JP6829831B2 - 抵抗変化型メモリ - Google Patents
抵抗変化型メモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6829831B2 JP6829831B2 JP2016235441A JP2016235441A JP6829831B2 JP 6829831 B2 JP6829831 B2 JP 6829831B2 JP 2016235441 A JP2016235441 A JP 2016235441A JP 2016235441 A JP2016235441 A JP 2016235441A JP 6829831 B2 JP6829831 B2 JP 6829831B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- transistor
- bit line
- signal
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 111
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 73
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 188
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 109
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 82
- 102100026967 T cell receptor beta chain MC.7.G5 Human genes 0.000 description 67
- 102100029454 T cell receptor alpha chain MC.7.G5 Human genes 0.000 description 62
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 34
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 18
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 241001649081 Dina Species 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 101100421916 Arabidopsis thaliana SOT5 gene Proteins 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1653—Address circuits or decoders
- G11C11/1655—Bit-line or column circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1677—Verifying circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1693—Timing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1697—Power supply circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0023—Address circuits or decoders
- G11C13/0026—Bit-line or column circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0038—Power supply circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0061—Timing circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0064—Verifying circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0076—Write operation performed depending on read result
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0092—Write characterized by the shape, e.g. form, length, amplitude of the write pulse
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/79—Array wherein the access device being a transistor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
以下、図1乃至図25を参照しながら、本実施形態について詳細に説明する。以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付す。また、以下の実施形態において、区別化のために数字/英字が参照符号の末尾に付された構成要素(例えば、ワード線WLやビット線BL、各種の電圧及び信号など)が相互に区別されない場合、末尾の数字/英字が省略された表記が用いられる。
図1乃至図8を参照して、第1の実施形態の抵抗変化型メモリについて、説明する。
図1及び2を用いて、実施形態の抵抗変化型メモリの構成例が、説明される。
図1は、第1の実施形態の抵抗変化型メモリの構成例を説明するためのブロック図である。
ロウ制御回路13Bは、ロウアドレスのデコード結果に基づいて、メモリセルアレイ10のロウ(例えば、ワード線)を選択する。
カラム制御回路14Bは、カラムアドレスのデコード結果に基づいて、メモリセルアレイのカラム(例えば、ビット線)を選択する。
抵抗変化型メモリ1のチップ内に、ECC回路が設けられていてもよい。
磁気抵抗効果素子100を含むメモリセルMCは、以下のような構造を有する。
図2は、本実施形態のMRAMのメモリセルの構造例を示す断面図である。
セルトランジスタ200において、ゲート電極210は、ゲート絶縁膜220を介してアクティブ領域AA上方に設けられている。セルトランジスタ200のソース/ドレイン領域230A,230Bは、アクティブ領域AA内に設けられている。
コンタクトプラグP1Bが、ソース/ドレイン領域230B上に設けられている。
トンネルバリア層130と記憶層110との間の界面磁気異方性によって、垂直磁気異方性が記憶層110内に発現する。これによって、記憶層110は、トンネルバリア層130と記憶層110との界面に対してほぼ垂直な磁化を有する。記憶層110の磁化方向(磁化容易軸方向)は、2つの磁性層110,120の積層方向に対してほぼ平行な方向である。
例えば、中間層129に、Ruが用いられた場合、中間層129の膜厚を調節することによって、参照層120及びシフトキャンセル層125における反強磁性の結合力を、強くできる。これによって、参照層120及びシフトキャンセル層125の磁化方向は、自動的に反平行な状態で安定化する。
記憶層110の磁化の向きが、参照層120の磁化の向きと同じである場合(MTJ素子100の磁化配列が、平行配列状態である場合)、MTJ素子100は、第1の抵抗値R1を有する。記憶層110の磁化の向きが、参照層120の磁化の向きと異なる場合(MTJ素子100の磁化配列が、反平行配列状態である場合)、MTJ素子100は、第1の抵抗値R1より高い第2の抵抗値R2を有する。
尚、MTJ素子100は、記憶層及び参照層の磁化が磁性層の積層方向に対して垂直な方向を向くMTJ素子(平行磁化型MTJ素子)でもよい。平行磁化型MTJ素子において、記憶層及び参照層の磁化容易軸方向は、磁性層の層面に対して平行な方向である。
図3及び図4を用いて、本実施形態のMRAMのメモリセルの動作原理について説明する。
図3の例において、ある電圧値の書き込み電圧VWが、ビット線bBLに印加される。ある電圧が、ビット線BLに印加される。例えば、書き込み電圧VWが正の電圧である電圧書き込み型MRAMにおいて、ビット線BLに印加される電圧の電圧値は、ビット線bBLに印加される電圧の電圧値より小さい。また、書き込み電圧VWが負の電圧である電圧書き込み型MRAMにおいて、ビット線BLに印加される電圧の電圧値は、ビット線bBLに印加される電圧の電圧値より大きい。書き込み電圧VWが、正の電圧であるか負の電圧であるかは、MTJ素子100の構成によって異なる。
このように、電圧書き込み型MRAMは、1つの方向(バイアス方向)からの電圧の供給によって、MTJ素子の磁化配列を、変えることができる。
図4の(a)及び(b)は、電圧効果を利用したMTJ素子の磁化反転に用いられる電圧とMTJ素子の磁気異方性エネルギーとの関係を示す図である。
図5の(a)に示されるように、磁性層(記憶層)は、書き込み電圧VWの印加前において、ある向きに設定された磁化(以下では、初期状態の磁化とよぶ)Ziを有する。
磁化Zxの歳差運動によって、記憶層110の磁化の向きが、変わる。
電圧VWの供給の停止によって、記憶層110の磁化Zxの歳差運動は止まる。
この結果として、記憶層110の磁化の向きは、反転する。
それゆえ、電圧書き込み型MRAMは、書き込み電圧のパルス幅(ある電圧値の印加時間)がある範囲内に収まるように、書き込み電圧のパルス幅を精緻に制御することが、望ましい。書き込み回路16が、書き込み電圧のパルス幅を、制御する。
図6は、本実施形態のMRAMのメモリセルアレイ及び書き込み回路の構成例を示す等価回路図である。
電圧線900A,900B,900Bは、グローバル配線である。電圧線900A,900B,900Cは、データの書き込みのための配線として、用いられる。
尚、ビット線BLに電圧を供給するための書き込み回路が、グローバルビット線GBLに、接続されてもよい。
イコライザ回路165は、各ビット線bBL及び各電圧線900A,900B,900Cに対応する複数の制御素子TRA,TRB,TRCを含む。制御素子TRA,TRB,TRCは、N型電界効果トランジスタである。トランジスタTRA,TRB,TRCは、マトリクス状に配列されている。
トランジスタTRA,TRB,TRCの動作順序に応じて、電圧線900A,900B,900Cとビット線bBLとの接続順序が、制御される。
各トランジスタTRAのゲートに、制御信号WDA(WDA<0>,WDA<1>,・・・,WDA<n−2>,WDA<n−1>)が、供給される。制御信号WDAに基づいて、各トランジスタTRAのオン/オフが、互いに独立に制御される。制御信号WDAによって、複数のトランジスタTRAのうち選択アドレスADRに対応する1つのトランジスタTRAが選択される。例えば、制御信号WDAは、アドレスADRに基づいて、カラムデコーダ14A又はカラム制御回路14Bから供給される。
各トランジスタTRBのゲートに、制御信号WDB(WDB<0>,WDB<1>,・・・,WDB<n−2>,WDB<n−1>)が、供給される。制御信号WDBに基づいて、各トランジスタTRBのオン/オフが、互いに独立に制御される。制御信号WDBによって、複数のトランジスタTRBのうち選択アドレスADRに対応する1つのトランジスタTRBが選択される。例えば、制御信号WDBは、アドレスADRに基づいて、カラムデコーダ14A又はカラム制御回路14Bから供給される。
図7を参照して、本実施形態のMRAMの動作例について説明する。
ここでは、図1乃至図6も、適宜参照して、本実施形態のMRAMの動作が、説明される。
図7に示されるように、コマンドCMD及びアドレスADRの受信の後、時刻t0において、アドレスADRがコマンド・アドレスラッチ回路11内にラッチされ、アドレスADRは有効になる。
例えば、書き込みドライバ160は、ビット線BLkに、0Vの電圧を印加する。グローバルビット線GBLに接続されたドライバ回路が、制御信号CSAによってオン状態に設定されたトランジスタM1を介して、0Vの電圧を、ビット線BLkに印加してもよい。後述のように、ビット線BLkに、0Vより高い電圧が印加されてもよい。
また、制御信号CSBは、“L”レベルに設定されている。それゆえ、センスアンプ回路151は、オフ状態のトランジスタM2によって、ビット線bBLkから電気的に分離されている。
トランジスタTRAがオンされている期間において、トランジスタTRB,TRCはオフ状態に設定されている。それゆえ、電圧線900B,900Cは、ビット線bBLkから電気的に分離される。
また、本実施形態において、書き込み電圧VWのパルス幅W1は、書き込み電圧VWの半値全幅に基づいて定義されてもよいし、書き込み電圧VWのパルス幅W1が、電圧値V1を有する期間に基づいて定義されてもよい。
これと共に、イコライザ回路165は、信号WDCkの信号レベルを“L”レベルから“H”レベルに変える。これによって、電圧線900Cとビット線bBLkとが、容量結合によって、電気的に接続されている。0Vの電圧が、オン状態のトランジスタTRCを介して、電圧線900Cからビット線bBLに供給される。
図8を用いて、本実施形態のMRAMの変形例を説明する。
それゆえ、トランジスタTRA,TRCに接続されている電圧線は、共通化できる。
本実施形態の抵抗変化型メモリ(例えば、MRAMのような磁気メモリ)において、選択セルに対する書き込み電圧の供給は、ローカルビット線に接続されたイコライザ回路を含む書き込み回路によって、実行される。
それゆえ、本実施形態の抵抗変化型メモリは、書き込み動作を高速化できる。
これによって、本実施形態の抵抗変化型メモリは、比較的簡素な構成及び電源網の構成で、書き込み電圧のパルス形状を、精緻に制御できる。
図9乃至図11を参照して、第2の実施形態の抵抗変化型メモリについて、説明する。
ANDゲート600Aの出力端子は、配線609Aに接続されている。ANDゲート60Aは、出力端子から制御信号WDAを出力する。配線609Aに、トランジスタTRAのゲートが、接続されている。
ANDゲート600Bの出力端子は、配線609Bに接続されている。ANDゲート60Bは、出力端子から制御信号WDBを出力する。配線609Bに、トランジスタTRBのゲートが、接続されている。
ANDゲート600Bの出力端子は、配線609Cに接続されている。ANDゲート60Aは、出力端子から制御信号WDCを出力する。配線609Cに、トランジスタTRCのゲートが、接続されている。
NORゲート601Aの第1の入力端子に、信号WDAが供給される。NORゲート601Aの第1の入力端子は、配線609Aに接続されている。NORゲート601Aの第2の入力端子に、信号WDBが入力される。NORゲート601Aの第3の入力端子に、信号WDCが供給される。例えば、NORゲート601Aの第2の入力端子は、配線609Bに接続され、NORゲートの第3の入力端子は、配線609Cに接続されている。
NORゲート601Bの第1の入力端子に、信号WDBが供給される。例えば、NORゲート601Bの第1の入力端子は、配線609Bに接続されている。NORゲート601Bの第2の入力端子に、信号WDCが入力される。例えば、NORゲート601Bの第2の入力端子は、配線609Cに接続されている。
本実施形態のMRAMの動作例について、説明する。ここでは、図9及び10を用いて、本実施形態のMRAMにおけるタイミング制御回路の動作について、説明する。
この結果として、トランジスタTRAがオン状態に設定されたとしても、配線609Aの遅延量に起因する遅延期間(ここでは、遅延期間TX1と表記する)が経過するまで、配線609AからANDゲート600B及びNORゲート601Aに供給される信号のレベルは、“L”レベルに維持されている。
これによって、ANDゲート600Aは、“L”レベルの信号WDAを配線609Aに出力する。“L”レベルの信号によって、トランジスタTRAはオフされ、電圧線900Aは、ビット線bBLkから電気的に分離される。電圧線900Aからビット線bBLkへの電圧の供給は、遮断される。尚、上述のように、配線609Aの遅延量によって、“L”レベルの信号は、期間TX1を経過してから、配線609Aを経由してANDゲート600Bに供給される。
そのため、インバータ605の入力端子に“L”レベルの信号が供給されている場合、インバータ605は、“H”レベルの信号bWDCを、ANDゲート600Cに供給する。
これによって、電圧線900Cが、オン状態のトランジスタTRCを経由して、選択ビット線bBLkに電気的に接続されている。電圧線900Cの電圧(例えば、0V)が、選択ビット線bBLkに供給される。
図11を用いて、本実施形態のMRAMの変形例について、説明する。
時間調整回路620内の素子(例えば、トランジスタ)は、駆動電圧VDLYの大きさに応じて、素子/回路の応答速度を変えることができる。それゆえ、駆動電圧VDLYの大きさを制御することによって、時間調整回路620は、信号に付加される遅延量を、制御できる。
本実施形態の抵抗変化型メモリ(例えば、MRAMのような磁気メモリ)は、書き込み回路16内のタイミング制御回路169を用いて、配線609の遅延量を利用した信号の転送によって、1つのトリガ信号の供給のみで、メモリセルに書き込み電圧を供給するための複数のトランジスタを、所定の順序で自動的に活性化/非活性化できる。
図12乃至図17を参照して、第3の実施形態の抵抗変化型メモリについて、説明する。
ここでは、実施形態の抵抗変化型メモリとしてのMRAMのより具体的な例について説明する。
図12を用いて、本実施形態のMRAMの書き込み動作の原理について、説明する。
図12の(b)は、本実施形態のMRAMの書き込み動作における、書き込み電圧の印加時における磁気抵抗効果素子内の磁気異方性エネルギーの状態を説明するための図である。図12の(b)において、グラフの横軸は時間に対応し、グラフの縦軸は磁気異方性エネルギーの大きさに対応する。
これによって、本実施形態のMRAMは、電圧値V1の印加前における記憶層110の磁化の向き(初期角)が記憶層の層面に対してほぼ垂直な状態から、電圧値V1の印加による記憶層の磁化反転を開始できる。
これによって、本実施形態のMRAMは、電圧値V1の印加後における記憶層110の磁化の向き(角度)が揺らぐのを抑制できる。
図13を用いて、本実施形態のMRAMの回路構成について、説明する。
判定回路170は、複数のNANDゲート700A,700B,701A,701B、NORゲート702、及びANDゲート704を含む。
NANDゲート700Bの出力端子は、NANDゲート701Bの第1の入力端子に接続されている。
XORゲート702の出力端子は、ANDゲート704の第1の入力端子に接続されている。
ANDゲート704の出力端子は、タイミング制御回路169の制御ユニット60に接続されている。ANDゲート704の出力信号DDは、制御ユニット60の複数のANDゲート600の制御端子に、供給される。
それゆえ、書き込み動作時において、ANDゲート704によって、XORゲート702からの“L”レベルの信号(XOR演算の結果)と“H”レベルのライトイネーブル信号WEとのAND演算によって、“H”レベルのライトイネーブル信号WEに対して、選択セルに対するデータのプログラムをマスクすることができる。
これによって、選択セルMCkに対する書き込み電圧VWの供給は、停止される。
これによって、制御ユニット60は、選択セルMCkに対して、所定のパルス形状の書き込み電圧VWを、供給する。
図14及び図15を用いて、本実施形態のMRAMの動作例について、説明する。尚、ここでは、図1乃至図15も適宜参照して、本実施形態のMRAMの動作について、説明する。
図15は、本実施形態のMRAMの動作例を説明するための電圧波形図である。図15において、波形図の横軸は時間に対応し、波形図の縦軸はビット線の電圧値に対応する。図15において、実線は、ビット線bBLkに印加されている電圧(電圧値)を示し、破線は、ビット線BLkに印加されている電圧(電圧値)を示している。
選択セルMCk内のMTJ素子100の抵抗状態に応じて、選択セルMCkから出力される読み出し電流IRの大きさ(又は、選択セルMCkに接続されたあるノードの電位)が、変動する。
この結果として、MTJ素子100の読み出しマージンを大きくできる。
センスアンプ回路161からの信号XD,bXDは、フリップフロップFFによって、一時的に保持される。
NANDゲート701Aの出力信号は、選択セルMCkからの読み出されたデータとして、XORゲート702に供給される。
NANDゲート701Aからの信号の信号レベルと書き込みデータDINの信号レベルとが異なる場合、XORゲート702は、“H”レベルの信号を出力する。
ANDゲート704は、ライトイネーブル信号WEとXORゲート702からの信号(NOR演算の結果)とを用いたAND演算を行う。書き込み動作時において、ライトイネーブル信号WEは、“H”レベルに設定されている。それゆえ、XORゲート702からの出力信号によって、ANDゲート704の出力信号DDの信号レベルが、決まる。
これによって、時刻t12において、初期読み出しが終了する。
MTJ素子100が負バイアス状態であることによって、記憶層110の磁化の歳差運動が抑制され、記憶層110の磁化の初期角が、固定される。これによって、本実施形態のMRAMは、記憶層110の磁化の初期角の揺らぎが抑制された状態から、記憶層110の磁化反転を引き起こすことができる。
MTJ素子100における磁気異方性エネルギーの大きさが実質的にゼロになるように、ビット線BLk、bBLkの電圧値VB,VAが、それぞれ設定されている。
時刻t18において、選択セルMCkに対するデータのプログラムが、完了する。
例えば、プログラムベリファイの結果がパスと判定されるまで、プログラム(ステップST3A)及びベリファイ(ステップST4)が、繰り返し実行される。但し、プログラムの回数がある設定値に達しても、ベリファイの結果がパスと判定されない場合、プログラムエラーの判定がなされてもよい。この場合、今回の書き込みコマンドに基づいた書き込動作がエラーであることが、MRAM1からメモリコントローラ(又はホストデバイス)5に通知されてもよいし、書き込むべきデータが、外部からのアドレスに基づいてMRAM内で生成された他のアドレスのメモリセルに書き込まれてもよい。また、この場合において、プログラムエラーの判定やメモリコントローラ5への通知なしに、書き込み動作が終了されてもよい。
図16及び図17を用いて、本実施形態のMRAMの変形例について、説明する。
但し、MTJ素子が正バイアス状態に設定される前及び後のうちいずれか一方でのみ、MTJ素子が負バイアス状態に設定されてもよい。
これによって、図16の例において、MTJ素子100は、電圧値V1の印加前に、記憶層の磁化の初期角の揺らぎを抑制するために、負バイアス状態に設定される。
以上のように、本実施形態の抵抗変化型メモリとしての磁気メモリは、外部からの書き込みコマンドに基づいた動作シーケンスにおいて、イコライザ回路によって所定のパルス形状の書き込み電圧を、選択セルに供給できる。
図18を用いて、第4の実施形態の抵抗変化型メモリについて説明する。
トランジスタTRBにおいて、バックゲートは、ビット線bBLに接続されている。
トランジスタTRCにおいて、バックゲートは、電圧線900Cに接続されている。
図19図20を参照して、第5の実施形態の抵抗変化型メモリについて説明する。
図21乃至図23を参照して、第6の実施形態の抵抗変化型メモリについて説明する。
図21を用いて、本実施形態の抵抗変化型メモリ(例えば、MRAM)の基本例について、説明する。
図22及び図23を用いて、本実施形態のMRAMの具体例について説明する。
図22に示されるように、本実施形態のMRAMは、第2のイコライザ回路163を含む。
トランジスタTRXの電流経路の一端は、ビット線BLに接続され、トランジスタTRXの電流経路の他端は、ビット線bBLに接続されている。
複数のトランジスタTRXのオン/オフは、信号EQの信号レベルによって、制御される。
信号EQの信号レベルは、制御回路18によって、制御される。但し、信号EQの信号レベルは、カラム制御回路14B又は制御ユニット60によって、制御されてもよい。
トランジスタTRXがオン状態である場合、2つのビット線BL,bBLは、オン状態のトランジスタTRXを介して、電気的に接続される。オン状態のトランジスタTRXによって、ビット線BL,bBLは短絡され、ビット線BL,bBL間に電流が流れる。この電流の流れによって、ビット線BL,bBLは、ゆっくりした速度で充電され、実質的に同じ電位に設定される。この結果として、オン状態のトランジスタTRXによって、ビット線BL,bBL間の電位差は、実質的にゼロに設定される。
図23に示されるように、第1のイコライザ回路165を介して、書き込み電圧VWが、選択セルMCkに供給されている期間において、信号EQは、“L”レベルに設定されている。
この結果として、ビット線BL,bBLの電位差は実質的にゼロになり、MTJ素子100は、ゼロバイアス状態に設定される。
尚、例えば、本実施形態のMRAMは、各素子M1,TRA,TRB,TRCをオフ状態に設定し、ドライバ159(150),160及びイコライザ回路165からビット線BLk,bBLkへの電圧の供給を停止することによって、ビット線BLk,bBLkの電位を、最終的に又は次の書き込み動作の開始前に、0Vに設定できる。
これによって、本実施形態のMRAMは、記憶層の磁化の余計な歳差運動を抑制できる。
この結果として、本実施形態のMRAMは、データのエラー発生率の上昇を抑制でき、データの信頼性を向上できる。
図24及び図25を参照して、第7の実施形態の抵抗変化型メモリについて説明する。
図24は、本実施形態の抵抗変化型メモリ(例えば、MRAM)の回路構成を示す等価回路図である。
トランジスタTRZの電流経路の一端は、電圧線900Bに接続されている。トランジスタTRZの電流経路の他端は、配線を介して、トランジスタTRBの電流経路の一端に接続されている。
信号生成回路800は、制御単位MZと1対1で対応する。
ANDゲート802の出力端子は、トランジスタTRZのゲートに接続されている。ANDゲート802は、XORゲート801からの信号とライトイネーブル信号WEとの演算結果を、信号WZとして出力する。
それゆえ、書き込み動作時において、ANDゲート802によって、XORゲート801からの“L”レベルの信号(XOR演算の結果)と“H”レベルのライトイネーブル信号WEとのAND演算によって、選択セルに対するデータのプログラム又はデータのマスク(非プログラム)が、制御可能である。
XORゲート801は、データDINと初期読み出しのデータDOUTとが一致する場合に、“L”レベルの信号を出力する。
これによって、ANDゲート802は、“L”レベルの信号WZを、トランジスタTRZに供給する。
これによって、ANDゲート802は、“H”レベルの信号WZを、トランジスタTRZに供給する。
以上のように、本実施形態の抵抗変化型メモリは、メモリの動作特性を改善できる。
尚、上述の各実施形態において、MRAMを例に用いて、メモリセルにデータを書き込むための書き込み回路、及び、メモリセルにデータを書き込むための書き込み電圧の生成方法が、説明された。
上述の各実施形態は、MTJ素子を用いた磁気メモリであれば、MRAM以外の磁気メモリに適用されてもよい。
Claims (14)
- 第1のビット線と第2のビット線との間に接続される可変抵抗素子と、
前記第1のビット線に接続される端子を有する第1のトランジスタと、前記第1のビット線に接続される端子を有する第2のトランジスタと、前記第1のトランジスタのオン及びオフを制御する第1の信号を出力する第1の出力端子を含む第1の素子と、前記第1の出力端子に接続される第1の配線と、前記第1の配線に接続される第1の入力端子と前記第1の配線からの前記第1の信号に基づいて前記第2のトランジスタのオン及びオフを制御する第2の信号を出力する第2の出力端子とを含む第2の素子と、を含み、前記可変抵抗素子に対する書き込みを制御する書き込み制御回路と、
第1の電圧が供給され、前記第1のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第2の配線と、
前記第1の電圧より高い第2の電圧が供給され、前記第2のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第3の配線と、
を具備し、
前記書き込み制御回路は、
前記第1の電圧をオン状態の前記第1のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給した後、前記第2のトランジスタをオン状態に設定し、
前記第2の電圧を、オン状態の前記第2のトランジスタを介して、第1のパルス幅で前記第1のビット線に供給する、
抵抗変化型メモリ。 - 前記第2のビット線に、前記第1の電圧より高く、前記第2の電圧より低い第3の電圧を印加するドライバ回路を、
さらに具備する請求項1に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記可変抵抗素子は、磁気抵抗効果素子である、
請求項1又は2に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記第1のビット線は、前記磁気抵抗効果素子の参照層に電気的に接続され、
前記第2のビット線は、前記磁気抵抗効果素子の記憶層に電気的に接続されている、
請求項3に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記第1の配線に接続された時間調整回路を、
さらに具備する請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記可変抵抗素子に対する書き込み電圧の供給前及び供給後の少なくとも一方において、前記可変抵抗素子からデータを読み出し、前記読み出されたデータが、前記可変抵抗素子に書き込むべきデータと同じであるか否かを判定する判定回路を、さらに具備し、
前記判定回路は、
前記読み出されたデータと前記書き込むべきデータとが一致する場合、前記書き込み制御回路が前記可変抵抗素子に前記書き込み電圧を供給しないように、前記書き込み制御回路を制御し、
前記読み出されたデータと前記書き込むべきデータとが一致しない場合、前記書き込み制御回路が前記可変抵抗素子に前記書き込み電圧を供給するように、前記書き込み制御回路を制御する、
請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路内に含まれ、前記第1のビット線に接続される第3のトランジスタと、
前記第1の電圧が供給され、前記第3のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第4の配線と、
をさらに具備し、
前記書き込み制御回路は、
前記第2の電圧をオン状態の前記第2のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給した後、前記第3のトランジスタを、オン状態に設定し、
前記第1の電圧を、オン状態の前記第3のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給する、
請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路内に含まれ、前記第1のビット線と前記第2の配線との間に接続される第3のトランジスタ、
をさらに具備し、
前記書き込み制御回路は、
前記第2の電圧をオン状態の前記第2のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給した後、前記第3のトランジスタを、オン状態に設定し、
前記第1の電圧を、オン状態の前記第3のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給する、
請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路は、
前記第1のビット線と前記第2のビット線との間に接続される第4のトランジスタを、
さらに含み、
前記第2の電圧の供給の後、前記第4のトランジスタは、前記第1のビット線と前記第2のビット線とを電気的に接続する、
請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 第1のビット線と第2のビット線との間に接続される可変抵抗素子と、
前記第1のビット線に接続される端子を有する第1のトランジスタと、前記第1のビット線に接続される端子を有する第2のトランジスタと、前記第1のトランジスタのオン及びオフを制御する第1の信号を出力する第1の出力端子を含む第1の素子と、前記第1の出力端子に接続される第1の配線と、前記第1の配線に接続される第1の入力端子と前記第1の配線からの前記第1の信号に基づいて前記第2のトランジスタのオン及びオフを制御する第2の信号を出力する第2の出力端子とを含む第2の素子と、を含み、前記可変抵抗素子に対する書き込みを制御する書き込み制御回路と、
前記第1のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第2の配線と、
前記第2のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第3の配線と、
を具備する抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路内に含まれ、前記第1のビット線に接続される端子を有する第3のトランジスタと、
前記第3のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第4の配線と、
をさらに具備する請求項10に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路内に含まれ、前記第1のビット線と前記第2の配線との間に接続される第3のトランジスタ、
をさらに具備する請求項10に記載の抵抗変化型メモリ。 - 前記書き込み制御回路内に含まれ、前記第1のビット線と前記第2のビット線との間に接続される第4のトランジスタを、
さらに具備する請求項10乃至12のうちいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。 - 第1のビット線と第2のビット線との間に接続される可変抵抗素子と、
前記第1のビット線に接続される端子を有する第1のトランジスタと、前記第1のビット線に接続される端子を有する第2のトランジスタと、前記第1のトランジスタのオン及びオフを制御する第1の信号を出力する第1の出力端子を含む第1の素子と、前記第1の出力端子に接続される第1の配線と、前記第1の配線に接続される第1の入力端子と前記第1の配線からの前記第1の信号に基づいて前記第2のトランジスタのオン及びオフを制御する第2の信号を出力する第2の出力端子とを含む第2の素子と、を含み、前記可変抵抗素子に対する書き込みを制御する書き込み制御回路と、
第1の電圧が供給され、前記第1のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第2の配線と、
前記第1の電圧より高い第2の電圧が供給され、前記第2のトランジスタを介して前記第1のビット線に接続される第3の配線と、
を具備し、
前記書き込み制御回路は、
前記第2の電圧を、オン状態の前記第2のトランジスタを介して、第1のパルス幅で前記第1のビット線に供給した後、前記第1のトランジスタをオン状態に設定し、
前記第1の電圧を、オン状態の前記第1のトランジスタを介して前記第1のビット線に供給する、
抵抗変化型メモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016235441A JP6829831B2 (ja) | 2016-12-02 | 2016-12-02 | 抵抗変化型メモリ |
US15/827,626 US10431303B2 (en) | 2016-12-02 | 2017-11-30 | Resistance change type memory including write control circuit to control write to variable resistance element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016235441A JP6829831B2 (ja) | 2016-12-02 | 2016-12-02 | 抵抗変化型メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018092696A JP2018092696A (ja) | 2018-06-14 |
JP6829831B2 true JP6829831B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=62240614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016235441A Active JP6829831B2 (ja) | 2016-12-02 | 2016-12-02 | 抵抗変化型メモリ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10431303B2 (ja) |
JP (1) | JP6829831B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6937278B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-09-22 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ及びメモリシステム |
JP2019160365A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 東芝メモリ株式会社 | 磁気メモリ装置及び磁気メモリ装置の書き込み方法 |
JP2020155192A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | キオクシア株式会社 | メモリデバイス |
JP6796681B2 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-12-09 | ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション | 半導体記憶装置 |
CN111145811B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-11-09 | 清华大学 | 阻变存储阵列及其操作方法、阻变存储器电路 |
JP2021190146A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP2022044399A (ja) | 2020-09-07 | 2022-03-17 | キオクシア株式会社 | 磁気メモリ |
WO2023203790A1 (ja) * | 2022-04-19 | 2023-10-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 記憶装置、電子機器及び記憶装置の制御方法 |
WO2024101120A1 (ja) * | 2022-11-07 | 2024-05-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 記憶装置、電子機器及び記憶装置の制御方法 |
WO2024106279A1 (ja) * | 2022-11-17 | 2024-05-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 記憶装置、電子機器及び記憶装置の制御方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011121971A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶装置及び不揮発性記憶装置への書き込み方法 |
JP2015049918A (ja) * | 2013-09-03 | 2015-03-16 | マイクロン テクノロジー, インク. | 書き込みパルス幅設定方法、データ書き込み方法及び半導体装置 |
JP2015185179A (ja) | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | 抵抗変化メモリ |
TWI684979B (zh) * | 2016-09-09 | 2020-02-11 | 東芝記憶體股份有限公司 | 記憶裝置 |
US9911481B1 (en) * | 2017-02-28 | 2018-03-06 | Everspin Technologies, Inc. | Selection circuit with autobooting for magnetic memory and methods therefor |
-
2016
- 2016-12-02 JP JP2016235441A patent/JP6829831B2/ja active Active
-
2017
- 2017-11-30 US US15/827,626 patent/US10431303B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018092696A (ja) | 2018-06-14 |
US20180158525A1 (en) | 2018-06-07 |
US10431303B2 (en) | 2019-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6829831B2 (ja) | 抵抗変化型メモリ | |
US10453532B1 (en) | Resistive memory device including reference cell and method of operating the same | |
US10777275B2 (en) | Reset refresh techniques for self-selecting memory | |
US9552861B2 (en) | Resistance change memory | |
US9318158B2 (en) | Non-volatile memory using bi-directional resistive elements | |
US9824736B1 (en) | Memory device | |
JP2004103174A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US8098507B2 (en) | Hierarchical cross-point array of non-volatile memory | |
JP2010044827A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
US9502106B2 (en) | Semiconductor memory device and method of controlling semiconductor memory device | |
JP2020123414A (ja) | 演算デバイス | |
TWI752346B (zh) | 記憶體裝置 | |
US20170153825A1 (en) | Access methods of memory device using relative addressing | |
US10347313B2 (en) | Magnetic memory | |
TWI781604B (zh) | 記憶體設備及操作記憶體之方法 | |
JP2010040123A (ja) | 半導体装置 | |
JP6672224B2 (ja) | 磁気メモリ | |
US10748595B2 (en) | Magnetic memory including meomory units and circuits for reading and writing data and memory system | |
JP2012084218A (ja) | 疑似ページモードのメモリアーキテクチャおよび方法 | |
JP5150935B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
US11145346B2 (en) | Memory device | |
JP6705034B2 (ja) | 磁気メモリ | |
JP2018160293A (ja) | 不揮発性メモリ | |
TW202139196A (zh) | 記憶體裝置以及在單元陣列中寫入資料的方法 | |
JP5450846B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20191127 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20191129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6829831 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |