JP2003191150A - 回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置 - Google Patents
回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置Info
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- JP2003191150A JP2003191150A JP2001393839A JP2001393839A JP2003191150A JP 2003191150 A JP2003191150 A JP 2003191150A JP 2001393839 A JP2001393839 A JP 2001393839A JP 2001393839 A JP2001393839 A JP 2001393839A JP 2003191150 A JP2003191150 A JP 2003191150A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】自動的に回転ブレードのアンバランスの検出が
でき、その結果を迅速にフィードバックできる回転ブレ
ードのアンバランス検出方法及び検出装置を提供する。 【解決手段】 複数枚の回転ブレード１２を同一の軸１
４に間隔を隔てて固定し、複数枚の回転ブレード１２に
よりダイシングを行うマルチブレードタイプのダイシン
グ装置１０における回転ブレードのアンバランス検出方
法。回転ブレード１２のうち、少なくとも１枚の刃先の
近傍に回転ブレード先端の位置検出手段１６を配すると
ともに該位置検出手段により回転ブレード１２のアンバ
ランスの検出を行う。
でき、その結果を迅速にフィードバックできる回転ブレ
ードのアンバランス検出方法及び検出装置を提供する。 【解決手段】 複数枚の回転ブレード１２を同一の軸１
４に間隔を隔てて固定し、複数枚の回転ブレード１２に
よりダイシングを行うマルチブレードタイプのダイシン
グ装置１０における回転ブレードのアンバランス検出方
法。回転ブレード１２のうち、少なくとも１枚の刃先の
近傍に回転ブレード先端の位置検出手段１６を配すると
ともに該位置検出手段により回転ブレード１２のアンバ
ランスの検出を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等にお
いて、ワークの溝切り加工等を行うダイシング装置、 特
に、複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔を隔てて固
定されるマルチブレードタイプのダイシング装置におけ
るアンバランス検出方法及び検出装置に関する。
いて、ワークの溝切り加工等を行うダイシング装置、 特
に、複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔を隔てて固
定されるマルチブレードタイプのダイシング装置におけ
るアンバランス検出方法及び検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造等において、ワークの
溝切り加工等を行うダイシング装置が広く使用されてい
る。このうち、複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔
を隔てて固定されるマルチブレードタイプのダイシング
装置は、高いスループットが得られることより、製造工
程に導入されつつある。
溝切り加工等を行うダイシング装置が広く使用されてい
る。このうち、複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔
を隔てて固定されるマルチブレードタイプのダイシング
装置は、高いスループットが得られることより、製造工
程に導入されつつある。
【０００３】特に、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）は形状が正方形のものが多く、また、ピッ
チ間誤差がシリコンウェーハより厳しくないことより、
マルチブレードタイプのダイシング装置の適用が期待さ
れている。
ｃｋａｇｅ）は形状が正方形のものが多く、また、ピッ
チ間誤差がシリコンウェーハより厳しくないことより、
マルチブレードタイプのダイシング装置の適用が期待さ
れている。
【０００４】上記装置において、回転ブレードは、ドー
ナツ円盤状のメタルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモ
ンドホイール）で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、
外周が５６ｍｍ又は７６ｍｍのものが一般的である。ま
た、回転ブレード同士のピッチ間隔は、通常５〜１８ｍ
ｍの範囲が採用される。
ナツ円盤状のメタルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモ
ンドホイール）で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、
外周が５６ｍｍ又は７６ｍｍのものが一般的である。ま
た、回転ブレード同士のピッチ間隔は、通常５〜１８ｍ
ｍの範囲が採用される。
【０００５】上記回転ブレード同士にピッチ間隔を設け
る方法は、該回転ブレードをスペーサと交互に同一の軸
に固定する構成によるのが一般的である。
る方法は、該回転ブレードをスペーサと交互に同一の軸
に固定する構成によるのが一般的である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回転ブ
レード及びスペーサの同心度のばらつき、回転ブレード
及びスペーサの内径と軸（又はフランジ）とのガタ、軸
（又はフランジ）への取り付け精度のばらつき、等の原
因で、回転ブレード先端が複数の回転ブレードの間で揃
わないことが多い。また、回転ブレード先端が複数の回
転ブレードの間で揃っていても、回転ブレードの回転時
において動バランスがとれていないこともある。
レード及びスペーサの同心度のばらつき、回転ブレード
及びスペーサの内径と軸（又はフランジ）とのガタ、軸
（又はフランジ）への取り付け精度のばらつき、等の原
因で、回転ブレード先端が複数の回転ブレードの間で揃
わないことが多い。また、回転ブレード先端が複数の回
転ブレードの間で揃っていても、回転ブレードの回転時
において動バランスがとれていないこともある。
【０００７】そうした場合には、回転ブレードの回転時
における回転ブレが大きくなり、ワークの破損、回転ブ
レードの破損、等の不具合を生じることになる。極端な
場合にはエア軸受手段よりなる回転軸が破壊されること
も懸念される。
における回転ブレが大きくなり、ワークの破損、回転ブ
レードの破損、等の不具合を生じることになる。極端な
場合にはエア軸受手段よりなる回転軸が破壊されること
も懸念される。
【０００８】この現象は従来のシングルブレードタイプ
のダイシング装置にはなかった問題であり、マルチブレ
ードタイプのダイシング装置を使いこなす上で克服しな
ければならない課題である。ところが、これまではこれ
に対する有効な解決手段がなかった。
のダイシング装置にはなかった問題であり、マルチブレ
ードタイプのダイシング装置を使いこなす上で克服しな
ければならない課題である。ところが、これまではこれ
に対する有効な解決手段がなかった。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、マルチブレードタイプのダイシング装置にお
いて、自動的に回転ブレードのアンバランスの検出が行
え、その結果を迅速にフィードバックできる回転ブレー
ドのアンバランス検出方法及び検出装置を提供すること
を目的とする。
たもので、マルチブレードタイプのダイシング装置にお
いて、自動的に回転ブレードのアンバランスの検出が行
え、その結果を迅速にフィードバックできる回転ブレー
ドのアンバランス検出方法及び検出装置を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、複数枚の回転ブレードを同一の軸に間隔
を隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイシ
ングを行うマルチブレードタイプのダイシング装置にお
ける回転ブレードのアンバランス検出方法であって、前
記回転ブレードのうち、少なくとも１枚の刃先の近傍に
回転ブレード先端の位置検出手段を配するとともに該位
置検出手段により回転ブレードのアンバランスの検出を
行うことを特徴とする。
に、本発明は、複数枚の回転ブレードを同一の軸に間隔
を隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイシ
ングを行うマルチブレードタイプのダイシング装置にお
ける回転ブレードのアンバランス検出方法であって、前
記回転ブレードのうち、少なくとも１枚の刃先の近傍に
回転ブレード先端の位置検出手段を配するとともに該位
置検出手段により回転ブレードのアンバランスの検出を
行うことを特徴とする。
【００１１】本発明によれば、回転ブレードの刃先の近
傍に配した回転ブレード先端の位置検出手段により、装
置の運転中に回転ブレードのアンバランスの検出が行え
るので、その結果が迅速にフィードバックでき、予想さ
れるワークの破損、回転ブレードの破損、等のトラブル
に速やかに対処できる。その結果、稼働率の向上、歩留
りの向上が図れる。
傍に配した回転ブレード先端の位置検出手段により、装
置の運転中に回転ブレードのアンバランスの検出が行え
るので、その結果が迅速にフィードバックでき、予想さ
れるワークの破損、回転ブレードの破損、等のトラブル
に速やかに対処できる。その結果、稼働率の向上、歩留
りの向上が図れる。
【００１２】本発明において、前記回転ブレード先端の
位置検出手段は、投光手段と受光手段とを有し、該投光
手段と受光手段との間の光束が回転ブレードで遮られる
ことにより回転ブレード先端の位置検出を行うことが好
ましい。このタイプの位置検出手段は、高速応答性及び
検出精度の点で優れており、このようなダイシング装置
における近接センシングに好適だからである。
位置検出手段は、投光手段と受光手段とを有し、該投光
手段と受光手段との間の光束が回転ブレードで遮られる
ことにより回転ブレード先端の位置検出を行うことが好
ましい。このタイプの位置検出手段は、高速応答性及び
検出精度の点で優れており、このようなダイシング装置
における近接センシングに好適だからである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置
の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発
明に係る回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出
装置の実施の形態を説明する概念図であり、図２は、同
要部拡大側断面図である。
係る回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置
の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発
明に係る回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出
装置の実施の形態を説明する概念図であり、図２は、同
要部拡大側断面図である。
【００１４】ダイシング装置１０は、主にワーク支持側
３０の部分と回転ブレード支持側２０の部分により構成
される。
３０の部分と回転ブレード支持側２０の部分により構成
される。
【００１５】ワーク支持側３０には、ワークＷを支持す
るテーブル３２が設けられている。テーブル３２の上面
には、接着シート３４を介してワークＷが固定される。
図１において、テーブル３２は図示しない移動装置によ
り、Ｘ方向（左右方向）に移動できるようになってい
る。
るテーブル３２が設けられている。テーブル３２の上面
には、接着シート３４を介してワークＷが固定される。
図１において、テーブル３２は図示しない移動装置によ
り、Ｘ方向（左右方向）に移動できるようになってい
る。
【００１６】回転ブレード支持側２０において、図示し
ない装置本体にはモータ支持部２６を介してモータ２４
が取り付けられている。図１において、モータは図示し
ない移動装置によりＺ方向（上下方向）及びＹ方向（紙
面に垂直方向）に移動できるようになっている。
ない装置本体にはモータ支持部２６を介してモータ２４
が取り付けられている。図１において、モータは図示し
ない移動装置によりＺ方向（上下方向）及びＹ方向（紙
面に垂直方向）に移動できるようになっている。
【００１７】モータ２４の軸１４の先端にはフランジ２
２が取り付けられ、フランジ２２の外周には複数枚の回
転ブレード１２、１２…が取り付け可能となっている。
図２において、回転ブレード１２はスペーサ１３と交互
にフランジ２２に取り付けられることにより、複数枚の
回転ブレード１２、１２…が同一の軸（フランジ２２）
に間隔を隔てて固定される構成となる。
２が取り付けられ、フランジ２２の外周には複数枚の回
転ブレード１２、１２…が取り付け可能となっている。
図２において、回転ブレード１２はスペーサ１３と交互
にフランジ２２に取り付けられることにより、複数枚の
回転ブレード１２、１２…が同一の軸（フランジ２２）
に間隔を隔てて固定される構成となる。
【００１８】回転ブレード１２は、ドーナツ円盤状のメ
タルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモンドホイール）
で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、外周が５６ｍｍ
又は７６ｍｍのものが使用できる。また、場合によって
はレジンボンドのダイヤモンド砥石、又は、ニッケル製
ドーナツ円盤状部材の外周部分にダイヤモンド砥粒が電
着により形成された電着砥石も使用できる。
タルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモンドホイール）
で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、外周が５６ｍｍ
又は７６ｍｍのものが使用できる。また、場合によって
はレジンボンドのダイヤモンド砥石、又は、ニッケル製
ドーナツ円盤状部材の外周部分にダイヤモンド砥粒が電
着により形成された電着砥石も使用できる。
【００１９】図２の構成では、回転ブレード１２、１２
同士のピッチ間隔は６ｍｍとなっている。このピッチ間
隔は、ＣＳＰを加工する場合、通常５〜１８ｍｍの範囲
が採用される。
同士のピッチ間隔は６ｍｍとなっている。このピッチ間
隔は、ＣＳＰを加工する場合、通常５〜１８ｍｍの範囲
が採用される。
【００２０】回転ブレード支持側２０において、回転ブ
レード１２の刃先の近傍に回転ブレード先端の位置検出
手段１６が配されている。この回転ブレード先端の位置
検出手段１６は、図示しない装置本体に位置調整手段を
介して固定されている。すなわち、測定する回転ブレー
ド１２の外径サイズに対応させるべく、回転ブレード先
端の位置検出手段１６の配設位置が調整可能となってい
る。
レード１２の刃先の近傍に回転ブレード先端の位置検出
手段１６が配されている。この回転ブレード先端の位置
検出手段１６は、図示しない装置本体に位置調整手段を
介して固定されている。すなわち、測定する回転ブレー
ド１２の外径サイズに対応させるべく、回転ブレード先
端の位置検出手段１６の配設位置が調整可能となってい
る。
【００２１】回転ブレード先端の位置検出手段１６は、
位置検出手段本体６０の先端に取り付けられる投光手段
側のプリズム６２及び受光手段側のプリズム６４、プリ
ズム６２の背面に接続される投光手段側の光ファイバー
６６、プリズム６４の背面に接続される受光手段側の光
ファイバー６８、等とより構成される。
位置検出手段本体６０の先端に取り付けられる投光手段
側のプリズム６２及び受光手段側のプリズム６４、プリ
ズム６２の背面に接続される投光手段側の光ファイバー
６６、プリズム６４の背面に接続される受光手段側の光
ファイバー６８、等とより構成される。
【００２２】投光手段側の光ファイバー６６内には図示
しない投光手段であるレーザー光源よりレーザー光７０
が照射され、照射されたレーザー光７０はプリズム６２
に入射し、プリズム６２の傾斜面で直角に反射され、プ
リズム６４に入射し、プリズム６４の傾斜面で直角に反
射され、光ファイバー６８に入射し、図示しない受光手
段である光センサーによって検出される。
しない投光手段であるレーザー光源よりレーザー光７０
が照射され、照射されたレーザー光７０はプリズム６２
に入射し、プリズム６２の傾斜面で直角に反射され、プ
リズム６４に入射し、プリズム６４の傾斜面で直角に反
射され、光ファイバー６８に入射し、図示しない受光手
段である光センサーによって検出される。
【００２３】図示のように、プリズム６２、プリズム６
４の先端部分は、回転ブレード１２の先端を挟むように
配設されており、光束が遮られることにより回転ブレー
ド先端の位置検出ができるように構成されている。
４の先端部分は、回転ブレード１２の先端を挟むように
配設されており、光束が遮られることにより回転ブレー
ド先端の位置検出ができるように構成されている。
【００２４】回転ブレード先端の位置検出に使用される
レーザー光７０は、通常の光と比べて直進性がよく、光
束の発散が少ないが、それでも所定幅の光束を有する。
したがって、検出精度が極力高くなるように投光手段側
にコリメータ等を設け、回転ブレード１２の先端部付近
で、光束の幅が最小となるように調整することが好まし
い。
レーザー光７０は、通常の光と比べて直進性がよく、光
束の発散が少ないが、それでも所定幅の光束を有する。
したがって、検出精度が極力高くなるように投光手段側
にコリメータ等を設け、回転ブレード１２の先端部付近
で、光束の幅が最小となるように調整することが好まし
い。
【００２５】回転ブレード先端の位置検出手段１６によ
り回転ブレード１２のアンバランスの検出を行う方法の
より詳細な内容については、以下に説明する図３、図４
の構成において詳述する。
り回転ブレード１２のアンバランスの検出を行う方法の
より詳細な内容については、以下に説明する図３、図４
の構成において詳述する。
【００２６】なお、ダイシング装置１０の他の構成要素
として、図１において、回転ブレード１２の近傍には研
削液噴射ノズル２８が配されており、回転ブレード１２
及びワークＷが冷却され、また研削性が維持される。 同
様に、回転ブレード１２の両側近傍には冷却水噴射ノズ
ル２９が配されており、回転ブレード１２の冷却がなさ
れる。
として、図１において、回転ブレード１２の近傍には研
削液噴射ノズル２８が配されており、回転ブレード１２
及びワークＷが冷却され、また研削性が維持される。 同
様に、回転ブレード１２の両側近傍には冷却水噴射ノズ
ル２９が配されており、回転ブレード１２の冷却がなさ
れる。
【００２７】図３、図４は、本発明に係る回転ブレード
のアンバランス検出方法及び検出装置の他の実施の形態
を説明する概念図である。なお、各図において、図１、
図２と同一、類似の部材については、同一の番号を附し
その説明を省略する。また、説明の便宜のため、回転ブ
レード１２は１枚のみ図示する。
のアンバランス検出方法及び検出装置の他の実施の形態
を説明する概念図である。なお、各図において、図１、
図２と同一、類似の部材については、同一の番号を附し
その説明を省略する。また、説明の便宜のため、回転ブ
レード１２は１枚のみ図示する。
【００２８】図３は、本発明に係る回転ブレードのアン
バランス検出装置の実施の形態を説明する概念図で、回
転ブレード先端の位置検出手段１６は、Ｘテーブル５１
上に設けられた検査台８０に組み込まれた一対の光学系
８２を有している。 この一対の光学系の一方の光学系は
レンズ系８４とプリズム８６を、他方の光学系はレンズ
系８８とプリズム９０を有しており、プリズム８６とプ
リズム９０とは対向して配置されている。
バランス検出装置の実施の形態を説明する概念図で、回
転ブレード先端の位置検出手段１６は、Ｘテーブル５１
上に設けられた検査台８０に組み込まれた一対の光学系
８２を有している。 この一対の光学系の一方の光学系は
レンズ系８４とプリズム８６を、他方の光学系はレンズ
系８８とプリズム９０を有しており、プリズム８６とプ
リズム９０とは対向して配置されている。
【００２９】また、一方の光学系はグラスファイバ９２
にて投光手段９４に、他方の光学系はグラスファイバ９
６にて受光手段９８に連結されている。 投光手段９４と
して発光ダイオードを、受光手段９８としてフォトダイ
オードが用いられている。
にて投光手段９４に、他方の光学系はグラスファイバ９
６にて受光手段９８に連結されている。 投光手段９４と
して発光ダイオードを、受光手段９８としてフォトダイ
オードが用いられている。
【００３０】一方、高周波モータ内蔵の軸１４の先端に
取付けられた回転ブレード１２は、Ｚ方向駆動手段５５
によりＺ方向に、また図示しないＹ方向駆動手段により
Ｙ方向（紙面に垂直）にそれぞれ駆動される。 Ｚ方向駆
動手段５５は、Ｚ方向移動量検出手段５６による位置情
報を基に閉ループ制御を行って、位置決め精度が２μｍ
／５ｍｍ以内（回転ブレード１２をＺ方向に最大５ｍｍ
まで移動させた時の位置決め誤差が２μｍ以内）の高精
度で位置決めを行う。
取付けられた回転ブレード１２は、Ｚ方向駆動手段５５
によりＺ方向に、また図示しないＹ方向駆動手段により
Ｙ方向（紙面に垂直）にそれぞれ駆動される。 Ｚ方向駆
動手段５５は、Ｚ方向移動量検出手段５６による位置情
報を基に閉ループ制御を行って、位置決め精度が２μｍ
／５ｍｍ以内（回転ブレード１２をＺ方向に最大５ｍｍ
まで移動させた時の位置決め誤差が２μｍ以内）の高精
度で位置決めを行う。
【００３１】更に、回転ブレード１２を駆動制御する制
御手段４３、ブレード５４の回転に同期して得られる受
光量を演算処理する演算手段４１、記憶手段４４、及び
ブレード５４の変形状態その他を表示する表示手段４２
等を有するコントローラ４０が設けられている。
御手段４３、ブレード５４の回転に同期して得られる受
光量を演算処理する演算手段４１、記憶手段４４、及び
ブレード５４の変形状態その他を表示する表示手段４２
等を有するコントローラ４０が設けられている。
【００３２】投光手段９４の発光ダイオードから発した
光は、グラスファイバ９２を経てレンズ系８４に入射し
て屈折され、プリズム８６で水平方向に反射されてプリ
ズム８６とプリズム９０との間で直径約０. ５ｍｍの光
束に集光される。集光された光はプリズム９０で反射さ
れ、レンズ系８８で屈折されてグラスファイバ９６の一
端に入射する。グラスファイバ９６の一端に入射した光
は、受光手段９８のフォトダイオードを照射し、フォト
ダイオードで光電変換された信号がコントローラ４０に
入力される。
光は、グラスファイバ９２を経てレンズ系８４に入射し
て屈折され、プリズム８６で水平方向に反射されてプリ
ズム８６とプリズム９０との間で直径約０. ５ｍｍの光
束に集光される。集光された光はプリズム９０で反射さ
れ、レンズ系８８で屈折されてグラスファイバ９６の一
端に入射する。グラスファイバ９６の一端に入射した光
は、受光手段９８のフォトダイオードを照射し、フォト
ダイオードで光電変換された信号がコントローラ４０に
入力される。
【００３３】回転ブレード１２の先端位置を検出すると
きは、先ず、回転ブレード１２が図示しないＹ方向駆動
手段によってプリズム８６とプリズム９０との間の集光
点の真上に位置付けられ、Ｚ方向駆動手段５５によって
下方に移動されて集光された光束を部分的に遮り、受光
量が測定される。
きは、先ず、回転ブレード１２が図示しないＹ方向駆動
手段によってプリズム８６とプリズム９０との間の集光
点の真上に位置付けられ、Ｚ方向駆動手段５５によって
下方に移動されて集光された光束を部分的に遮り、受光
量が測定される。
【００３４】次に、回転ブレード１２の先端位置検出の
詳細について説明する。 図４は、回転ブレード１２のＺ
方向基準位置算出方法を説明するグラフである。図４
（ａ）は、回転ブレード１２の下降量を横軸に、縦軸に
は受光量をとり、回転ブレード１２のＺ方向位置と受光
量との関係を表している。
詳細について説明する。 図４は、回転ブレード１２のＺ
方向基準位置算出方法を説明するグラフである。図４
（ａ）は、回転ブレード１２の下降量を横軸に、縦軸に
は受光量をとり、回転ブレード１２のＺ方向位置と受光
量との関係を表している。
【００３５】また 図４（ｂ）、（ｃ）は横軸に回転ブ
レード１２の回転角度、縦軸に受光量をとり、Ｚ1 及び
Ｚ2 それぞれの位置における回転ブレード１２の回転角
度に対する受光量の周期的変動を示すカーブを表してい
る。
レード１２の回転角度、縦軸に受光量をとり、Ｚ1 及び
Ｚ2 それぞれの位置における回転ブレード１２の回転角
度に対する受光量の周期的変動を示すカーブを表してい
る。
【００３６】図４に示されるように、先ず回転ブレード
１２が収束された光束を遮らない位置で、受光手段９８
の検出する受光量データＶ0 を記憶する。 次に、Ｚ方向
駆動手段５５により、回転する回転ブレード１２の先端
を光学系によって集光された光の光軸近傍の任意の位置
Ｚ1 に位置決めする。この位置で回転ブレード１２の回
転に同期させて、１周期あたり複数点の受光量データを
読込み記憶手段４４にメモリーする。
１２が収束された光束を遮らない位置で、受光手段９８
の検出する受光量データＶ0 を記憶する。 次に、Ｚ方向
駆動手段５５により、回転する回転ブレード１２の先端
を光学系によって集光された光の光軸近傍の任意の位置
Ｚ1 に位置決めする。この位置で回転ブレード１２の回
転に同期させて、１周期あたり複数点の受光量データを
読込み記憶手段４４にメモリーする。
【００３７】受光手段に用いられているフォトダイオー
ドは応答速度が１０μｓ以内と高速であるので、回転ブ
レード１２の回転速度が例えば６０, ０００ｒｐｍの速
度で回転するとしても、１回転当り１００個以上の受光
量データが採取できる。
ドは応答速度が１０μｓ以内と高速であるので、回転ブ
レード１２の回転速度が例えば６０, ０００ｒｐｍの速
度で回転するとしても、１回転当り１００個以上の受光
量データが採取できる。
【００３８】回転ブレード１２の先端は、偏芯により回
転軸芯に対して変形しているので、回転角度θに対する
受光量Ｖは、図４（ｂ）に示すようにサインカーブとな
る。このサインカーブの谷底部の値Ｖ1 が、Ｚ1 位置に
おける回転ブレード１２の最先端で光束を遮った時の受
光量となる。この受光量Ｖ1 を記憶手段４４にメモリー
した後、次に回転ブレード１２の先端を光軸近傍の他の
任意の位置Ｚ2 に位置決めする。
転軸芯に対して変形しているので、回転角度θに対する
受光量Ｖは、図４（ｂ）に示すようにサインカーブとな
る。このサインカーブの谷底部の値Ｖ1 が、Ｚ1 位置に
おける回転ブレード１２の最先端で光束を遮った時の受
光量となる。この受光量Ｖ1 を記憶手段４４にメモリー
した後、次に回転ブレード１２の先端を光軸近傍の他の
任意の位置Ｚ2 に位置決めする。
【００３９】この位置でも回転ブレード１２の回転に同
期させて、１周期あたり複数点の受光量データを読込み
記憶手段４４にメモリーし、最低受光量Ｖ2 を得る。こ
の２点のデータ（Ｚ1 、Ｖ1 ）、（Ｚ2 、Ｖ2 ）からコ
ントローラ４０の演算手段４１により、受光量と回転ブ
レード１２のＺ方向位置との関係を関数として求める。
本実施の形態の場合は、光軸近傍の２箇所の位置におけ
る受光量データを求めているので、関数は一次関数とな
り、グラフは２点間の直線となる。
期させて、１周期あたり複数点の受光量データを読込み
記憶手段４４にメモリーし、最低受光量Ｖ2 を得る。こ
の２点のデータ（Ｚ1 、Ｖ1 ）、（Ｚ2 、Ｖ2 ）からコ
ントローラ４０の演算手段４１により、受光量と回転ブ
レード１２のＺ方向位置との関係を関数として求める。
本実施の形態の場合は、光軸近傍の２箇所の位置におけ
る受光量データを求めているので、関数は一次関数とな
り、グラフは２点間の直線となる。
【００４０】次に、この関数を用いて、受光量Ｖ0 ／２
に対応する回転ブレード１２のＺ方向位置Ｚ0 が、演算
手段４１により算出される。ここで算出されたＺ0 をＺ
方向基準位置として以後の回転ブレード１２の高さ方向
制御を行う。
に対応する回転ブレード１２のＺ方向位置Ｚ0 が、演算
手段４１により算出される。ここで算出されたＺ0 をＺ
方向基準位置として以後の回転ブレード１２の高さ方向
制御を行う。
【００４１】なお、受光量データを光軸近傍の位置で求
める理由は、光軸近傍では回転ブレード１２の下降量に
対する受光量がリニアに近い変化を示すため検出精度が
よいからである。
める理由は、光軸近傍では回転ブレード１２の下降量に
対する受光量がリニアに近い変化を示すため検出精度が
よいからである。
【００４２】実際の加工装置に適用する場合には、図３
に示されるように、このＺ方向基準位置Ｚ0 とワーク加
工テーブル５２（図１のテーブル３２に相当する）の上
面位置との相対距離Ｋを求め、このＫの値をオフセット
値として用い高さ方向の制御を行う。前述したワーク加
工テーブル５２の上面位置を求める場合は、回転ブレー
ド１２とワーク加工テーブル５２とをそれぞれ通電して
おき、回転ブレード１２を徐々に下降させてワーク加工
テーブル５２上面に接触させ、導通した瞬間の位置を読
取る。このオフセット値Ｋは一度記憶されると、回転ブ
レード１２を交換して回転ブレード１２の外径が異なっ
ても適用できる。
に示されるように、このＺ方向基準位置Ｚ0 とワーク加
工テーブル５２（図１のテーブル３２に相当する）の上
面位置との相対距離Ｋを求め、このＫの値をオフセット
値として用い高さ方向の制御を行う。前述したワーク加
工テーブル５２の上面位置を求める場合は、回転ブレー
ド１２とワーク加工テーブル５２とをそれぞれ通電して
おき、回転ブレード１２を徐々に下降させてワーク加工
テーブル５２上面に接触させ、導通した瞬間の位置を読
取る。このオフセット値Ｋは一度記憶されると、回転ブ
レード１２を交換して回転ブレード１２の外径が異なっ
ても適用できる。
【００４３】なお、ワーク加工テーブル５２は、回転ブ
レード１２の先端位置検出の原理を説明する便宜のため
に光学系８２と同じ側、すなわちＸテーブル５１上に設
けてあるが、実際は、光学系８２と反対側に対向して設
けられている。
レード１２の先端位置検出の原理を説明する便宜のため
に光学系８２と同じ側、すなわちＸテーブル５１上に設
けてあるが、実際は、光学系８２と反対側に対向して設
けられている。
【００４４】また、本実施の形態の説明では受光量を検
出する回転ブレード１２の位置を、光軸近傍の任意の位
置Ｚ1 及びＺ2 の２箇所で説明したが、３箇所又はそれ
以上であっても構わない。
出する回転ブレード１２の位置を、光軸近傍の任意の位
置Ｚ1 及びＺ2 の２箇所で説明したが、３箇所又はそれ
以上であっても構わない。
【００４５】その他、既述のように、回転ブレード先端
の位置検出手段１６としては、投光手段と受光手段とを
有し、該投光手段と受光手段との間の光束が回転ブレー
ド１２で遮られることにより回転ブレード１２先端の位
置検出を行う検出手段の使用が好ましいが、これ以外の
検出手段（センサ）、たとえば、渦電流方式の近接セン
サ、レーザー方式の距離センサ、静電容量方式の近接セ
ンサ、等各種のセンサも使用できる。
の位置検出手段１６としては、投光手段と受光手段とを
有し、該投光手段と受光手段との間の光束が回転ブレー
ド１２で遮られることにより回転ブレード１２先端の位
置検出を行う検出手段の使用が好ましいが、これ以外の
検出手段（センサ）、たとえば、渦電流方式の近接セン
サ、レーザー方式の距離センサ、静電容量方式の近接セ
ンサ、等各種のセンサも使用できる。
【００４６】次に、図１、図２の構成のダイシング装置
１０における回転ブレードのアンバランス検出検出装置
を使用した回転ブレード１２のアンバランス検出につい
て説明する。回転ブレード１２は、メタルボンドダイヤ
モンド砥石で厚さが０．１ｍｍ、外周が５６ｍｍのもの
を使用し、装置運転時の回転数は３００００ｒｐｍとし
た。回転ブレード先端の位置検出手段１６は１枚の回転
ブレード１２の刃先の近傍に配した。
１０における回転ブレードのアンバランス検出検出装置
を使用した回転ブレード１２のアンバランス検出につい
て説明する。回転ブレード１２は、メタルボンドダイヤ
モンド砥石で厚さが０．１ｍｍ、外周が５６ｍｍのもの
を使用し、装置運転時の回転数は３００００ｒｐｍとし
た。回転ブレード先端の位置検出手段１６は１枚の回転
ブレード１２の刃先の近傍に配した。
【００４７】４枚の回転ブレード１２を取り付け、ワー
クＷを加工しない状態で装置を運転し、回転ブレードの
アンバランス検出装置の作動を確認した。その結果、回
転ブレード先端の位置検出手段１６が配された回転ブレ
ード１２の先端が指定許容値（たとえば、０．０５ｍｍ
程度）以上のブレとなっている状態でアンバランス検出
が行えた。
クＷを加工しない状態で装置を運転し、回転ブレードの
アンバランス検出装置の作動を確認した。その結果、回
転ブレード先端の位置検出手段１６が配された回転ブレ
ード１２の先端が指定許容値（たとえば、０．０５ｍｍ
程度）以上のブレとなっている状態でアンバランス検出
が行えた。
【００４８】ワークＷを取り付けた状態で装置を運転
し、回転ブレードのアンバランス検出装置の作動を確認
した。この際、回転ブレード先端の位置検出手段１６が
配された回転ブレード１２の先端が指定許容値（たとえ
ば、０．０５ｍｍ程度）以上のブレとなっている場合に
は、コントローラ４０（以下、図３参照）の表示手段４
２に警報を表示するとともに、コントローラ４０の制御
手段４３により装置の運転を停止させるようにプログラ
ムした。その結果、正常な動作が行えたことが確認され
た。
し、回転ブレードのアンバランス検出装置の作動を確認
した。この際、回転ブレード先端の位置検出手段１６が
配された回転ブレード１２の先端が指定許容値（たとえ
ば、０．０５ｍｍ程度）以上のブレとなっている場合に
は、コントローラ４０（以下、図３参照）の表示手段４
２に警報を表示するとともに、コントローラ４０の制御
手段４３により装置の運転を停止させるようにプログラ
ムした。その結果、正常な動作が行えたことが確認され
た。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マルチブレードタイプのダイシング装置において、回転
ブレードの刃先の近傍に回転ブレード先端の位置検出手
段を配するとともに該位置検出手段により回転ブレード
のアンバランスの検出を行うことにより、装置の運転中
に回転ブレードのアンバランスの検出が行え、その結果
が迅速にフィードバックでき、予想されるワークの破
損、回転ブレードの破損、等のトラブルに速やかに対処
できる。その結果、稼働率の向上、歩留りの向上等が図
れる。
マルチブレードタイプのダイシング装置において、回転
ブレードの刃先の近傍に回転ブレード先端の位置検出手
段を配するとともに該位置検出手段により回転ブレード
のアンバランスの検出を行うことにより、装置の運転中
に回転ブレードのアンバランスの検出が行え、その結果
が迅速にフィードバックでき、予想されるワークの破
損、回転ブレードの破損、等のトラブルに速やかに対処
できる。その結果、稼働率の向上、歩留りの向上等が図
れる。
【図１】本発明に係る回転ブレードのアンバランス検出
装置の実施の形態を説明する概念図
装置の実施の形態を説明する概念図
【図２】同要部拡側断面図
【図３】本発明に係る回転ブレードのアンバランス検出
装置の他の実施の形態を説明する概念図
装置の他の実施の形態を説明する概念図
【図４】回転ブレードのＺ方向基準位置算出方法を説明
する概念図
する概念図
１０…ダイシング装置、１２…回転ブレード、１４…
軸、１６…回転ブレード先端の位置検出手段、２０…ブ
レード支持側、２２…フランジ、２４…モータ、２６…
モータ支持部、３０…ワーク支持側、３２…テーブル、
３４…接着シート、Ｗ…ワーク
軸、１６…回転ブレード先端の位置検出手段、２０…ブ
レード支持側、２２…フランジ、２４…モータ、２６…
モータ支持部、３０…ワーク支持側、３２…テーブル、
３４…接着シート、Ｗ…ワーク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 今井 忍
東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式
会社東京精密内
Ｆターム(参考） 3C029 AA24 AA40
3C034 AA19 BB63 BB93 CA24 CB13
CB14 DD18
Claims (4)
- 【請求項１】複数枚の回転ブレードを同一の軸に間隔を
隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイシン
グを行うマルチブレードタイプのダイシング装置におけ
る回転ブレードのアンバランス検出方法であって、 前記回転ブレードのうち、少なくとも１枚の刃先の近傍
に回転ブレード先端の位置検出手段を配するとともに該
位置検出手段により回転ブレードのアンバランスの検出
を行うことを特徴とする回転ブレードのアンバランス検
出方法。 - 【請求項２】前記回転ブレード先端の位置検出手段は、
投光手段と受光手段とを有し、該投光手段と受光手段と
の間の光束が回転ブレードで遮られることにより回転ブ
レード先端の位置検出を行う請求項１に記載の回転ブレ
ードのアンバランス検出方法。 - 【請求項３】複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔を
隔てて固定され、該複数枚の回転ブレードによりダイシ
ングが行われるマルチブレードタイプのダイシング装置
における回転ブレードのアンバランス検出装置であっ
て、 前記回転ブレードのうち、少なくとも１枚の刃先の近傍
に回転ブレード先端の位置検出手段が配されるとともに
該位置検出手段により回転ブレードのアンバランスの検
出が行われることを特徴とする回転ブレードのアンバラ
ンス検出装置。 - 【請求項４】前記回転ブレード先端の位置検出手段は、
投光手段と受光手段とを有し、該投光手段と受光手段と
の間の光束が回転ブレードで遮られることにより回転ブ
レード先端の位置検出が行われる請求項３に記載の回転
ブレードのアンバランス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001393839A JP2003191150A (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001393839A JP2003191150A (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003191150A true JP2003191150A (ja) | 2003-07-08 |
Family
ID=27600726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001393839A Pending JP2003191150A (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 回転ブレードのアンバランス検出方法及び検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003191150A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006140210A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 超音波振動切削装置，振幅測定方法 |
| JP2007030135A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Brother Ind Ltd | 工作機械 |
| JP2008058316A (ja) * | 2006-09-02 | 2008-03-13 | Leica Biosystems Nussloch Gmbh | 垂直振れを自動測定する振動刃ミクロトーム |
| JP2012139794A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Nishikawa Rubber Co Ltd | 芯材入りゴム様弾性体被覆長尺物の切断装置および同切断方法 |
-
2001
- 2001-12-26 JP JP2001393839A patent/JP2003191150A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006140210A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 超音波振動切削装置，振幅測定方法 |
| JP4549818B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2010-09-22 | 株式会社ディスコ | 振幅測定方法 |
| JP2007030135A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Brother Ind Ltd | 工作機械 |
| JP4701902B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-06-15 | ブラザー工業株式会社 | 工作機械 |
| JP2008058316A (ja) * | 2006-09-02 | 2008-03-13 | Leica Biosystems Nussloch Gmbh | 垂直振れを自動測定する振動刃ミクロトーム |
| JP2012139794A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-26 | Nishikawa Rubber Co Ltd | 芯材入りゴム様弾性体被覆長尺物の切断装置および同切断方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060330 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060327 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060526 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060619 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060810 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060925 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061117 |