JP6558445B2 - 弾性波フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタモジュール - Google Patents
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Description
2…圧電基板
3…第2の信号端子
4…第1の信号端子
5a…第1の絶縁膜
6a…第1のシールド電極
7a,7b…第1,第2のグラウンド端子
8…信号配線
9…接続配線
10…端子
21…弾性波フィルタ
25b…第2の絶縁膜
26b…第2のシールド電極
30…デュプレクサ
31a,31b…第1,第2の帯域通過型フィルタ
33…アンテナ端子
40…弾性波フィルタモジュール
42…実装基板
43…実装端子
46…バンプ
51…弾性波フィルタ
S1〜S3…直列腕共振子
P1,P2…並列腕共振子
Claims (18)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられているIDT電極と、
前記圧電基板上に設けられている第1のシールド電極と、
前記第1のシールド電極上に至るように前記圧電基板上に積層されている第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に設けられている第1の信号端子と、
前記圧電基板上に設けられている第2の信号端子と、
前記圧電基板上に設けられており、グラウンド電位に接続されるグラウンド端子と、
を備え、
前記第1のシールド電極が、前記IDT電極及び前記第1,第2の信号端子と電気的に接続されておらず、
平面視において、前記第1の信号端子が前記第1のシールド電極に含まれており、
前記第1の信号端子及び前記第2の信号端子のうち一方が出力端子であり、前記第1の信号端子及び前記第2の信号端子のうち他方が入力端子である、弾性波フィルタ。 - 前記グラウンド端子が第1のグラウンド端子を有し、該第1のグラウンド端子に前記第1のシールド電極が接続されている、請求項1に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第1のグラウンド端子以外のグラウンド端子を少なくとも1つ有し、前記第1のグラウンド端子が他の前記グラウンド端子及び前記IDT電極に接続されていない、請求項2に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第1の信号端子の面積よりも前記第1のシールド電極の面積の方が大きい、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第1の絶縁膜の誘電率が、前記圧電基板の誘電率よりも低い、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記圧電基板上に設けられている第2のシールド電極と、
前記第2のシールド電極上に至るように前記圧電基板上に積層されている第2の絶縁膜と、
をさらに備え、
前記第2の絶縁膜上に前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子のうち少なくとも1つの端子が設けられており、平面視において、該端子が前記第2のシールド電極に含まれている、前記請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。 - 前記第2の絶縁膜上に前記第2の信号端子が設けられている、請求項6に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第2のシールド電極を複数有し、前記第2の絶縁膜を複数有し、前記各第2の絶縁膜上に前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子がそれぞれ設けられている、請求項7に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第2の絶縁膜を除いた部分に、前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子のうち少なくとも1つの端子が設けられている、請求項6に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第1,第2の信号端子及び前記グラウンド端子の前記圧電基板側とは反対側の各面の、高さ位置がいずれも実質的に同じ位置である、請求項8に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子のうち前記第2の絶縁膜上に設けられた端子の面積よりも、平面視において該端子と重なり合っている前記第2のシールド電極の面積の方が大きい、請求項6〜10のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第2の絶縁膜の誘電率が、前記圧電基板の誘電率よりも低い、請求項6〜11のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
- 前記第1の信号端子が出力端子であり、前記第2の信号端子が入力端子である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の弾性波フィルタである第1の帯域通過型フィルタと、
前記第1の帯域通過型フィルタとは通過帯域が異なる第2の帯域通過型フィルタと、
を備える、デュプレクサ。 - 前記第1の帯域通過型フィルタが受信フィルタであり、前記第2の帯域通過型フィルタが送信フィルタである、請求項14に記載のデュプレクサ。
- 実装基板と、
前記実装基板上に実装されている請求項1〜13のいずれか1項に記載の弾性波フィルタと、
を備える、弾性波フィルタモジュール。 - 前記弾性波フィルタの前記第1の信号端子がバンプを介して前記実装基板に接合されており、
前記バンプと前記第1の信号端子とが接合している面積よりも、前記第1のシールド電極の面積の方が大きい、請求項16に記載の弾性波フィルタモジュール。 - 実装基板と、
前記実装基板上に実装されている、請求項6〜12のいずれか1項に記載の弾性波フィルタと、
を備え、
前記弾性波フィルタの前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子がバンプを介して前記実装基板に接合されており、
平面視において、前記第2の信号端子及び前記グラウンド端子のうち前記第2のシールド電極に重なっている端子と前記バンプとが接合している面積よりも、該端子に重なっている前記第2のシールド電極の面積の方が大きい、弾性波フィルタモジュール。
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