JP7410826B2 - ピンの位置ずれ測定装置およびダイ供給装置 - Google Patents
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Description
複数のダイに分割されたウエハに貼着されたシートから前記ダイを剥離して供給するダイ供給装置において、上面に前記シートを保持可能な保持面を有するポットと、前記ウエハと前記ポットを水平方向に相対移動させる移動装置と、前記ポットに収容されたピンと、前記ポットの保持面から出没するように前記ピンを昇降させる昇降装置と、を備え、前記シートの裏面に前記ポットの保持面を当接させると共に前記シートの裏側から前記ピンを突き上げることで前記シートから前記ダイを剥離するダイ供給装置に用いられ、前記ピンの位置ずれを測定するピンの位置ずれ測定装置であって、
前記ダイの位置を認識するための認識パターンが付された透明なウエハ治具と、
前記ダイ供給装置に配置された前記ウエハ治具を上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置による前記認識パターンおよび前記ウエハ治具越しに写った前記ピンの撮像画像に基づいて前記ピンの位置ずれ量を測定する測定部と、
を備えることを要旨とする。
複数のダイに分割されたウエハに貼着されたシートから前記ダイを剥離して供給するダイ供給装置において、上面に前記シートを保持可能な保持面を有するポットと、前記ウエハと前記ポットを水平方向に相対移動させる移動装置と、前記ポットに収容されたピンと、前記ポットの保持面から出没するように前記ピンを昇降させる昇降装置と、を備え、前記シートの裏面に前記ポットの保持面を当接させると共に前記シートの裏側から前記ピンを突き上げることで前記シートから前記ダイを剥離するダイ供給装置であって、
前記ダイの位置を認識するための認識パターンが付された透明なウエハ治具と、
前記ダイ供給装置に配置された前記ウエハ治具を上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置による前記認識パターンおよび前記ウエハ治具越しに写った前記ピンの撮像画像に基づいて前記ピンの位置ずれ量を測定する測定部と、
を備えることを要旨とする。
Claims (6)
- 複数のダイに分割されたウエハに貼着されたシートから前記ダイを剥離して供給するダイ供給装置において、上面に前記シートを保持可能な保持面を有するポットと、前記ウエハと前記ポットを水平方向に相対移動させる移動装置と、前記ポットに収容されたピンと、前記ポットの保持面から出没するように前記ピンを昇降させる昇降装置と、を備え、前記シートの裏面に前記ポットの保持面を当接させると共に前記シートの裏側から前記ピンを突き上げることで前記シートから前記ダイを剥離するダイ供給装置に用いられ、前記ピンの位置ずれを測定するピンの位置ずれ測定装置であって、
前記ダイの位置を認識するための認識パターンが付された透明なウエハ治具と、
前記ダイ供給装置に配置された前記ウエハ治具を上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置による前記認識パターンおよび前記ウエハ治具越しに写った前記ピンの撮像画像に基づいて前記ピンの位置ずれ量を測定する測定部と、
を備えるピンの位置ずれ測定装置。 - 請求項1に記載のピンの位置ずれ測定装置であって、
前記測定部は、前記認識パターンの画像から特定される前記ピンの理想的な位置と前記ピンの画像から特定される前記ピンの実位置との差分に基づいて前記ピンの位置ずれ量を測定する、
ピンの位置ずれ測定装置。 - 請求項1または2に記載のピンの位置ずれ測定装置であって、
前記測定部により測定された前記ピンの位置ずれ量に基づいて前記ピンの突き上げ精度の良否を判定する判定部を備える、
ピンの位置ずれ測定装置。 - 請求項3に記載のピンの位置ずれ測定装置であって、
前記測定部は、前記ピンの位置ずれ量を複数回測定し、
前記判定部は、前記測定部により複数回測定された前記ピンの位置ずれ量の統計値を算出し、前記統計値に基づいて前記ピンの突き上げ精度の良否を判定する、
ピンの位置ずれ測定装置。 - 請求項1ないし4いずれか1項に記載のピンの位置ずれ測定装置であって、
前記測定部により測定された前記ピンの位置ずれ量に基づいて前記移動装置の移動量を補正するための補正値を設定する設定部を備える、
ピンの位置ずれ測定装置。 - 複数のダイに分割されたウエハに貼着されたシートから前記ダイを剥離して供給するダイ供給装置において、上面に前記シートを保持可能な保持面を有するポットと、前記ウエハと前記ポットを水平方向に相対移動させる移動装置と、前記ポットに収容されたピンと、前記ポットの保持面から出没するように前記ピンを昇降させる昇降装置と、を備え、前記シートの裏面に前記ポットの保持面を当接させると共に前記シートの裏側から前記ピンを突き上げることで前記シートから前記ダイを剥離するダイ供給装置であって、
前記ダイの位置を認識するための認識パターンが付された透明なウエハ治具と、
前記ダイ供給装置に配置された前記ウエハ治具を上方から撮像する撮像装置と、
前記撮像装置による前記認識パターンおよび前記ウエハ治具越しに写った前記ピンの撮像画像に基づいて前記ピンの位置ずれ量を測定する測定部と、
を備えるダイ供給装置。
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