JP6972657B2 - 光処理装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
筐体と、
酸素を含む被処理ガスを前記筐体内に導入する吸気口と、
前記筐体内に配置され、Xeを含む放電用ガスが充填された、石英ガラスからなる管体を含み、主たる発光波長が172nmの第一光を射出するエキシマランプと、
前記筐体内に導入された前記被処理ガスに対して、前記エキシマランプから射出された前記第一光が照射されることで生成された、オゾンを含む処理済ガスを放出する排気口と、を含み、
前記管体内には、1ppm以上の酸素が含有されていることを特徴とする。
前記管体内に、前記放電用ガスと、1ppm以上の酸素ガスを封入する工程を有することを特徴とする。
本発明の光処理装置の第一実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、各図において、図面の寸法比と実際の寸法比とは必ずしも一致していない。第二実施形態以後においても同様である。
図1は、本実施形態に係る光処理装置の構成を模式的に示す図面である。図1に示すように、本実施形態に係る光処理装置1は、オゾン発生装置10を備える。
以下、光処理装置1の作用を説明する。
本発明の光処理装置の第二実施形態につき、図面を参照して説明する。以下の各実施形態において、第一実施形態と共通する箇所は、同一の符号を付して説明を適宜割愛する。
本発明の光処理装置の第二実施形態につき、図面を参照して説明する。以下の各実施形態において、第一実施形態と共通する箇所は、同一の符号を付して説明を適宜割愛する。
以下、別実施形態について説明する。
3 : 外部電極
4 : 内部電極
5 : 筐体
6 : 吸気口
7 : 電源
8 : 排気口
10 : オゾン発生装置
20 : 光触媒体
21 : 管体
22 : 第一封止部
23 : 第二封止部
24 : 金属箔
25 : 外部リード
26 : 二重管体
26a : 外管
26b : 内管
27 : 封止端部
31 : 光路部
61 : ファン
71 : 第一空間
72 : 第二空間
73 : 境界部
74 : 光透過窓
G1 : 被処理ガス
G2 : 処理済ガス
L1 : 第一光
L2 : 第二光
Claims (5)
- 筐体と、
酸素を含む被処理ガスを前記筐体内に導入する吸気口と、
前記筐体内に配置され、Xeを含む放電用ガスが封入された、石英ガラスからなる管体を含み、主たる発光波長が172nmの第一光を射出するエキシマランプと、
前記筐体内に導入された前記被処理ガスに対して、前記エキシマランプから射出された前記第一光が照射されることで生成された、オゾンを含む処理済ガスを放出する排気口と、
前記筐体内の前記吸気口側又は前記排気口側に配置されたファンを含み、
前記エキシマランプは、前記筐体内において、当該エキシマランプの前記管体の長手方向に関して前記吸気口と前記排気口との間に挟まれる位置に配置されており、
前記管体内には、1ppm以上の酸素が含有されていることを特徴とする光処理装置。 - 前記エキシマランプは、前記第一光に加えて、500nm以上550nm以下の波長範囲の少なくとも一部分に強度を示す第二光を射出することを特徴とする請求項1に記載の光処理装置。
- 前記エキシマランプから射出された前記第二光が入射可能な位置に配置されており、前記第二光によって励起可能な材料を含む光触媒体を備えたことを特徴とする請求項2に記載の光処理装置。
- 前記筐体は、少なくとも一部分に、前記エキシマランプから射出された前記第二光を透過する領域を備えたことを特徴とする請求項2又は3に記載の光処理装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光処理装置の製造方法であって、
前記管体内に、前記放電用ガスと、1ppm以上の酸素ガスを封入する工程を有することを特徴とする光処理装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017102937A JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
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JP2017102937A JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
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JP2018198175A JP2018198175A (ja) | 2018-12-13 |
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JP2017102937A Active JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
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JP7462524B2 (ja) | 2020-09-17 | 2024-04-05 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ、紫外線照射装置およびオゾン発生装置 |
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JP3214153B2 (ja) * | 1993-04-28 | 2001-10-02 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法 |
JP3170989B2 (ja) * | 1994-01-26 | 2001-05-28 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
JP6564663B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2019-08-21 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ装置 |
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2017
- 2017-05-24 JP JP2017102937A patent/JP6972657B2/ja active Active
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