JP7155481B2 - 放電ランプおよびオゾン生成方法 - Google Patents
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Description
20 放電容器
30 電極
40 電極
Claims (13)
- 紫外線を放射するエキシマランプであって、
放電ガスが封入された筒状の放電容器と、
それぞれ前記放電容器の外周面に沿って軸方向に延び、前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極とを備え、
前記放電容器内において、前記一対の電極間に導電体が配置されておらず、
前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されると、前記放電容器内で、前記一対の電極の間を跨って一方の電極から他方の電極にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器内の中央部で、径方向に相対的に細い空間領域での放電となり、前記放電容器内の前記一対の電極が前記放電容器の外周面と接触する部分で、径方向に相対的に太い空間領域での放電となる、誘電体バリア放電が生じることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記放電容器が、保持部材によって保持されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記一対の電極が、保持部材によって保持されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記一対の電極に対し、1kHz~500kHzの範囲の周波数で5kV~10kVの範囲の電圧が印加されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。
- 紫外線を放射するエキシマランプであって、
放電ガスが封入された筒状の放電容器と、
それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、
前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、
前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記放電容器の外周面が、前記放電容器から局所的に紫外線が放射されるように、紫外線を遮る遮光部材によって覆われていることを特徴とする請求項7に記載のエキシマランプ。
- 前記放電容器が、保持部材によって保持されていることを特徴とする請求項7に記載のエキシマランプ。
- 前記一対の電極が、保持部材によって保持されていることを特徴とする請求項7に記載のエキシマランプ。
- 前記一対の電極に対し、1kHz~500kHzの範囲の周波数で5kV~10kVの範囲の電圧が印加されることを特徴とする請求項7乃至10のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 請求項7乃至11のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。
- 請求項7乃至11のいずれかに記載のエキシマランプを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。
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