JP6915686B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2 第1フィルタ(第1の弾性波素子)
3 第2フィルタ(第2の弾性波素子)
6 支持部材
20 第1の基板
20A 第1面(一方の主面)
21 第1の機能電極
22 第1の信号電極
23 第1の配線導体
24 中継電極
25 グランド電極
26 支持基板
30 第2の基板
30A 第1面(一方の主面)
31 第2の機能電極
32 第2の信号電極
33 第2の配線導体
34 支持基板
51 第1の貫通電極
52 第2の貫通電極
62 端子電極
63 グランド電極
64 第1の貫通導体
65 第2の貫通導体
270 低音速膜
271 圧電膜
350 低音速膜
351 圧電膜
Claims (11)
- 第1の弾性波素子と第2の弾性波素子を含む複数の弾性波素子を有し、前記第1の弾性波素子の上に前記第2の弾性波素子を積層した弾性波装置であって、
前記第1の弾性波素子は、
少なくとも一部に圧電性を有する第1の基板と、
前記第1の基板の一方の主面に設けられている複数の第1の機能電極と、
前記第1の基板に設けられており、前記複数の第1の機能電極のうちの少なくとも1つの第1の機能電極と電気的に接続された第1の配線導体と
を有し、
前記第2の弾性波素子は、
少なくとも一部に圧電性を有する第2の基板と、
前記第2の基板の一方の主面に設けられている第2の機能電極と、
を有し、
前記第1の弾性波素子は更に、
前記第1の基板の前記一方の主面に設けられており、前記第2の機能電極と電気的に接続されている複数の中継電極と、
前記第1の基板の前記一方の主面に設けられている複数のグランド電極と
を有し、
前記複数のグランド電極はそれぞれ、
前記第1の基板の前記一方の主面において、前記複数の第1の機能電極と、前記複数の中継電極と、の間に、前記複数の中継電極の各々の三方又は四方から前記複数の中継電極を囲むように設けられており、かつ、前記中継電極と電気的に絶縁されている
ことを特徴とする弾性波装置。 - 前記グランド電極は、前記第1の機能電極と電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項1記載の弾性波装置。 - 前記第1の弾性波素子は、
前記第1の基板に設けられており、前記第1の配線導体を介して前記第1の機能電極
と電気的に接続されている第1の信号電極を更に有し、
前記第2の弾性波素子は、
前記第2の基板に設けられており、前記第2の機能電極と電気的に接続された第2の配線導体と、
前記第2の基板に設けられており、前記第2の配線導体を介して前記第2の機能電極と電気的に接続されている第2の信号電極と、を更に有する
ことを特徴とする請求項1又は2記載の弾性波装置。 - 前記第1の弾性波素子は、
前記第1の基板の前記一方の主面と対向する他方の主面に設けられている信号端子と、
前記第1の基板の前記他方の主面に設けられているグランド端子と、
前記第1の弾性波素子と前記第2の弾性波素子の積層の方向に沿って前記第1の基板を貫通し、前記中継電極と前記信号端子とを電気的に接続する第1の貫通電極と、
前記第1の基板を前記積層の方向に沿って貫通し、前記グランド電極と前記グランド端子とを電気的に接続する第2の貫通電極と
を有し、
前記第2の貫通電極は、前記第1の貫通電極と電気的に絶縁されている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記第2の貫通電極は、前記第1の基板内において前記第1の貫通電極の周囲に設けられている
ことを特徴とする請求項4記載の弾性波装置。 - 前記第1の弾性波素子は、
前記第1の基板を前記積層の方向に沿って貫通し、前記第1の配線導体と電気的に接続される第3の貫通電極を更に有する
ことを特徴とする請求項4又は5記載の弾性波装置。 - 前記第1及び第2の基板のうちの少なくとも一方の基板は、
支持基板と、
前記支持基板の一方の主面に直接又は間接的に形成される圧電膜と、
を有する、
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記少なくとも一方の基板は、
前記支持基板と前記圧電膜の間に形成される低音速膜を更に有し、
前記低音速膜は、前記圧電膜を伝搬する弾性波の伝搬速度よりも低速な伝搬速度で弾性波を伝搬する材料によって形成され、
前記支持基板は、前記圧電膜を伝搬する弾性波の伝搬速度よりも高速な伝搬速度で弾性波を伝搬する材料によって形成されている
ことを特徴とする請求項7記載の弾性波装置。 - 前記第1の機能電極及び前記第2の機能電極のうちの少なくとも一方は、IDT電極である、
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記積層の方向において前記第1の弾性波素子及び前記第2の弾性波素子の積層体を支持する支持部材を更に有し、
前記積層体は、前記第1の弾性波素子を前記支持部材の第1面と対向させるようにして
前記支持部材に支持されており、
前記支持部材は、
前記積層の方向において前記支持部材の前記第1面と対向する第2面に設けられている端子電極と、
前記支持部材の前記第2面に設けられているグランド電極と、
前記積層の方向に沿って前記支持部材を貫通するように形成され、前記第1の弾性波素子の前記中継電極と前記端子電極を電気的に接続する第1の貫通導体と、
前記積層の方向に沿って前記支持部材を貫通するように形成され、前記第1の弾性波素子の前記グランド電極と前記支持部材の前記第2面に設けられた前記グランド電極を電気的に接続する第2の貫通導体と
を有する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 第1の弾性波素子と第2の弾性波素子を含む複数の弾性波素子を有し、前記第1の弾性波素子の上に前記第2の弾性波素子を積層した弾性波装置であって、
前記第1の弾性波素子は、
少なくとも一部に圧電性を有する第1の基板と、
前記第1の基板の一方の主面に設けられている第1の機能電極と、
前記第1の基板に設けられており、前記第1の機能電極と電気的に接続された第1の配線導体と
を有し、
前記第2の弾性波素子は、
少なくとも一部に圧電性を有する第2の基板と、
前記第2の基板の一方の主面に設けられている第2の機能電極と、
を有し、
前記第1の弾性波素子は更に、
前記第1の基板の前記一方の主面に設けられており、前記第2の機能電極と電気的に接続されている中継電極と、
前記第1の基板の前記一方の主面に設けられているグランド電極と
を有し、
前記グランド電極は、
前記第1の機能電極及び前記第1の配線導体のうちの少なくとも1つと、前記中継電極と、の間に設けられており、かつ、前記中継電極と電気的に絶縁されており、
前記積層の方向において前記第1の弾性波素子及び前記第2の弾性波素子の積層体を支持する支持部材を更に有し、
前記積層体は、前記第1の弾性波素子を前記支持部材の第1面と対向させるようにして前記支持部材に支持されており、
前記支持部材は、
前記積層の方向において前記支持部材の前記第1面と対向する第2面に設けられている端子電極と、
前記支持部材の前記第2面に設けられているグランド電極と、
前記積層の方向に沿って前記支持部材を貫通するように形成され、前記第1の弾性波素子の前記中継電極と前記端子電極を電気的に接続する第1の貫通導体と、
前記積層の方向に沿って前記支持部材を貫通するように形成され、前記第1の弾性波素子の前記グランド電極と前記支持部材の前記第2面に設けられた前記グランド電極を電気的に接続する第2の貫通導体と
を有する
ことを特徴とする弾性波装置。
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