JP6885765B2 - 放電ランプおよびオゾン生成方法 - Google Patents
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Description
20 放電容器
30 電極
40 電極
Claims (9)
- 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、
それぞれ、前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の外周面を覆う一対の電極とを備え、
前記放電容器中央部を挟んで軸方向に沿って対向する前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内において、前記一対の電極の間の空間領域で相対的に弱い放電が生じ、各電極で覆われる空間領域で相対的に強い放電が生じることを特徴とする放電ランプ。 - 前記放電容器内において、前記一対の電極の間の空間領域では、軸付近に相対的に弱い放電が生じ、各電極で覆われる空間領域では、容器径方向全体の空間領域で相対的に強い放電が生じることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面に対し周方向全体に渡って隙間がないように面接触する筒状電極で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の放電ランプ。
- 前記放電容器の外径が、3mm〜10mmの範囲であり、
前記放電容器の軸方向長さが、10mm〜30mmの範囲であり、
前記放電ガスが、0.1kPa〜30kPaの範囲内に定められた希ガスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の放電ランプ。 - 放電ガスが封入された筒状の放電容器と、
それぞれ、前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の外周面を覆う一対の電極とを備え、
前記放電容器中央部を挟んで軸方向に沿って対向する前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって生じる、偏った放電によって、前記一対の電極の間の空間領域から前記放電容器外部へ向けて放射される紫外線照度が相対的に低く、各電極で覆われる空間領域から前記放電容器外部へ向けて放射される紫外線照度が相対的に高いことを特徴とするオゾン生成装置。 - 放電ガスが封入された筒状の放電容器の外周面に沿ってそれぞれ軸方向に延びる一対の電極を、前記放電容器中央部を挟んで軸方向に沿って対向するように、配置し、
前記一対の電極の間に高周波電圧を印加することによって、前記一対の電極の間の空間領域から前記放電容器外部へ向けて放射される紫外線照度が相対的に低く、各電極で覆われる空間領域から前記放電容器外部へ向けて放射される紫外線照度が相対的に高くなるように、偏った放電を生じさせることを特徴とするオゾン生成方法。 - 前記放電容器の外周面を覆い、前記放電容器外部へ向けて放射される紫外線を遮る非導電性部材をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載のオゾン生成装置。
- 前記一対の電極に対し、1kHz〜500kHzの範囲の周波数で5kV〜10kVの範囲の電圧が印加されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の放電ランプ。
- エキシマランプであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の放電ランプ。
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