JP6846795B2 - ツールホルダ - Google Patents

Description

本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をスクライブするダイヤモンドツールを先端に保持するツールホルダに関するものである。

従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ツールは特許文献１等に示されるように、真空炉内でロー付け等によってツールホルダに保持されている。又特許文献２にはダイヤモンドスクライバをシャンク部の支持座に保持し、シャンク部の上部に押さえ爪を有する押さえ部を取付けて押さえ爪により保持するようにした構造が示されている。

特開２０１１−２１９３０８号公報 特開２００５−３０２７８２号公報

特許文献１等に示される従来のツールホルダでは先端にダイヤモンドツールをロー付けする必要があるため、前処理や取付け位置を正確に規定することが難しく、ロー付け時間を要するという問題点があった。又真空炉を設置する場所の維持管理などが必要であり、一旦ダイヤモンドツールをロー付けしてしまうと容易に取り替えることができなくなるという問題点があった。

特許文献２に示される押さえ爪でダイヤモンドツールを保持する場合には、確実に保持することが難しく、安定してスクライブが行うことが困難であり、また押さえ爪によりダイヤモンドに局所的に荷重がかかるため、衝撃により割れやすいという問題点もあった。

本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、ダイヤモンドツールを容易に着脱し、確実に保持することができるツールホルダを提供することを目的とする。

この課題を解決するために、本発明のツールホルダは、脆性材料基板をスクライブするダイヤモンドツールを保持するツールホルダであって、内壁が断面円形の筒状で先端に内径が徐々に小さくなるテーパー部と、前記筒状の内壁にねじ溝を有するホルダ本体と、前記ホルダ本体に挿入されるサブホルダと、前記ホルダ本体のねじ溝に噛合し前記サブホルダを前記テーパー部の内部に固定する第１の止めねじと、を具備し、前記サブホルダは、一端に外径が徐々に小さくなるテーパー部とスリットを有し、前記スリットにダイヤモンドツールを保持し、前記サブホルダは、前記ホルダ本体に対する角度を調整するための貫通孔、穴又は溝を有するものである。

ここで前記サブホルダのスリットは、段差状のスリットとしてもよい。

ここで前記サブホルダのスリットは、十字状のスリットとしてもよい。

ここで前記サブホルダのスリットは、下方に幅広部を有するスリットとしてもよい。

このような特徴を有する本発明によれば、スリットを有するサブホルダによってダイヤモンドツールを保持し、サブホルダを本体のテーパー部分に内側に押し付けてねじによって固定している。このためダイヤモンドツールをツールホルダの先端の開口から突出させて確実に保持することができ、又ダイヤモンドツールが摩耗又は損傷した場合であっても、ダイヤモンドツールを容易に交換することができるという効果が得られる。

図１は本発明の実施の形態に用いられるツールホルダの本体部の詳細を示す平面図、正面図、底面図及び断面図である。 図２は本発明の第１の実施の形態に用いられるサブホルダの正面図、平面図及び断面図である。 図３は本発明の第１の実施の形態に用いられるツールホルダに取付けられるダイヤモンドツールを示す斜視図、及びこのダイヤモンドツールをサブホルダに取付けた状態を示す側面図である。 図４は本発明の第１の実施の形態によるダイヤモンドツールを取付けたツールホルダを示す平面図、正面図、底面図及び断面図である。 図５は本発明の第２の実施の形態に用いられるダイヤモンドツールの一例を示す斜視図である。 図６は本発明の第２の実施の形態に用いられるサブホルダの正面図、平面図、底面図及び断面図である。 図７は本発明の第２の実施の形態によるダイヤモンドツールを取付けたツールホルダを示す平面図、正面図、底面図及び断面図である。 図８は本発明の第３の実施の形態に用いられるツールホルダに取付けられるダイヤモンドツールの一例を示す斜視図である。 図９は本発明の第３の実施の形態に用いられるサブホルダの正面図、平面図、底面図及び断面図である。 図１０は本発明の第３の実施の形態のサブホルダにダイヤモンドツールを取付けた状態を示す平面図、正面図及び断面図である。 図１１は本発明の第３の実施の形態によるダイヤモンドツールを取付けたツールホルダを示す平面図、正面図、底面図及び断面図である。 図１２は本発明の第４の実施の形態によるツールホルダの本体部の詳細を示す平面図、正面図及び断面図である。 図１３は本発明の第４の実施の形態によるホルダ本体部の図１２と異なる方向からの正面図及び底面図である。 図１４は本発明の第４の実施の形態によるサブホルダの正面図、側面図及び平面図である。 図１５は本発明の第５の実施の形態によるホルダ本体とダイヤモンドツールを取付けたツールホルダにおけるダイヤモンドツールの角度調整方法を示す断面図である。 図１６は本発明の第５の実施の形態によるサブホルダの正面図である。 図１７は本発明の第５の実施の形態による止めねじの正面図である。 図１８は本発明の第５の実施の形態による止めねじを固定するための第１の治具を示す正面図及び平面図である。 図１９は本発明の第５の実施の形態によるサブホルダを回転させるための第２の治具を示す正面図及び平面図である。

次に本発明の第１の実施の形態によるツールホルダ１０Ａについて説明する。ツールホルダ１０Ａはホルダ本体１１とその内部に保持されるサブホルダ２０によって構成される。図１は本発明の実施の形態に用いられるツールホルダ１０Ａのホルダ本体１１の詳細を示す平面図、正面図、底面図及び断面図である。図１に示すようにホルダ本体１１は角筒状の構造であり、中央部にその中心軸に沿って断面が円形の貫通孔１２を有している。ホルダ本体１１の上部は円錐台状のテーパー部１３が形成されており、内径，外径が共に徐々に小さくなっている。テーパー部１３の先端は貫通孔１２の開口となっており、テーパー部１３の円錐台の内径の先端角α２は例えば９０°とし、外径の先端角α１はこれと同じか大きいものとし、例えば１００°とする。又上部のテーパー部１３の下方には中心軸に垂直に貫通孔１４が設けられ、ホルダ本体１１の中央にも互いに直交する貫通孔１５，１６が設けられる。貫通孔１５，１６はツールホルダ１０Ａをスクライブヘッドに取付けるためのものである。又貫通孔１４と１５，１６との間には、ホルダ本体１１の貫通孔１２の内壁にねじ溝１７が形成されている。貫通孔１２はねじ溝１７より上部の内径が下部の内径よりも小さくなっている。

次にこのホルダ本体１１に挿入されるサブホルダ２０について図２を用いて説明する。サブホルダ２０はダイヤモンドツールを保持するためのものである。サブホルダ２０は円柱状の部材であって、ホルダ本体１１の貫通孔１２内に挿入するため、その外径はホルダ本体１１の貫通孔１２の上部内径よりわずかに小さいものとする。そしてサブホルダ２０の上部は外径が徐々に小さくなる円錐台形のテーパー部２１が形成されている。テーパー部２１の円錐台の先端角α３はホルダ本体１１のテーパー部１３の内径の円錐第の先端角α２と等しく、例えば９０°とされている。サブホルダ２０の中央には中心軸に垂直に貫通孔２２が設けられる。又サブホルダ２０の上部から中心軸に沿ってスリット２３が形成される。スリット２３はテーパー部２１の内部に形成されている上部スリット２３ａと、それより深い位置まで達する下部スリット２３ｂから成る段差状のスリットで、下部スリット２３ｂの幅は上部スリット２３ａの幅より狭くなるように構成される。

次にサブホルダ２０のスリットに挿入されるダイヤモンドツール３０について説明する。ダイヤモンドツール３０は図３（ａ）に示すように二等辺三角形の板状であり、その上部に少なくとも１つのポイントが形成される。ここでは２つのポイントＰ１，Ｐ２を有するものとする。ダイヤモンドツール３０の厚さはサブホルダ２０の上部スリット２３ａの幅よりわずかに小さく、下部スリット２３ｂの幅より大きいものとする。また、ダイヤモンドツール３０の頂角はサブホルダのテーパー部２１の角度と等しくされ、例えば９０°である。また、ダイヤモンドツール３２の大きさは上部スリット２３ａの大きさよりわずかに小さい。こうすれば図３（ｂ）に示すように、ダイヤモンドツール３０をサブホルダ２０の上部スリット２３ａに保持することができ、保持した状態でポイントとなる先端部のみがテーパー部２１から突出することとなる。

さてダイヤモンドツール３０をツールホルダ１０Ａに取付ける場合には、図４に示すようにサブホルダ２０の上部スリット２３ａに三角形板状のダイヤモンドツール３０を挿入した状態で、サブホルダ２０をホルダ本体１１の貫通孔１２の下方の開口より上向きに挿入して押し上げる。そして貫通孔１２の下方より止めねじ１８を挿入し、止めねじ１８をねじ溝１７に噛合させ、止めねじ１８を回転させることによってサブホルダ２０を押し上げる。こうすればサブホルダ２０の上部のテーパー部２１とダイヤモンドツール３０のポイント部分がホルダ本体１１の貫通孔１２のテーパー部１３の開口より突出する。ここで止めねじ１８を更に締め付けると、テーパー部１３の内壁にサブホルダ２０のスリット２３が締め付けられて左右よりダイヤモンドツール３０を押さえ込み、ダイヤモンドツール３０を確実に固定することができる。このとき、ダイヤモンドツール３０はホルダ本体１１のテーパー部１３とは接触せず、側面のみがサブホルダ２０のテーパー部２１により押さえられているため、締付ける力を分散させることができ、ダイヤモンドツール３０に損傷を与えにくくなる。ホルダ本体１１の貫通孔１２の下部はそのまま開放しておいてもよいが、図４に示すように下方から弾力性のある蓋１９を設けて封止することが好ましい。なお、止めねじ１８としては市販の六角穴付止めねじ等を好適に用いることができる。また、本実施の形態においては取付けた段階でサブホルダ２０のテーパー部２１がホルダ本体１１のテーパー部１３の開口から突出するようにされているが、サブホルダ２０のテーパー部２１はホルダ本体１１のテーパー部１３と同じ高さになるようにしてもよく、ホルダ本体１１のテーパー部１３の内部に位置していてもよい。

さてサブホルダ２０をホルダ本体１１に取付ける際に、貫通孔２２がホルダ本体１１の上部に設けられた貫通孔１４と同じ位置となるように取付けることが好ましい。こうすればホルダ本体１１の貫通孔１４からサブホルダ２０の貫通孔２２を確認することができる。そしてサブホルダ２０をホルダ本体１１に取付けたあとでダイヤモンドツール３０の角度の微調整が必要な場合、この貫通孔２２にピン等を通しサブホルダ２０を回転させることにより、ホルダ本体１１に対するサブホルダ２０の角度を変更することができる。

尚サブホルダ２０の下部スリット２３ｂは再研磨などのためにダイヤモンドツール３０を取り外すために用いられる。ダイヤモンドツール３０が損傷した場合には、止めねじ１８を外してサブホルダ２０をホルダ本体１１から取り外す。そして下部スリット２３ｂに側面からピン等を挿入し、使用後のダイヤモンドツール３０をピン等で押し上げると、ダイヤモンドツール３０を容易に取り外すことができる。

尚第１の実施の形態では、テーパー部の外径の先端角α１を１００°とし、内径の先端角α２を９０°としているが、先端角α２は３０°〜９０°であることが好ましく、より好ましくは４０°〜７０°とする。更にサブホルダ２０の円錐台の先端角α３はα２と同じであってもよく、又これより１°〜３°程度小さい角度となるように、例えば先端角α２を６０°、先端角α３を５８°に設定してもよい。先端角α３が先端角α２より小さい方が締め付けがよく、確実に固定することができる。

次に本発明の第２の実施の形態によるツールホルダ１０Ｂについて説明する。第２の実施の形態は図５に示す四角柱状のダイヤモンドツール３１を用いる場合に使用されるツールホルダである。このツールホルダ１０Ｂのホルダ本体１１は前述した第１の実施の形態のものとほぼ同様であり、サブホルダ４０のみが異なっている。図６は第２の実施の形態によるサブホルダ４０を示す正面図、平面図、底面図及び断面図である。これらの図に示すように、サブホルダ４０の外形は第１の実施の形態のサブホルダ２０と同じく円柱状で上部に先端角α３のテーパー部４１を有している。テーパー部４１の下方に軸に垂直な方向に互いに直交する２つの円形の貫通孔４２が設けられている。サブホルダ４０の上部はテーパー部４１よりやや下方にまで図６に示すように十字状のスリット４３ａ，４３ｂが設けられている。貫通孔４４はサブホルダ４０の中心軸に沿ってサブホルダ４０を貫通しており、スリット４３ａ，４３ｂのやや下方までは径が小さく、それより下方では径が大きくされている。

このサブホルダ４０に四角柱状のダイヤモンドツール３１を保持する場合には、図７に示すように上部よりスリット４３ａ，４３ｂに嵌め込むようにダイヤモンドツール３１を挿入する。尚ダイヤモンドツール３１は上部に設けられた十字状のスリット４３ａ，４３ｂの底に四角柱の角が位置することにより保持されるので、貫通孔４４が設けられていても脱落することはない。

さてダイヤモンドツール３１をツールホルダ１０Ｂに取付ける場合について図７を用いて説明する。まずサブホルダ４０のスリット４３ａ，４３ｂにダイヤモンドツール３１を挿入した状態で、サブホルダ４０をホルダ本体１１の貫通孔１２の下方の開口より上向きに挿入して押し上げる。そして貫通孔１２の下方より止めねじ１８を挿入し、止めねじ１８をねじ溝１７に噛合させ、止めねじ１８を回転させることによってサブホルダ４０を押し上げる。そうすれば上部のスリット４３ａ，４３ｂがホルダ本体１１のテーパー部１３の内壁と接触してスリット４３ａ，４３ｂが締め付けられることとなって、四角柱状のダイヤモンドツール３１を押さえ込むことができ、確実に保持することができる。このとき、ダイヤモンドツール３１の４つの側面それぞれがサブホルダのテーパー部により押さえられるため、締付ける力を分散させることができ、ダイヤモンドツール３１に損傷を与えにくくなる。この場合も貫通孔１２の下方はそのまま開放しておいてもよいが、蓋１９を設けて貫通孔を閉じておくことが好ましい。また、ダイヤモンドツール３１は四角柱であり、最大４つのポイントを設けることができるため、サブホルダ４０には貫通孔４２が互いに直交するように設けられており、ホルダ本体の貫通孔１４もサブホルダ４０の貫通孔４２に対応して互いに直交するように設けられている。ダイヤモンドツール３１の角度の調整は、第１の実施の形態と同様、ホルダ本体の貫通孔１４を通じて貫通孔４２にピン等を通しサブホルダ４０を回転させることにより行うことができる。

尚サブホルダ４０の中心軸に沿った貫通孔４４は交換などのためにダイヤモンドツール３１を取り外すために用いられる。ダイヤモンドツールのポイントが損傷した場合には止めねじ１８を外してサブホルダ４０をホルダ本体１１から取り外す。これによりスリット４３ａ，４３ｂがわずかに開く。そして貫通孔４４から使用後のダイヤモンドツール３１をピン等で押し上げると、ダイヤモンドツール３１を容易に取り外すことができる。こうすればダイヤモンドツールのポイントの修復を行うことが容易となる。あるいは、止めねじ１８をゆるめることでスリット４３ａ，４３ｂがわずかに開くため、サブホルダ４０をホルダ本体１１から取り外すことなく、ダイヤモンドツール３１の先端を引っ張って取り外してもよい。又ダイヤモンドツール３１の下部にもポイントが設けられている場合、ダイヤモンドツールを反転させて下部のポイントを用いることが容易となる。

次に本発明の第３の実施の形態によるツールホルダ１０Ｃについて説明する。第３の実施の形態は図８に示す長方形板状のダイヤモンドツール３２を用いる場合に使用されるツールホルダである。

このツールホルダ１０Ｃのホルダ本体１１は前述した第１の実施の形態のものと同様であり、サブホルダ５０のみが異なっている。図９は第３の実施の形態によるサブホルダ５０を示す正面図、平面図、底面図及び断面図である。これらの図に示すように、サブホルダ５０の外形は第１の実施の形態とサブホルダ２０と同じく円柱状で上部に先端角α３のテーパー部５１を有している。テーパー部５１の下方に軸に垂直な方向に円形の貫通孔５２が設けられている。サブホルダ５０の上部はテーパー部５１よりやや下方にまで図９に示すようにスリット５３が設けられている。スリット５３はテーパー部５１の内部に形成されている上部スリット５３ａと、それより深い位置に形成された下部スリット５３ｂから成る。スリット５３の下部スリット５３ｂは円筒形であり、その直径は上部スリット５３ａの幅より広くされ、幅広部となるように構成される。これにより、第１の実施の形態と異なり、ダイヤモンドツール３２は上部スリット５３ａと下部スリット５３ｂに保持される。

ダイヤモンドツール３２をツールホルダ１０Ｃに取付ける場合には、サブホルダ５０のスリット５３に長方形板状のダイヤモンドツール３２を挿入する。図１０はサブホルダ５０にダイヤモンドツール３２を挿入した状態を示す正面図、平面図及び断面図である。このように下部スリット５３ｂの下端までダイヤモンドツール３２を挿入した状態で、図１１に示すようにサブホルダ５０をホルダ本体１１の貫通孔１２の下方の開口より上向きに挿入して押し上げる。そして貫通孔１２の下方より止めねじ１８を挿入し、止めねじ１８をねじ溝１７に噛合させ、止めねじ１８を回転させることによってサブホルダ５０を押し上げる。こうすればサブホルダ５０のテーパー部５１より突出したダイヤモンドツール３２のポイント部分がホルダ本体１１の貫通孔１２のテーパー部１３の開口より突出する。ここで止めねじ１８を更に締め付けると、テーパー部１３の内壁にサブホルダ５０のスリット５３が締め付けられて左右よりダイヤモンドツール３２を押さえ込み、ダイヤモンドツール３２を確実に固定することができる。このとき、下部スリット５３ｂの幅は上部スリット２３ａの幅より広いため、より容易にスリット５３を締め付けることができる。

前述した各実施の形態では、ホルダ本体１１のテーパー部１３は内外周共に円錐台状としているが、テーパー部１３の外形は角錐台状であってもよい。また、サブホルダの上部のテーパー部５１がホルダ本体１１のテーパー部１３の開口から突出してもよい。

次に本発明の第４の実施の形態について図１２，図１３を用いて説明する。このツールホルダ１０Ｄは第１の実施の形態と異なり、ホルダ本体６１をＷＯ２００７／０６３９７９号等に示される円筒形のチップホルダと同一の形状としたものである。ホルダ本体６１の上部には略正方形状の平坦部６２ａ，６２ｂが中心軸に平行に設けられる。又ホルダ本体６１は図１２に示すように中心軸に沿って上下を貫通する貫通孔６３を有し、その中央部分にねじ溝６４が形成されている。ホルダ本体６１の上部は円錐状のテーパー部６５が形成されており、内径と外径が共に徐々に小さくなっている。テーパー部６５の先端部は開口部となっており、テーパー部６５の外径の先端角α１は１００°、テーパー部６５の円錐台の内径の先端角α２は６０°とする。一方ホルダ本体６１の下方は切欠かれた傾斜部６６ａ及び平坦部６６ｂを有している。このようにすることによってＷＯ２００７／０６３９７９号等に示されるチップホルダと交換してツールホルダ１０Ｄを用いることができる。

次に図１４はこのホルダ本体６１に挿入されるサブホルダ７０を示している。このサブホルダ７０は図２のサブホルダとほぼ同一であるが、スリット７１が同一の幅で一定深さまで形成されており、上部のテーパー部の先端角α３は５８°となっている。このサブホルダ７０を図１２に示すホルダ本体６１の貫通孔６３に下部より挿入し、止めねじで固定することによって図８に示す長方形の板状のダイヤモンドツール３２を保持することができる。尚ここではサブホルダ７０を第１の実施の形態と同様としているが、第２，第３の実施の形態のサブホルダと同様のものを用いてもよい。

次に本発明の第５の実施の形態について図１５を用いて説明する。この実施の形態のツールホルダ１０Ｅはツールホルダの外観の品質を高めるようにしたものである。ホルダ本体８１はホルダ本体１１とほぼ同一の角筒形状であり、図１５に示すように中央部にその中心軸に沿って断面が円形の貫通孔８２を有している。ホルダ本体８１の上部は円錐台状のテーパー部８３が形成されており、内径，外径が共に徐々に小さくなっている。テーパー部８３の先端は貫通孔８２の開口となっており、テーパー部の外径の先端角α１は１００°、内径の先端角α２は６０°とする。又ホルダ本体８１はホルダ本体１１の貫通孔１４に相当する貫通孔を省略している。ホルダ本体８１の中心を貫く貫通孔８２の詳細やその内壁のねじ溝などは第１の実施の形態のホルダ本体１１と同様であるので、詳細な説明を省略する。

次にこのホルダ本体８１に挿入されるサブホルダ９０は、図１６に示すように、図１４とほぼ同一の形状であるが、側面には貫通孔を設けていない。サブホルダ９０の下部にはサブホルダ９０を回転させるための穴又は溝が設けられている。本実施の形態においては、小径の第２の止めねじ９１を埋め込み、接着剤等で固定することで、サブホルダ９０を回転させるための六角穴を設けているが、サブホルダ９０に回転用の穴又は溝を直接設けてもよい。サブホルダ９０の上部には段差のないスリット９２が設けられる。

次にこのサブホルダ９０をホルダ本体８１に固定する第１の止めねじ１００について、図１７を用いて説明する。止めねじ１００は外周にねじが切られ、下面に六角形の開口１０１を有し、冶具によって回転させることができる。更に止めねじ１００の中心には小径の貫通孔１０２が形成されている。サブホルダ９０をこの止めねじ１００を用いてホルダ本体８１内で押し上げることによりサブホルダを止めねじで固定することができる。

図１８は止めねじ１００を回転させるための第１の治具１１０を示す平面図及び正面図、図１９はサブホルダ９０を回転させるための第２の治具１２０の平面図及び正面図である。治具１１０は図１８に示すように上部の内径が小さく、下部では大きい貫通孔１１１を有し、上部が六角柱部１１２を有する円筒形の治具である。又第２の治具１２０は図１９に示すように先端が六角柱部１２１を有する円柱状の治具である。六角柱部１２１は第１の治具１１０の貫通孔１１１を下から貫通させ貫通孔１１１より突出させるのに十分な長さを有するものとする。第２の治具１２０は第１の治具１１０の貫通孔１１１に角柱部１２１を通してサブホルダ９０を回転させるものである。

さてダイヤモンドツール３２をツールホルダ１０Ｅに取付ける場合について図１５を用いて説明する。まずサブホルダ９０のスリット９２に角板状のダイヤモンドツール３２を挿入した状態で、サブホルダ９０をホルダ本体８１の貫通孔８２の下方の開口より上向きに挿入して押し上げる。そして貫通孔８２の下方より図１５に示すように第１の治具１１０によって止めねじ１００を回転させ、サブホルダ９０をホルダ本体８１の貫通孔８２内で上向きに押し上げる。こうすればサブホルダ９０の上部より突出したダイヤモンドツール３２のポイント部分がホルダ本体８１のテーパー部８３の開口より突出する。ここで止めねじ１００を更に締め付けると、テーパー部８３の内壁にサブホルダ９０のスリット９２が締め付けられて左右よりダイヤモンドツール３２を押さえ込み、ダイヤモンドツール３２を確実に固定することができる。そしてサブホルダ９０をホルダ本体８１に取付けたあとでダイヤモンドツール３２の角度の微調整が必要な場合、第１の治具１１０を用いてサブホルダ９０への締め付けを緩め、第２の治具１２０を用いてサブホルダ９０を回転させる。こうすればホルダ本体８１に対するサブホルダ９０の角度を変更することができる。このように第１，第２の治具１１０，１２０を用いて夫々止めねじ１００，サブホルダ９０を回転させるようにすれば、ホルダ本体８１の側壁に角度調整用の貫通孔を設ける必要がなく、外観の品質を高めることができる。

このようにホルダ本体部とサブホルダを用いてダイヤモンドツールを保持することによって種々の形態のツールを保持することができ、スクライブ装置に有効となる。

１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ ツールホルダ
１１，６１，８１ ホルダ本体
１２，１４，１５，１６、６３ 貫通孔
１３ テーパー部
１７ ねじ溝
１８，９１，１００ 止めねじ
１９ 蓋
２０，４０，５０，７０，９０ サブホルダ
２２，４２，４４，５２，８２，１１１ 貫通孔
２１，４１，５１，６５、８３ テーパー部
２３ａ，５３ａ 上部スリット
２３ｂ，５３ｂ 下部スリット
３０，３１，３２ ダイヤモンドツール
２３，４３ａ，４３ｂ，５３，７１，９２ スリット
１１０ 第１の治具
１２０ 第２の治具
１１２，１２１ 六角柱部

Claims (4)

1. 脆性材料基板をスクライブするダイヤモンドツールを保持するツールホルダであって、
   内壁が断面円形の筒状で先端に内径徐々に小さくなるテーパー部と、前記筒状の内壁にねじ溝を有するホルダ本体と、
   前記ホルダ本体に挿入されるサブホルダと、
   前記ホルダ本体のねじ溝に噛合し前記サブホルダを前記テーパー部の内部に固定する第１の止めねじと、具備し、
   前記サブホルダは、一端に外径が徐々に小さくなるテーパー部とスリットを有し、前記スリットにダイヤモンドツールを保持し、
   前記サブホルダは、前記ホルダ本体に対する角度を調整するための貫通孔、穴又は溝を有するツールホルダ。
2. 前記サブホルダのスリットは、段差状スリットである請求項１記載のツールホルダ。
3. 前記サブホルダのスリットは、十字状のスリットである請求項１記載のツールホルダ。
4. 前記サブホルダのスリットは、下方に幅広部を有するスリットである請求項１記載のツールホルダ。

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