２から吸い込まれ、熱交換器６４を通過することにより冷却される。そして、ダクト部６１を通過し、各送風口６３から冷却されたエアが送り出される。送風口６３から送り出された冷却後のエアは、ファン６２ａに吸い込まれると共に、整流板６５に沿って流れることにより、各ヘッド本体部３２に直接当接し、ヘッド本体部３２を冷却する。これにより、ヘッド本体部３２の貯留部３３が冷却され、同時に貯留部３３内の塗布液が冷却される。 First, the head cooling step is performed in step S1. That is, by operating the cooling unit 6, the temperature of the head main body 32 is adjusted to be lower than the preset set temperature. Specifically, cooling water cooled to a constant temperature by a chiller is supplied to the heat exchanger 64 and circulated. Then, when the fan 62a operates, the air in the accommodating portion 21a is sucked from the suction port 62, and is cooled by passing through the heat exchanger 64. Then, the cooled air is sent out from each air outlet 63 through the duct portion 61. The cooled air sent out from the air outlet 63 is sucked into the fan 62a and flows along the straightening vane 65 to directly contact each head main body 32 and cool the head main body 32. As a result, the storage portion 33 of the head main body portion 32 is cooled, and at the same time, the coating liquid in the storage portion 33 is cooled.

そして、冷却ユニット６により、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下になるように冷却される。すなわち、個々のヘッド本体部３２に設けられた温度検出器によってヘッド本体部３２の温度が監視され、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下に冷却される。ここで、冷却ユニット６により冷却されたエアは、送風口６３から送り出されるため、送風口６３に近いヘッド本体部３２ほど、急速に冷却される。そのため、送風口６３に近いヘッド本体部３２と、送風口６３から離れたヘッド本体部３２とに冷却状態が異なり、個々のヘッド本体部３２の温度にバラツキが生じるが、最終的にすべてのヘッド本体部３２が設定温度以下に冷却される。 Then, the cooling unit 6 cools all the head main bodies 32 so as to be equal to or lower than the set temperature. That is, the temperature of the head main body 32 is monitored by the temperature detectors provided on the individual head main bodies 32, and all the head main bodies 32 are cooled to the set temperature or lower. Here, since the air cooled by the cooling unit 6 is sent out from the air outlet 63, the head main body 32 closer to the air outlet 63 is cooled more rapidly. Therefore, the cooling state differs between the head main body 32 near the air outlet 63 and the head main body 32 away from the air outlet 63, and the temperatures of the individual head main bodies 32 vary, but finally all the heads. The main body 32 is cooled to a set temperature or lower.

次にヘッド加温調節工程が行われる。具体的には、すべてのヘッド本体部３２が設定温度以下になった後、冷却ユニット６が冷却されたエアの送風を停止し、ヘッド本体部３２のヒータ部５１が作動することによりヘッド本体部３２が加温される。そして、すべてのヘッド本体部３２が設定温度を維持するように制御される。具体的には、すべてのヘッド本体部３２が設定温度まで加温されるとヒータ部５１が一時的に停止し、ヘッド本体部３２が設定温度以下になると、再度、ヒータ部５１が作動することにより、ヘッド本体部３２が設定温度を維持するように制御される。これにより、ヘッド冷却工程によりすべてのヘッド本体部３２が設定温度よりも低い温度に調節された状態で、その後、設定温度まで加温し、設定温度を維持するように制御されるため、すべてのヘッド本体部３２が設定温度に調節され、ヘッド本体部３２の貯留部３３内の塗布液がほぼ同じ温度に調節される。 Next, the head heating adjustment step is performed. Specifically, after all the head main bodies 32 have fallen below the set temperature, the cooling unit 6 stops blowing the cooled air, and the heater portion 51 of the head main body 32 operates to operate the head main body. 32 is heated. Then, all the head main bodies 32 are controlled to maintain the set temperature. Specifically, when all the head main body 32 is heated to the set temperature, the heater 51 is temporarily stopped, and when the head main body 32 is below the set temperature, the heater 51 is operated again. Therefore, the head main body 32 is controlled to maintain the set temperature. As a result, all the head main body 32s are adjusted to a temperature lower than the set temperature by the head cooling process, and then heated to the set temperature and controlled to maintain the set temperature. The head main body 32 is adjusted to a set temperature, and the coating liquid in the storage portion 33 of the head main body 32 is adjusted to substantially the same temperature.

次に、ステップＳ３により塗布工程が行われ、基板上に塗布液を吐出することにより塗布膜が形成される。 Next, the coating step is performed in step S3, and the coating film is formed by discharging the coating liquid onto the substrate.

このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置及びインクジェットヘッド３１の温度調節方法によれば、すべてのインクジェットヘッド３１が冷却ユニット６により設定温度以下に冷却され、その後、加熱調節部により設定温度まで加温されることにより、すべてのインクジェットヘッド３１のヘッド本体部３２が所定の設定温度に調節される。すなわち、冷却ユニット６によりヘッド本体部３２が冷却されると、すべてのヘッド本体部３２が冷却される。ここで、ヘッド本体部３２それぞれが異なる温度に冷却された場合でも、インクジェットヘッド３１には、塗布液が高粘度である場合に吐出状態を調節するために個々に加温調節部５０が備えられているため、ヘッド本体部３２が設定温度を超えるまで加温された後、加温制御が中止されることにより、ヘッド本体部３２は設定温度になるように制御される。したがって、すべてのインクジェットヘッド３１（ヘッド本体部３２内の塗布液）の温度を共通の温度に維持することができ、インクジェットヘッド３１毎の温度のバラツキを抑えることができるため、それぞれのインクジェットヘッド３１から吐出される液滴Ｐが安定し、吐出精度を維持することができる。 As described above, according to the temperature control method of the inkjet coating device and the inkjet head 31 in the above embodiment, all the inkjet heads 31 are cooled to the set temperature or lower by the cooling unit 6, and then heated to the set temperature by the heat control unit. By being heated, the head body 32 of all the inkjet heads 31 is adjusted to a predetermined set temperature. That is, when the head main body 32 is cooled by the cooling unit 6, all the head main bodies 32 are cooled. Here, even when the head main body 32 is cooled to a different temperature, the inkjet head 31 is individually provided with a heating adjusting unit 50 for adjusting the ejection state when the coating liquid has a high viscosity. Therefore, after the head main body 32 is heated until it exceeds the set temperature, the heating control is stopped, so that the head main body 32 is controlled to reach the set temperature. Therefore, the temperatures of all the inkjet heads 31 (the coating liquid in the head body 32) can be maintained at a common temperature, and the temperature variation among the inkjet heads 31 can be suppressed, so that each inkjet head 31 can be maintained. The droplet P ejected from is stable, and the ejection accuracy can be maintained.

また、上記実施形態では、冷却ユニット６とヘッド本体部３２とが同じ収容部２１ａに収容される例について説明したが、収容部２１ａのないものであってもよい。この場合、冷却ユニット６の冷却効率は低くなるが、コスト面、メンテナンス性を向上させることができる。 Further, in the above embodiment, the example in which the cooling unit 6 and the head main body portion 32 are accommodated in the same accommodating portion 21a has been described, but the accommodating portion 21a may not be provided. In this case, the cooling efficiency of the cooling unit 6 is lowered, but the cost and maintainability can be improved.

また、上記実施形態では、冷却ユニット６が、タクト部と、このダクト部６１に送風口６３と吸込口６２とが設けられる構成について説明したが、このような構成に限定されず、例えば、外部で生成した冷風をホースで誘導し、ホースから直接ヘッド本体部３２に送風する構成であってもよい。 Further, in the above embodiment, the configuration in which the cooling unit 6 is provided with the tact portion and the air outlet 63 and the suction port 62 in the duct portion 61 has been described, but the configuration is not limited to such a configuration and is not limited to such a configuration. The cold air generated in 1 may be guided by a hose and blown directly from the hose to the head main body 32.

２ 塗布ユニット
６ 冷却ユニット
１０ ステージ
２１ ヘッドユニット
３１ ヘッド本体部
５０ 加温調節部
６１ ダクト部
６２ 吸込口
６３ 送風口
６４ 熱交換器
６５ 整流板
Ｗ 基材 2 Coating unit 6 Cooling unit 10 Stage 21 Head unit 31 Head body 50 Heating control 61 Duct 62 Suction port 63 Blower 64 Heat exchanger 65 Rectifier plate W base material

Claims (4)

基材を載置するステージと、
前記ステージに載置された基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッドが複数配列されて保持されたヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを制御する制御装置と、
を有するインクジェット塗布装置であって、
前記インクジェットヘッドは、塗布液が貯留されるヘッド本体部を有し、このヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を備えており、
前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部を冷却する冷却ユニットを備えており、
前記制御装置は、前記冷却ユニットによりインクジェットヘッドの設定温度以下に調節した後、前記加温調節部によりインクジェットヘッドの設定温度に調節することを特徴とするインクジェット塗布装置。 The stage on which the base material is placed and
A head unit in which a plurality of inkjet heads for ejecting droplets are arranged and held on a substrate placed on the stage, and a head unit.
A control device that controls the head unit and
It is an inkjet coating device having
The inkjet head has a head main body portion in which a coating liquid is stored, and includes a heating control portion that heats the head main body portion to control the temperature.
The head unit includes a cooling unit that cools the head body.
The control device is an inkjet coating device, characterized in that the cooling unit adjusts the temperature to a set temperature of the inkjet head or lower, and then the heating adjusting unit adjusts the temperature to a set temperature of the inkjet head. 前記冷却ユニットは、前記ヘッド本体部側にエアを送り出す送風口と、ヘッド本体部側のエアを吸い込む吸込口と、前記送風口と前記吸込口とを連結するダクト部とを有しており、前記ダクト部には熱交換器が設けられ、前記吸込口から吸い込んだエアが前記ダクト部を通じて前記熱交換器で冷却され、前記送風口から送り出されることにより、前記ヘッド本体部側のエアが循環しつつ、前記ヘッド本体部が冷却されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。 The cooling unit has an air outlet for sending air to the head body side, a suction port for sucking air on the head body side, and a duct portion connecting the air port and the suction port. A heat exchanger is provided in the duct portion, and the air sucked from the suction port is cooled by the heat exchanger through the duct portion and sent out from the air outlet, so that the air on the head main body side circulates. The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the head body is cooled while the head body is cooled. 前記ヘッドユニットは、前記ヘッド本体部と前記冷却ユニットとを収容する収容部を備えており、前記冷却ユニットは前記収容部内のエアを循環させることにより、前記ヘッド本体部が前記収容部内で冷却されることを特徴とするインクジェット塗布装置。 The head unit includes an accommodating portion for accommodating the head main body and the cooling unit, and the cooling unit cools the head main body in the accommodating portion by circulating air in the accommodating portion. An inkjet coating device characterized by the above. ステージに載置された基材に対して液滴を吐出し、塗布液が貯留されるヘッド本体部を加熱して温度調節を行う加温調節部を有するインクジェットヘッドの温度調節方法であって、
前記ヘッド本体部に冷風を送風して前記ヘッド本体部の設定温度以下に冷却するヘッド冷却工程と、
前記加温調節部により前記ヘッド本体部を加温して前記設定温度に調節するヘッド加温調節工程と、
をこの順に有することを特徴とするインクジェットヘッドの温度調節方法。 This is a temperature control method for an inkjet head having a heating control unit that discharges droplets onto a substrate placed on a stage and heats the head body in which the coating liquid is stored to control the temperature.
A head cooling process in which cold air is blown to the head body to cool the head body to a set temperature or lower.
A head heating adjustment step of heating the head body portion by the heating adjusting unit to adjust the temperature to the set temperature, and
A method for controlling the temperature of an inkjet head, which comprises having the above in this order.
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