JP5950164B2 - 基板ホルダ - Google Patents
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Description
2.位置規制部
21.貫通孔
211.小径部
212.大径部
3.固定部材
31.貫通孔
32.端部
33.突起部
4.締め付け部材
41.頭部
42.軸部
43.治具取り付け部
5.オリエンテーションフラット部
6.凸部
7.ホルダ本体部
H.基板ホルダ
Claims (5)
- 表面に基板が載置されるホルダ本体部と、
前記ホルダ本体部の表面から突出し、前記基板の移動を規制する位置規制部と、
前記位置規制部上に設けられ、前記基板が載置される側に向けて延出した端部と当該端部に連設されて前記ホルダ本体部の表面に向けて突出した突起部を有する固定部材と、を具備していて、
前記ホルダ本体部の裏面側から視て、前記ホルダ本体部に設けられた大径部と前記位置規制部に設けられた小径部からなる貫通孔が形成されているとともに、前記大径部よりも小さく前記小径部よりも大きい頭部と前記小径部よりも小さい軸部を備えた締め付け部材が前記貫通孔を通して挿通されて、前記軸部が前記固定部材に螺合されていることを特徴とする基板ホルダ。 - 前記固定部材はネジ部が形成された貫通孔を有しているとともに、前記締め付け部材の軸部の先端面には、前記締付部材の締付力を調整するための治具を取り付ける治具取り付け部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板ホルダ。
- 前記固定部材と前記締め付け部材は非金属製であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記締め付け部材の頭部の先端面には、前記締付部材の締付力を調整するための治具を取り付ける治具取り付け部が形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3記載の基板ホルダ。
- 前記基板はオリエンテーションフラット部を有する略円形の基板であって、前記ホルダ本体部の表面には前記オリエンテーションフラット部と当接する凸部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
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