JP6856193B2 - ショットキーバリアダイオードの製造方法 - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 35
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 32
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 27
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005231 Edge Defined Film Fed Growth Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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Description
(ショットキーバリアダイオードの構成)
図1は、実施の形態に係るショットキーバリアダイオード1の垂直断面図である。ショットキーバリアダイオード1は、縦型のショットキーバリアダイオードであり、半導体層10と、半導体層10の一方の面上に形成されたアノード電極としてのショットキー電極11と、半導体層10の他方の面上に形成されたカソード電極としてのオーミック電極12と、を有する。
以下に、ショットキーバリアダイオード1の製造方法の一例について説明する。
上記実施の形態によれば、Ga2O3系半導体から構成される、逆方向リーク電流が小さく、かつ低損失のショットキーバリアダイオードを得ることができる。
Claims (2)
- Ga2O3系単結晶からなる半導体層上に、Pt層を含むショットキー電極を前記Pt層が前記半導体層に接触するように形成する工程と、
前記ショットキー電極を形成した後、350℃以上かつ650℃以下の熱処理を施す工程と、
を含み、
前記熱処理を施す工程における前記熱処理の温度を450℃以上かつ550℃以下とすることにより、前記立ち上がり電圧を0.6V以上かつ0.7V以下に制御し、前記熱処理を施す工程における前記熱処理の温度を350℃以上かつ450℃以下又は550℃以上かつ650℃以下とすることにより、前記立ち上がり電圧を0.7V以上かつ0.9V以下に制御する、
ショットキーバリアダイオードの製造方法。 - 前記Pt層が10nm以上の厚さを有する、
請求項1に記載のショットキーバリアダイオードの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016193848A JP6856193B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | ショットキーバリアダイオードの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016193848A JP6856193B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | ショットキーバリアダイオードの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018056493A JP2018056493A (ja) | 2018-04-05 |
JP6856193B2 true JP6856193B2 (ja) | 2021-04-07 |
Family
ID=61836017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016193848A Active JP6856193B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | ショットキーバリアダイオードの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6856193B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009260059A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Nippon Light Metal Co Ltd | 紫外線センサの製造方法 |
KR102267094B1 (ko) * | 2013-08-19 | 2021-06-18 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 산화물 반도체 기판 및 쇼트키 배리어 다이오드 |
JP2016174070A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | 住友電気工業株式会社 | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 |
JP6758569B2 (ja) * | 2015-03-20 | 2020-09-23 | 株式会社タムラ製作所 | 高耐圧ショットキーバリアダイオード |
-
2016
- 2016-09-30 JP JP2016193848A patent/JP6856193B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018056493A (ja) | 2018-04-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180327 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |