JP6932983B2 - エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボットおよびプリンター - Google Patents
エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボットおよびプリンター Download PDFInfo
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Description
本発明のエンコーダースケールは、板状の基材と、
前記基材の一方の面に設けられ、第1領域と第2領域とが交互に並んでいる光学パターンと、を備え、
前記第1領域は、前記基材の厚さ方向を法線とする第1面を主体に構成され、
前記第2領域は、前記第1面に対して傾斜している第2面を主体に構成されていることを特徴とする。
これにより、第2領域(第2面)をエッチングにより容易に形成することができる。
前記第2面は、前記凸部の側面を用いて構成されていることが好ましい。
前記第2領域は、異方性エッチングにより形成することを特徴とする。
このようなエンコーダーによれば、低コスト化を図りつつ、検出精度を高めることができる。
前記エンコーダースケールに向けて光を出射する光源部と、
前記エンコーダースケールからの前記光の反射光を受光する受光部と、を備え、
前記エンコーダースケールは、
板状の基材と、
前記基材の一方の面に設けられ、第1領域と第2領域とが交互に並んでいる光学パターンと、を備え、
前記第1領域は、前記基材の厚さ方向を法線とする第1面を主体に構成され、
前記第2領域は、前記第1面とは異なる方向に前記光を反射させる第2面を主体に構成されていることを特徴とする。
このようなロボットによれば、エンコーダースケールの低コスト化を図ることで、ロボットの低コスト化を図ることができる。また、エンコーダースケールを用いた高精度な検出結果に基づいて高精度な動作制御を行うことができる。
このようなプリンターによれば、エンコーダースケールの低コスト化を図ることで、プリンターの低コスト化を図ることができる。また、エンコーダースケールを用いた高精度な検出結果に基づいて高精度な動作制御を行うことができる。
まず、本発明のエンコーダースケールの説明に先立ち、本発明のエンコーダー(本発明のエンコーダースケールを備えるエンコーダー)について簡単に説明する。
図3は、図2中A−A線断面図(エンコーダースケールの断面図)である。図4は、図3に示す第2領域の一部(複数の凸部)を示す斜視図である。図5は、図3に示す第2領域に設けられている凸部の平面図である。図6は、単結晶シリコンを異方性エッチングすることで形成したエンコーダースケールの一部(第1領域および第2領域)を示すSEM写真である。図7は、単結晶シリコンを異方性エッチングすることで形成したエンコーダースケールの一部(金属膜の縁部近傍の断面)を示すSEM写真である。図8は、単結晶シリコンを異方性エッチングすることでエンコーダースケールを形成した場合における第2領域の光反射特性(回転角度と受光部での受光量との関係)を示すグラフである。なお、以下では、図3中上側を「上」、下側を「下」という。
図9は、図3に示すエンコーダースケールの製造方法を説明するためのフローチャートである。
図10は、図9に示す準備工程を説明するための断面図である。
図11は、図9に示す光学パターン形成工程(マスク形成工程)を説明するための断面図である。図12は、図9に示す光学パターン形成工程(異方性エッチング工程)を説明するための断面図である。
図示しないが、基材2aをドライエッチングすることで、エンコーダースケール1の外形(孔11を含む)を形成する。本工程では、例えば、ドライエッチングの前に、保護膜として金属膜3上にレジスト層を形成し、ドライエッチングの後に、当該レジスト層を除去する。なお、最終的に得られるエンコーダースケール1が金属膜3を有しない場合、この外形形成工程後に、金属膜3を除去すればよい。
以上のようにして、エンコーダースケール1を製造することができる。
図13は、本発明の第2実施形態に係るエンコーダースケールを示す断面図である。図14は、図13に示す第2領域に設けられている凸部の平面図である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
図15は、本発明の第3実施形態に係るエンコーダースケールを示す平面図である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
以下、本発明のロボットについて単腕ロボットを例に説明する。
図16は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
図17は、本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
図17に示すプリンター3000は、インクジェット記録方式のプリンターである。このプリンター3000は、装置本体3010と、装置本体3010の内部に設けられている印刷機構3020、給紙機構3030および制御部3040と、を備えている。
Claims (11)
- 板状の基材と、
前記基材の一方の面に設けられ、第1領域と第2領域とが交互に並んでいる光学パターンと、を備え、
前記第1領域は、前記基材の厚さ方向を法線とする第1面を主体に構成され、
前記第2領域は、前記第1面に対して傾斜している第2面を主体に構成され、
前記基材の前記一方の面には、前記第2領域に対応して凹部が設けられており、
前記光学パターンは、前記第1領域に配置されている金属膜を備え、
前記金属膜は、前記凹部側に突出している部分を有することを特徴とするエンコーダースケール。 - 前記基材は、異方性エッチングが可能な結晶材料で構成されている請求項1に記載のエンコーダースケール。
- 前記結晶材料は、単結晶シリコンである請求項2に記載のエンコーダースケール。
- 前記単結晶シリコンの面方位が(100)である請求項3に記載のエンコーダースケール。
- 前記第2面は、前記結晶材料の結晶面に沿って設けられている請求項2ないし4のいずれか1項に記載のエンコーダースケール。
- 前記基材の前記第2領域には、複数の凸部が設けられており、
前記第2面は、前記凸部の側面を用いて構成されている請求項1ないし5のいずれか1項に記載のエンコーダースケール。 - 板状の基材の一方の面に、前記基材の厚さ方向を法線とする第1面を主体に構成されている第1領域と、前記第1面に対して傾斜している第2面を主体に構成されている第2領域とが交互に複数並んでいる光学パターンを形成する光学パターン形成工程を含むエンコーダースケールの製造方法であって、
前記基材の前記一方の面には、前記第2領域に対応して凹部が設けられており、
前記光学パターンは、前記第1領域に配置されている金属膜を備え、
前記金属膜は、前記凹部側に突出している部分を有し、
前記第2領域と、前記部分とは、異方性エッチングにより形成することを特徴とするエンコーダースケールの製造方法。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のエンコーダースケールを備えることを特徴とするエンコーダー。
- エンコーダースケールと、
前記エンコーダースケールに向けて光を出射する光源部と、
前記エンコーダースケールからの前記光の反射光を受光する受光部と、を備え、
前記エンコーダースケールは、
板状の基材と、
前記基材の一方の面に設けられ、第1領域と第2領域とが交互に並んでいる光学パターンと、を備え、
前記第1領域は、前記基材の厚さ方向を法線とする第1面を主体に構成され、
前記第2領域は、前記第1面とは異なる方向に前記光を反射させる第2面を主体に構成され、
前記基材の前記一方の面には、前記第2領域に対応して凹部が設けられており、
前記光学パターンは、前記第1領域に配置されている金属膜を備え、
前記金属膜は、前記凹部側に突出している部分を有することを特徴とするエンコーダー。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のエンコーダースケールを備えることを特徴とするロボット。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のエンコーダースケールを備えることを特徴とするプリンター。
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DE4136089A1 (de) * | 1991-10-30 | 1993-05-06 | Siemens Ag, 8000 Muenchen, De | Verfahren zum bestimmen der kristallorientierung in einem wafer |
CN1151361C (zh) * | 1996-05-20 | 2004-05-26 | 松下电器产业株式会社 | 光学编码器及位置检测方法 |
DE19652563A1 (de) * | 1996-12-17 | 1998-06-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
JPH1130624A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Alps Electric Co Ltd | テープ走行センサー及びこのテープ走行センサーを用いた制御回路並びにこの制御回路を用いたテープ走行センサーの制御方法 |
JP2000193490A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコ―ダ |
US6803560B1 (en) * | 1999-06-10 | 2004-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder |
JP2000352527A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Canon Inc | 光学式エンコーダ |
DE19937023A1 (de) * | 1999-08-05 | 2001-02-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Reflexions-Maßverkörperung und Verfahren zur Herstellung einer Reflexions-Maßverkörperung |
JP4208483B2 (ja) * | 2002-05-21 | 2009-01-14 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP3851616B2 (ja) * | 2003-04-07 | 2006-11-29 | ファナック株式会社 | 光学式エンコーダのコード板製造方法 |
JP4021382B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2007-12-12 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダ及びその製造方法並びに光学レンズモジュール |
JP4828612B2 (ja) * | 2007-06-01 | 2011-11-30 | 株式会社ミツトヨ | 反射型エンコーダ、そのスケール、及び、スケールの製造方法 |
WO2012114595A1 (ja) * | 2011-02-21 | 2012-08-30 | 三菱電機株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP2013221818A (ja) | 2012-04-16 | 2013-10-28 | Wavelock Advanced Technology Co Ltd | 表面反射型エンコーダ用スケール、その製造方法、及び、表面反射型エンコーダ |
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