JPH0929609A - ワイヤソーのワイヤトラバース装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤトラバース装置Info
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- JPH0929609A JPH0929609A JP17491695A JP17491695A JPH0929609A JP H0929609 A JPH0929609 A JP H0929609A JP 17491695 A JP17491695 A JP 17491695A JP 17491695 A JP17491695 A JP 17491695A JP H0929609 A JPH0929609 A JP H0929609A
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- reel
- traverse device
- wire reel
- saw
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H54/00—Winding, coiling, or depositing filamentary material
- B65H54/02—Winding and traversing material on to reels, bobbins, tubes, or like package cores or formers
- B65H54/28—Traversing devices; Package-shaping arrangements
- B65H54/2848—Arrangements for aligned winding
- B65H54/2854—Detection or control of aligned winding or reversal
- B65H54/2857—Reversal control
- B65H54/286—Reversal control by detection that the material has reached the flange or the reel end
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/35—Ropes, lines
- B65H2701/354—Cutting lines, e.g. for grass cutting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業者の手間を省き、また、人為的ミスによ
るトラブルやワイヤリールの変形でワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤの断線を防止する。 【構成】 近接センサ74、76が検出した両端部の位
置にワイヤ14が到達したとき、読取り部78で両端部
の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部80
に格納した。そして、この座標位置にワイヤ14が到達
したとき、制御部80でワイヤ14を案内方向と逆方向
に移動する。これにより、ワイヤリール26の巻取り範
囲Lの両端部を自動的に設定する。さらに、スケール部
78で読み取った値に基づいてワイヤリール26の巻取
り範囲Lの両端部を設定するので、ワイヤリール26が
摩耗やテンション等で変形等した場合でも、座標位置が
変位しない。従って、ワイヤリール26の巻取り範囲L
の両端部が変動しないので、ワイヤ14のトラバース不
良の発生を防止する。
るトラブルやワイヤリールの変形でワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤの断線を防止する。 【構成】 近接センサ74、76が検出した両端部の位
置にワイヤ14が到達したとき、読取り部78で両端部
の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部80
に格納した。そして、この座標位置にワイヤ14が到達
したとき、制御部80でワイヤ14を案内方向と逆方向
に移動する。これにより、ワイヤリール26の巻取り範
囲Lの両端部を自動的に設定する。さらに、スケール部
78で読み取った値に基づいてワイヤリール26の巻取
り範囲Lの両端部を設定するので、ワイヤリール26が
摩耗やテンション等で変形等した場合でも、座標位置が
変位しない。従って、ワイヤリール26の巻取り範囲L
の両端部が変動しないので、ワイヤ14のトラバース不
良の発生を防止する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
【0003】この場合、一方のワイヤリールの下流側と
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
【0004】また、他方のワイヤトラバース装置の上流
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
【0005】この場合、ワイヤがワイヤリールの巻取り
範囲の一端又は他端に到達したとき、ワイヤは案内方向
に対して逆方向に移動され、これにより、ワイヤがワイ
ヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。このように、
ワイヤリールの巻取り範囲内でワイヤを往復移動するた
めに、ワイヤリールをワイヤソーにセットしたとき、こ
のワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定する必要が
ある。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設
定する場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の
両端部に位置するまで作業者が手動でワイヤトラバース
装置を移動し、ワイヤが両端部に到達したときのワイヤ
トラバース装置の座標位置を読み取り、読み取ったそれ
ぞれの座標位置を操作パネルで入力する。そして、操作
パネルで入力された座標位置に基づいてワイヤトラバー
ス装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。
範囲の一端又は他端に到達したとき、ワイヤは案内方向
に対して逆方向に移動され、これにより、ワイヤがワイ
ヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。このように、
ワイヤリールの巻取り範囲内でワイヤを往復移動するた
めに、ワイヤリールをワイヤソーにセットしたとき、こ
のワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定する必要が
ある。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設
定する場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の
両端部に位置するまで作業者が手動でワイヤトラバース
装置を移動し、ワイヤが両端部に到達したときのワイヤ
トラバース装置の座標位置を読み取り、読み取ったそれ
ぞれの座標位置を操作パネルで入力する。そして、操作
パネルで入力された座標位置に基づいてワイヤトラバー
ス装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動する。
【0006】また、読み取ったワイヤトラバース装置の
座標位置を入力しないで、ワイヤトラバース装置の移動
範囲をリミットスイッチで設定することも可能である。
この場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の両
端部まで作業者が手動でワイヤトラバース装置を移動
し、それぞれの位置でリミットスイッチが作動するよう
にリミットスイッチの位置を調整する。そして、リミッ
トスイッチのオン、オフ動作に基づいて、ワイヤトラバ
ース装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動す
る。
座標位置を入力しないで、ワイヤトラバース装置の移動
範囲をリミットスイッチで設定することも可能である。
この場合、セットされたワイヤリールの巻取り範囲の両
端部まで作業者が手動でワイヤトラバース装置を移動
し、それぞれの位置でリミットスイッチが作動するよう
にリミットスイッチの位置を調整する。そして、リミッ
トスイッチのオン、オフ動作に基づいて、ワイヤトラバ
ース装置をワイヤリールの巻取り範囲内で往復移動す
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では作業者がワイヤリールの巻取り範囲の両端部ま
で手動でワイヤトラバース装置を移動して、ワイヤリー
ルの巻取り範囲の両端部を設定するので作業者の手間が
かかるという問題がある。また、作業者が手動でワイヤ
トラバース装置の移動範囲を設定する際に人為的ミスに
よるトラブルが発生し、ワイヤのトラバース不良が生じ
ワイヤが断線するという問題がある。
方法では作業者がワイヤリールの巻取り範囲の両端部ま
で手動でワイヤトラバース装置を移動して、ワイヤリー
ルの巻取り範囲の両端部を設定するので作業者の手間が
かかるという問題がある。また、作業者が手動でワイヤ
トラバース装置の移動範囲を設定する際に人為的ミスに
よるトラブルが発生し、ワイヤのトラバース不良が生じ
ワイヤが断線するという問題がある。
【0008】一方、ワイヤトラバース装置の移動範囲を
リミットスイッチで設定する場合、ワイヤリールが摩耗
やテンション等で変形等した場合にリミットスイッチの
作動位置が変動するのでワイヤリールの巻取り範囲の両
端部の位置が変動し、ワイヤのトラバース不良が生じて
ワイヤが断線するという問題がある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、作業者の手間をかけず
にワイヤトラバース装置の移動範囲を設定することがで
き、かつ、トラバース不良によるワイヤの断線を防止す
ることができるワイヤソーのワイヤトラバース装置を提
供することを目的とする。
リミットスイッチで設定する場合、ワイヤリールが摩耗
やテンション等で変形等した場合にリミットスイッチの
作動位置が変動するのでワイヤリールの巻取り範囲の両
端部の位置が変動し、ワイヤのトラバース不良が生じて
ワイヤが断線するという問題がある。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたもので、作業者の手間をかけず
にワイヤトラバース装置の移動範囲を設定することがで
き、かつ、トラバース不良によるワイヤの断線を防止す
ることができるワイヤソーのワイヤトラバース装置を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検
出する検出部と、該検出部が検出した両端部の座標位置
を読み取る読取り部と、該読取り部で読み取られた両端
部の座標位置を格納し、該格納された両端部の座標位置
に前記ワイヤが到達したとき前記ワイヤを案内方向と逆
方向に移動する制御部と、を備えたことを特徴としてい
る。
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検
出する検出部と、該検出部が検出した両端部の座標位置
を読み取る読取り部と、該読取り部で読み取られた両端
部の座標位置を格納し、該格納された両端部の座標位置
に前記ワイヤが到達したとき前記ワイヤを案内方向と逆
方向に移動する制御部と、を備えたことを特徴としてい
る。
【0010】本発明によれば、検出部が検出した両端部
の位置にワイヤが到達したとき、読取り部でワイヤの座
標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部に格納し
た。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部の座標
位置にワイヤが到達したとき、制御部でワイヤを案内方
向と逆方向に移動する。これにより、ワイヤリールの巻
取り範囲の両端部を自動的に設定することができる。
の位置にワイヤが到達したとき、読取り部でワイヤの座
標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部に格納し
た。そして、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部の座標
位置にワイヤが到達したとき、制御部でワイヤを案内方
向と逆方向に移動する。これにより、ワイヤリールの巻
取り範囲の両端部を自動的に設定することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図1には、ワイヤソー10の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール12に巻回された
ワイヤ14は、後述するワイヤトラバース装置16、複
数の固定ガイドローラ18、18、ダンサローラ20を
経由して3本の溝付ローラ22、22、22に順次巻き
掛けられてワイヤ列24を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ18、18、ダンサローラ20、ワイヤトラバ
ース装置16を経て他方のワイヤリール26に巻き取ら
れる。
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図1には、ワイヤソー10の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール12に巻回された
ワイヤ14は、後述するワイヤトラバース装置16、複
数の固定ガイドローラ18、18、ダンサローラ20を
経由して3本の溝付ローラ22、22、22に順次巻き
掛けられてワイヤ列24を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ18、18、ダンサローラ20、ワイヤトラバ
ース装置16を経て他方のワイヤリール26に巻き取ら
れる。
【0012】前記ダンサローラ20には所定重量の錘4
4が吊設され、走行するワイヤ14に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
46、46が設けられ、このワイヤ洗浄装置46、46
によって前記ワイヤ14に付着した加工液40を除去す
る。
4が吊設され、走行するワイヤ14に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
46、46が設けられ、このワイヤ洗浄装置46、46
によって前記ワイヤ14に付着した加工液40を除去す
る。
【0013】前記ワイヤリール12、26には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ28、30が連結され、前
記3本の溝付ローラ22、22、22うちの1本にも正
逆回転可能な駆動モータ32が連結される。前記ワイヤ
14は前記駆動モータ28、30、32を駆動すること
により、一方のワイヤリール12と他方のワイヤリール
26の間を往復走行する。
れ正逆回転可能な駆動モータ28、30が連結され、前
記3本の溝付ローラ22、22、22うちの1本にも正
逆回転可能な駆動モータ32が連結される。前記ワイヤ
14は前記駆動モータ28、30、32を駆動すること
により、一方のワイヤリール12と他方のワイヤリール
26の間を往復走行する。
【0014】前記ワイヤ列24には、加工液貯留タンク
38に貯留された加工液40が砥液供給ノズル42から
供給される。このワイヤ列24の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット54がワークブロック56とスラ
イスベース58を介してワーク送りテーブル48に支持
されている。前記ワーク送りテーブル48はモータ50
で回動するネジ桿52により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット54を高速走行するワイヤ列24に押し当て
る。前記ワイヤ列24に押しつけられた半導体インゴッ
ト54は加工液40によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
38に貯留された加工液40が砥液供給ノズル42から
供給される。このワイヤ列24の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット54がワークブロック56とスラ
イスベース58を介してワーク送りテーブル48に支持
されている。前記ワーク送りテーブル48はモータ50
で回動するネジ桿52により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット54を高速走行するワイヤ列24に押し当て
る。前記ワイヤ列24に押しつけられた半導体インゴッ
ト54は加工液40によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
【0015】以下、前述したワイヤトラバース装置16
について説明する。ワイヤトラバース装置16は、一方
のワイヤリール12及び他方のワイヤリール26の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置16は同様に構成されているので、ワイヤリール
26の近傍に設けられたワイヤトラバース装置16につ
いて説明して、ワイヤリール12の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置16については説明を省略する。
について説明する。ワイヤトラバース装置16は、一方
のワイヤリール12及び他方のワイヤリール26の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置16は同様に構成されているので、ワイヤリール
26の近傍に設けられたワイヤトラバース装置16につ
いて説明して、ワイヤリール12の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置16については説明を省略する。
【0016】図2に示すように、ワイヤトラバース装置
16のリニアモータ60はワイヤリール26の左側に平
行に配設されている。リニアモータ60のステータ62
は、両側部にガイドレール64、64が設けられ、ガイ
ドレール64、64にはスライダ66が矢印Y1 −Y2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ6
6の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ66がガ
イドレール64、64に沿って矢印Y1 −Y2 方向に移
動する。
16のリニアモータ60はワイヤリール26の左側に平
行に配設されている。リニアモータ60のステータ62
は、両側部にガイドレール64、64が設けられ、ガイ
ドレール64、64にはスライダ66が矢印Y1 −Y2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ6
6の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ66がガ
イドレール64、64に沿って矢印Y1 −Y2 方向に移
動する。
【0017】スライダ66には上部タッチローラ68及
び下部タッチローラ70が回動自在に支持され、上部タ
ッチローラ68と下部タッチローラ70との間にはワイ
ヤリール26から繰り出されたワイヤ14が配される。
そして、上部タッチローラ68と下部タッチローラ70
を経たワイヤ14はガイドローラ72を介して、図1上
で説明した固定ガイドローラ18に案内される。
び下部タッチローラ70が回動自在に支持され、上部タ
ッチローラ68と下部タッチローラ70との間にはワイ
ヤリール26から繰り出されたワイヤ14が配される。
そして、上部タッチローラ68と下部タッチローラ70
を経たワイヤ14はガイドローラ72を介して、図1上
で説明した固定ガイドローラ18に案内される。
【0018】このワイヤトラバース装置16は、上部近
接センサ(検出部)74、下部近接センサ(検出部)7
6、読取り部78及び制御部80を備えている。上部近
接センサ74はL字型のブラケット82の先端部に取り
付けられている。上部近接センサ74は、ワイヤ14が
ワイヤリール26の巻取り範囲Lの上端部に到達したと
き、ワイヤリール26の上部フランジ84に形成された
溝84Aのエッジ部84Bを検出するように位置決めさ
れている(図3参照)。
接センサ(検出部)74、下部近接センサ(検出部)7
6、読取り部78及び制御部80を備えている。上部近
接センサ74はL字型のブラケット82の先端部に取り
付けられている。上部近接センサ74は、ワイヤ14が
ワイヤリール26の巻取り範囲Lの上端部に到達したと
き、ワイヤリール26の上部フランジ84に形成された
溝84Aのエッジ部84Bを検出するように位置決めさ
れている(図3参照)。
【0019】また、下部近接センサ76はL字型のブラ
ケット86の先端部に取り付けられている。下部近接セ
ンサ76は、上部近接センサ74と同様に、ワイヤ14
がワイヤリール26の巻取り範囲Lの下端部に到達した
とき、ワイヤリール26の下部フランジ88に形成され
た溝88Aのエッジ部88Bを検出するように位置決め
されている(図3参照)。
ケット86の先端部に取り付けられている。下部近接セ
ンサ76は、上部近接センサ74と同様に、ワイヤ14
がワイヤリール26の巻取り範囲Lの下端部に到達した
とき、ワイヤリール26の下部フランジ88に形成され
た溝88Aのエッジ部88Bを検出するように位置決め
されている(図3参照)。
【0020】読取り部78は、Y1 −Y2 方向に移動す
るスライダ66の座標位置を読み取る。制御部80は、
上部近接センサ74及び下部近接センサ76がそれぞれ
エッジ部84B及びエッジ部88Bを検出したときのそ
れぞれの検出信号を入力する。また、制御部80は、上
部近接センサ74がエッジ部84Bを検出したときに、
読取り部78で読み取られたスライダ66の座標位置
(以下、上限位置と称す)を格納し、また、下部近接セ
ンサ76がエッジ部88Bを検出したときに、読取り部
78で読み取られたスライダ66の座標位置(以下、下
限位置と称す)を格納する。
るスライダ66の座標位置を読み取る。制御部80は、
上部近接センサ74及び下部近接センサ76がそれぞれ
エッジ部84B及びエッジ部88Bを検出したときのそ
れぞれの検出信号を入力する。また、制御部80は、上
部近接センサ74がエッジ部84Bを検出したときに、
読取り部78で読み取られたスライダ66の座標位置
(以下、上限位置と称す)を格納し、また、下部近接セ
ンサ76がエッジ部88Bを検出したときに、読取り部
78で読み取られたスライダ66の座標位置(以下、下
限位置と称す)を格納する。
【0021】そして、制御部80は、読取り部78で読
み取られたスライダ66の座標位置が上限位置又は下限
位置になったとき、スライダ66を進行方向と逆方向に
移動するように制御する。前記の如く構成された前記実
施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装置の作用を
説明する。先ず、スライダ66を矢印Y1 方向に移動し
て、上部近接センサ74が上部フランジ84のエッジ部
84Bを検出したときスライダ66を停止する。この状
態で、読取り部78で読み取られたスライダ66の上限
位置を制御部80に格納する。この場合、ワイヤ14は
ワイヤリール26の巻取り範囲Lの上端部に位置する
(図3参照)。
み取られたスライダ66の座標位置が上限位置又は下限
位置になったとき、スライダ66を進行方向と逆方向に
移動するように制御する。前記の如く構成された前記実
施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装置の作用を
説明する。先ず、スライダ66を矢印Y1 方向に移動し
て、上部近接センサ74が上部フランジ84のエッジ部
84Bを検出したときスライダ66を停止する。この状
態で、読取り部78で読み取られたスライダ66の上限
位置を制御部80に格納する。この場合、ワイヤ14は
ワイヤリール26の巻取り範囲Lの上端部に位置する
(図3参照)。
【0022】次に、スライダ66を矢印Y2 方向に移動
して、下部近接センサ76で下部フランジ88のエッジ
部88Bを検出したときスライダ66を停止する。この
状態で、読取り部78で読み取られたスライダ66の下
限位置を制御部80に格納する。この場合、ワイヤ14
はワイヤリール26の巻取り範囲Lの下端部に位置す
る。これにより、スライダ66の上限位置及び下限位置
の設定が完了する。
して、下部近接センサ76で下部フランジ88のエッジ
部88Bを検出したときスライダ66を停止する。この
状態で、読取り部78で読み取られたスライダ66の下
限位置を制御部80に格納する。この場合、ワイヤ14
はワイヤリール26の巻取り範囲Lの下端部に位置す
る。これにより、スライダ66の上限位置及び下限位置
の設定が完了する。
【0023】スライダ66の上限位置及び下限位置の設
定完了後、ワイヤソー10を駆動すると、ワイヤリール
26からワイヤ14を繰り出し又は巻き取られ、スライ
ダ66がY1 −Y2 方向に移動する。そして、スライダ
66の位置は読取り部78で読み取られて制御部80に
入力され、制御部80は読取り部78で読み取られたス
ライダ66の座標位置が上限位置又は下限位置に位置し
たときスライダ66が進行方向に対して逆方向に移動す
る。これにより、スライダ66が上限位置と下限位置と
の間で往復移動するので、ワイヤ14がワイヤリール2
6の巻取り範囲Lの上端部と下端部との間で往復移動す
る。
定完了後、ワイヤソー10を駆動すると、ワイヤリール
26からワイヤ14を繰り出し又は巻き取られ、スライ
ダ66がY1 −Y2 方向に移動する。そして、スライダ
66の位置は読取り部78で読み取られて制御部80に
入力され、制御部80は読取り部78で読み取られたス
ライダ66の座標位置が上限位置又は下限位置に位置し
たときスライダ66が進行方向に対して逆方向に移動す
る。これにより、スライダ66が上限位置と下限位置と
の間で往復移動するので、ワイヤ14がワイヤリール2
6の巻取り範囲Lの上端部と下端部との間で往復移動す
る。
【0024】前記実施例では、スライダ66の上限位置
を設定した後下限位置を設定する場合について説明した
が、これに限らず、スライダ66の下限位置を設定した
後上限位置を設定してもよい。前記実施例では、スライ
ダ66の上限位置及び下限位置を検出するために上部近
接センサ74及び下部近接センサ76を2個使用した場
合について説明したが、これに限らず、スライダ66の
上限位置及び下限位置を1個の近接センサで検出するよ
うにしてもよい。
を設定した後下限位置を設定する場合について説明した
が、これに限らず、スライダ66の下限位置を設定した
後上限位置を設定してもよい。前記実施例では、スライ
ダ66の上限位置及び下限位置を検出するために上部近
接センサ74及び下部近接センサ76を2個使用した場
合について説明したが、これに限らず、スライダ66の
上限位置及び下限位置を1個の近接センサで検出するよ
うにしてもよい。
【0025】また、前記実施例では、スライダ66の上
限位置及び下限位置を検出するために近接センサ74、
76を使用した場合について説明したが、これに限ら
ず、近接センサ以外の超音波センサ、レーザセンサ及び
CCDカメラなどのその他のセンサを使用してもよい。
限位置及び下限位置を検出するために近接センサ74、
76を使用した場合について説明したが、これに限ら
ず、近接センサ以外の超音波センサ、レーザセンサ及び
CCDカメラなどのその他のセンサを使用してもよい。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーのワイヤトラバース装置によれば、検出部が検出し
た両端部の位置にワイヤが到達したとき、読取り部で両
端部の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部
に格納した。そして、座標位置にワイヤが到達したと
き、制御部でワイヤを案内方向と逆方向に移動する。こ
れにより、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を自動的
に設定することができる。
ソーのワイヤトラバース装置によれば、検出部が検出し
た両端部の位置にワイヤが到達したとき、読取り部で両
端部の座標位置を読み取り、読み取った座標値を制御部
に格納した。そして、座標位置にワイヤが到達したと
き、制御部でワイヤを案内方向と逆方向に移動する。こ
れにより、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部を自動的
に設定することができる。
【0027】従って、作業者の手間を省くことができ、
また、人為的ミスによるトラブルでワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤが断線することを防止する。さら
に、本発明によれば、読取り部で読み取った座標値に基
づいてワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定するの
で、ワイヤリールが摩耗やテンション等で変形等した場
合でも、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部が変動しな
い。従って、ワイヤリールが変形した場合でも、ワイヤ
のトラバース不良が発生することを防止してワイヤの断
線を防止する。
また、人為的ミスによるトラブルでワイヤのトラバース
不良が生じてワイヤが断線することを防止する。さら
に、本発明によれば、読取り部で読み取った座標値に基
づいてワイヤリールの巻取り範囲の両端部を設定するの
で、ワイヤリールが摩耗やテンション等で変形等した場
合でも、ワイヤリールの巻取り範囲の両端部が変動しな
い。従って、ワイヤリールが変形した場合でも、ワイヤ
のトラバース不良が発生することを防止してワイヤの断
線を防止する。
【図1】本発明に係るワイヤソーの全体を示した全体図
【図2】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置の要部拡大図
置の要部拡大図
【図3】本発明に係るワイヤソーの作動を説明した要部
拡大図
拡大図
10…ワイヤソー 12、26…ワイヤリール 14…ワイヤ 16…ワイヤトラバース装置 74…上部近接センサ(検出部) 76…下部近接センサ(検出部) 78…読取り部 80…制御部 L…ワイヤ巻取り範囲
Claims (1)
- 【請求項1】 ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するワイヤソーのワイヤトラバース装置に於い
て、 前記ワイヤリールのワイヤ巻取り範囲の両端部を検出す
る検出部と、 該検出部が検出した両端部の座標位置を読み取る読取り
部と、 該読取り部で読み取られた両端部の座標位置を格納し、
該格納された両端部の座標位置に前記ワイヤが到達した
とき前記ワイヤを案内方向と逆方向に移動する制御部
と、 を備えたことを特徴とするワイヤソーのワイヤトラバー
ス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17491695A JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17491695A JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0929609A true JPH0929609A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=15986957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17491695A Pending JPH0929609A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0929609A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012517904A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ワイヤソー装置およびワイヤソー装置を動作させる方法 |
CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
KR101402237B1 (ko) * | 2012-11-15 | 2014-05-30 | 한국생산기술연구원 | 가이드롤러의 마멸에 따른 와이어 권취오차의 보상장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
JP2016203318A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP17491695A patent/JPH0929609A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012517904A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ワイヤソー装置およびワイヤソー装置を動作させる方法 |
CN103052468A (zh) * | 2010-09-27 | 2013-04-17 | 小松Ntc株式会社 | 用于检测线锯中的断线的方法和设备 |
KR101402237B1 (ko) * | 2012-11-15 | 2014-05-30 | 한국생산기술연구원 | 가이드롤러의 마멸에 따른 와이어 권취오차의 보상장치 및 그것이 설치된 와이어소 |
JP2016203318A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
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