JP6518831B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 基板を保持するように構成された第1の基板ホルダと、
前記基板を保持するように構成された第2の基板ホルダと、
センサ及び/又は検出器を保持するように構成されたセンサホルダと、
放射ビームを調整するように構成された単一の照明システムと、
パターニングデバイスを保持するように構成された支持構造と、
前記パターニングデバイスにより前記放射ビームに付与されたパターンを、前記基板のターゲット部分へと投影するように構成された単一の投影システムと、
前記基板上の基板アライメントマークの位置を測定する為のアライメントセンサを備える第1のアライメントシステムを有する測定デバイスと、
前記基板上の前記基板アライメントマークの位置を測定する為のアライメントセンサを備える第2のアライメントシステムを備える追加的な測定デバイスと、を備え、
前記測定デバイスが前記基板上の前記基板アライメントマークの位置を測定する間、前記第1の基板ホルダ上に前記基板を保持するように構成され、
前記追加的な測定デバイスが前記基板上の前記基板アライメントマークの位置を測定する間、前記第2の基板ホルダ上に前記基板を保持するように構成されている、
露光装置。 - 前記第2のアライメントシステムによって測定される基板アライメントマークの数は、3個から16個である、請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1のアライメントシステムによって測定される基板アライメントマークの数は、前記基板上の露光フィールド数以上である、請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記センサホルダは、波面収差測定デバイス、照度モニタ、及び/又は、照度むらセンサを保持する、請求項1から3の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第1の基板ホルダの下面に配置された第1のスケールを備える、請求項1から4の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第1のアライメントシステムの下方に配置された第1のエンコーダヘッドを備える、請求項1から5の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第1の基板ホルダが前記測定デバイス付近にあるときに、前記第1の基板ホルダの位置情報を表す第1の信号を提供するように構成された第1の位置測定システムを備える、請求項1から6の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2の基板ホルダ及び/又は前記センサホルダが前記投影システム付近にあるときに、前記第2の基板ホルダ及び/又は前記センサホルダの位置情報を表す第2の信号を提供するように構成された第2の位置測定システムを備える、請求項1から7の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2の位置測定システムは、第2のエンコーダヘッドと、前記第2の基板ホルダの表面に配置された第2のスケールと、を有し、
前記第2のエンコーダヘッドは、前記第2の基板ホルダが前記投影システム付近にあるときに前記第2のスケールに対向するように配置される、請求項8に記載の露光装置。 - 前記第2の位置測定システムは、前記センサホルダの表面に配置された第3のスケールをさらに有し、
前記第2のエンコーダヘッドは、前記センサホルダが前記投影システム付近にあるときに前記第3のスケールに対向するように配置される、請求項9に記載の露光装置。 - 前記測定デバイスは、前記追加的な測定デバイスよりも前記投影システムから遠い位置に配置されている、請求項1から10の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2の基板ホルダ及び前記センサホルダは、前記基板の露光前及び/又は露光後に、一体となって動くように構成されている、請求項1から11の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記基板を前記第1の基板ホルダから前記第2の基板ホルダへと運ぶように構成される移動デバイスを備える、請求項1から12の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記露光装置は、前記基板が前記第2の基板ホルダによって保持されているときに、前記第1の基板ホルダ上に第2の基板を保持するように構成されている、請求項1から13の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記測定デバイスは、前記第2の基板ホルダによって保持された前記基板の露光中に、前記第2の基板の基板アライメントマークの位置を測定するように構成されている、請求項14に記載の露光装置。
- 前記センサホルダによって保持された前記センサ及び/又は検出器は、前記測定デバイスが前記第2の基板の基板アライメントマークの位置を測定している間、
前記放射ビームの特性を測定すること、
前記投影システムの特性を測定すること、及び/又は、
前記投影システムによって投影された前記パターンの空間像を測定すること、
を行うように構成されている、請求項14又は15に記載の露光装置。 - 前記放射ビームは、193nmの波長を有する紫外線放射である、請求項1から16の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記投影システムと、前記第2の基板ホルダ、前記基板及び前記センサホルダの少なくとも一つと、の間に画定される空間に、液浸液を供給して閉じ込めるように構成された液体ハンドリングシステムを備える、請求項1から17の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記液体ハンドリングシステムは、前記空間から前記液浸液を回収するように構成された回収ポートを有する、請求項18に記載の露光装置。
- 前記回収ポートには、多孔性部材が配置されている、請求項19に記載の露光装置。
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