JP6883655B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
1.基板を保持するための基板ホルダと、
センサを保持するためのセンサホルダと、
前記基板ホルダを移動させるために構成された移動器と、を備え、
前記移動器は、第1の状態において前記センサホルダと結合して前記センサホルダを移動させるように構成され、
前記移動器は、第2の状態において前記センサホルダから分離して、前記センサホルダを移動させることなく移動するように構成されている、
露光装置。
2.前記センサホルダを前記移動器に提供するため及び前記センサホルダを前記移動器から取り外すための交換機構を備える、条項1に記載の露光装置。
3.前記移動器は、追加的な基板を保持するための追加的な基板ホルダを移動させるように構成され、
前記追加的な基板のサイズは、前記基板のサイズとは異なる、条項1又は2に記載の露光装置。
4.前記センサホルダは、長さ及び幅を有し、
前記長さは、前記基板ホルダのサイズと実質的に等しく、
前記幅は、前記追加的な基板ホルダのサイズと実質的に等しく、
前記長さ及び前記幅は、相互に異なる、条項3に記載の露光装置。
5.前記移動器は、第1の向き及び第2の向きで前記センサホルダを支持するように構成され、
前記第1の向きでは、前記センサホルダは、水平面に垂直な軸に沿って第1の角度を有し、
前記第2の向きでは、前記センサホルダは、前記水平面に垂直な前記軸に沿って第2の角度を有し、
前記第1の角度は、前記第2の角度とは異なる、条項3又は4に記載の露光装置。
6.前記基板ホルダ及び前記センサホルダは、前記第1の状態では前記移動器に対して一体となって移動するように構成されている、条項1から5の一項に記載の露光装置。
7.前記基板ホルダの上面及び前記センサホルダの上面の一方に液体を提供するためのノズルを備え、
前記露光装置は、前記基板ホルダ及び前記センサホルダが前記移動器に対して一体となって移動する間に、前記基板ホルダの前記上面及び前記センサホルダの前記上面のうち前記一方から前記基板ホルダの前記上面及び前記センサホルダの前記上面の他方へ前記液体を移すように構成されている、条項6に記載の露光装置。
8.前記移動器は、前記第1の状態において前記基板ホルダと分離して、前記基板ホルダを移動させることなく移動するように構成されている、条項1から5の一項に記載の露光装置。
9.前記センサホルダは、前記基板ホルダから放射ビームを受光するように構成されている、条項1から8の一項に記載の露光装置。
10.前記基板ホルダは、マーカを含み、
前記放射ビームは、前記マーカに投影された像に関する情報を含む、条項9に記載の露光装置。
11.前記センサホルダは、前記放射ビームを検出器へ伝搬させるように構成され、
前記センサホルダは、前記検出器に対して移動可能である、条項9又は10に記載の露光装置。
12.露光デバイス及び測定デバイスを備え、
前記露光デバイスは、前記基板を露光ビームで露光するように構成され、
前記測定デバイスは、前記基板の測定情報を与えるように構成され、
前記露光デバイス及び前記測定デバイスは、相互に離れており、
前記移動器は、前記露光デバイス付近にある時に前記基板ホルダを支持するよう構成されている、条項1から11の一項に記載の露光装置。
13.前記測定デバイスの付近にある時に前記基板ホルダを支持するように構成された静止支持体を備える、条項12に記載の露光装置。
14.第1のエンコーダヘッド及び第1のスケールを備え、
前記静止支持体は、前記第1のエンコーダヘッドを保持するためのくぼみを備え、
前記第1のスケールは、前記基板ホルダの下面に配置され、
前記第1のエンコーダヘッドは、前記基板ホルダが前記測定デバイスの付近にある時に前記第1のスケールに対向し、前記基板ホルダの位置情報を表す信号を与えるように構成されている、条項13に記載の露光装置。
15.前記第1のエンコーダヘッドは、動的アイソレータを介して前記静止支持体に結合されている、条項14に記載の露光装置。
16.前記静止支持体によって支持されている時に前記基板ホルダを移動させるように構成された移動デバイスを備える、条項12から15の一項に記載の露光装置。
17.前記露光デバイスを支持するためのフレームを備え、
前記露光デバイスは、前記フレームに対して移動可能である、条項12から16の一項に記載の露光装置。
18.前記基板の追加的な測定情報を与えるように構成された追加的な測定デバイスを備え、
前記追加的な測定デバイスは、前記測定デバイスよりも前記露光デバイスに近い、条項12から17の一項に記載の露光装置。
19.第2のエンコーダヘッドを備え、
前記第2のエンコーダヘッドは、前記第1のスケールに対向して、前記基板ホルダの位置情報を表す第2の信号を与えるように構成されている、条項1から18の一項に記載の露光装置。
20.第3のエンコーダヘッド及び第3のスケールを備え、
前記第3のスケールは、前記センサホルダの下面に配置され、
前記第3のエンコーダヘッドは、前記第3のスケールに対向して、前記センサホルダの位置情報を表す第3の信号を与えるように構成されている、条項1から19の一項に記載の露光装置。
21.基板を保持するための基板ホルダと、
センサを保持するためのセンサホルダと、
前記基板ホルダを移動させるために構成された移動器と、
前記基板上に放射ビームを与えるように構成された投影システムと、を備え、
露光中、前記センサホルダが前記移動器から分離されている場合、前記投影システムは前記放射ビームを前記基板に与え、
前記センサが前記投影システム又は前記放射ビームの特性を測定する場合、前記移動器は前記センサホルダと結合する、
露光装置。
22.前記センサホルダを前記移動器に提供するため及び前記センサホルダを前記移動器から取り外すための交換機構を備える、条項21に記載の露光装置。
23.前記移動器は、追加的な基板を保持するための追加的な基板ホルダを移動させるように構成され、
前記追加的な基板のサイズは、前記基板のサイズとは異なる、条項21又は22に記載の露光装置。
24.前記センサホルダは、長さ及び幅を有し、
前記長さは、前記基板ホルダのサイズと実質的に等しく、
前記幅は、前記追加的な基板ホルダのサイズと実質的に等しく、
前記長さ及び前記幅は、相互に異なる、条項23に記載の露光装置。
25.前記移動器は、第1の向き及び第2の向きで前記センサホルダを支持するように構成され、
前記第1の向きでは、前記センサホルダは、水平面に垂直な軸に沿って第1の角度を有し、
前記第2の向きでは、前記センサホルダは、前記水平面に垂直な前記軸に沿って第2の角度を有し、
前記第1の角度は、前記第2の角度とは異なる、条項23又は24に記載の露光装置。
26.前記移動器は、前記基板ホルダから分離して、前記基板ホルダを移動させることなく移動するように構成されている、条項21から25の一項に記載の露光装置。
27.前記センサホルダは、前記基板ホルダから放射ビームを受光するように構成されている、条項21から26の一項に記載の露光装置。
28.前記基板ホルダは、マーカを含み、
前記放射ビームは、前記マーカに投影された像に関する情報を含む、条項27に記載の露光装置。
29.前記センサホルダは、前記放射ビームを検出器へ伝搬させるように構成され、
前記センサホルダは、前記検出器に対して移動可能である、条項27又は28に記載の露光装置。
30.露光デバイス及び測定デバイスを備え、
前記露光デバイスは、前記基板を露光ビームで露光するように構成され、
前記測定デバイスは、前記基板の測定情報を与えるように構成され、
前記露光デバイス及び前記測定デバイスは、相互に離れており、
前記移動器は、前記露光デバイス付近にある時に前記基板ホルダを支持するよう構成されている、条項21から29の一項に記載の露光装置。
31.前記測定デバイスの付近にある時に前記基板ホルダを支持するように構成された静止支持体を備える、条項30に記載の露光装置。
32.第1のエンコーダヘッド及び第1のスケールを備え、
前記静止支持体は、前記第1のエンコーダヘッドを保持するためのくぼみを備え、
前記第1のスケールは、前記基板ホルダの下面に配置され、
前記第1のエンコーダヘッドは、前記基板ホルダが前記測定デバイスの付近にある時に前記第1のスケールに対向し、前記基板ホルダの位置情報を表す信号を与えるように構成されている、条項31に記載の露光装置。
33.前記第1のエンコーダヘッドは、動的アイソレータを介して前記静止支持体に結合されている、条項32に記載の露光装置。
34.前記静止支持体によって支持されている時に前記基板ホルダを移動させるように構成された移動デバイスを備える、条項31から33の一項に記載の露光装置。
35.前記露光デバイスを支持するためのフレームを備え、
前記露光デバイスは、前記フレームに対して移動可能である、条項31から34の一項に記載の露光装置。
36.前記基板の追加的な測定情報を与えるように構成された追加的な測定デバイスを備え、
前記追加的な測定デバイスは、前記測定デバイスよりも前記露光デバイスに近い、条項31から35の一項に記載の露光装置。
37.第2のエンコーダヘッドを備え、
前記第2のエンコーダヘッドは、前記第1のスケールに対向して、前記基板ホルダの位置情報を表す第2の信号を与えるように構成されている、条項31から36の一項に記載の露光装置。
38.第3のエンコーダヘッド及び第3のスケールを備え、
前記第3のスケールは、前記センサホルダの下面に配置され、
前記第3のエンコーダヘッドは、前記第3のスケールに対向して、前記センサホルダの位置情報を表す第3の信号を与えるように構成されている、条項31から37の一項に記載の露光装置。
39.第1の基板を保持するための第1の基板ホルダと、
第2の基板を保持するための第2の基板ホルダと、
前記第1の基板を露光ビームで露光するための投影システムと、
前記第2の基板の測定情報を与えるように構成された測定デバイスと、
前記第1の基板の測定情報を与えるように構成された追加的な測定デバイスと、を備え、
前記追加的な測定デバイスは、前記測定デバイスよりも前記投影システムに近い、
露光装置。
40.前記第1の基板の前記追加的な測定情報は、前記第1の基板の高さプロファイル及び/又は面内変形を含む、条項39に記載の露光装置。
41.前記測定デバイスは、前記第2の基板上の基板アライメントマークの位置に関する情報を与えるように構成されている、条項39から40に記載の露光装置。
42.センサを保持するためのセンサホルダと、
前記投影システムに対して前記基板ホルダを移動させるための移動器と、を備え、
前記センサは、前記露光ビーム又は前記投影システムの特性を測定するように構成されている、条項39から41の一項に記載の露光装置。
43.前記追加的な測定デバイスは、前記センサが前記露光ビームの前記特性を測定している間に前記第1の基板の前記測定情報を取得するように構成されている、条項42に記載の露光装置。
44.前記リソグラフィ装置は、前記第1の基板を前記第1の基板ホルダから前記第2の基板ホルダへ運ぶように構成され、
前記測定デバイスは、前記第1の基板の測定情報を与えるように構成されている、条項39から43の一項に記載の露光装置。
45.前記測定デバイスは、前記第2の基板ホルダが前記第1の位置にある場合に前記第2の基板の前記測定情報を取得するように構成され、
前記追加的な測定デバイスは、前記第2の基板ホルダが前記第2の位置にある場合に前記第2の基板の前記測定情報を取得するように構成されている、条項39から44の一項に記載の露光装置。
46.前記追加的な測定デバイスは、前記第1の基板上に複数の測定ビームを同時に伝搬させるように構成されている、条項39から45の一項に記載の露光装置。
47.前記第1の基板の前記測定情報及び前記第2の基板の前記測定情報に基づいて前記第1の基板ホルダ及び前記第2の基板ホルダを駆動するように構成された制御ユニットを備える、条項39から46の一項に記載の露光装置。
48.前記第1の基板に第1のアライメントマークが設けられ、
前記追加的な測定デバイスは、前記第2のアライメントマークの位置に基づいて前記第1の基板の前記測定情報を与えるように構成されている、条項39から47の一項に記載の露光装置。
49.前記第2の基板に第2のアライメントマークが設けられ、
前記測定デバイスは、前記第2のアライメントマークの位置に基づいて前記第2の基板の前記測定情報を与えるように構成されている、条項39から48の一項に記載の露光装置。
Claims (14)
- 基板(W)のターゲット部分に放射ビームを投影するように構成された露光装置であって、
前記基板(W)を保持するように構成された第1の基板ホルダ(702)と、
前記基板(W)を保持するように構成された第2の基板ホルダ(202)と、
センサ及び/又は検出器を保持するように構成されたセンサホルダ(206)と、
前記基板(W)上の基板アライメントマーク(P1,P2)の位置を測定するためのアライメントセンサを備える第1のアライメントシステムを有する測定デバイス(220)と、
前記基板(W)上の前記基板アライメントマーク(P1,P2)の位置を測定するための追加的なアライメントセンサを備える第2のアライメントシステムを有する追加的な測定デバイス(950)と、
前記第1の基板ホルダ(702)の下面に配置された第1のスケール(915)と、
前記第1のアライメントシステムの下方に配置されるとともに静止支持体(210)によって保持される第1のエンコーダヘッド(910)と、
前記第1のエンコーダヘッド(910)と、前記第1のエンコーダヘッド(910)に対向する前記第1のスケール(915)と、を有し、前記第1の基板ホルダ(702)の位置情報を表す第1の信号を提供するように構成される第1の位置測定システムと、を備え、
前記第1のアライメントシステムの前記アライメントセンサは、前記第1の基板ホルダ(702)によって保持された前記基板(W)上の前記基板アライメントマーク(P1,P2)の位置を測定する一方、前記第2のアライメントシステムの前記アライメントセンサは、前記第2の基板ホルダ(202)によって保持された前記基板(W)上の前記基板アライメントマーク(P1,P2)の位置を測定する、露光装置。 - 前記第1の位置測定システムは、前記第1の基板ホルダ(702)が前記測定デバイス(220)付近にあるときに前記第1の基板ホルダ(702)の位置情報を表す第1の信号を提供するように構成されている、請求項1に記載の露光装置。
- 前記第2のアライメントシステムによって測定される前記基板アライメントマーク(P1,P2)の数は、3個から16個である、請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記第1のアライメントシステムによって測定される前記基板アライメントマーク(P1,P2)の数は、前記基板(W)上の露光フィールドの数以上である、請求項1から3の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記基板(W)を前記第1の基板ホルダ(702)から前記第2の基板ホルダ(202)へと運ぶように構成された移動デバイス(230)をさらに備える、請求項1から4の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記センサホルダ(206)は、波面収差測定デバイス、照度モニタ、照度むらセンサ、均一性センサ、及び/又は、偏光性を測定するためのセンサを保持する、請求項1から5の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記放射ビームを調整するように構成された単一の照明システム(IL)と、
パターニングデバイス(MA)によって前記放射ビームに与えられたパターンを前記基板(W)の前記ターゲット部分に投影するように構成された単一の投影システム(PS)と、
を備える、請求項1から6の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記測定デバイス(220)は、前記追加的な測定デバイス(950)よりも前記単一の投影システム(PS)から遠い位置に配置されている、請求項7に記載の露光装置。
- 第2のエンコーダヘッド(920)を有する第2の位置測定システムを備え、
前記第2の位置測定システムは、前記第2の基板ホルダ(202)及び/又は前記センサホルダ(206)が前記単一の投影システム(PS)付近にあるときに前記第2の基板ホルダ(202)及び/又は前記センサホルダ(206)の位置情報を表す第2の信号を提供するように構成されており、
前記第2のエンコーダヘッド(920)は、複数のエンコーダヘッド、容量センサ、及び/又は、干渉計センサを含むエンコーダヘッドシステムである、請求項7又は8に記載の露光装置。 - 前記露光の動作に関連した所望の計算を実施すること、複数の信号を処理すること、アルゴリズムを実行すること、前記第2の基板ホルダ(202)の位置を制御すること、空間像の光学特性を制御すること、及び/又は、前記単一の投影システム(PS)の光学特性を制御すること、を行うように構成される制御ユニットを備え、
前記単一の投影システム(PS)は、鏡筒と、光学要素と、前記光学要素を保持するように構成されたレンズホルダと、を備え、
前記制御ユニットは、詳細な歪みマップ及び/又は統合歪みマップに基づいて、前記第2の基板ホルダ(202)の位置、前記空間像の光学特性、前記単一の投影システム(PS)の光学特性、及び/又は、前記鏡筒に対する前記光学要素の位置及び/又は向き、を制御することにより、フィールド内オーバーレイエラー及び/又はフィールド間オーバーレイエラーを補償する、請求項7から9の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記単一の投影システム(PS)と、前記第2の基板ホルダ(202)、前記基板(W)及び前記センサホルダ(206)の少なくとも一つと、の間に画定される空間に、液浸液を供給して閉じ込めるように構成された液体ハンドリングシステムを備える、請求項7から10の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2の基板ホルダ(202)及び前記センサホルダ(206)は、前記基板(W)の露光前及び/又は露光後に一体となって動くように構成されている、請求項1から11の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記露光装置は、前記基板(W)が前記第2の基板ホルダ(202)によって保持されているときに、前記第1の基板ホルダ(702)上に第2の基板(W2L1)を保持するように構成されている、請求項1から12の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第1のアライメントシステムは、前記第2の基板ホルダ(202)によって保持された前記基板(W)の露光中に、前記第2の基板(W2L1)の基板アライメントマーク(P1,P2)の位置を測定するように構成されている、請求項13に記載の露光装置。
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