JP7421541B2 - フィルタおよびマルチフィルタ - Google Patents
フィルタおよびマルチフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7421541B2 JP7421541B2 JP2021502021A JP2021502021A JP7421541B2 JP 7421541 B2 JP7421541 B2 JP 7421541B2 JP 2021502021 A JP2021502021 A JP 2021502021A JP 2021502021 A JP2021502021 A JP 2021502021A JP 7421541 B2 JP7421541 B2 JP 7421541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- piezoelectric substrate
- idt electrode
- substrate
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 162
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- -1 cut angle Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/566—Electric coupling means therefor
- H03H9/568—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図1にフィルタ1の模式図を示す。フィルタ1は、端子11と端子12との間にラダー型フィルタ部3と多重モード型フィルタ部5とを含んでいる。この例では、ラダー型フィルタ部3と多重モード型フィルタ部5とが直列に接続されており、1つの通過帯域を形成している。
図3は、本開示のマルチフィルタ100の一例を示す回路図であり、図4は、図3に示すマルチフィルタ1の概略的上面図である。
上述の例では、第1圧電基板35,第2圧電基板55は共に、単体の基板を用いた場合について説明したが、第1圧電基板35,第2圧電基板55の厚みを薄くして、別途支持基板を貼り合せた構成としてもよい。図5に、フィルタ1Aの要部拡大断面図を示す。
第1圧電基板35と第2圧電基板55とは、材料が違っていてもよい。例えば、一方をLT基板とし他方をニオブ酸リチウム(LN)基板としてもよい。
Claims (7)
- 第1圧電基板上に形成されたラダー型フィルタ部と、これに接続され、前記第1圧電基板とは異なる第2圧電基板上に形成された多重モード型フィルタ部と、を備え、前記ラダー型フィルタ部と前記多重モード型フィルタ部とで1つの通過帯域を構成し、
前記第1圧電基板は、46°~50°YカットX伝搬のタンタル酸リチウム基板であり、
前記第2圧電基板は、41°~43°YカットX伝搬のタンタル酸リチウム基板であり、
前記第1圧電基板上及び前記第2圧電基板上のそれぞれに設けられるIDT電極の厚みを前記IDT電極が有する複数の電極指のピッチの2倍で割った値を規格化厚みと称するとき、
前記第1圧電基板は、前記規格化厚みが0.05~0.09の範囲にあり、支持基板の有無および構造、前記IDT電極の構造、および保護膜の有無および構造が同一である場合において、前記IDT電極の共振周波数における前記IDT電極によるロスが、前記規格化厚みが大きくなるにつれ小さくなり、前記IDT電極の***振周波数における前記IDT電極によるロスが、前記規格化厚みが大きくなるにつれ、小さくなり、その後、大きくなる特性を有しており、
前記第2圧電基板は、前記規格化厚みが0.05~0.09の範囲にあり、支持基板の有無および構造、前記IDT電極の構造、および保護膜の有無および構造が同一である場合において、前記IDT電極の共振周波数における前記IDT電極によるロスが、前記規格化厚みが大きくなるにつれ、小さくなり、その後、大きくなり、前記IDT電極の***振周波数における前記IDT電極によるロスが、前記規格化厚みが大きくなるにつれ大きくなる特性を有しており、
前記ラダー型フィルタ部を構成している第1のIDT電極の前記規格化厚み及び前記多重モード型フィルタ部を構成している第2のIDT電極の前記規格化厚みが、0.05~0.09の範囲にあり、
前記第1のIDT電極の厚みが前記第2のIDT電極の厚みよりも厚い、フィルタ。 - 前記第1圧電基板の厚みは前記第2圧電基板の厚みと異なる、請求項1に記載のフィルタ。
- 前記第1圧電基板の厚みは、前記第1のIDT電極が有する複数の電極指のピッチの2倍以下である、請求項2に記載のフィルタ。
- 前記ラダー型フィルタ部は、
その一端がアンテナ端子に接続されており、
前記第1圧電基板は前記第1のIDT電極が有する複数の電極指のピッチの2倍以下の厚みであり、
前記第1圧電基板に直接または間接的に接続された支持基板をさらに含む、請求項1乃至3のいずれかに記載のフィルタ。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載のフィルタが用いられる第1フィルタと,第2フィルタと、第3フィルタとを備え、
前記第1フィルタの通過帯域の中心周波数は前記第2フィルタおよび前記第3フィルタの通過帯域の中心周波数の間の値をとり、
前記第1圧電基板または前記第2圧電基板が前記第2フィルタまたは前記第3フィルタで共用される、マルチフィルタ。 - 前記第2フィルタはラダー型フィルタであり、前記第1圧電基板を共有している、請求項5に記載のマルチフィルタ。
- 前記第3フィルタは多重モード型フィルタを含み、前記第2圧電基板を共用している、請求項5または6に記載のフィルタ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019032368 | 2019-02-26 | ||
JP2019032368 | 2019-02-26 | ||
PCT/JP2020/006261 WO2020175240A1 (ja) | 2019-02-26 | 2020-02-18 | フィルタおよびマルチフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020175240A1 JPWO2020175240A1 (ja) | 2020-09-03 |
JP7421541B2 true JP7421541B2 (ja) | 2024-01-24 |
Family
ID=72239571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021502021A Active JP7421541B2 (ja) | 2019-02-26 | 2020-02-18 | フィルタおよびマルチフィルタ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220140816A1 (ja) |
JP (1) | JP7421541B2 (ja) |
CN (1) | CN113474996A (ja) |
WO (1) | WO2020175240A1 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009509429A (ja) | 2005-09-22 | 2009-03-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 音響波により動作する少なくとも1つのフィルタを備える構成素子 |
WO2016208447A1 (ja) | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2017073652A1 (ja) | 2015-10-30 | 2017-05-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2017092945A (ja) | 2015-10-01 | 2017-05-25 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | 分波器 |
WO2018151147A1 (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
JP2018074539A5 (ja) | 2016-11-04 | 2018-09-20 | ||
JP2019004308A (ja) | 2017-06-14 | 2019-01-10 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7276994B2 (en) * | 2002-05-23 | 2007-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric thin-film resonator, piezoelectric filter, and electronic component including the piezoelectric filter |
JP4407696B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2010-02-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
WO2010146826A1 (ja) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | パナソニック株式会社 | ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたデュプレクサ |
JP6589824B2 (ja) * | 2016-11-04 | 2019-10-16 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ |
-
2020
- 2020-02-18 CN CN202080017010.XA patent/CN113474996A/zh active Pending
- 2020-02-18 US US17/434,094 patent/US20220140816A1/en active Pending
- 2020-02-18 WO PCT/JP2020/006261 patent/WO2020175240A1/ja active Application Filing
- 2020-02-18 JP JP2021502021A patent/JP7421541B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009509429A (ja) | 2005-09-22 | 2009-03-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 音響波により動作する少なくとも1つのフィルタを備える構成素子 |
WO2016208447A1 (ja) | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP2017092945A (ja) | 2015-10-01 | 2017-05-25 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | 分波器 |
WO2017073652A1 (ja) | 2015-10-30 | 2017-05-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018074539A5 (ja) | 2016-11-04 | 2018-09-20 | ||
WO2018151147A1 (ja) | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
JP2019004308A (ja) | 2017-06-14 | 2019-01-10 | 株式会社日本製鋼所 | 接合基板、弾性表面波素子、弾性表面波素子デバイスおよび接合基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020175240A1 (ja) | 2020-09-03 |
CN113474996A (zh) | 2021-10-01 |
JPWO2020175240A1 (ja) | 2020-09-03 |
US20220140816A1 (en) | 2022-05-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7169083B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびマルチプレクサ | |
CN109600125B (zh) | 滤波器 | |
JP5182459B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたアンテナ共用器 | |
WO2016190216A1 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
JP7004009B2 (ja) | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、及び通信装置 | |
JP2014068123A (ja) | ラダー型フィルタ及び分波器 | |
JP6760480B2 (ja) | エクストラクタ | |
WO2019111902A1 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置 | |
US20220224307A1 (en) | Acoustic wave device and multiplexer | |
WO2021079830A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2004248251A (ja) | 弾性表面波装置、通信装置 | |
WO2021085609A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
WO2019065671A1 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
US8289107B2 (en) | Acoustic wave device having narrower-pitch electrodes, normally-shaped electrodes and apodized electrodes | |
JPWO2008068951A1 (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
JPWO2020044979A1 (ja) | フィルタ装置およびマルチプレクサ | |
JP7421541B2 (ja) | フィルタおよびマルチフィルタ | |
JP2010252254A (ja) | 弾性波フィルタ及び分波器 | |
JP4734751B2 (ja) | 平衡型弾性表面波フィルタ | |
JP5109731B2 (ja) | 弾性境界波デバイス | |
JP2006129057A (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2023074373A1 (ja) | 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサ | |
US11863161B2 (en) | Acoustic wave filter | |
WO2022071185A1 (ja) | マルチプレクサ | |
US20240137000A1 (en) | Filter device and multiplexer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AA64 | Notification of invalidation of claim of internal priority (with term) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A241764 Effective date: 20211116 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7421541 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |