JP6908386B2 - ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に開示された技術においては、固定砥粒を有するワイヤの平均直径をDとし、そのワイヤがボビン上に巻き取りピッチPで巻き取られるが、この場合、D<P<2Dの関係を満たすようにしている。従って、ワイヤの巻き取りピッチPがワイヤの平均直径Dより大きいため、ワイヤがその隣接部分に強く擦れることを防止できて、砥粒脱落などを防止できるとしている。
以下、本発明を具体化した第1実施形態を図1〜図6の図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本実施形態のワイヤソーにおいては、ワーク加工用のワイヤ10が巻き取られる第1ボビン11及び第2ボビン12がワイヤソーの図示しないフレームに回転可能に支持される。第1ボビン11及び第2ボビン12は、それぞれボビン回転用モータ13,14によって正逆方向に回転される。このボビン回転用モータ13,14は、図2に示す制御装置41の制御のもとに作動される。そして、これらのボビン11,12が所定の時間間隔で同時に、かつ同方向に往復回転されて、両ボビン11,12間においてワイヤ10が往復走行される。
図1に示すように、前記両ボビン11,12間の位置においてワイヤソーのフレーム(図示しない)には、複数(実施形態では一対)の加工用ローラ15が相互間隔をおいて回転可能に支持されている。両加工用ローラ15の外周面には複数の環状溝(図示しない)が所定のピッチで形成され、その加工用ローラ15の環状溝間に前記ワイヤ10が架設されて両加工用ローラ15間において周回されている。そして、前記制御装置41の制御のもとに作動される加工用ローラ回転モータ16により、両加工用ローラ15が図1に示す前記第1,第2ボビン11,12の往復回転と同期して所定の時間間隔で往復回転される。このため、両ボビン11,12に対するワイヤ10の巻き取りと、両ボビン11,12からのワイヤ10の繰り出しとが所定間隔で交互に行なわれ、ワイヤ10が加工用ローラ15間における周回状態で往復移動される。前記制御装置41は、加工用ローラ回転モータ16の回転量をカウントし、その積算回転量に基づいてワイヤ10の走行量を認識する。
ワーク200の切断加工時には、ワイヤ10の往復走行にともない、トラバースモータ22,23の駆動により、トラバーサ18,19がボビン11,12の軸線に沿ってトラバース動作される。このため、ボビン11,12に対するワイヤ10の巻き取りが設定ピッチとなるように制御されるとともに、ボビン12,11からのワイヤ10の繰り出しが円滑になるように、同ワイヤ10が案内される。この場合、ダンサ機構24によってワイヤ10に対して適度の張力が付与される。
本実施形態においては、ワーク加工前において未使用ワイヤ10は第1ボビン11に巻き取られ、ワーク加工後における使用済みワイヤ10は第2ボビン12に巻き取られる。そして、図6に示すフローチャートは、第2ボビン12,第2ボビン12側のトラバーサ19及び第2ボビン12側のダンサ機構25の動作プログラムを示すものである。
(1)ワイヤ10の使用済み部分が第2ボビン12に対してワイヤ10の直径と等しい狭いピッチで高密度に巻き取られる。このため、ワイヤ10の使用予定部分がボビンに対する巻き取りによって使用済み部分の間に入り込んだり、繰り出しにともなって使用済み部分のワイヤ間から抜け出したりすることを回避できる。従って、ワイヤ10どうしの接触による使用予定部分の砥粒脱落やワイヤ損傷を回避できるとともに、ワイヤ10の繰り出しにともなう大きな張力変動を防止できて、ワーク200を高効率で能率よく切断加工できる。
次に、本発明の第2実施形態を図7に基づいて説明する。
この第2実施形態においては、ワイヤ10の往行のストローク長αと復行のストローク長βとが等しい。そして、ワイヤ10の往復が所定回数に達したら、ストローク長分だけ、使用済み部分として第2ボビン12に巻き取られる。
(他の実施形態)
本発明は前記第1,第2実施形態に限定されるものではなく、以下の態様で具体化することも可能である。
Claims (5)
- 一対のボビン上に巻き取られたワーク切断加工用のワイヤが架設されて周回される複数の加工用ローラと、前記ボビンの軸線方向に沿って往復動されて、そのボビンに対するワイヤの巻き取り及び繰り出しを案内するトラバーサとを備え、前記加工用ローラ及びボビンの往復回転にともなってワイヤの往復走行が繰り返されて、加工用ローラ間の位置においてワイヤによりワークに切断加工が施されるようにしたワイヤソーにおいて、
ワイヤの使用済み部分が他の部分より狭いピッチで一方のボビンに巻き取られるように、前記トラバーサの動作を制御する制御手段を備え、
前記トラバーサと前記加工用ローラとに間において前記ワイヤに対して張力を付与するためのダンサ機構を備え、前記制御手段は、前記ワイヤの使用済み部分が他の部分より高い張力で前記一方のボビンに巻き取られるように前記ダンサ機構の動作を制御するものであるワイヤソー。 - 前記制御手段は、前記一方のボビンに対して前記ワイヤがその直径と等しいピッチで巻き取られるように前記トラバーサの動作を制御するものである請求項1に記載のワイヤソー。
- 前記制御手段は、前記ワイヤの1往復当たりの往行ストローク長が復行ストローク長より長くなるようにワイヤ送りを制御するものである請求項1または2に記載のワイヤソー。
- 前記制御手段は、ワイヤの使用済み部分の巻き取り開始時に、前記ダンサ機構の動作による高張力付与作用が前記トラバーサと前記一方のボビンとの間の部分のワイヤに伝播されるように前記トラバーサの作用を一時的に低下させるものである請求項1〜3のいずれか1項に記載のワイヤソー。
- 第1ボビン上の砥粒固定構造のワイヤを繰り出して複数の加工用ローラ間に架設状態で周回させて、第2ボビンに巻き取り、その状態で、前記加工用ローラ及び前記両ボビンを往復回転させることにより、前記ワイヤを複数回往復走行させてワークを切断加工するとともに、切断加工終了後のワイヤの使用済み部分を前記第2ボビンに巻き取るワイヤによるワークの切断加工方法において、
制御手段が、前記ワイヤに対して張力を付与するダンサ機構の動作と、前記両ボビンに対するワイヤの巻き取り及び繰り出しを案内するトラバーサの動作を制御することで、前記使用済み部分を他の部分より高い張力で、かつ狭いピッチで前記第2ボビンに巻き取るワイヤによるワークの切断加工方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017013394A JP6908386B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法 |
CN201810068434.3A CN108356993A (zh) | 2017-01-27 | 2018-01-24 | 线状锯及工件的切断加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017013394A JP6908386B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018118361A JP2018118361A (ja) | 2018-08-02 |
JP6908386B2 true JP6908386B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=63006747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017013394A Active JP6908386B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断加工方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6908386B2 (ja) |
CN (1) | CN108356993A (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3074049B2 (ja) * | 1991-09-20 | 2000-08-07 | 株式会社日平トヤマ | ワイヤ式切断機のワイヤ案内方法およびその装置 |
JP3179304B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2001-06-25 | 株式会社日平トヤマ | ワイヤソー装置 |
JP4411062B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2010-02-10 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ワイヤソー巻き付け構造、超砥粒ワイヤソー切断装置および超砥粒ワイヤソーの巻き付け方法 |
JP5527987B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2014-06-25 | 京セラ株式会社 | ワイヤーソー装置と基板の製造方法 |
JP5675462B2 (ja) * | 2011-03-30 | 2015-02-25 | コマツNtc株式会社 | ワイヤソー及びワイヤソーにおけるローラ位置合わせ方法 |
EP2928632B1 (en) * | 2012-12-04 | 2021-06-30 | Precision Surfacing Solutions GmbH | Wire management system |
JP2018058147A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
-
2017
- 2017-01-27 JP JP2017013394A patent/JP6908386B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-24 CN CN201810068434.3A patent/CN108356993A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108356993A (zh) | 2018-08-03 |
JP2018118361A (ja) | 2018-08-02 |
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