JPWO2007091463A1 - 反射屈折結像光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系。第1面(R)からの光に基づいて第1中間像を形成する屈折型の第1結像系(G1)と、凹面反射鏡(CM)を有し、第1中間像からの光に基づいて第2中間像を形成する第2結像系(G2)と、第2中間像からの光に基づいて縮小像を第2面(W)上に形成する屈折型の第3結像系(G3)と、第1結像系から第2結像系へ至る光路中および第2結像系から第3結像系へ至る光路中に配置された偏向鏡(M1,M2)とを備えている。第1結像系と第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さい。
Description
本発明は、反射屈折結像光学系、露光装置、およびデバイス製造方法に関し、特に半導体素子や液晶表示素子などのマイクロデバイスをフォトリソグラフィ工程で製造する際に使用される露光装置に好適な投影光学系に関するものである。
半導体素子等を製造するためのフォトリソグラフィ工程において、マスク(またはレチクル)のパターン像を、投影光学系を介して、感光性基板(フォトレジストが塗布されたウェハ、ガラスプレート等)上に投影露光する露光装置が使用されている。露光装置では、半導体素子等の集積度が向上するにつれて、投影光学系に要求される解像力(解像度)が益々高まっている。投影光学系の解像力に対する要求を満足するには、照明光(露光光)の波長λを短くするとともに、投影光学系の像側開口数NAを大きくする必要がある。そこで、投影光学系と感光性基板との間の光路中に屈折率の高い液体のような媒質を満たすことにより像側開口数の増大を図る液浸技術が知られている。
一般に、像側開口数の大きな投影光学系では、液浸系に限定されることなく乾燥系においても、ペッツバール条件を成立させて像の平坦性を得るという観点から反射屈折結像光学系の採用が望ましく、あらゆる微細パターンへの対応力の観点から有効視野(ひいては有効結像領域)が光軸を含まない軸外視野型の結像光学系の採用が望ましい。従来、露光装置に好適な軸外視野型の反射屈折結像光学系が種々提案されている(たとえば特許文献1を参照)。
露光装置では、半導体回路の微細化に伴って、マスクパターンも微細化を続けている。しかしながら、マスクパターンの微細化は、マスクコストの増加を招き、1枚のマスクを用いて大量に生産することのない多品種少量生産の半導体においては、チップコストの増加も招くことになる。そこで、マスクパターンの微細化を伴うことなく半導体回路の微細化を実現するために、投影光学系の投影倍率(結像倍率)の絶対値を小さく設定することが考えられる。ただし、投影光学系に対してマスクおよび感光性基板を相対移動させつつ1つのショット領域にパターンを走査露光する走査型の露光装置において投影光学系の倍率の絶対値を小さく設定すると、マスクを走査するためのマスクステージのスピード律束により、スループットの低下が避けられなくなる。
一方、感光性基板上の1つのショット領域にマスクパターンを一括露光する一括型の露光装置の場合、投影光学系の投影倍率の絶対値を小さく設定しても、スループットの低下を避けることができる。ただし、特許文献1などに開示された従来の軸外視野型の反射屈折結像光学系では、反射鏡で反射された光の光路と当該反射鏡へ入射する光の光路とを分離する都合上、比較的細長い矩形状または円弧状の有効結像領域(有効投影領域)しか確保することができず、走査型の露光装置に適用することはできても、一括型の露光装置に適用することは実際上困難である。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、たとえば一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系を提供することを目的とする。また、本発明は、一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系を用いて、微細パターンを高精度に且つ高スループットで投影露光することのできる露光装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明の第1形態では、第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折結像光学系において、
屈折光学素子のみから構成されて、前記第1面からの光に基づいて第1中間像を形成する第1結像系と、少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1中間像からの光に基づいて第2中間像を形成する第2結像系と、屈折光学素子のみから構成されて、前記第2中間像からの光に基づいて前記縮小像を前記第2面上に形成する第3結像系と、前記第1結像系から前記第2結像系へ至る光路中および前記第2結像系から前記第3結像系へ至る光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡とを備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系を提供する。
屈折光学素子のみから構成されて、前記第1面からの光に基づいて第1中間像を形成する第1結像系と、少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1中間像からの光に基づいて第2中間像を形成する第2結像系と、屈折光学素子のみから構成されて、前記第2中間像からの光に基づいて前記縮小像を前記第2面上に形成する第3結像系と、前記第1結像系から前記第2結像系へ至る光路中および前記第2結像系から前記第3結像系へ至る光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡とを備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系を提供する。
本発明の第2形態では、第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折結像光学系であって、
前記第1面と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第1面と光学的に共役な第1共役位置を形成する屈折型の第1結像系と;該第1結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1共役位置と光学的に共役な第2共役位置を形成する第2結像系と;該第2結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第2共役位置と光学的に共役な第3共役位置を前記第2面上に形成する屈折型の第3結像系と;前記第1結像系と前記第2結像系との間の光路中および前記第2結像系と前記第3結像系との間の光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡と;を備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系を提供する。
前記第1面と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第1面と光学的に共役な第1共役位置を形成する屈折型の第1結像系と;該第1結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1共役位置と光学的に共役な第2共役位置を形成する第2結像系と;該第2結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第2共役位置と光学的に共役な第3共役位置を前記第2面上に形成する屈折型の第3結像系と;前記第1結像系と前記第2結像系との間の光路中および前記第2結像系と前記第3結像系との間の光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡と;を備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系を提供する。
本発明の第3形態では、前記第1面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記パターンの像を前記第2面に設定された感光性基板上に投影するための第1形態または第2形態の反射屈折結像光学系を備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
本発明の第4形態では、第1面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記パターンの像を第2面に投影する反射屈折結像光学系と、感光性基板を前記第2面に位置するように保持する基板ステージと、該基板ステージの移動を制御する制御部とを備え、
前記反射屈折結像光学系は、偏向鏡を備え、前記第1面と前記第2面との間の光路中に前記第1面と光学的に共役な位置を形成し、
前記制御部は、前記パターンの前記像を前記感光性基板に転写するときに前記基板ステージを静止した状態に制御することを特徴とする露光装置を提供する。
前記反射屈折結像光学系は、偏向鏡を備え、前記第1面と前記第2面との間の光路中に前記第1面と光学的に共役な位置を形成し、
前記制御部は、前記パターンの前記像を前記感光性基板に転写するときに前記基板ステージを静止した状態に制御することを特徴とする露光装置を提供する。
本発明の第5形態では、第3形態または第4形態の露光装置を用いて前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
本発明では、3回結像型の反射屈折結像光学系において、屈折型の第1結像系と凹面反射鏡を含む第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、屈折型の第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さい。その結果、結像光学系全体の結像倍率の絶対値βを例えば1/8程度に小さくすることが可能になり、第2結像系中の凹面反射鏡へ入射する光の光路と凹面反射鏡からの反射光の光路とを分離するための偏向鏡の大型化を回避しつつ、比較的大きく且つ正方形に近い矩形状(すなわち一括型の露光装置に適した形状)の有効結像領域を確保することができる。
こうして、本発明では、たとえば一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系を実現することができる。また、本発明の露光装置では、一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系を用いて、微細パターンを高精度に且つ高スループットで投影露光することができ、ひいては良好なデバイスを高精度に且つ高スループットで製造することができる。
R レチクル
PL 投影光学系
Lb 境界レンズ
Lp 平行平面板
Lm,Lm1,Lm2 純水(液体)
W ウェハ
1 照明光学系
14 主制御系
PL 投影光学系
Lb 境界レンズ
Lp 平行平面板
Lm,Lm1,Lm2 純水(液体)
W ウェハ
1 照明光学系
14 主制御系
本発明の反射屈折結像光学系は、第1面(物体面)からの光に基づいて第1中間像を形成する屈折型の第1結像系と、凹面反射鏡を含み第1中間像からの光に基づいて第2中間像を形成する第2結像系と、第2中間像からの光に基づいて縮小像を第2面(像面)上に形成する屈折型の第3結像系とを備え、第1結像系から第2結像系へ至る光路中および第2結像系から第3結像系へ至る光路中のうちの少なくとも一方の光路中に偏向鏡が配置されている。そして、第1結像系と第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さい。
第1結像系と第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12を0.55よりも小さく設定することにより、結像光学系全体の結像倍率の絶対値βを例えば1/8程度に小さく設定しても、第2結像系中の凹面反射鏡へ入射する光の光路と凹面反射鏡からの反射光の光路とを分離するための偏向鏡の大型化を回避しつつ、比較的大きく且つ正方形に近い矩形状(すなわち一括型の露光装置に適した形状)の有効結像領域を確保することができる。偏向鏡の大型化を回避し、ひいては光学系全体の大型化を避けることにより、像高に関連する収差、すなわち像面湾曲、非点収差、コマ収差、ディストーション(歪曲収差)などを良好に補正することができる。なお、本発明の効果をさらに良好に発揮するには、β12を0.52よりも小さく設定することが好ましい。また、β12を0.4よりも大きく設定することにより、偏向鏡に入射する光の角度帯域が制限され、反射率や位相差が良好に補正された反射膜設計が可能になり、良好な結像性能を保つことができる。
また、第3結像系の結像倍率の絶対値β3を0.35よりも小さく設定することにより、結像光学系全体の結像倍率の絶対値βを例えば1/8程度に小さくすることが可能になる。その結果、マスクパターンの線幅を細くして微細化しなくても、例えば半導体回路の微細化を実現することができ、ひいてはマスクコストを低く抑えることができる。なお、本発明の効果をさらに良好に発揮するには、β3を0.15よりも大きく且つ0.3よりも小さく設定することが好ましい。この構成により、結像光学系の光軸と有効結像領域との距離(軸外し量)を短くするとともに、光路分離のための偏向鏡の大型化を回避し、ひいては光学系全体の大型化を避けることができる。こうして、本発明では、たとえば一括型の露光装置に適した形状の有効結像領域を有し且つ結像倍率の絶対値の小さい高開口数の反射屈折結像光学系を実現することができる。
また、本発明の反射屈折結像光学系では、第1結像系から第2結像系へ至る光路中に第1偏向鏡が配置され、第2結像系から第3結像系へ至る光路中に第2偏向鏡が配置されていることが好ましい。この構成により、第1結像系の光軸と第3結像系の光軸とが共通光軸になるように設定することが可能となり、とりわけ3つの結像系の光軸および2つの偏向鏡の反射面を1つの基準点に関連して位置決めすることが可能となるので、光学系の安定性が増し、光学調整および機械設計が容易となる。また、第2結像系の光軸が第1結像系の光軸および第3結像系の光軸と直交するように設定することにより、さらに精度の高い光学調整が容易になり、光学系のさらに高い安定性を達成することができる。
また、本発明の反射屈折結像光学系では、第1結像系の結像倍率の絶対値β1は0.55よりも小さいことが好ましい。この構成により、第1偏向鏡の小型化を図ることができるとともに、結像光学系全体の結像倍率の絶対値βを例えば1/8程度に小さくすることが容易になる。ちなみに、上述のように第1結像系と第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12が0.55よりも小さく設定されているので、第2偏向鏡の小型化を図ることができる。
また、本発明の反射屈折結像光学系では、像面との間の光路が1.3よりも大きい屈折率を有する液体で満たされていることが好ましい。このように像側に液浸領域が形成された液浸型の光学系を採用することにより、大きな実効的な像側開口数を確保しつつ、比較的大きな有効結像領域を確保することができる。また、たとえば一括型の露光装置に好適な反射屈折結像光学系を実現するには、矩形状の有効結像領域の長辺の長さに対する短辺の長さの比が0.5以上であることが好ましく、当該比が0.67以上であることがさらに好ましい。
また、本発明の反射屈折結像光学系では、第1中間像が第1偏向鏡から凹面反射鏡へ至る光路中に形成され、第2中間像が凹面反射鏡から第2偏向鏡へ至る光路中に形成されることが好ましい。この構成により、第2結像系中の凹面反射鏡へ入射する光の光路と凹面反射鏡からの反射光の光路との分離が容易になる。
上述のように、偏向鏡は光路分離の役割をするが、中間像の形成位置と偏向鏡とがある程度近いことが、光軸と有効結像領域との距離(軸外し量)を短くし且つ所要の最大像高をできるだけ小さく抑えるには不可欠である。しかしながら、走査露光とは異なり、一括露光では、中間像の形成位置またはその近傍に偏向鏡が配置されていると、偏向鏡の反射面上の小さい欠陥(たとえば直径100μm以下の欠陥)まで像面に転写されることがある。
そこで、本発明では、第1結像系から第2結像系へ至る光路中に配置された第1偏向鏡を備え、次の条件式(1)を満足することが好ましい。同様に、第2結像系から第3結像系へ至る光路中に配置された第2偏向鏡を備え、次の条件式(2)を満足することが好ましい。条件式(1)において、d1は、第1中間像の近軸像面位置と第1偏向鏡の反射面またはその延長面が光軸と交わる点との距離である。条件式(2)において、d2は、第2中間像の近軸像面位置と第2偏向鏡の反射面またはその延長面が光軸と交わる点との距離である。また、条件式(1)および(2)において、hは最大像高である。
1.4<d1/h (1)
1.4<d2/h (2)
1.4<d1/h (1)
1.4<d2/h (2)
条件式(1)および(2)の下限値を上回ると、第1中間像の形成位置と第1偏向鏡との距離d1および第2中間像の形成位置と第2偏向鏡との距離d2が小さくなり過ぎて、第1偏向鏡や第2偏向鏡の小さい欠陥が像面に転写され易くなるので好ましくない。なお、条件式(1)および(2)の上限値を4に設定することが好ましく、上限値を3に設定することがさらに好ましい。この上限値を上回ると、光路分離のために光軸と有効結像領域との距離(軸外し量)を大きくすることが必要になり、ひいては所要の最大像高が大きくなって光学系の大型化を招くので好ましくない。また、像高に関連する収差(コマ収差、歪曲収差、像面湾曲、非点収差)の悪化を招くので好ましくない。
本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。図1では、X軸およびY軸がウェハWに対して平行な方向に設定され、Z軸がウェハWに対して直交する方向に設定されている。さらに具体的には、XY平面が水平面に平行に設定され、+Z軸が鉛直方向に沿って上向きに設定されている。
本実施形態の露光装置は、図1に示すように、たとえば露光光源であるArFエキシマレーザ光源を含み、オプティカル・インテグレータ(ホモジナイザー)、視野絞り、コンデンサレンズ等から構成される照明光学系1を備えている。光源から射出された波長193nmの紫外パルス光からなる露光光(露光ビーム)ILは、照明光学系1を通過し、レチクル(マスク)Rを照明する。レチクルRには転写すべきパターンが形成されており、X方向に沿って長辺を有し且つY方向に沿って短辺を有する矩形状のパターン領域が照明される。
レチクルRを通過した光は、反射屈折結像光学系としての液浸型の投影光学系PLを介して、フォトレジストが塗布されたウェハ(感光性基板)W上の露光領域(ショット領域)に所定の縮小投影倍率でレチクルパターンを形成する。すなわち、レチクルR上での矩形状の照明領域に光学的に対応するように、ウェハW上ではX方向に沿って長辺を有し且つY方向に沿って短辺を有する矩形状の露光領域にパターン像が形成される。
図2は、本実施形態においてウェハ上に形成される矩形状の露光領域と基準光軸との位置関係を示す図である。本実施形態では、図2に示すように、基準光軸AXを中心とした半径Bを有する円形状の領域(イメージサークル)IF内において、基準光軸AXからY方向に軸外し量Aだけ離れた位置に所望の大きさを有する矩形状の露光領域ERが設定されている。露光領域ERのX方向の長さはLXであり、そのY方向の長さはLYである。図示を省略したが、レチクルR上では、矩形状の露光領域ERに対応して、基準光軸AXからY方向に軸外し量Aに対応する距離だけ離れた位置に露光領域ERに対応した大きさおよび形状を有する矩形状の照明領域が形成されている。
レチクルRはレチクルステージRST上においてXY平面に平行に保持され、レチクルステージRSTにはレチクルRをX方向、Y方向および回転方向に微動させる機構が組み込まれている。レチクルステージRSTは、レチクルレーザ干渉計(不図示)によってX方向、Y方向および回転方向の位置がリアルタイムに計測され、且つ制御される。ウェハWは、ウェハホルダ(不図示)を介してZステージ9上においてXY平面に平行に固定されている。また、Zステージ9は、投影光学系PLの像面と実質的に平行なXY平面に沿って移動するXYステージ10上に固定されており、ウェハWのフォーカス位置(Z方向の位置)および傾斜角を制御する。
Zステージ9は、Zステージ9上に設けられた移動鏡12を用いるウェハレーザ干渉計13によってX方向、Y方向および回転方向の位置がリアルタイムに計測され、且つ制御される。また、XYステージ10は、ベース11上に載置されており、ウェハWのX方向、Y方向および回転方向を制御する。一方、本実施形態の露光装置に設けられた主制御系14は、レチクルレーザ干渉計により計測された計測値に基づいてレチクルRのX方向、Y方向および回転方向の位置の調整を行う。即ち、主制御系14は、レチクルステージRSTに組み込まれている機構に制御信号を送信し、レチクルステージRSTを微動させることによりレチクルRの位置調整を行う。
また、主制御系14は、オートフォーカス方式及びオートレベリング方式によりウェハW上の表面を投影光学系PLの像面に合わせ込むため、ウェハWのフォーカス位置(Z方向の位置)および傾斜角の調整を行う。即ち、主制御系14は、ウェハステージ駆動系15に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系15によりZステージ9を駆動させることによりウェハWのフォーカス位置および傾斜角の調整を行う。更に、主制御系14は、ウェハレーザ干渉計13により計測された計測値に基づいてウェハWのX方向、Y方向および回転方向の位置の調整を行う。即ち、主制御系14は、ウェハステージ駆動系15に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系15によりXYステージ10を駆動させることによりウェハWのX方向、Y方向および回転方向の位置調整を行う。
露光時には、レチクルRのパターン像が、ウェハW上の所定のショット領域内に一括的に投影露光される。その後、主制御系14は、ウェハステージ駆動系15に制御信号を送信し、ウェハステージ駆動系15によりXYステージ10を駆動させることによりウェハW上の別のショット領域を露光位置にステップ移動させる。このように、ステップ・アンド・リピート方式により、レチクルRのパターン像をウェハW上に一括露光する動作を繰り返す。
図3は、本実施形態における境界レンズとウェハとの間の構成を模式的に示す図である。本実施形態の第2実施例にかかる投影光学系PLでは、図3(a)に示すように、レチクルR側(物体側)の面が第2液体Lm2に接し且つウェハW側(像側)の面が第1液体Lm1に接する平行平面板Lpが最もウェハ側に配置されている。そして、この平行平面板Lpに隣接して、レチクルR側の面が気体に接し且つウェハW側の面が第2液体Lm2に接する境界レンズLbが配置されている。一方、本実施形態の第1実施例にかかる投影光学系PLでは、図3(b)に示すように、境界レンズLbとウェハWとの間の光路が、液体Lmで満たされている。本実施形態において、液体(Lm1,Lm2,Lm)として、半導体製造工場等で容易に大量に入手できる純水(脱イオン水)を用いている。
投影光学系PLの境界レンズLbとウェハWとの間の光路中や平行平面板LpとウェハWとの間の光路中に液体(Lm1,Lm2,Lm)を満たし続けるには、たとえば国際公開番号WO99/49504号公報に開示された技術や、特開平10−303114号公報に開示された技術などを用いることができる。第2実施例では、図1に示すように、第1給排水機構21を用いて、平行平面板LpとウェハWとの間の光路中において第1液体Lm1を循環させている。また、第2給排水機構22を用いて、境界レンズLbと平行平面板Lpとの間の光路中において第2液体Lm2を循環させている。このように、浸液としての液体を微小流量で循環させることにより、防腐、防カビ等の効果により液体の変質を防ぐことができる。また、露光光の熱吸収による収差変動を防ぐことができる。なお、第1実施例では、単一の給排水機構(不図示)を用いて、境界レンズLbとウェハWとの間の光路中において液体Lmを循環させることになる。
本実施形態の各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをyとし、非球面の頂点における接平面から高さyにおける非球面上の位置までの光軸に沿った距離(サグ量)をzとし、頂点曲率半径をrとし、円錐係数をκとし、n次の非球面係数をCnとしたとき、以下の数式(a)で表される。後述の表(1)および(2)において、非球面形状に形成されたレンズ面には面番号の右側に*印を付している。
z=(y2/r)/[1+{1−(1+κ)・y2/r2}1/2]+C4・y4+C6・y6
+C8・y8+C10・y10+C12・y12+C14・y14+C16・y16 (a)
z=(y2/r)/[1+{1−(1+κ)・y2/r2}1/2]+C4・y4+C6・y6
+C8・y8+C10・y10+C12・y12+C14・y14+C16・y16 (a)
また、本実施形態の各実施例において、投影光学系PLは、物体面(第1面)に配置されたレチクルRのパターンの第1中間像を形成するための第1結像系G1と、第1中間像からの光に基づいてレチクルパターンの第2中間像(第1中間像の像であってレチクルパターンの二次像)を形成するための第2結像系G2と、第2中間像からの光に基づいて像面(第2面)に配置されたウェハW上にレチクルパターンの最終像(レチクルパターンの縮小像)を形成するための第3結像系G3とを備えている。ここで、第1結像系G1および第3結像系G3はともに屈折光学系であり、第2結像系G2は凹面反射鏡CMを含む反射屈折光学系である。
また、第1結像系G1と第2結像系G2との間の光路中には第1平面反射鏡(第1偏向鏡)M1が配置され、第2結像系G2と第3結像系G3との間の光路中には第2平面反射鏡(第2偏向鏡)M2が配置されている。こうして、各実施例の投影光学系PLでは、レチクルRからの光が、第1結像系G1を介して、第1平面反射鏡M1と第2結像系G2との間の光路中において第1平面反射鏡M1の近傍にレチクルパターンの第1中間像を形成する。次いで、第1中間像からの光が、第2結像系G2を介して、第2平面反射鏡M2と第2結像系G2との間の光路中において第2平面反射鏡M2の近傍にレチクルパターンの第2中間像を形成する。さらに、第2中間像からの光が、第3結像系G3を介して、レチクルパターンの最終像をウェハW上に形成する。
また、各実施例の投影光学系PLでは、第1結像系G1および第3結像系G3が鉛直方向に沿って直線状に延びる光軸AX1および光軸AX3を有し、光軸AX1および光軸AX3は基準光軸AXと一致している。一方、第2結像系G2は水平方向に沿って直線状に延びる(基準光軸AXに垂直な)光軸AX2を有する。こうして、レチクルR、ウェハW、第1結像系G1を構成するすべての光学部材および第3結像系G3を構成するすべての光学部材は、重力方向と直交する面すなわち水平面に沿って互いに平行に配置されている。さらに、第1平面反射鏡M1および第2平面反射鏡M2は、レチクル面に対して45度の角度をなすように設定された反射面をそれぞれ有し、第1平面反射鏡M1と第2平面反射鏡M2とは1つの光学部材として一体的に構成されている。また、各実施例において、投影光学系PLは、物体側および像側の双方にほぼテレセントリックに構成されている。
[第1実施例]
図4は、本実施形態の第1実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図4を参照すると、第1実施例にかかる投影光学系PLにおいて第1結像系G1は、レチクル側から順に、平行平面板P1と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL11と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、レチクル側に非球面形状の凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL15と、レチクル側に凹面を向けた負メニスカスレンズL16と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL17と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL18と、両凸レンズL19と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL110とにより構成されている。
図4は、本実施形態の第1実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図4を参照すると、第1実施例にかかる投影光学系PLにおいて第1結像系G1は、レチクル側から順に、平行平面板P1と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL11と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、レチクル側に非球面形状の凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL15と、レチクル側に凹面を向けた負メニスカスレンズL16と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL17と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL18と、両凸レンズL19と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL110とにより構成されている。
また、第2結像系G2は、光の進行往路に沿って光の入射側から順に、入射側に凹面を向けた負メニスカスレンズL21と、入射側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、入射側に凹面を向けた凹面反射鏡CMとにより構成されている。また、第3結像系G3は、レチクル側(すなわち光の入射側)から順に、両凸レンズL31と、両凸レンズL32と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL33と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL34と、レチクル側に凸面を向けた負メニスカスレンズL35と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた両凹レンズL36と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL37と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL38と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた負メニスカスレンズL39と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL310と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL311と、投影光学系PLの開口数を変更するための可変開口絞りASと、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズL312と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL313と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL314と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズL315(境界レンズLb)とにより構成されている。
第1実施例では、境界レンズLbとウェハWとの間の光路に、使用光(露光光)であるArFエキシマレーザ光(中心波長λ=193.306nm)に対して1.435876の屈折率を有する純水(Lm)が満たされている。また、境界レンズLbを含むすべての光透過部材が、使用光の中心波長に対して1.5603261の屈折率を有する石英(SiO2)により形成されている。
次の表(1)に、第1実施例にかかる投影光学系PLの諸元の値を掲げる。表(1)の主要諸元において、λは露光光の中心波長を、βは投影倍率(全系の結像倍率)の大きさ(絶対値)を、NAは像側(ウェハ側)開口数を、BはウェハW上でのイメージサークルIFの半径(最大像高h)を、Aは露光領域ERの軸外し量を、LXは露光領域ERのX方向に沿った寸法(長辺の寸法)を、LYは露光領域ERのY方向に沿った寸法(短辺の寸法)をそれぞれ表している。
また、表(1)の光学部材諸元において、面番号は物体面(第1面)であるレチクル面から像面(第2面)であるウェハ面への光線の進行する経路に沿ったレチクル側からの面の順序を、rは各面の曲率半径(非球面の場合には頂点曲率半径:mm)を、dは各面の軸上間隔すなわち面間隔(mm)を、nは中心波長に対する屈折率をそれぞれ示している。面間隔dの符号は、凹面反射鏡CMから第2平面反射鏡M2へ至る光路中では負とし、その他の光路中では正としている。なお、表(1)における表記は、以降の表(2)においても同様である。
表(1)
(主要諸元)
λ=193.306nm,β=1/8,NA=1.3
B=17.2mm,A=2mm,LX=16.5mm,LY=13mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 40.0000
1 ∞ 16.0000 1.5603261 (P1)
2 ∞ 3.0000
3 248.01805 46.2710 1.5603261 (L11)
4 602.66085 1.0000
5 218.70999 40.9637 1.5603261 (L12)
6 380.72654 22.6799
7 149.99705 36.8390 1.5603261 (L13)
8 194.03000 57.9255
9* 124.18781 11.4000 1.5603261 (L14)
10 78.33365 17.0857
11 75.24480 39.8976 1.5603261 (L15)
12 150.08406 63.1138
13 -81.96667 40.2794 1.5603261 (L16)
14 -128.53255 23.8848
15* -128.30761 51.8483 1.5603261 (L17)
16 -103.18116 1.0000
17 -322.75337 45.2241 1.5603261 (L18)
18 -162.41260 60.7932
19 805.57018 41.5384 1.5603261 (L19)
20 -420.57151 1.0000
21 241.60229 37.0450 1.5603261 (L110)
22* 3443.76334 110.0000
23 ∞ 304.7846 (M1)
24 -152.05268 15.0000 1.5603261 (L21)
25 -664.05408 59.4385
26 -132.36276 18.0000 1.5603261 (L22)
27 -266.26977 27.2909
28 -200.14029 -27.2909 (CM)
29 -266.26976 -18.0000 1.5603261 (L22)
30 -132.36276 -59.4385
31 -664.05408 -15.0000 1.5603261 (L21)
32 -152.05268 -303.7846
33 ∞ 105.0000 (M2)
34 2764.61897 32.2302 1.5603261 (L31)
35 -363.71712 1.0000
36 325.00179 40.2781 1.5603261 (L32)
37 -2095.03788 1.0000
38 224.94312 41.9867 1.5603261 (L33)
39 1181.28198 1.0000
40 169.90399 30.0146 1.5603261 (L34)
41* 311.84318 34.0057
42 3342.39918 11.4000 1.5603261 (L35)
43 105.65815 65.0304
44 -174.98836 11.4000 1.5603261 (L36)
45* 192.14769 26.0731
46* -975.80968 34.9239 1.5603261 (L37)
47 -209.61382 1.0000
48 269.61041 36.9061 1.5603261 (L38)
49* 1179.63479 15.2612
50 2880.70695 11.5239 1.5603261 (L39)
51* 1268.63305 44.5100
52* -1158.46665 33.5260 1.5603261 (L310)
53 -305.65170 1.0000
54 -688.74775 68.7373 1.5603261 (L311)
55 -214.20371 1.0000
56 ∞ 1.0000 (AS)
57 305.88059 60.0705 1.5603261 (L312)
58 ∞ 1.0000
59 204.35769 66.8588 1.5603261 (L313)
60* 653.89394 1.0000
61 155.52236 47.4318 1.5603261 (L314)
62* 937.19834 1.0000
63 75.94541 60.0423 1.5603261 (L315:Lb)
64 ∞ 4.0000 1.435876 (Lm)
(ウェハ面)
(非球面データ)
9面: κ=0
C4=−6.40844×10-8 C6=−5.61520×10-12
C8=−3.34882×10-16 C10=−7.06000×10-21
C12=−2.05901×10-25 C14=1.89216×10-28
C16=−1.09057×10-32
15面: κ=0
C4=2.26863×10-8 C6=−1.51954×10-12
C8=−9.13872×10-17 C10=4.18514×10-21
C12=−3.54878×10-25 C14=2.17808×10-29
C16=−2.52193×10-33
22面: κ=0
C4=1.41131×10-8 C6=−1.59033×10-13
C8=2.69389×10-18 C10=−4.87841×10-23
C12=5.00646×10-28 C14=2.23100×10-32
C16=−9.53921×10-37
41面: κ=0
C4=2.48058×10-8 C6=2.03295×10-14
C8=2.20595×10-17 C10=−3.67285×10-22
C12=1.11304×10-25 C14=−6.42852×10-30
C16=2.84451×10-34
45面: κ=0
C4=−5.32661×10-8 C6=9.53947×10-13
C8=−8.19130×10-17 C10=9.53053×10-21
C12=−7.72832×10-25 C14=5.05308×10-29
C16=−2.28684×10-33
46面: κ=0
C4=1.56539×10-8 C6=1.09724×10-12
C8=−6.44186×10-17 C10=−3.43849×10-21
C12=2.86838×10-25 C14=−1.57574×10-29
C16=2.99230×10-34
49面: κ=0
C4=−8.43594×10-9 C6=7.21625×10-13
C8=7.27478×10-17 C10=−3.93996×10-21
C12=3.66629×10-26 C14=2.38494×10-31
C16=−3.73541×10-36
51面: κ=0
C4=4.62332×10-8 C6=5.68461×10-13
C8=−1.23738×10-16 C10=2.86932×10-21
C12=6.23168×10-26 C14=−3.57421×10-30
C16=5.22298×10-35
52面: κ=0
C4=−3.86905×10-8 C6=7.27527×10-13
C8=−2.49269×10-17 C10=7.87319×10-22
C12=−2.62558×10-26 C14=6.17032×10-31
C16=−8.73564×10-36
60面: κ=0
C4=−3.82058×10-8 C6=2.37223×10-12
C8=−1.51016×10-16 C10=7.40745×10-21
C12=−2.27332×10-25 C14=3.92794×10-30
C16=−2.94937×10-35
62面: κ=0
C4=4.03745×10-8 C6=9.85095×10-13
C8=5.63203×10-18 C10=−3.83308×10-21
C12=4.43636×10-25 C14=−2.04297×10-29
C16=4.51552×10-34
(条件対応値)
β12=0.4901, β1=0.4915, β3=0.2551
h=17.2mm, d1=33.34mm, d2=33.35mm
(1)d1/h=1.94
(2)d2/h=1.94
(主要諸元)
λ=193.306nm,β=1/8,NA=1.3
B=17.2mm,A=2mm,LX=16.5mm,LY=13mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 40.0000
1 ∞ 16.0000 1.5603261 (P1)
2 ∞ 3.0000
3 248.01805 46.2710 1.5603261 (L11)
4 602.66085 1.0000
5 218.70999 40.9637 1.5603261 (L12)
6 380.72654 22.6799
7 149.99705 36.8390 1.5603261 (L13)
8 194.03000 57.9255
9* 124.18781 11.4000 1.5603261 (L14)
10 78.33365 17.0857
11 75.24480 39.8976 1.5603261 (L15)
12 150.08406 63.1138
13 -81.96667 40.2794 1.5603261 (L16)
14 -128.53255 23.8848
15* -128.30761 51.8483 1.5603261 (L17)
16 -103.18116 1.0000
17 -322.75337 45.2241 1.5603261 (L18)
18 -162.41260 60.7932
19 805.57018 41.5384 1.5603261 (L19)
20 -420.57151 1.0000
21 241.60229 37.0450 1.5603261 (L110)
22* 3443.76334 110.0000
23 ∞ 304.7846 (M1)
24 -152.05268 15.0000 1.5603261 (L21)
25 -664.05408 59.4385
26 -132.36276 18.0000 1.5603261 (L22)
27 -266.26977 27.2909
28 -200.14029 -27.2909 (CM)
29 -266.26976 -18.0000 1.5603261 (L22)
30 -132.36276 -59.4385
31 -664.05408 -15.0000 1.5603261 (L21)
32 -152.05268 -303.7846
33 ∞ 105.0000 (M2)
34 2764.61897 32.2302 1.5603261 (L31)
35 -363.71712 1.0000
36 325.00179 40.2781 1.5603261 (L32)
37 -2095.03788 1.0000
38 224.94312 41.9867 1.5603261 (L33)
39 1181.28198 1.0000
40 169.90399 30.0146 1.5603261 (L34)
41* 311.84318 34.0057
42 3342.39918 11.4000 1.5603261 (L35)
43 105.65815 65.0304
44 -174.98836 11.4000 1.5603261 (L36)
45* 192.14769 26.0731
46* -975.80968 34.9239 1.5603261 (L37)
47 -209.61382 1.0000
48 269.61041 36.9061 1.5603261 (L38)
49* 1179.63479 15.2612
50 2880.70695 11.5239 1.5603261 (L39)
51* 1268.63305 44.5100
52* -1158.46665 33.5260 1.5603261 (L310)
53 -305.65170 1.0000
54 -688.74775 68.7373 1.5603261 (L311)
55 -214.20371 1.0000
56 ∞ 1.0000 (AS)
57 305.88059 60.0705 1.5603261 (L312)
58 ∞ 1.0000
59 204.35769 66.8588 1.5603261 (L313)
60* 653.89394 1.0000
61 155.52236 47.4318 1.5603261 (L314)
62* 937.19834 1.0000
63 75.94541 60.0423 1.5603261 (L315:Lb)
64 ∞ 4.0000 1.435876 (Lm)
(ウェハ面)
(非球面データ)
9面: κ=0
C4=−6.40844×10-8 C6=−5.61520×10-12
C8=−3.34882×10-16 C10=−7.06000×10-21
C12=−2.05901×10-25 C14=1.89216×10-28
C16=−1.09057×10-32
15面: κ=0
C4=2.26863×10-8 C6=−1.51954×10-12
C8=−9.13872×10-17 C10=4.18514×10-21
C12=−3.54878×10-25 C14=2.17808×10-29
C16=−2.52193×10-33
22面: κ=0
C4=1.41131×10-8 C6=−1.59033×10-13
C8=2.69389×10-18 C10=−4.87841×10-23
C12=5.00646×10-28 C14=2.23100×10-32
C16=−9.53921×10-37
41面: κ=0
C4=2.48058×10-8 C6=2.03295×10-14
C8=2.20595×10-17 C10=−3.67285×10-22
C12=1.11304×10-25 C14=−6.42852×10-30
C16=2.84451×10-34
45面: κ=0
C4=−5.32661×10-8 C6=9.53947×10-13
C8=−8.19130×10-17 C10=9.53053×10-21
C12=−7.72832×10-25 C14=5.05308×10-29
C16=−2.28684×10-33
46面: κ=0
C4=1.56539×10-8 C6=1.09724×10-12
C8=−6.44186×10-17 C10=−3.43849×10-21
C12=2.86838×10-25 C14=−1.57574×10-29
C16=2.99230×10-34
49面: κ=0
C4=−8.43594×10-9 C6=7.21625×10-13
C8=7.27478×10-17 C10=−3.93996×10-21
C12=3.66629×10-26 C14=2.38494×10-31
C16=−3.73541×10-36
51面: κ=0
C4=4.62332×10-8 C6=5.68461×10-13
C8=−1.23738×10-16 C10=2.86932×10-21
C12=6.23168×10-26 C14=−3.57421×10-30
C16=5.22298×10-35
52面: κ=0
C4=−3.86905×10-8 C6=7.27527×10-13
C8=−2.49269×10-17 C10=7.87319×10-22
C12=−2.62558×10-26 C14=6.17032×10-31
C16=−8.73564×10-36
60面: κ=0
C4=−3.82058×10-8 C6=2.37223×10-12
C8=−1.51016×10-16 C10=7.40745×10-21
C12=−2.27332×10-25 C14=3.92794×10-30
C16=−2.94937×10-35
62面: κ=0
C4=4.03745×10-8 C6=9.85095×10-13
C8=5.63203×10-18 C10=−3.83308×10-21
C12=4.43636×10-25 C14=−2.04297×10-29
C16=4.51552×10-34
(条件対応値)
β12=0.4901, β1=0.4915, β3=0.2551
h=17.2mm, d1=33.34mm, d2=33.35mm
(1)d1/h=1.94
(2)d2/h=1.94
図5は、第1実施例の投影光学系における横収差を示す図である。収差図において、Yは像高を示している。図5の収差図から明らかなように、第1実施例では、非常に大きな像側開口数(NA=1.3)および比較的大きく且つ正方形に近い矩形状の露光領域ER(16.5mm×13mm)を確保しているにもかかわらず、波長が193.306nmのエキシマレーザ光に対して収差が良好に補正されていることがわかる。
[第2実施例]
図6は、本実施形態の第2実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図6を参照すると、第2実施例にかかる投影光学系PLにおいて第1結像系G1は、レチクル側から順に、平行平面板P1と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL11と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、レチクル側に非球面形状の凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL15と、レチクル側に凸面を向けた負メニスカスレンズL16と、レチクル側に凹面を向けた負メニスカスレンズL17と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL18と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL19と、両凸レンズL110と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL111とにより構成されている。
図6は、本実施形態の第2実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図6を参照すると、第2実施例にかかる投影光学系PLにおいて第1結像系G1は、レチクル側から順に、平行平面板P1と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL11と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、レチクル側に非球面形状の凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL15と、レチクル側に凸面を向けた負メニスカスレンズL16と、レチクル側に凹面を向けた負メニスカスレンズL17と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL18と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL19と、両凸レンズL110と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL111とにより構成されている。
また、第2結像系G2は、光の進行往路に沿って光の入射側から順に、入射側に凹面を向けた負メニスカスレンズL21と、入射側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22と、入射側に凹面を向けた凹面反射鏡CMとにより構成されている。また、第3結像系G3は、レチクル側(すなわち光の入射側)から順に、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL31と、両凸レンズL32と、レチクル側に凸面を向けた正メニスカスレンズL33と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL34と、両凹レンズL35と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた両凹レンズL36と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL37と、ウェハ側に非球面を向けた正レンズL38と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた負メニスカスレンズL39と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL310と、レチクル側に凹面を向けた正メニスカスレンズL311と、投影光学系PLの開口数を変更するための可変開口絞りASと、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズL312と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL313と、ウェハ側に非球面形状の凹面を向けた正メニスカスレンズL314と、ウェハ側に平面を向けた平凸レンズL315(境界レンズLb)と、平行平面板Lpとにより構成されている。
第2実施例においても第1実施例と同様に、境界レンズLbと平行平面板Lpとの間の光路および平行平面板LpとウェハWとの間の光路に、使用光の中心波長(λ=193.306nm)に対して1.435876の屈折率を有する純水(Lm1,Lm2)が満たされている。また、境界レンズLbおよび平行平面板Lpを含むすべての光透過部材が、使用光の中心波長に対して1.5603261の屈折率を有する石英により形成されている。次の表(2)に、第2実施例にかかる投影光学系PLの諸元の値を掲げる。
表(2)
(主要諸元)
λ=193.306nm,β=1/8,NA=1.3
B=17.2mm,A=2mm,LX=16.5mm,LY=13mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 50.00000
1 ∞ 8.00000 1.5603261 (P1)
2 ∞ 3.00000
3 258.31377 45.92612 1.5603261 (L11)
4 676.76098 1.00000
5 227.30894 45.68805 1.5603261 (L12)
6 503.00587 6.61323
7 167.89349 27.97385 1.5603261 (L13)
8 193.61124 83.06580
9* 164.98601 11.40000 1.5603261 (L14)
10 92.23519 19.78603
11 81.28466 42.34265 1.5603261 (L15)
12 202.59935 35.96463
13 633.35035 11.40000 1.5603261 (L16)
14 418.54481 21.93939
15 -75.60908 19.99420 1.5603261 (L17)
16 -113.72534 41.76058
17* -143.57296 48.80516 1.5603261 (L18)
18 -108.10794 1.00000
19 -328.17749 52.70234 1.5603261 (L19)
20 -154.76608 85.00314
21 706.06506 40.69561 1.5603261 (L110)
22 -480.12718 1.00000
23 256.87815 35.74987 1.5603261 (L111)
24* 3443.76334 110.00000
25 ∞ 316.08436 (M1)
26 -149.40615 15.00000 1.5603261 (L21)
27 -586.54847 55.68083
28 -138.27836 18.00000 1.5603261 (L22)
29 -290.44321 30.36573
30 -202.41659 -30.36573 (CM)
31 -290.44321 -18.00000 1.5603261 (L22)
32 -138.27836 -55.68083
33 -586.54847 -15.00000 1.5603261 (L21)
34 -149.40615 -315.08436
35 ∞ 105.00000 (M2)
36 -2382.89699 31.56384 1.5603261 (L31)
37 -292.08925 1.00000
38 291.40422 42.07332 1.5603261 (L32)
39 -3201.15450 1.00000
40 221.32921 42.84990 1.5603261 (L33)
41 1364.61978 1.00000
42 181.08523 33.24124 1.5603261 (L34)
43* 284.15791 33.26802
44 -1405.42871 11.40000 1.5603261 (L35)
45 107.70698 50.09719
46 -246.11406 32.51983 1.5603261 (L36)
47* 172.02555 28.91490
48* -1519.15656 33.48441 1.5603261 (L37)
49 -217.16540 1.00000
50 342.19484 36.82506 1.5603261 (L38)
51* 8234.51910 11.55046
52 5847.55449 11.40000 1.5603261 (L39)
53* 1336.07674 42.23646
54* -854.26277 43.09043 1.5603261 (L310)
55 -276.07064 1.00000
56 -616.95484 62.05402 1.5603261 (L311)
57 -224.02923 2.00000
58 ∞ 0.00000 (AS)
59 307.74619 59.69102 1.5603261 (L312)
60 ∞ 1.00000
61 205.12005 66.39523 1.5603261 (L313)
62* 695.60862 1.00000
63 154.44309 47.54638 1.5603261 (L314)
64* 887.57922 1.00000
65 75.97999 44.98768 1.5603261 (L315:Lb)
66 ∞ 1.00000 1.435876 (Lm2)
67 ∞ 15.00000 1.5603261 (Lp)
68 ∞ 3.00000 1.435876 (Lm1)
(ウェハ面)
(非球面データ)
9面: κ=0
C4=−7.34450×10-8 C6=−4.19630×10-12
C8=−3.42294×10-17 C10=6.48988×10-21
C12=1.39194×10-24 C14=−1.64446×10-28
C16=5.35972×10-33
17面: κ=0
C4=2.33335×10-8 C6=−1.37693×10-12
C8=−4.54425×10-17 C10=3.26479×10-21
C12=3.66970×10-25 C14=−5.09949×10-29
C16=2.53840×10-33
24面: κ=0
C4=1.19018×10-8 C6=−1.12159×10-13
C8=1.73240×10-18 C10=−2.24526×10-23
C12=1.25965×10-29 C14=1.53591×10-32
C16=−3.82377×10-37
43面: κ=0
C4=2.21239×10-8 C6=1.04273×10-13
C8=2.11135×10-17 C10=−6.71090×10-22
C12=2.06456×10-25 C14=−1.49376×10-29
C16=6.72189×10-34
47面: κ=0
C4=−7.90185×10-8 C6=2.10846×10-12
C8=−1.20601×10-16 C10=1.22851×10-20
C12=−7.75725×10-25 C14=2.06221×10-29
C16=−1.35949×10-33
48面: κ=0
C4=−1.14243×10-8 C6=5.10196×10-13
C8=−3.11126×10-17 C10=3.17880×10-22
C12=2.58675×10-25 C14=−1.61455×10-29
C16=−1.91033×10-34
51面: κ=0
C4=−1.73050×10-8 C6=6.20543×10-13
C8=8.08968×10-17 C10=−3.75099×10-21
C12=3.90201×10-26 C14=−1.29175×10-30
C16=3.11283×10-35
53面: κ=0
C4=4.48734×10-8 C6=2.23170×10-13
C8=−1.13110×10-16 C10=3.24099×10-21
C12=2.95795×10-26 C14=−2.74105×10-30
C16=4.25390×10-35
54面: κ=0
C4=−2.97442×10-8 C6=5.95262×10-13
C8=−1.64566×10-17 C10=5.30613×10-22
C12=−2.26165×10-26 C14=6.24576×10-31
C16=−1.07062×10-35
62面: κ=0
C4=−3.51280×10-8 C6=2.35985×10-12
C8=−1.53713×10-16 C10=7.40230×10-21
C12=−2.21534×10-25 C14=3.74193×10-30
C16=−2.75763×10-35
64面: κ=0
C4=4.11314×10-8 C6=4.55495×10-13
C8=8.79081×10-17 C10=−1.26060×10-20
C12=1.05432×10-24 C14=−4.61917×10-29
C16=9.21569×10-34
(条件対応値)
β12=0.5008, β1=0.5055, β3=0.2496
h=17.2mm, d1=36.92mm, d2=39.22mm
(1)d1/h=2.15
(2)d2/h=2.28
(主要諸元)
λ=193.306nm,β=1/8,NA=1.3
B=17.2mm,A=2mm,LX=16.5mm,LY=13mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 50.00000
1 ∞ 8.00000 1.5603261 (P1)
2 ∞ 3.00000
3 258.31377 45.92612 1.5603261 (L11)
4 676.76098 1.00000
5 227.30894 45.68805 1.5603261 (L12)
6 503.00587 6.61323
7 167.89349 27.97385 1.5603261 (L13)
8 193.61124 83.06580
9* 164.98601 11.40000 1.5603261 (L14)
10 92.23519 19.78603
11 81.28466 42.34265 1.5603261 (L15)
12 202.59935 35.96463
13 633.35035 11.40000 1.5603261 (L16)
14 418.54481 21.93939
15 -75.60908 19.99420 1.5603261 (L17)
16 -113.72534 41.76058
17* -143.57296 48.80516 1.5603261 (L18)
18 -108.10794 1.00000
19 -328.17749 52.70234 1.5603261 (L19)
20 -154.76608 85.00314
21 706.06506 40.69561 1.5603261 (L110)
22 -480.12718 1.00000
23 256.87815 35.74987 1.5603261 (L111)
24* 3443.76334 110.00000
25 ∞ 316.08436 (M1)
26 -149.40615 15.00000 1.5603261 (L21)
27 -586.54847 55.68083
28 -138.27836 18.00000 1.5603261 (L22)
29 -290.44321 30.36573
30 -202.41659 -30.36573 (CM)
31 -290.44321 -18.00000 1.5603261 (L22)
32 -138.27836 -55.68083
33 -586.54847 -15.00000 1.5603261 (L21)
34 -149.40615 -315.08436
35 ∞ 105.00000 (M2)
36 -2382.89699 31.56384 1.5603261 (L31)
37 -292.08925 1.00000
38 291.40422 42.07332 1.5603261 (L32)
39 -3201.15450 1.00000
40 221.32921 42.84990 1.5603261 (L33)
41 1364.61978 1.00000
42 181.08523 33.24124 1.5603261 (L34)
43* 284.15791 33.26802
44 -1405.42871 11.40000 1.5603261 (L35)
45 107.70698 50.09719
46 -246.11406 32.51983 1.5603261 (L36)
47* 172.02555 28.91490
48* -1519.15656 33.48441 1.5603261 (L37)
49 -217.16540 1.00000
50 342.19484 36.82506 1.5603261 (L38)
51* 8234.51910 11.55046
52 5847.55449 11.40000 1.5603261 (L39)
53* 1336.07674 42.23646
54* -854.26277 43.09043 1.5603261 (L310)
55 -276.07064 1.00000
56 -616.95484 62.05402 1.5603261 (L311)
57 -224.02923 2.00000
58 ∞ 0.00000 (AS)
59 307.74619 59.69102 1.5603261 (L312)
60 ∞ 1.00000
61 205.12005 66.39523 1.5603261 (L313)
62* 695.60862 1.00000
63 154.44309 47.54638 1.5603261 (L314)
64* 887.57922 1.00000
65 75.97999 44.98768 1.5603261 (L315:Lb)
66 ∞ 1.00000 1.435876 (Lm2)
67 ∞ 15.00000 1.5603261 (Lp)
68 ∞ 3.00000 1.435876 (Lm1)
(ウェハ面)
(非球面データ)
9面: κ=0
C4=−7.34450×10-8 C6=−4.19630×10-12
C8=−3.42294×10-17 C10=6.48988×10-21
C12=1.39194×10-24 C14=−1.64446×10-28
C16=5.35972×10-33
17面: κ=0
C4=2.33335×10-8 C6=−1.37693×10-12
C8=−4.54425×10-17 C10=3.26479×10-21
C12=3.66970×10-25 C14=−5.09949×10-29
C16=2.53840×10-33
24面: κ=0
C4=1.19018×10-8 C6=−1.12159×10-13
C8=1.73240×10-18 C10=−2.24526×10-23
C12=1.25965×10-29 C14=1.53591×10-32
C16=−3.82377×10-37
43面: κ=0
C4=2.21239×10-8 C6=1.04273×10-13
C8=2.11135×10-17 C10=−6.71090×10-22
C12=2.06456×10-25 C14=−1.49376×10-29
C16=6.72189×10-34
47面: κ=0
C4=−7.90185×10-8 C6=2.10846×10-12
C8=−1.20601×10-16 C10=1.22851×10-20
C12=−7.75725×10-25 C14=2.06221×10-29
C16=−1.35949×10-33
48面: κ=0
C4=−1.14243×10-8 C6=5.10196×10-13
C8=−3.11126×10-17 C10=3.17880×10-22
C12=2.58675×10-25 C14=−1.61455×10-29
C16=−1.91033×10-34
51面: κ=0
C4=−1.73050×10-8 C6=6.20543×10-13
C8=8.08968×10-17 C10=−3.75099×10-21
C12=3.90201×10-26 C14=−1.29175×10-30
C16=3.11283×10-35
53面: κ=0
C4=4.48734×10-8 C6=2.23170×10-13
C8=−1.13110×10-16 C10=3.24099×10-21
C12=2.95795×10-26 C14=−2.74105×10-30
C16=4.25390×10-35
54面: κ=0
C4=−2.97442×10-8 C6=5.95262×10-13
C8=−1.64566×10-17 C10=5.30613×10-22
C12=−2.26165×10-26 C14=6.24576×10-31
C16=−1.07062×10-35
62面: κ=0
C4=−3.51280×10-8 C6=2.35985×10-12
C8=−1.53713×10-16 C10=7.40230×10-21
C12=−2.21534×10-25 C14=3.74193×10-30
C16=−2.75763×10-35
64面: κ=0
C4=4.11314×10-8 C6=4.55495×10-13
C8=8.79081×10-17 C10=−1.26060×10-20
C12=1.05432×10-24 C14=−4.61917×10-29
C16=9.21569×10-34
(条件対応値)
β12=0.5008, β1=0.5055, β3=0.2496
h=17.2mm, d1=36.92mm, d2=39.22mm
(1)d1/h=2.15
(2)d2/h=2.28
図7は、第2実施例の投影光学系における横収差を示す図である。収差図において、Yは像高を示している。図7の収差図から明らかなように、第2実施例においても第1実施例と同様に、非常に大きな像側開口数(NA=1.3)および比較的大きく且つ正方形に近い矩形状の露光領域ER(16.5mm×13mm)を確保しているにもかかわらず、波長が193.306nmのエキシマレーザ光に対して収差が良好に補正されていることがわかる。
このように、本実施形態の投影光学系PLでは、液浸型の結像光学系を採用しているので、大きな像側開口数を確保しつつ、比較的大きな有効結像領域を確保することができる。すなわち、各実施例では、中心波長が193.306nmのArFエキシマレーザ光に対して、1.3の高い像側開口数を確保するとともに、16.5mm×13mmの矩形状の有効結像領域を確保することができ、たとえば16.5mm×13mmの矩形状の露光領域ER内に回路パターンを高精度に且つ高スループットで一括露光することができる。
なお、上述の実施形態では、3回結像型の反射屈折結像光学系において第1結像系G1から第2結像系G2へ至る光路中および第2結像系G2から第3結像系G3へ至る光路中に偏向鏡(M1,M2)を配置している。しかしながら、これに限定されることなく、たとえば図8の変形例に示すように、第1結像系G1と第2結像系G2との間の光路中にのみ偏向鏡M1が配置された反射屈折結像光学系に対しても同様に本発明を適用することができる。この場合、第1結像系G1または第3結像系G3中に別の偏向鏡を配置して、レチクルRとウェハWとが互いに平行になるように構成することができる。また、たとえば図9の変形例に示すように、第2結像系G2と第3結像系G3との間の光路中にのみ偏向鏡M2が配置された反射屈折結像光学系に対しても同様に本発明を適用することができる。この場合にも、第1結像系G1または第3結像系G3中に別の偏向鏡を配置して、レチクルRとウェハWとが互いに平行になるように構成することができる。
また、上述の実施形態では、第2結像系G2が2つの負レンズと1つの凹面反射鏡とにより構成されているが、これに限定されることなく、第2結像系G2の構成については様々な変形例が可能である。また、上述の実施形態では、液浸型の反射屈折結像光学系に対して本発明を適用しているが、これに限定されることなく、像側の領域に浸液を用いない乾燥型の反射屈折結像光学系に対しても同様に本発明を適用することができる。
ところで、上述の実施形態および変形例では、マスク(レチクル)の代わりに、所定の電子データに基づいて所定パターンを形成するパターン形成装置を用いることができる。このようなパターン形成装置を用いれば、パターン面が縦置きでも同期精度に及ぼす影響を最低限にできる。なお、パターン形成装置としては、たとえば所定の電子データに基づいて駆動される複数の反射素子を含むDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)を用いることができる。DMDを用いた露光装置は、例えば特開平8−313842号公報、特開2004−304135号公報に開示されている。また、DMDのような非発光型の反射型空間光変調器以外に、透過型空間光変調器を用いても良く、自発光型の画像表示素子を用いても良い。
上述の実施形態の露光装置では、照明装置によってレチクル(マスク)を照明し(照明工程)、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板に露光する(露光工程)ことにより、マイクロデバイス(半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等)を製造することができる。すなわち、本実施形態の露光装置では、図10のフローチャートにしたがって、感光性基板としてのウェハ等に所定のパターンを形成することにより、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得ることができる。また、本実施形態の露光装置では、図11のフローチャートにしたがって、プレート(ガラス基板)上に所定のパターンを形成することにより、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。
なお、上述の実施形態では、ArFエキシマレーザ光源を用いているが、これに限定されることなく、たとえばF2 レーザ光源のような他の適当な光源を用いることもできる。ただし、露光光としてF2レーザ光を用いる場合は、液体としてはF2レーザ光を透過可能な例えばフッ素系オイルや過フッ化ポリエーテル(PFPE)等のフッ素系の液体を用いることになる。また、上述の実施形態では、露光装置に搭載される投影光学系に対して本発明を適用しているが、これに限定されることなく、他の適当な3回結像型の反射屈折結像光学系に対して本発明を適用することができる。
Claims (12)
- 第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折結像光学系において、
屈折光学素子のみから構成されて、前記第1面からの光に基づいて第1中間像を形成する第1結像系と、
少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1中間像からの光に基づいて第2中間像を形成する第2結像系と、
屈折光学素子のみから構成されて、前記第2中間像からの光に基づいて前記縮小像を前記第2面上に形成する第3結像系と、
前記第1結像系から前記第2結像系へ至る光路中および前記第2結像系から前記第3結像系へ至る光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡とを備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系。 - 前記第1結像系から前記第2結像系へ至る光路中に配置された第1偏向鏡と、前記第2結像系から前記第3結像系へ至る光路中に配置された第2偏向鏡とを備え、
前記第1結像系の結像倍率の絶対値β1は0.55よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の反射屈折結像光学系。 - 前記反射屈折結像光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、前記反射屈折結像光学系と前記第2面との間の光路は1.3よりも大きい屈折率を有する液体で満たされていることを特徴とする請求項1または2に記載の反射屈折結像光学系。
- 前記反射屈折結像光学系の結像倍率の絶対値βは1/8であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系。
- 前記反射屈折結像光学系は、前記第2面上において光軸から離れた矩形状の領域に前記縮小像を形成し、
前記矩形状の領域の長辺の長さに対する短辺の長さの比は0.5以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系。 - 前記第1中間像は、前記第1偏向鏡から前記凹面反射鏡へ至る光路中に形成され、
前記第2中間像は、前記凹面反射鏡から前記第2偏向鏡へ至る光路中に形成されることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系。 - 前記第1結像系から前記第2結像系へ至る光路中に配置された第1偏向鏡を備え、
前記第1中間像の近軸像面位置と、前記第1偏向鏡の反射面またはその延長面が光軸と交わる点との距離をd1とし、前記第2面における最大像高をhとするとき、
1.4<d1/h
の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系。 - 前記第2結像系から前記第3結像系へ至る光路中に配置された第2偏向鏡を備え、
前記第2中間像の近軸像面位置と、前記第2偏向鏡の反射面またはその延長面が光軸と交わる点との距離をd2とし、前記第2面における最大像高をhとするとき、
1.4<d2/h
の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系。 - 第1面の縮小像を第2面上に形成する反射屈折結像光学系において、
前記第1面と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第1面と光学的に共役な第1共役位置を形成する屈折型の第1結像系と;
該第1結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、少なくとも1つの凹面反射鏡を有し、前記第1共役位置と光学的に共役な第2共役位置を形成する第2結像系と;
該第2結像系と前記第2面との間の光路中に配置されて、前記第2共役位置と光学的に共役な第3共役位置を前記第2面上に形成する屈折型の第3結像系と;
前記第1結像系と前記第2結像系との間の光路中および前記第2結像系と前記第3結像系との間の光路中のうちの少なくとも一方の光路中に配置された偏向鏡と;を備え、
前記第1結像系と前記第2結像系との合成結像倍率の絶対値β12は0.55よりも小さく、前記第3結像系の結像倍率の絶対値β3は0.35よりも小さいことを特徴とする反射屈折結像光学系。 - 前記第1面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記パターンの像を前記第2面に設定された感光性基板上に投影するための請求項1乃至9のいずれか1項に記載の反射屈折結像光学系を備えていることを特徴とする露光装置。
- 第1面に設定された所定のパターンからの光に基づいて、前記パターンの像を第2面に投影する反射屈折結像光学系と、
感光性基板を前記第2面に位置するように保持する基板ステージと、
該基板ステージの移動を制御する制御部とを備え、
前記反射屈折結像光学系は、偏向鏡を備え、前記第1面と前記第2面との間の光路中に前記第1面と光学的に共役な位置を形成し、
前記制御部は、前記パターンの前記像を前記感光性基板に転写するときに前記基板ステージを静止した状態に制御することを特徴とする露光装置。 - 請求項10または11に記載の露光装置を用いて前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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