JP6869003B2 - 表面実装機の部品保持ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ＩＣチップなどの部品（電子部品）を基板上に実装する表面実装機において、部品を保持する部品保持部を有した部品保持ヘッドに係わる。

一般的に、表面実装機は、部品保持ヘッドを部品供給部の上方に移動させ、そこで、部品保持ヘッドに具備された部品保持部としてのノズルに対して、下降・上昇動作（昇降動作）を行い、ノズルの下端部に部品を真空吸着させてピックアップし、その後、部品保持ヘッドを基板の上方に移動させた後、基板の上方で再びノズルを昇降させ、部品を基板の所定座標位置に実装させるように構成されている。

一般的に、表面実装機では、ノズルでピックアップした部品を基板に実装する場合、実装のエラーを防止するために、ノズルにピックアップされた部品を、実装前にカメラなどで撮影して認識した後、部品の不良有無と、部品の姿勢とを検出する。ここで、部品の姿勢を検出した結果、部品の姿勢が正しくない場合には、ノズルが設けられたスピンドルを、その軸線周りのＴ方向に回転させ、当該部品の姿勢を矯正した後、基板に実装しなければならない。

本発明が解決しようとする課題は、部品保持ヘッドに適用される遊星ギア装置のバックラッシュ（ｂａｃｋｌａｓｈ）を防止することである。

本発明の一側面によれば、複数の部品保持部を具備した部品保持ヘッドにおいて、それぞれの端部に、前記部品保持部が装着された複数本のスピンドルを含み、前記スピンドルは当該スピンドルの長手方向軸線周りの回転方向であるＴ方向に回転自在であり、さらに、前記スピンドルのＴ方向回転動作のための動力を発生させるＴ軸駆動手段と、前記Ｔ軸駆動手段から動力を伝達されて回転するサンギアと、前記サンギアに噛み合う第１遊星ギアと、前記第１遊星ギアに連結されており、前記サンギアと噛み合う中間遊星ギアと、前記中間遊星ギアと噛み合うインターナルギアと、前記中間遊星ギアに連結されており、前記インターナルギアと噛み合う第２遊星ギアと、前記第１遊星ギアと前記中間遊星ギアとの間に配置されて弾性力を付与する第１弾性手段と、前記第２遊星ギアと前記中間遊星ギアとの間に配置されて弾性力を付与する第２弾性手段と、前記第１遊星ギア、前記第２遊星ギア、前記中間遊星ギアが設けられる遊星ギア軸と、前記遊星ギア軸が設けられるキャリアと、を含み、前記第１遊星ギアは、前記第１弾性手段を利用して、弾性力が維持されるように、前記中間遊星ギアに接続されることにより、前記第１遊星ギアは回転方向に前記中間遊星ギアに弾性的に支持され、前記第２遊星ギアは、前記第２弾性手段を利用して、弾性力が維持されるように、前記中間遊星ギアに接続されることにより、前記第２遊星ギアは回転方向に前記中間遊星ギアに弾性的に支持されることを特徴とする部品保持ヘッドを提供する。

ここで、前記スピンドルは、ヘッド本体の鉛直軸周りの回転方向であるＲ方向に回転自在に設けられたロータリヘッドの周囲方向に沿って複数本配置されてもよい。

ここで、前記サンギアは、サンギア軸によって、前記Ｔ軸駆動手段から動力を伝達され、前記サンギア軸の軸方向に平行になるように、前記第１遊星ギア、前記中間遊星ギア、前記第２遊星ギアが順次に配列されてもよい。

ここで、前記第１弾性手段及び前記第２弾性手段は、トーションスプリングからなってもよい。

本発明の一側面による部品保持ヘッドは、スピンドルの軸線周りに当該スピンドルの回転を行う遊星ギア装置のバックラッシュを防止することができる。

本発明の一実施形態に係わる部品保持ヘッドを図示した斜視図である。 図１の部品保持ヘッドにおいて、スピンドル（ノズル）をＺ方向に昇降させる機構を図示した説明図である。 図２のスピンドル（ノズル）をＺ方向に昇降させる機構において、昇降部周辺の構成を図示した説明図である。 図２に図示された昇降部によって、スピンドル（ノズル）を下降させる時の様子を示し、スピンドル（ノズル）が初期位置にある状態を示した図面である。 図２に図示された昇降部によって、スピンドル（ノズル）を下降させる時の様子を示し、スピンドル（ノズル）を下降させた状態を示した図面である。 本発明の一実施形態に係わる、スピンドル下端に装着されたノズル部分の断面を拡大して図示した斜視図である。 本発明の一実施形態に係わる、ロータリヘッドのスピンドルのＴ方向回転動作のための構造を図示した概略的な部分斜視図である。 本発明の一実施形態に係わる、遊星ギア装置を上から見た概略的な平面図である。 図６において、線VIII−VIIIに沿って切って図示した概略的な断面図である。 本発明の一実施形態に係わる、遊星ギア軸、第１遊星ギア、中間遊星ギア、第２遊星ギア、第１弾性手段、第２弾性手段の概略的な分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係わる、スピンドル回転ギアが、Ｔ軸回転ギアに噛み合った様子を図示した概略的な断面図である。 本発明の一実施形態に係わる、遊星ギア装置の第１遊星ギア及び中間遊星ギアとサンギアとの噛み合い様相を示す概略的な平面図である。

以下、添付された図面を参照し、望ましい実施形態による本発明について詳細に説明する。また、本明細書及び図面において、実質的に同一構成を有する構成要素については、同一符号を使用することによって、重複説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係わる部品保持ヘッドを図示した斜視図である。

図１に図示されているように、部品保持ヘッド１０は、ロータリヘッド形式の部品保持ヘッドであり、固定的に配置されたヘッド本体２０に、ロータリヘッド３０が鉛直軸周りのＲ方向に回転自在に設けられている。このロータリヘッド３０には、その周囲方向に沿って、等間隔に複数本のスピンドル３１が配置され、各スピンドル３１の下端に、部品を吸着保持する部品保持部として、ノズル３２が装着されている。

ロータリヘッド３０は、ヘッド本体２０に設けられたＲサーボモータ２１の駆動によって、Ｒ方向に回転することができる。また、各スピンドル３１は、ヘッド本体２０に設けられたＴサーボモータ２２の駆動によって、各スピンドル３１の軸線周りのＴ方向に回転することができる。

また、ヘッド本体２０には、特定位置にあるスピンドル３１ａ（図２）を軸線方向であるＺ方向に下降させるためのＺサーボモータ２３が配置されている。Ｒサーボモータ２１の駆動によって、ロータリヘッド３０をＲ方向に回転させる機構については、周知のものであるので、ここでは、その説明は省略する。Ｚサーボモータ２３の駆動によって、スピンドル３１ａを下降させる機構については、以下で説明する。

図２は、図１の部品保持ヘッド１０において、スピンドル３１ａをＺ方向に昇降させる機構を図示した説明図である。ヘッド本体２０に配置されたＺサーボモータ２３のモータ軸は、ボールネジ機構２４のネジ軸２４ａに連結され、このネジ軸２４ａにナット２４ｂが装着されている。そして、このナット２４ｂに、昇降部２５が連結されている。従って、Ｚサーボモータ２３の駆動によって、ナット２４ｂと共に、昇降部２５がＺ方向に移動する。

昇降部２５は、ヘッド本体２０側に、１個だけ設けられている。スピンドル３１を下降させるときには、昇降部２５に対して、スピンドル３１を相対的に移動させ、複数本のスピンドル３１のうち、下降させるスピンドル３１（前記特定位置にあるスピンドル３１ａ）を選択し、昇降部２５を下降させることにより、当該スピンドル３１ａ、及びその下端のノズル３２を下降させる。

すなわち、本実施形態においては、図３に図示されているように、ロータリヘッド３０をＲ方向に回転させることにより、昇降部２５に対して、スピンドル３１を相対移動させ、下降させるスピンドル３１ａを昇降部２５下に位置させる。次に、昇降部２５を押し、昇降部２５の真下にあるスピンドル３１ａを下降させる。ここで、特定位置にあるスピンドル３１ａを選択して下降させる構成は、前述のような構成に限定されるものではない。例えば、下降されるスピンドル３１ａを選択するためにスピンドル３１を移動させずに、むしろ昇降部２５を移動させ、下降させるスピンドル３１ａを選択する構成を取ることができる。また、ここで、特定位置は２ヵ所以上あってもよい。

図２に図示されているように、昇降部２５が連結されたナット２４ｂには、連結バー２６が連結され、連結バー２６には、スプラインナット２８が連結されており、スプラインナット２８には、光ファイバセンサ４０が設けられている。

また、ヘッド本体２０には、スプラインシャフト２７が固設され、スプラインシャフト２７に、スプラインナット２８がスライド自在に設けられている。すなわち、光ファイバセンサ４０は、昇降部２５と一体に設けられている。従って、Ｚサーボモータ２３の駆動によって、昇降部２５がＺ方向に移動すれば、光ファイバセンサ４０は、それと連動してＺ方向に移動するが、その様子が図４Ａ及び図４Ｂに図示されている。

図４Ａは、図２に図示したスピンドル３１ａが、初期位置にある状態を図示した図面であり、図４Ｂは、図２に図示されたスピンドル３１ａを、昇降部２５によって下降させた状態を図示した図面である。ここで、スピンドル３１は、２個のコイルスプリングからなる弾性体３３（図２）によって、常に初期位置に向かって弾性支持されている。

一方、光ファイバセンサ４０は、着地検知センサであり、発光部及び受光部が、光ファイバ、レンズなどと共に挿入されて構成されたものであり、その構成自体は、周知のものであるので、それについての詳細な説明は省略する。

本実施形態において、光ファイバセンサ４０は、図２に図示されているように、スピンドル３１の下端に、弾性部材としてのコイルスプリング３４を挟んで装着されたノズル３２に対して、上方の斜め方向に配置されている。そして、光ファイバセンサ４０の発光部は、図５に拡大して図示されたノズル３２の外周上面の反射面３２ａに向けて、下方の斜め方向に光Ｐを照射する。その照射された光Ｐは、反射面３２ａで反射し、反射された反射光は、光ファイバセンサ４０の受光部で受光される。

ここで、ノズル３２は、前述のように、スピンドル３１の下端に、コイルスプリング３４を挟んで装着されている。従って、スピンドル３１が下降していて、ノズル３２が着地されれば、コイルスプリング３４が圧縮され、上下方向にスピンドル３１に対するノズル３２の相対位置が変化する。具体的には、ノズル３２がスピンドル３１の下端側に向けて相対的に移動する。ここで、ノズル３２が「着地」したというのは、ノズル３２の下方から力が作用したという意味であり、かような場合は、部品のピックアップ工程において、ノズル３２が下に移動していて、ノズル３２の下端部が部品の上面に着地する場合と、部品の実装工程において、ノズル３２の下端部に吸着保持された部品が、基板の上面に着地する場合とをいずれも含む概念である。

一方、光ファイバセンサ４０の発光部から照射される光Ｐは、レンズ４０ａ（図２）によって、ノズル３２が着地していない初期状態であるときの反射面３２ａに焦点が合わせられている。従って、ノズル３２が着地し、その上下方向に、スピンドル３１に対するノズル３２の位置が変化すれば、反射面３２ａ（図５）で反射される反射光の量が減少し、光ファイバセンサ４０の受光部で受光する受光量が減少する。本実施形態においては、この受光量の計測（受光量の減少計測など）を、光ファイバセンサ４０のセンサ部４０ｂ（図２）で検知し、制御部５０で演算してその状態を判断する。

センサ部４０ｂは、受光量をできる限り連続的に計測していて、受光量の減少量が所定の値に逹すれば、所定の信号を発する。すなわち、センサ部４０ｂは、受光量が、所定量減少したとき、ノズル３２が着地したと判断し、「着地検知信号」を発し、制御部５０は、かような信号を基にして、演算を行って制御を行う。

一方、以下、図６ないし図１１を参照し、スピンドル３１のＴ方向回転動作（Ｔ軸回転）のための部品保持ヘッド１０の構成について説明する。

図６は、本発明の一実施形態に係わる、ロータリヘッドのスピンドルのＴ方向回転動作のための構造を図示した概略的な部分斜視図である。図６は、説明のために、ヘッド本体２０の外部ケース、及びＴ軸回転と係わりのない部分を除去して図示した図面である。一方、図７は、本発明の一実施形態に係わる遊星ギア装置を上から見た概略的な平面図であり、図８は、図６において、線VIII−VIIIに沿って切って図示した概略的な断面図である。また、図９は、本発明の一実施形態に係わる、遊星ギア軸、第１遊星ギア、中間遊星ギア、第２遊星ギア、第１弾性手段、第２弾性手段の概略的な分解斜視図であり、図１０は、本発明の一実施形態に係わる、スピンドル回転ギアがＴ軸回転ギアに噛み合った様子を図示した概略的な断面図であり、図１１は、本発明の一実施形態に係わる、遊星ギア装置の第１遊星ギア及び中間遊星ギアとサンギアとの噛み合い様相を示す概略的な平面図である。

図６ないし図１１には、Ｔサーボモータ２２、カップリング２２ａ、遊星ギア装置６０が図示されている。

Ｔサーボモータ２２は、前述のように、スピンドル３１のＴ方向回転動作のための動力を発生させるＴ軸駆動手段である。すなわち、Ｔサーボモータ２２が、制御部５０から信号を受けて作動すれば、Ｔサーボモータ２２の回転軸（図示せず）が回転する。一方、図６及び図８に図示されているように、Ｔサーボモータ２２の回転軸（図示せず）は、カップリング２２ａによって、サンギア軸６１ａと連結されているので、Ｔサーボモータ２２の回転軸が回転すれば、サンギア軸６１ａも回転することにより、Ｔサーボモータ２２で生じた動力は、サンギア軸６１ａに伝達される。

図７ないし図９に図示されているように、遊星ギア装置６０は、サンギア６１、遊星ギア軸６２ａ、第１遊星ギア６２ｂ、中間遊星ギア６２ｃ、第２遊星ギア６２ｄ、第１弾性手段６２ｅ、第２弾性手段６２ｆ、キャリア６３、インターナルギア６４を含む。

本実施形態による遊星ギア装置６０は、１個のサンギア６１、２個の遊星ギア軸６２ａ、２個の第１遊星ギア６２ｂ、２個の中間遊星ギア６２ｃ、２個の第２遊星ギア６２ｄ、２個の第１弾性手段６２ｅ、２個の第２弾性手段６２ｆ、１個のキャリア６３、１個のインターナルギア６４で構成されるが、本発明は、それらに限定されるものではない。すなわち、本発明による遊星ギア装置の細部的な構成は、適切に変更されてもよい。例えば、本発明による遊星ギア装置は、１個のサンギア、３個の遊星ギア軸、３個の第１遊星ギア、３個の中間遊星ギア、３個の第２遊星ギア、３個の第１弾性手段、３個の第２弾性手段、１個のキャリア、１個のインターナルギアから構成されてもよい。

一方、サンギア６１は、サンギア軸６１ａから動力を伝達され、サンギア軸６１ａは、第１ベアリング６１ｂによって、内部フレーム６０ａに回動自在に支持される。

遊星ギア軸６２ａは、第２ベアリング６２ａ＿１によって、キャリア６３に回動自在に支持されるが、遊星ギア軸６２ａの外周には、第１遊星ギア６２ｂ、中間遊星ギア６２ｃ、第２遊星ギア６２ｄ、第１弾性手段６２ｅ、第２弾性手段６２ｆが設けられる。

第１遊星ギア６２ｂ、中間遊星ギア６２ｃ、第２遊星ギア６２ｄの外周には、ギア歯が形成されており、第１遊星ギア６２ｂと第２遊星ギア６２ｄとの間には、中間遊星ギア６２ｃが配置される。

中間遊星ギア６２ｃは、遊星ギア軸６２ａに固定されるように設けられ、第１遊星ギア６２ｂと第２遊星ギア６２ｄは、遊星ギア軸６２ａに回動自在に設けられる。

第１遊星ギア６２ｂと中間遊星ギア６２ｃは、噛み合い領域Ｓ１において、共にサンギア６１に噛み合い、第２遊星ギア６２ｄと中間遊星ギア６２ｃは、噛み合い領域Ｓ２において、共にインターナルギア６４に噛み合う。

第１遊星ギア６２ｂと中間遊星ギア６２ｃとの間には、第１弾性手段６２ｅが配置され、第２遊星ギア６２ｄと中間遊星ギア６２ｃとの間には、第２弾性手段６２ｆが配置される。

第１遊星ギア６２ｂは、第１弾性手段６２ｅを利用して、所定の弾性力が維持されるように、中間遊星ギア６２ｃに連結されることにより、第１遊星ギア６２ｂは、回転方向に、中間遊星ギア６２ｃに弾性的に支持される。それにより、図１１に図示されているように、中間遊星ギア６２ｃがサンギア６１に噛み合い、第１ピッチ点Ｐ１で接触している瞬間にも、第１弾性手段６２ｅによって、第１遊星ギア６２ｂは、中間遊星ギア６２ｃに対して、矢印方向に持続的に弾性力が作用しているので、第１遊星ギア６２ｂは、サンギア６１の第２ピッチ点Ｐ２で接触する。従って、遊星ギア装置６０の作動中、第１遊星ギア６２ｂとサンギア６１との接触、及び中間遊星ギア６２ｃとサンギア６１との接触が維持されるので、第１遊星ギア６２ｂとサンギア６１との間でバックラッシュ（ｂａｃｋｌａｓｈ）が防止され、中間遊星ギア６２ｃとサンギア６１との間でも、バックラッシュが防止される。

また、第２遊星ギア６２ｄは、第２弾性手段６２ｆを利用して、所定の弾性力が維持されるように、中間遊星ギア６２ｃに連結されることにより、第２遊星ギア６２ｄは、回転方向に、中間遊星ギア６２ｃに弾性的に支持される。それにより、中間遊星ギア６２ｃがインターナルギア６４に噛み合って接触している瞬間にも、第２弾性手段６２ｆによって、第２遊星ギア６２ｄは、中間遊星ギア６２ｃに対して持続的に弾性力が作用しているので、第２遊星ギア６２ｄは、インターナルギア６４のピッチ点で接触する。従って、遊星ギア装置６０の作動中、第２遊星ギア６２ｄとインターナルギア６４との接触、及び中間遊星ギア６２ｃとインターナルギア６４との接触が維持されるので、第２遊星ギア６２ｄとインターナルギア６４との間でバックラッシュが防止され、中間遊星ギア６２ｃとインターナルギア６４との間でも、バックラッシュが防止される。

一方、第１弾性手段６２ｅ及び第２弾性手段６２ｆとしては、トーションスプリングが使用されもする。本実施形態による第１弾性手段６２ｅ及び第２弾性手段６２ｆとしては、トーションスプリングが使用されているが、本発明は、それに限定されるものではない。すなわち、本発明による第１弾性手段及び第２弾性手段は、第１遊星ギア６２ｂと第２遊星ギア６２ｄとを、所定の弾性力が維持されるように、中間遊星ギア６２ｃに支持することができればよく、その素材及び形状に特別な制限はない。

一方、キャリア６３は、キャリア軸６３ａに支持されているが、キャリア軸６３ａは、第３ベアリング６３ｂによって、内部フレーム６０ａに回動支持される。図１０に図示されているように、キャリア軸６３ａは、Ｔ軸回転ギア７０に連結され、Ｔ軸回転ギア７０の外周に形成されたギア歯は、スピンドル３１に設けられたスピンドル回転ギア３１ｂと噛み合うことにより、キャリア軸６３ａが回転すれば、スピンドル３１も共に回転する。

インターナルギア６４は、内部フレーム６０ａに固定されるように設けられ、インターナルギア６４の内周のギアは、前述のように、噛み合い領域Ｓ２において、第２遊星ギア６２ｄと中間遊星ギア６２ｃとに噛み合う。

以下、本実施形態によるロータリヘッド３０のＴ軸方向回転動作について説明する。

ノズル３２によって部品の吸着動作が遂行された後、基板に実装する前に、表面実装機のカメラ（図示せず）は、ノズル３２に吸着された部品を撮影し、表面実装機の制御部５０は、ノズル３２に吸着された部品の姿勢と結合状態とを判断する。

もしノズル３２に吸着された部品の姿勢が正しくなく、実装のために、部品のＴ軸方向回転が必要である場合、制御部５０は、Ｔサーボモータ２２を駆動させる。Ｔサーボモータ２２が駆動されれば、カップリング２２ａを介して、遊星ギア装置６０に動力が伝達される。

具体的には、Ｔサーボモータ２２が駆動されれば、サンギア軸６１ａ及びサンギア６１が回転し、サンギア６１が回転すれば、それに噛み合った第１遊星ギア６２ｂ及び中間遊星ギア６２ｃが回転する。

中間遊星ギア６２ｃが回転（自転）すれば、中間遊星ギア６２ｃに噛み合ったインターナルギア６４が固定されているために、遊星ギア軸６２ａ及び中間遊星ギア６２ｃは、サンギア軸６１ａを中心に公転する。

遊星ギア軸６２ａ及び中間遊星ギア６２ｃが公転すれば、遊星ギア軸６２ａに連結されたキャリア６３も回転する。

キャリア６３が回転すれば、キャリア軸６３ａが回転し、キャリア軸６３ａが回転すれば、Ｔ軸回転ギア７０が回転する。それにより、Ｔ軸回転ギア７０と噛み合ったスピンドル回転ギア３１ｂ及びスピンドル３１も共に回転するので、ノズル３２に吸着された部品も、Ｔ軸方向に回転する。

以上のように、本実施形態による部品保持ヘッド１０は、第１遊星ギア６２ｂ及び第２遊星ギア６２ｄが、それぞれ第１弾性手段６２ｅ、第２弾性手段６２ｆを利用して、中間遊星ギア６２ｃに連結されているので、前述のように、第１遊星ギア６２ｂ及び中間遊星ギア６２ｃと、サンギア６１との間でバックラッシュが防止され、第２遊星ギア６２ｄ及び中間遊星ギア６２ｃと、インターナルギア６４との間でも、バックラッシュが防止される。それにより、遊星ギア装置６０の制御正確性を高めることができ、同時に、遊星ギア装置６０の摩耗、振動、騷音などを減らすことができる。

同時に、本実施形態による遊星ギア装置６０は、第１遊星ギア６２ｂ、中間遊星ギア６２ｃ、第２遊星ギア６２ｄが、Ｚ方向、すなわち、サンギア軸６１ａの軸方向に平行になるように順次に配列されており、減速機能を効率的に具現すると共に、配置空間を効率的に使用して、全体的な体積とサイズを小さくすることができるので、コンパクトな部品保持ヘッド１０を具現することができる。

本発明の一側面は、添付された図面に図示された実施形態を参照して説明したが、それらは、例示的なものに過ぎず、当該技術分野で当業者であるならば、それらから多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解することができるであろう。従って、本発明の真の保護範囲は、特許請求の範囲によってのみ定められるものである。

本発明は、部品を実装する表面実装機の製造及び適用に効果的に使用される。

１０ 部品保持ヘッド
２０ ヘッド本体
３０ ロータリヘッド
３１ スピンドル
３２ ノズル
４０ 光ファイバセンサ
５０ 制御部
６０ 遊星ギア装置
７０ Ｔ軸回転ギア

Claims (4)

1. 複数の部品保持部を具備した部品保持ヘッドにおいて、
   それぞれの端部に、前記部品保持部が装着された複数本のスピンドルを含み、前記スピンドルは当該スピンドルの長手方向軸線周りの回転方向であるＴ方向に回転自在であり、
   さらに、前記スピンドルのＴ方向回転動作のための動力を発生させるＴ軸駆動手段と、
   前記Ｔ軸駆動手段から動力を伝達されて回転するサンギアと、
   前記サンギアに噛み合う第１遊星ギアと、
   前記第１遊星ギアに連結されており、前記サンギアと噛み合う中間遊星ギアと、
   前記中間遊星ギアと噛み合うインターナルギアと、
   前記中間遊星ギアに連結されており、前記インターナルギアと噛み合う第２遊星ギアと、
   前記第１遊星ギアと前記中間遊星ギアとの間に配置されて弾性力を付与する第１弾性手段と、
   前記第２遊星ギアと前記中間遊星ギアとの間に配置されて弾性力を付与する第２弾性手段と、
   前記第１遊星ギア、前記第２遊星ギア、前記中間遊星ギアが設けられる遊星ギア軸と、
   前記遊星ギア軸が設けられるキャリアと、を含み、
   前記第１遊星ギアは、前記第１弾性手段を利用して、弾性力が維持されるように、前記中間遊星ギアに接続されることにより、前記第１遊星ギアは回転方向に前記中間遊星ギアに弾性的に支持され、
   前記第２遊星ギアは、前記第２弾性手段を利用して、弾性力が維持されるように、前記中間遊星ギアに接続されることにより、前記第２遊星ギアは回転方向に前記中間遊星ギアに弾性的に支持されることを特徴とする部品保持ヘッド。
2. 前記スピンドルは、ヘッド本体の鉛直軸周りの回転方向であるＲ方向に回転自在に設けられたロータリヘッドの周囲方向に沿って複数本配置されていることを特徴とする請求項１に記載の部品保持ヘッド。
3. 前記サンギアは、サンギア軸によって、前記Ｔ軸駆動手段から動力を伝達され、
   前記サンギア軸の軸方向に平行になるように、前記第１遊星ギア、前記中間遊星ギア、前記第２遊星ギアが順次に配列されたことを特徴とする請求項１に記載の部品保持ヘッド。
4. 前記第１弾性手段及び前記第２弾性手段は、トーションスプリングからなることを特徴とする請求項１に記載の部品保持ヘッド。

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