JP6928404B2 - 高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置 - Google Patents
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Description
本発明は、高圧ガス筒の取り替えに際して、ガスケットの歪みに応じて気密が保たれるように新たなガスケットに入れ替える高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置に係り、さらに詳しくは、連結ユニットのコネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットを自動的に嵌入できるようにする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置に関する。
一般に、半導体を製造する製造工程には、用途に応じて多種多様なガスが供給されて用いられるが、これらのガスは、多くが人体に吸い込まれたり大気中に露出されたりする場合、安全事故および環境汚染などの甚だしい被害を蒙らせるため、細心の注意を必要とする。
例えば、イオン注入工程に用いられるガスの種類としては、水素化ヒ素(AsH3:Arsine)、リン化水素(PH3:Phosphine)または三フルオロ化ホウ素(BF3:Boron Fluoride)などの有毒性ガスが挙げられるが、これらのガスは、毒性が非常に強いため、作業者が呼吸器で吸い込む場合に致命的な結果を招き、それ故に、生産ラインに供給する過程で漏出しないように細かく管理せねばならない。
このような半導体の製造工程に用いられるガスは、その管理が非常に重要であるが、これらのガスは、ガス筒(以下、「高圧ガス筒」という。)に高圧にて充填された状態でキャビネットに取り付けられて、ガス供給ラインを介して生産ラインに供給され、ガスが約90%ほど使い尽くされれば、高圧ガス筒の内部に残留する異物がウェーハの加工工程に供給されないように作業者が新たな高圧ガス筒に取り替えることにより、ガスを供給し続ける。
図1は、従来の技術による半導体装備のガス供給装置を概略的に示す斜視図であって、FAB 7の外部の所定の場所には、FAB 7内の色々な装備8において必要とするSiH4、PH3、NF3、CF4などの工程ガスがそれぞれ充填された複数の高圧ガス筒(図示略)を載置できるようにキャビネット1が位置しており、前記キャビネット1の一方の側には、前記高圧ガス筒にそれぞれ連結されたガス供給ライン3を案内できるようにダクト4が設けられている。
前記ダクト4の他方の側には、ガス供給ライン3に沿って流れ込んだ工程ガスを供給できるように高圧ガス筒に対応する数でレギュレータボックス5が設けられており、前記それぞれのレギュレータボックス5の上端部には、FAB 7内の各装備8に対応して連結できるように装備8の数と同数の供給管9が連結されている。
したがって、キャビネット1に載置されているそれぞれの高圧ガス筒から工程ガスが供給されれば、それぞれの工程ガスは、ダクト4の内部を通過するガス供給ライン3に沿ってそれぞれのレギュレータボックス5に流れ込む。
次いで、それぞれのレギュレータボックス5の内部に流れ込んだそれぞれの工程ガスは、フィルタ(図示略)を介して浄化された後、FAB 7内の装備8に対応する数に分岐されて連結されているそれぞれの供給管9に沿って流れて供給されるので、ウェーハを加工することが可能になる。
前述したように、ガスをガス供給ライン3に供給していて、ガスが使い尽くされて高圧ガス筒の取り替え時期が制御部(図示略)により検出されれば、作業者が使用済みの高圧ガス筒のバルブを閉めた後に、外部のガスラインから取り外す。
次いで、作業者がガスラインから取り外された高圧ガス筒をキャビネット1からアンローディングした後、新たな高圧ガス筒に取り替えた後に前記高圧ガス筒を再び外部のガスラインに連結した後、ガス噴射ノズルを閉じているバルブハンドルを開けば(オープンすれば)、高圧ガス筒の取り替えが完了する。
しかし、かかる従来の高圧ガス筒の連結箇所には、使用済みのガスケットはガス噴射ノズルの入口に形成された環状の突出帯により押されて歪みされて凹溝が形成されるため、高圧ガス筒の取り替え時ごとに作業者が使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットに入れ替える作業を作業者によりマニュアルで行うことにより、高圧ガス筒の取り替え時間が長引いて高価な装備の稼働率を低下させるだけではなく、作業者の熟練度及び疲労度に応じて不注意によりガスケットのない状態で高圧ガス筒を連結したり、ガスケットの方向を間違って嵌入させたりするヒューマンエラー(human error)が生じる場合、有害ガスが漏れ出てしまうという問題があった。
本発明は、従来のこのような問題を解消するために案出されたものであり、ガス配管と連結されたコネクタホルダの一方の側にガスケットを自動的に入れ替える装置を配設して、高圧ガス筒の取り替えに際してコネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、ガスケット抜脱カートリッジに収納・保管するとともに、ガスケット嵌入カートリッジにあった新たなガスケットをコネクタホルダに嵌入できるようにすることで、ガスケットの入れ替えの自動化が実現できるようにするところにその目的がある。
本発明の他の目的は、使用済みのガスケット及び新たなガスケットをカートリッジにそれぞれ保管するようにして、ガスケットの入れ替えに伴うパーティクルの発生を未然に防止できるようにするところにある。
前記目的を達成するための本発明の態様によれば、高圧ガス筒連結ユニットのコネクタホルダの一方の側に位置するようにメインプレートに固設されたホルダと、前記ホルダに回動自在に配設された可動部材と、前記メインプレートに固定されたブラケット及びホルダにロッドがそれぞれ連結されるようにホルダに配設されて可動部材を回動させる2段アクチュエータと、前記ホルダから可動部材をコネクタホルダに向かって進退運動させるドッキングアクチュエータと、前記可動部材に配設されてコネクタホルダから使用済みのガスケットを自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジと、前記ガスケット抜脱カートリッジの上部に位置する可動部材に配設されて収容していた新たなガスケットをコネクタホルダに嵌入させるガスケット嵌入カートリッジと、を備えることを特徴とする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置が提供される。
本発明は、高圧ガス筒を取り替えるとき、コネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットに自動的に入れ替えるので、高圧ガス筒の取り替えに伴い、作業者の不注意により有毒ガスが高圧ガス筒の連結箇所から漏れ出てしまう(リークされてしまう)ヒューマンエラーを未然に防ぐことが可能になる。
以下、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は、種々の異なる形態に具体化でき、ここで説明する実施の形態に何ら限定されない。図面は概略的であり、縮尺に合うように示されていないことに留意されたい。図面にある部分の相対的な寸法および比率は、図面における明確性および便宜のために大きさにおいて誇張もしくは縮小されて示されており、任意の寸法は、単に例示的なものに過ぎず、限定的なものではない。なお、2以上の図面に現れる同じ構造物、要素または部品には、同じ参照符号が同じ特徴を示すために用いられる。
図2は、本発明が設置された状態を示す斜視図であり、図3は、本発明の要部を分解して示す斜視図であり、図4は、図3の組立て状態の斜視図であって、本発明は、図6に示すように、ガスケット50をコネクタホルダ11の内部にはめ込み、高圧ガス筒40のガス噴射ノズル(図示略)を締め付けると、ガスケットの両面がコネクタホルダ11及びガス噴射ノズルの入口に形成された環状の突出帯11cにより押されて歪まされて凹溝50bが形成されるため、高圧ガス筒40を取り替える度に使用済みのガスケット50aを抜き外した後、新たなガスケット50に入れ替えることを余儀なくされる。
本発明は、前記高圧ガス筒連結ユニット10のコネクタホルダ11の一方の側に位置するようにメインプレート20に固設されたホルダ30と、前記ホルダ30に回動自在に配設された可動部材31と、前記メインプレート20に固定されたブラケット32及びホルダ30にロッドがそれぞれ連結されるようにホルダ30に配設されて可動部材31を回動させる2段アクチュエータ33と、前記ホルダ30から可動部材31をコネクタホルダ11に向かって進退運動させるドッキングアクチュエータ34と、前記可動部材31に配設されてコネクタホルダ11から使用済みのガスケット50aを自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジ60と、前記ガスケット抜脱カートリッジ60の上部に位置する可動部材31に配設されて収容していた新たなガスケット50をコネクタホルダ11に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ70と、を備えている。
前記可動部材31に着脱自在に配設されるガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70は、図3及び図8に示すように、可動部材31の上部に形成された嵌込孔35に嵌まり込むワンタッチノブ36の周面により支持されるように構成されていて、可動部材31からガスケット抜脱カートリッジ60又はガスケット嵌入カートリッジ70を入れ替えるときに利便性を与える。
図5は、本発明のガスケット抜脱カートリッジの斜視図及び縦断面図であり、前記コネクタホルダ11から使用済みのガスケット50aを抜き外して収容する前記ガスケット抜脱カートリッジ60は、図5に示すように、円筒状に形成されて使用済みのガスケット50aを次第に収容する第1のスリーブ61と、前記第1のスリーブ61内に配設されてエア圧により移動する第1のピストン62と、前記第1のスリーブ61の先端に等間隔にて形成されてガスケット50aを保持する係止片63と、を備えている。
前記コネクタホルダ11は、図6及び図7に示すように、内部に係止突起11aが形成されており、入口には、前記第1のスリーブ61の先端に形成された各係止片63が通過されるように切欠き部11bが形成されていて、前記係止片63が切欠き部11bを介して移動して使用済みのガスケット50aの背面を図6に示すように保持するようになっている。
本発明の一実施形態においては、切欠き部11b及び係止片63により使用済みのガスケット50aをガスケット抜脱カートリッジ60が保持するように説明しているが、当該分野の専門家により種々の形態に変形して使用済みのガスケット50aを保持してもよいということは理解できる筈である。
図7は、本発明のガスケット嵌入カートリッジの斜視図及び縦断面図であり、未使用の複数のガスケット50を収容していて、コネクタホルダ11から使用済みのガスケット50aを抜き外し終えると、新たなガスケット50をコネクタホルダ11に次第に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ70は、図7に示すように、円筒状に形成されて未使用のガスケット50を収容する第2のスリーブ71と、前記第2のスリーブ71内に配設されてエア圧により移動する第2のピストン72と、前記第2のスリーブ71の出口の内周面に形成されてガスケット50の移動を制限する突出爪73と、を備えている。
前記第2のスリーブ71の先端には、コネクタホルダ11の入口が接続される傾斜面74が形成されているが、これは、ガスケット嵌入カートリッジ70に収容されていたガスケット50をコネクタホルダ11の内部に嵌入させるために第2のスリーブ71の入口がコネクタホルダ11と接続するとき、傾斜面74によりこれらのアラインメントが正確に行われるようにしてガスケット50を正確にコネクタホルダ11の嵌入できるようにするためである。
前記ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70の第1及び第2のスリーブ61、71の長さは、ガスケット50、50aが約10〜15個ほど収容されるように適度に調節できるので、別途に限定する必要はない。
このとき、本発明に用いられるガスケット50の材質としては、金属材質や、合成樹脂材質又はこれらの複合材質が適用可能であるということは理解できる筈である。
前記ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70は、使用後に洗浄して再使用してもよいが、パーティクルによる汚染などを考慮して使い捨てとして用いることがさらに好ましい。
前記可動部材31には、ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70の入れ替え時期を検出する第1及び第2の検出手段がさらに配備されているが、前記第1及び第2の検出手段は、前記第1及び第2のピストン62、72に配設された磁石64、75と、前記磁石64、75を感知して前記ガスケット抜脱カートリッジ60又はガスケット嵌入カートリッジ70の入れ替え時期を報知する第1及び第2の感知センサ37a、37bと、を備えていて、前記ガスケット抜脱カートリッジ60に使用済みのガスケット50aがいっぱい装填されるか、あるいは、ガスケット嵌入カートリッジ70に装填されていた新たなガスケット50をコネクタホルダ11にすべて供給し終えると、前記第1及び第2の感知センサ37a、37bがこの旨を検出するため、前記ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70をまるごと入れ替える。
このとき、前記ガスケット抜脱カートリッジ60とガスケット嵌入カートリッジ70との間に位置する可動部材31には反射型センサ38が配設されていて、前記コネクタホルダ11から使用済みのガスケット50aを抜き外した後、新たなガスケット50を嵌入させる前に前記コネクタホルダ11に使用済みのガスケット50aが残っているか否かを検出して、使用済みのガスケット50aをコネクタホルダ11から抜き外すことなく、新たなガスケット50を嵌入させることに伴うエラーが生じてしまうという現象を防ぐ。
本発明の作用について説明すれば、次の通りである。
まず、高圧ガス筒40内のガスをコネクタホルダ11を介してガスラインに供給し終えると、新たな高圧ガス筒に取り替えなければならないが、高圧ガス筒の取り替えに際して前記コネクタホルダ11に嵌入していたガスケット50aは、ガス噴射ノズル及びコネクタホルダ11の突出帯11cにより歪まれて両面に凹溝50bが形成されていて、気密を保つことができないため、新たなガスケット50に入れ替えなければならない。
図9(a)から図9(c)は、本発明の作動状態を説明するための縦断面図であり、2段アクチュエータ33が作動しない初期の状態では、図9(a)に示すように、ガスケット抜脱カートリッジ60がコネクタホルダ11と同一の水平線の上に位置している。
このような状態で、ドッキングアクチュエータ34が駆動されて可動部材31をコネクタホルダ11に向かって移動させると、図6に示すように、ガスケット抜脱カートリッジ60の先端に形成された複数の係止片63がコネクタホルダ11に形成された切欠き部11bに嵌入しながら同時に拡開されていて、使用済みのガスケット50aの後端に達すると、復元力により内側に縮まりながら使用済みのガスケット50aを保持(ホルド)する。
前述したように、ガスケット抜脱カートリッジ60の係止片63が使用済みのガスケット50aを保持し終えると、第1のスリーブ61の内部にエアが供給されるため、第1のピストン62が図中の左側に移動して抜き外すべきガスケット50aの一方の面に接続される。
しかし、ガスケット抜脱カートリッジ60の第1のスリーブ61に使用済みのガスケット50aが装填されていると、最先端に位置するガスケット50aが抜き外すべきガスケットと密着するということは理解できる筈である。
前述したように、係止片63が抜き外すべきガスケット50aを保持した状態で、ドッキングアクチュエータ34により可動部材31が初期の位置に戻ると、使用済みのガスケット50aがコネクタホルダ11から抜き外されて第1のスリーブ61内に収容される。
前記コネクタホルダ11から使用済みのガスケット50aを抜き外し終えると、前記コネクタホルダ11に新たなガスケット50を嵌入させなければならない。
前記コネクタホルダ11に新たなガスケット50を嵌入させるために2段アクチュエータ33が1段駆動されて、図9(b)に示すように、可動部材31を回動させると、ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70の間に配設された反射型センサ38がコネクタホルダ11と水平線の上に位置するため、コネクタホルダ11の内部に使用済みのガスケット50aがあるか否かを検出する。
したがって、反射型センサ38が使用済みのガスケット50aを検出すると、エラーを生じさせるとともに、報知手段を用いて作業者にこの旨を報知して、使用済みのガスケット50aをマニュアルで抜き外すが、使用済みのガスケットがなければ、2段アクチュエータ33が、図9(c)に示すように、2段駆動されて、ガスケット嵌入カートリッジ70がコネクタホルダ11と同一の水平線の上に位置する箇所まで可動部材31を回動させる。
その後、前述したように、ドッキングアクチュエータ34が可動部材31をコネクタホルダ11に向かって移動させて第2のスリーブ71の先端がコネクタホルダ11と接続されるようにすると、第2のスリーブ71の先端に傾斜面74が形成されていて、第2のスリーブ71とコネクタホルダ11とのアライメント(位置合わせ)が正確に行われる。
このような状態で、ガスケット嵌入カートリッジ70にエアが供給されると、第2のピストン72がコネクタホルダ11に向かって移動するため、最先端に位置していた新たなガスケット50をコネクタホルダ11の内部に嵌入させるが、このとき、前記コネクタホルダ11の入口には係止突起11aが形成されていて、たとえガスケット嵌入カートリッジ70が初期の位置に戻るとしても、コネクタホルダ11に嵌入したガスケット50が抜脱することはない。
前述したように、コネクタホルダ11に新たなガスケット50を嵌入させ終えると、ドッキングアクチュエータ34により可動部材31は初期の位置に戻った後、2段アクチュエータ33の駆動により可動部材31が図9(a)に示すように戻った後、ガスケットの入れ替え時点まで待機する。
前述したようなガスケット50の入れ替えは、できる限り新たな高圧ガス筒40をコネクタホルダ11に連結する直前に行うことがさらに好ましい。
これは、入れ替えられた新たなガスケット50が大気中に晒されることにより、微細なほこりなどに汚染される虞があるためである。
一方、使用済みのガスケット50aがガスケット抜脱カートリッジ60にいっぱい装填されることが第1の検出手段である第1の感知センサ37aにより検出されることにより、あるいは、新たなガスケット50をすべて供給してガスケット嵌入カートリッジ70にガスケットがないことを第2の検出手段である第2の感知センサ37bが検出することにより、可動部材31からガスケット抜脱カートリッジ60又はガスケット嵌入カートリッジ70を入れ替えなければならないが、本発明は、前記ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70が可動部材31に形成された嵌込孔35にはまり込んだワンタッチノブ36の周面により支持されていて、可動部材31からワンタッチノブ36を抜脱さえすれば、可動部材31からガスケット抜脱カートリッジ60又はガスケット嵌入カートリッジ70の抜き外すことが可能であるため、これらの入れ替え作業を速やかにかつ簡単に行うことが可能になる。
このように、入れ替え終えた前記ガスケット抜脱カートリッジ60及びガスケット嵌入カートリッジ70は洗浄して再使用してもよいが、再使用に伴いガスケットがパーティクルなどに汚染されないように使い捨てとして用いることがさらに好ましい。
以上、添付図面に基づいて本発明の実施の形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明の技術的な思想や必須的な特徴を変更することなく、他の具体的な形態へと容易に歪みできることが理解できる筈である。
よって、上述した実施の形態は、あらゆる面において例示的なものに過ぎず、限定的ではないものと理解すべきであり、上記の詳細な説明の欄において述べられた本発明の範囲は、後述する特許請求の範囲によって開示され、特許請求の範囲の意味および範囲並びにその等価概念から導き出されるあらゆる変更または歪みされた形態が本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
10:高圧ガス筒連結ユニット
11:コネクタホルダ
11a:係止突起
11b:切欠き部
11c:突出帯
20:メインプレート
30:ホルダ
31:可動部材
33:2段アクチュエータ
34:ドッキングアクチュエータ
36:ワンタッチノブ
37a、37b:第1及び第2の感知センサ
38:反射型センサ
40:高圧ガス筒
50:ガスケット
50b:凹溝
60:ガスケット抜脱カートリッジ
61:第1のスリーブ
62:第1のピストン
63:係止片
64、75:磁石
70:ガスケット嵌入カートリッジ
71:第2のスリーブ
72:第2のピストン
73:突出爪
74:傾斜面
11:コネクタホルダ
11a:係止突起
11b:切欠き部
11c:突出帯
20:メインプレート
30:ホルダ
31:可動部材
33:2段アクチュエータ
34:ドッキングアクチュエータ
36:ワンタッチノブ
37a、37b:第1及び第2の感知センサ
38:反射型センサ
40:高圧ガス筒
50:ガスケット
50b:凹溝
60:ガスケット抜脱カートリッジ
61:第1のスリーブ
62:第1のピストン
63:係止片
64、75:磁石
70:ガスケット嵌入カートリッジ
71:第2のスリーブ
72:第2のピストン
73:突出爪
74:傾斜面
Claims (10)
- 高圧ガス筒連結ユニット(10)のコネクタホルダ(11)の一方の側に位置するようにメインプレート(20)に固設されたホルダ(30)と、
前記ホルダ(30)に回動自在に配設された可動部材(31)と、
前記メインプレート(20)に固定されたブラケット(32)及びホルダ(30)にロッドがそれぞれ連結されるようにホルダ(30)に配設されて可動部材(31)を回動させる2段アクチュエータ(33)と、
前記ホルダ(30)から可動部材(31)をコネクタホルダ(11)に向かって進退運動させるドッキングアクチュエータ(34)と、
前記可動部材(31)に配設されてコネクタホルダ(11)から使用済みのガスケット(50a)を自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジ(60)と、 前記ガスケット抜脱カートリッジ(60)の上部に位置する可動部材(31)に配設されて収容していた新たなガスケット(50)をコネクタホルダ(11)に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ(70)と、
を備えることを特徴とする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。 - 前記可動部材(31)に着脱自在に配設されるガスケット抜脱カートリッジ(60)及びガスケット嵌入カートリッジ(70)は、ワンタッチノブ(36)により支持されることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記ガスケット抜脱カートリッジ(60)は、円筒状に形成されて使用済みのガスケット(50a)を次第に収容する第1のスリーブ(61)と、前記第1のスリーブ(61)内に配設されてエア圧により移動する第1のピストン(62)と、前記第1のスリーブ(61)の先端に等間隔にて形成されてガスケット(50a)を保持する係止片(63)と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記コネクタホルダ(11)の内部に係止突起(11a)を形成し、前記コネクタホルダ(11)の入口には、前記第1のスリーブ(61)に形成された各係止片(63)が通過されるように切欠き部(11b)を形成して、前記係止片(63)が切欠き部(11b)を介して移動してガスケット(50a)を保持した状態で、ドッキングアクチュエータ(34)により可動部材(31)が後退することにより、使用済みのガスケット(50a)が抜き外されるようにしたことを特徴とする請求項3に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記ガスケット嵌入カートリッジ(70)は、円筒状に形成されて未使用のガスケット(50)を収容する第2のスリーブ(71)と、前記第2のスリーブ(71)内に配設されてエア圧により移動する第2のピストン(72)と、前記第2のスリーブ(71)の出口の内周面に形成されてガスケット(50)の移動を制限する突出爪(73)と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記第2のスリーブ(71)の先端に、コネクタホルダ(11)の入口が接続される傾斜面(74)が形成されたことを特徴とする請求項5に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記可動部材(31)に、ガスケット抜脱カートリッジ(60)及びガスケット嵌入カートリッジ(70)の入れ替え時期を検出する第1及び第2の検出手段がさらに配備されたことを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記第1及び第2の検出手段は、前記第1及び第2のピストン(62)(72)に配設された磁石(64)(75)と、前記磁石(64)(75)を感知して前記ガスケット抜脱カートリッジ(60)又はガスケット嵌入カートリッジ(70)の入れ替え時期を報知する第1及び第2の感知センサ(37a)(37b)と、を備えることを特徴とする請求項7に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記ガスケット抜脱カートリッジ(60)とガスケット嵌入カートリッジ(70)との間に位置する可動部材(31)に反射型センサ(38)を配設して、前記コネクタホルダ(11)から使用済みのガスケット(50a)を抜き外した後、新たなガスケット(50)を嵌入させる前に前記コネクタホルダ(11)に使用済みのガスケット(50a)が残っているか否かを検出できるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
- 前記可動部材(31)から入れ替えられたガスケット抜脱カートリッジ(60)又はガスケット嵌入カートリッジ(70)は、廃棄処理することを特徴とする請求項1に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
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