JP6824263B2 - 着色組成物および膜の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、着色組成物に関する。また、着色組成物を用いた膜の製造方法に関する。

近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。

カラーフィルタは、着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、有機溶剤とを含む着色組成物を、基材などに塗布して製造されている。（特許文献１、２参照）

特開２０１３−４５０８８号公報 特開２０１３−１１４１８４号公報

着色組成物を基材などに塗布して膜を製造するにあたり、塗布性のさらなる改善が望まれている。特に、凹凸などの段差を有する面に着色組成物を塗布する場合において、ストリエーションといわれる放射状のスジの発生を抑制することが近年望まれている。

よって、本発明の目的は、ストリエーションの発生を抑制できる着色組成物、および、膜の製造方法を提供することにある。

本発明者らは鋭意検討した結果、後述する着色組成物を用いることで、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。
＜１＞ 着色剤Ａと、樹脂Ｂと、重合性化合物Ｃと、光重合開始剤Ｄと、有機溶剤Ｅとを含む着色組成物であって、
有機溶剤Ｅは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下のエステル系溶剤Ｅ１と、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ未満の有機溶剤Ｅ２とを含み、エステル系溶剤Ｅ１の質量と、有機溶剤Ｅ２の質量との比が、エステル系溶剤Ｅ１の質量：有機溶剤Ｅ２の質量＝８０：２０〜３０：７０であり、
有機溶剤Ｅの全質量中に、エステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを合計で５０質量％以上含有する、着色組成物。
＜２＞ 有機溶剤Ｅ２の沸点が５０〜１３５℃である、＜１＞に記載の着色組成物。
＜３＞ エステル系溶剤Ｅ１の沸点が１４０〜１８０℃である、＜１＞または＜２＞に記載の着色組成物。
＜４＞ 有機溶剤Ｅ２は２５℃の水１００ｇに対する溶解度が３０ｇ以下である、＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜５＞ エステル系溶剤Ｅ１は、エーテル結合とエステル結合とを有する化合物であり、
有機溶剤Ｅ２は、エステル結合を有する化合物である、＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜６＞ エステル系溶剤Ｅ１はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートおよび３−エトキシプロピオン酸エチルから選ばれる少なくとも１種である、＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜７＞ 有機溶剤Ｅ２は下記式（Ｅ２−１）で表される化合物である、＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の着色組成物；
Ｒ^ｅ１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｒ^ｅ２ ・・・（Ｅ２−１）
式中、Ｒ^ｅ１およびＲ^ｅ２は、それぞれ独立して、炭化水素基を表す。
＜８＞ 有機溶剤Ｅ２は酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、および、酢酸ブチルから選ばれる少なくとも１種である、＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜９＞ 有機溶剤Ｅはケトン系溶剤Ｅ３を含む、＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜１０＞ 有機溶剤Ｅの２５℃における表面張力が２２ｍＮ／ｍ以上２９ｍＮ／ｍ以下である、＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜１１＞ 着色組成物は有機溶剤Ｅを４０〜９５質量％含む、＜１＞〜＜１０＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜１２＞ 重合性化合物Ｃは酸基を有する重合性化合物を含む、＜１＞〜＜１１＞のいずれか１つに記載の着色組成物。
＜１３＞ ＜１＞〜＜１２＞のいずれか１つに記載の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む、膜の製造方法。
＜１４＞ 更に、パターンを形成する工程を含む、＜１３＞に記載の膜の製造方法。

本発明によれば、ストリエーションの発生が抑制された膜を製造可能な着色組成物、および、膜の製造方法を提供することが可能になった。

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光を意味するのみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含まれる。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程を意味するだけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。

＜着色組成物＞
本発明の着色組成物は、着色剤Ａと、樹脂Ｂと、重合性化合物Ｃと、光重合開始剤Ｄと、有機溶剤Ｅとを含む着色組成物であって、
有機溶剤Ｅは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下のエステル系溶剤Ｅ１と、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ未満の有機溶剤Ｅ２とを含み、エステル系溶剤Ｅ１の質量ｅ１と、有機溶剤Ｅ２の質量ｅ２との比が、質量ｅ１：質量ｅ２＝８０：２０〜３０：７０であり、
有機溶剤Ｅの全質量中に、エステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを合計で５０質量％以上含有する、着色組成物である。

本発明の着色組成物によれば、塗布時におけるストリエーションの発生を抑制でき、塗布性に優れた着色組成物とすることができる。このような効果が得られる詳細なメカニズムは不明であるが、上述のエステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを上述した特定の割合で併用したことにより、着色組成物の支持体などに対する濡れ性や、着色組成物の乾燥性が適切に調整され、その結果、ストリエーションの発生を抑制できたと推測する。以下、本発明の着色組成物の各成分について説明する。

＜＜着色剤＞＞
本発明の着色組成物は、着色剤を含む。着色剤は、染料および顔料のいずれでもよく、両者を併用してもよい。顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を挙げることができる。顔料の平均粒子径は、０．０１〜０．１μｍが好ましく、０．０１〜０．０５μｍがより好ましい。

無機顔料としては、カーボンブラックおよびチタンブラック等の黒色顔料；鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属の酸化物（金属酸化物）、錯塩（金属錯塩）等の金属化合物が挙げられる。

有機顔料として、以下を挙げることができる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４（以上、黄色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３（以上、オレンジ色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９（以上、赤色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン ７，１０，３６，３７（以上、緑色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，５８，５９（以上、紫色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０（以上、青色顔料）。
また、緑色顔料として、分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることも可能である。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載の化合物が挙げられる。
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落番号００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物などが挙げられる。
これら有機顔料は、単独若しくは種々組合せて用いることができる。

染料としては、例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特許第２５９２２０７号、米国特許４８０８５０１号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている染料が挙げられる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が挙げられる。

また、着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。

また、黄色着色剤として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。

着色剤の含有量は、着色組成物中の全固形分に対して、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましい。上限は、８０質量％以下であることが好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下がさらに好ましい。着色組成物に含まれる着色剤は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。着色剤が２種以上含まれる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜樹脂＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂を含む。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。

本発明の着色組成物において、樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、５質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。

＜＜＜分散剤＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂として分散剤を含むことが好ましい。特に、着色剤として顔料を用いた場合、分散剤を含むことが好ましい。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。

ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、５〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。
また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミンが好ましい。

分散剤としては、例えば、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。

高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子を好ましい構造として挙げることができる。また、特開２０１１−０７０１５６号公報の段落番号００２８〜０１２４に記載の分散剤や特開２００７−２７７５１４号公報に記載の分散剤も好ましく用いられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。

樹脂（分散剤）は、グラフト共重合体を用いることもできる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００７２〜００９４に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

また、樹脂（分散剤）として、主鎖および側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることもできる。オリゴイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する繰り返し単位と、原子数４０〜１０，０００の側鎖Ｙを含む側鎖とを有し、かつ主鎖および側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。

オリゴイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１７４の記載を参酌でき、本明細書には上記内容が組み込まれる。オリゴイミン系分散剤の具体例としては、例えば、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１６８〜０１７４に記載の樹脂を挙げることができる。

分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミンリン酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１１１（リン酸系分散剤）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）」、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０〜４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０〜４３４０（ブロック共重合体）、４４００〜４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８８０、ＰＢ８８１」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５、ＤＡ−７３０１」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、花王社製「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、花王社製「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、花王社製「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、日本ルーブリゾール（株）製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１２０００、１７０００、２００００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカルズ社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」、川研ファインケミカル（株）製「ヒノアクトＴ−８０００Ｅ」、信越化学工業（株）製「オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１」、森下産業（株）製「ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０」、サンノプコ（株）製「ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００」、（株）ＡＤＥＫＡ製「アデカプルロニックＬ３１、Ｆ３８、Ｌ４２、Ｌ４４、Ｌ６１、Ｌ６４、Ｆ６８、Ｌ７２、Ｐ９５、Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４、Ｌ１０１、Ｐ１０３、Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３」、および三洋化成（株）製「イオネットＳ−２０」等が挙げられる。
なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。

＜＜＜アルカリ可溶性樹脂＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性やパターン形成性が向上する。なお、アルカリ可溶性樹脂は、分散剤やバインダーとして用いることもできる。

アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１００，０００が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２０，０００が好ましい。

アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。

アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、２−カルボキシエチル(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸、等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また、他のモノマーとして、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の特開平１０−３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマーが挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと他のモノマーとを共重合した共重合体、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。また、市販品としては、例えばＦＦ−４２６（藤倉化成社製）などを用いることもできる。

アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ Ｓｈａｍｒｏｃｋ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアＲＤ−Ｆ８(（株）日本触媒製)、ＤＰ−１３０５（富士ファインケミカルズ（株）製）などが挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０−１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。

式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

エーテルダイマーを含むモノマー成分を重合してなるポリマーとしては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。

式（Ｘ）において、Ｒ_１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ_２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ_３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。

上記式（Ｘ）において、Ｒ_２のアルキレン基の炭素数は、２〜３が好ましい。また、Ｒ_３のアルキル基の炭素数は１〜１０が好ましい。Ｒ_３のアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。Ｒ_３で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基等を挙げることができる。

アルカリ可溶性樹脂は、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−３２７６７号公報の段落番号００２９〜００６３に記載の共重合体（Ｂ）および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２−２０８４７４号公報の段落番号００８８〜００９８に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−１３７５３１号公報の段落番号００２２〜００３２に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１３−０２４９３４号公報の段落番号０１３２〜０１４３に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１１−２４２７５２号公報の段落番号００９２〜００９８および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−０３２７７０号公報の段落番号００３０〜００７２に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。

アルカリ可溶性樹脂の酸価は、３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が一層好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。

アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、１〜８０質量％が好ましい。下限は、２質量％以上がより好ましく、３質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下がより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。本発明の着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。

＜＜＜その他の樹脂＞＞＞
本発明の着色組成物は、樹脂として上述した分散剤やアルカリ可溶性樹脂以外の樹脂（その他の樹脂ともいう）を含有することができる。その他の樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルフォスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。他の樹脂は、これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

＜＜重合性化合物＞＞
本発明の着色組成物は、重合性化合物を含有する。重合性化合物としては、熱、光またはラジカルによって重合可能な化合物を用いることができる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基等のラジカル重合性基を有するラジカル重合性化合物が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。

本発明において、重合性化合物は、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、重合性化合物として、ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ−１０４０、ＤＰＣＡ−２０（日本化薬（株）製）を使用することもできる。
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
また、下記化合物を使用することもできる。

重合性化合物は、酸基を有していてもよい。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物としては、例えば下記化合物が挙げられる。市販品としては、アロニックスＭ−５１０、Ｍ−５２０（東亞合成（株）製）等が挙げられる。

酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。さらには、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。

重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。

重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３〜６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の具体例としては、下記化合物が挙げられる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。

重合性化合物としては、特公昭４８−４１７０８号公報、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることによって、感光スピードに優れた着色組成物を得ることができる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社化学（株））製などが挙げられる。

重合性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜５０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。

＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の着色組成物は、光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始させる能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する化合物であってもよい。

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物などが挙げられる。また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２６５〜０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

光重合開始剤は、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、および、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。例えば、特開平１０−２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン化合物、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィン化合物も用いることができる。ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、および、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物として、３６５ｎｍまたは４０５ｎｍ等の光源に吸収波長がマッチングされた特開２００９−１９１１７９号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン化合物としては市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９やＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。

光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。本発明の着色組成物をカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが好ましい。

オキシム化合物としては、例えば、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物を用いることができる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、および２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。

オキシム化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１６５３−１６６０、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年）ｐｐ．２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００６−３４２１６６号公報に記載された化合物等を用いることもできる。市販品ではＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）も好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ ＴＲＯＮＬＹ ＮＥＷ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報に記載された光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）も用いることができる。

また上記以外のオキシム化合物として、カルバゾール環のＮ位にオキシムが連結した特表２００９−５１９９０４号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第７６２６９５７号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０−１５０２５号公報および米国特許公開２００９−２９２０３９号に記載の化合物、国際公開ＷＯ２００９／１３１１８９号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許７５５６９１０号公報に記載の化合物、４０５ｎｍに吸収極大を有し、ｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９−２２１１１４号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２７４〜０３０６を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明は、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明は、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。

本発明は、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明は、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物は、３６５ｎｍおよび４０５ｎｍの吸光度が高い化合物が好ましい。

オキシム化合物の３６５ｎｍまたは４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１，０００〜３００，０００であることが好ましく、２，０００〜３００，０００であることがより好ましく、５，０００〜２００，０００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ−５ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。

光重合開始剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が更に好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、良好な感度と良好なパターン形成性が得られる。本発明の着色組成物は、光重合開始剤を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。光重合開始剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜有機溶剤Ｅ＞＞
本発明の着色組成物は、有機溶剤Ｅを含有する。
有機溶剤Ｅは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下のエステル系溶剤Ｅ１と、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ未満の有機溶剤Ｅ２とを含む。有機溶剤Ｅ中、エステル系溶剤Ｅ１の質量と、有機溶剤Ｅ２の質量との比が、エステル系溶剤Ｅ１の質量：有機溶剤Ｅ２の質量＝８０：２０〜３０：７０であり、７０：３０〜３５：６５が好ましく、６０：４０〜４０：６０がより好ましい。エステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを上述した割合で含む有機溶剤Ｅを用いることで、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができる。さらには、着色組成物の乾燥性も良好である。

なお、本発明において、有機溶剤の表面張力は、白金プレートを用いてプレート法で測定した値である。ここで、プレート法による表面張力の測定とは以下である。
測定子（プレート）が液体の表面に触れると、液体がプレートに対してぬれ上がる。このとき、プレートの周囲に沿って表面張力がはたらき、プレートを液中に引き込もうとする。この引き込む力を読み取り、液体の表面張力を測定する。表面張力の測定装置としては、協和界面科学（株）製表面張力計ＣＢＶＰ−Ｚを用いることができる。

エステル系溶剤Ｅ１の２５℃における表面張力は、２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下である。上限は、３４ｍＮ／ｍ以下が好ましく、３０ｍＮ／ｍ以下がより好ましく、２８ｍＮ／ｍ以下がさらに好ましい。下限は、２５．５ｍＮ／ｍ以上が好ましく、２６ｍＮ／ｍ以上がより好ましく、２７ｍＮ／ｍ以上がさらに好ましい。エステル系溶剤Ｅ１の表面張力が上記範囲であれば、着色組成物の支持体に対する濡れ性や、着色組成物の乾燥性などが良好である。

エステル系溶剤Ｅ１の沸点は、１４０〜１８０℃が好ましい。上限は、１７５℃以下がより好ましく、１７０℃以下がさらに好ましく、１６５℃以下が一層好ましい。下限は、１４３℃以上がより好ましく、１４５℃以上がより好ましい。エステル系溶剤Ｅ１の沸点が上記範囲であれば、着色組成物の乾燥性が良好である。
また、エステル系溶剤Ｅ１の沸点は、有機溶剤Ｅ２の沸点よりも高いことが好ましく、有機溶剤Ｅ２の沸点よりも５℃以上高いことがより好ましく、１０℃以上高いことがさらに好ましい。この態様によれば、ストリエーションの発生をより効果的に抑制することができる。

エステル系溶剤Ｅ１は２５℃の水１００ｇに対する溶解度が３０ｇ以下であることが好ましく、２５ｇ以下であることがより好ましく、２０ｇ以下であることが更に好ましい。エステル系溶剤Ｅ１として、水に対する溶解度の小さい有機溶剤を用いることで、着色組成物に用いる他の成分の溶解性などを高めることができる。

なお、本発明において、エステル系溶剤Ｅ１とは、エステル結合を有する化合物（有機溶剤）を意味する。本発明において、エステル系溶剤Ｅ１は、エーテル結合とエステル結合とを有する化合物（有機溶剤）であることが好ましい。

エステル系溶剤Ｅ１の具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどが挙げられる。なかでも、着色組成物に含まれる素材の溶解性や、取り扱いの容易性などの観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチルが好ましい。

有機溶剤Ｅの全質量中におけるエステル系溶剤Ｅ１の含有量は１５質量％以上であることが好ましい。含有量の下限は２０質量％以上がより好ましく、２５質量％以上がさらに好ましく、３０質量％以上が一層好ましい。含有量の上限は９０質量％以下が好ましく、８５質量％以下がより好ましく、８０質量％以下が更に好ましい。

有機溶剤Ｅ２の２５℃における表面張力は２５ｍＮ／ｍ未満である。上限は、２４．８ｍＮ／ｍ以下が好ましく、２４．６ｍＮ／ｍ以下がより好ましく、２４．４ｍＮ／ｍ以下がさらに好ましい。下限は、２０ｍＮ／ｍ以上が好ましく、２１ｍＮ／ｍ以上がより好ましく、２２ｍＮ／ｍ以上がさらに好ましい。有機溶剤Ｅ２の表面張力が上記範囲であれば、着色組成物の支持体に対する濡れ性や、着色組成物の乾燥性などが良好である。

有機溶剤Ｅ２の沸点は、５０〜１３５℃が好ましい。上限は、１３３℃以下がより好ましく、１３０℃以下がさらに好ましく、１２７℃以下が一層好ましい。下限は、７０℃以上がより好ましく、９０℃以上がさらに好ましく、１１０℃以上が一層好ましい。

有機溶剤Ｅ２は２５℃の水１００ｇに対する溶解度が３０ｇ以下であることが好ましく、１０ｇ以下であることがより好ましく、５ｇ以下であることが更に好ましい。有機溶剤Ｅ２として、水に対する溶解度の小さい有機溶剤を用いることで、着色組成物に用いる他の成分の溶解性などを高めることができる。また、着色組成物への水分の混入を抑制することができ、水を原因とする経時安定性の悪化を抑制することができる。

有機溶剤Ｅ２は、エステル結合を有する化合物（有機溶剤）であることが好ましい。有機溶剤Ｅ２は、エーテル結合を有さない化合物（有機溶剤）であることが好ましく、エステル結合を有し、かつ、エーテル結合を有さない化合物（有機溶剤）であることがより好ましい。有機溶剤Ｅ２は、下記式（Ｅ２−１）で表される化合物（有機溶剤）であることが好ましい。
Ｒ^ｅ１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｒ^ｅ２ ・・・（Ｅ２−１）
式中、Ｒ^ｅ１およびＲ^ｅ２は、それぞれ独立して、炭化水素基を表す。

Ｒ^ｅ１およびＲ^ｅ２における炭化水素基は、炭素原子と水素原子のみからなる基である。Ｒ^ｅ１およびＲ^ｅ２が表す炭化水素基の具体例としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基が挙げられ、アルキル基、アルケニル基およびアルキニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。
アルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、無置換のアルキル基であることが好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２〜１０が好ましく、２〜５がより好ましい。アルケニル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基は、無置換のアルケニル基であることが好ましい。
アルキニル基の炭素数は、２〜１０が好ましく、２〜５がより好ましい。アルキニル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキニル基は、無置換のアルケニル基であることが好ましい。
アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１２がより好ましい。アリール基は、無置換のアリール基であってもよく、アルキル基、アルケニル基またはアルキニル基を置換基として有していてもよい。

有機溶剤Ｅ２の具体例としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酪酸エチル、プロピオン酸エチルなどが挙げられ、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピルおよび酢酸ブチルが好ましく、酢酸プロピル、酢酸イソプロピルおよび酢酸ブチルがより好ましく、酢酸ブチルがさらに好ましい。

有機溶剤Ｅの全質量中における有機溶剤Ｅ２の含有量は、１０質量％以上であることが好ましい。下限は２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましく、４０質量％以上が一層好ましい。上限は９０質量％以下が好ましく、８０質量％以下がより好ましく、７０質量％以下が更に好ましい。

有機溶剤Ｅの全質量中における、エステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２との合計の含有量は、５０質量％以上である。下限は５５質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、６５質量％以上が更に好ましい。上限は、９５質量％以下が好ましく、９０質量％以下がより好ましく、８５質量％以下が更に好ましい。

本発明で用いる有機溶剤Ｅは、上述したエステル系溶剤Ｅ１および有機溶剤Ｅ２以外の有機溶剤をさらに含んでいてもよい。例えば、ケトン系溶剤Ｅ３や、エーテル系溶剤Ｅ４などが挙げられる。有機溶剤Ｅはケトン系溶剤Ｅ３をさらに含むことが好ましい。有機溶剤Ｅにケトン系溶剤Ｅ３をさらに含有させることで、着色組成物に含まれる素材の溶解性を向上できる。

ケトン系溶剤Ｅ３としては、２５℃における表面張力は２５ｍＮ／ｍ以上の化合物であって、エステル結合を有さないケトン化合物が挙げられる。具体例としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノンなどが挙げられる。エーテル系溶剤Ｅ４としては、２５℃における表面張力は２５ｍＮ／ｍ以上の化合物であって、エステル結合を有さないエーテル化合物が挙げられる。具体例としては、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルなどが挙げられる。

有機溶剤Ｅが、ケトン系溶剤Ｅ３を含む場合、ケトン系溶剤Ｅ３の含有量は、１質量％以上であることが好ましい。下限は５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましく、１５質量％以上が一層好ましい。上限は５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。

有機溶剤Ｅが、エーテル系溶剤Ｅ４を含む場合、エーテル系溶剤Ｅ４の含有量は、１質量％以上であることが好ましい。下限は５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましく、１５質量％以上が一層好ましい。上限は５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。

本発明で用いる有機溶剤Ｅの２５℃における表面張力は、２２ｍＮ／ｍ以上２９ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。上限は、２７．５ｍＮ／ｍ以下がより好ましく、２７．２ｍＮ／ｍ以下がさらに好ましく、２７．０ｍＮ／ｍ以下が一層好ましい。下限は、２４ｍＮ／ｍ以上がより好ましく、２４．５ｍＮ／ｍ以上がさらに好ましく、２５．０ｍＮ／ｍ以上が一層好ましい。
なお、有機溶剤Ｅの表面張力は、上述したエステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを少なくとも含む２種以上の溶剤の混合液での表面張力の値であって、下記式で定義される。

上記式中、γ_ｉは、有機溶剤Ｅに含まれる有機溶剤Ｅ_ｉの表面張力の値（単位：ｍＮ／ｍ）であり、Ａ_ｉは、有機溶剤Ｅに含まれる有機溶剤Ｅ_ｉの質量分率である。ｎは２以上の整数である。

本発明において、有機溶剤Ｅは、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、金属含有量が少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、１０質量ｐｐｂ以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量が質量ｐｐｔレベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。

本発明の着色組成物は、有機溶剤Ｅを４０〜９５質量％含むことが好ましい。含有量の下限は、４５質量％以上がより好ましく、５０質量％以上がさらに好ましく、６０質量％以上が一層好ましい。含有量の上限は、９０質量％以下がより好ましく、８５質量％以下がさらに好ましく、８０質量％以下が一層好ましい。
本発明の着色組成物は、エステル系溶剤Ｅ１と有機溶剤Ｅ２とを合計で４０質量％以上含むことが好ましい。含有量の下限は、４５質量％以上がより好ましく、５０質量％以上がさらに好ましく、６０質量％以上が一層好ましい。含有量の上限は、９０質量％以下が好ましく、８５質量％以下がより好ましく、８０質量％以下が更に好ましい。

＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の着色組成物は、エポキシ基を有する化合物（以下、エポキシ化合物ともいう）を含むことができる。エポキシ化合物は、エポキシ基を１分子内に１〜１００個有することが好ましい。下限は、２個以上がより好ましい。上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。

エポキシ化合物は、エポキシ当量（＝エポキシ化合物の分子量／エポキシ基の数）が５００ｇ／当量以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／当量であることがより好ましく、１００〜３００ｇ／当量であることが更に好ましい。

エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）でもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が一層好ましく、３０００以下がより一層好ましい。

エポキシ化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。市販品としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ８２５、ｊＥＲ８２７、ｊＥＲ８２８、ｊＥＲ８３４、ｊＥＲ１００１、ｊＥＲ１００２、ｊＥＲ１００３、ｊＥＲ１０５５、ｊＥＲ１００７、ｊＥＲ１００９、ｊＥＲ１０１０（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８６０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５０、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５１、ＥＰＩＣＬＯＮ１０５５（以上、ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ８０６、ｊＥＲ８０７、ｊＥＲ４００４、ｊＥＲ４００５、ｊＥＲ４００７、ｊＥＲ４０１０（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ８３０、ＥＰＩＣＬＯＮ８３５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＬＣＥ−２１、ＲＥ−６０２Ｓ（以上、日本化薬（株）製）等が挙げられる。フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ１５２、ｊＥＲ１５４、ｊＥＲ１５７Ｓ７０、ｊＥＲ１５７Ｓ６５（以上、三菱化学（株）製）、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７４０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７７０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−７７５（以上、ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６６０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６６５、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６７０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６７３、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６８０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６９０、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ−６９５（以上、ＤＩＣ（株）製）、ＥＯＣＮ−１０２０（日本化薬（株）製）等が挙げられる。脂肪族エポキシ樹脂としては、ＡＤＥＫＡ ＲＥＳＩＮ ＥＰ−４０８０Ｓ、同ＥＰ−４０８５Ｓ、同ＥＰ−４０８８Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、ＥＨＰＥ３１５０、ＥＰＯＬＥＡＤ ＰＢ ３６００、同ＰＢ ４７００（以上、（株）ダイセル製）、デナコール ＥＸ−２１２Ｌ、ＥＸ−２１４Ｌ、ＥＸ−２１６Ｌ、ＥＸ−３２１Ｌ、ＥＸ−８５０Ｌ（以上、ナガセケムテックス（株）製）等が挙げられる。その他にも、ＡＤＥＫＡ ＲＥＳＩＮ ＥＰ−４０００Ｓ、同ＥＰ−４００３Ｓ、同ＥＰ−４０１０Ｓ、同ＥＰ−４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ−２０００、ＮＣ−３０００、ＮＣ−７３００、ＸＤ−１０００、ＥＰＰＮ−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ｊＥＲ１０３１Ｓ（三菱化学（株）製）等が挙げられる。

また、エポキシ化合物として、下記式（ＥＰ１）で表される化合物を用いることもできる。

式（ＥＰ１）中、Ｒ^ＥＰ１〜Ｒ^ＥＰ３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子またはアルキル基を表す。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。また、アルキル基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。Ｒ^ＥＰ１とＲ^ＥＰ２、Ｒ^ＥＰ２とＲ^ＥＰ３は、互いに結合して環を形成していてもよい。Ｑ^ＥＰは単結合またはｎ^ＥＰ価の有機基を表す。Ｒ^ＥＰ１〜Ｒ^ＥＰ３は、Ｑ^ＥＰと結合して環を形成していても良い。ｎ^ＥＰは１以上の整数を表し、２〜１０の整数が好ましく、２〜６の整数がより好ましい。但しＱ^ＥＰが単結合の場合、ｎ^ＥＰは２である。Ｒ^ＥＰ１〜Ｒ^ＥＰ３、Ｑ^ＥＰの詳細について、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８７〜００８８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式（ＥＰ１）で表される化合物の具体例としては、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００９０に記載の化合物などが挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明の着色組成物がエポキシ化合物を含有する場合、エポキシ化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、０．１〜４０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。エポキシ化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。

＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の着色組成物は、パターンの硬度を向上させる目的や、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を含んでもよい。硬化促進剤としては、チオール化合物などが挙げられる。

チオール化合物としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は、安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、下記式（Ｔ１）で表される構造を有する化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）

（式（Ｔ１）中、ｎは２〜４の整数を表し、Ｌは２〜４価の連結基を表す。）

上記式（Ｔ１）において、Ｌは炭素数２〜１２の脂肪族基であることが好ましい。上記式（Ｔ１）において、ｎが２であり、Ｌが炭素数２〜１２のアルキレン基であることがより好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式（Ｔ２）〜（Ｔ４）で表される化合物が挙げられ、式（Ｔ２）で表される化合物が好ましい。チオール化合物は１種または複数組み合わせて使用することが可能である。

また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、イソシアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。

本発明の着色組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸性基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。

顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アントラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明の着色組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜界面活性剤＞＞
本発明の着色組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。

本発明の着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）が向上し、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力が低下して、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行うことができる。

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好ましく、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色組成物中における溶解性も良好である。

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の化合物を用いることもできる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。

フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられ、これらを用いてもよい。

フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。

上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。

フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合を有する基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８−Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。

ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。

カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。

アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせてもよい。
界面活性剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、０．００５〜１．０質量％がより好ましい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応および／または縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられる。

シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０２）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０３）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−６０２）、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−９０３）、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−９０３）、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−５０３）、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−４０３）等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１３−２５４０４７号公報の段落番号０１５５〜０１５８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明の着色組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．００１〜２０質量％が好ましく、０．０１〜１０質量％がより好ましく、０．１〜５質量％が特に好ましい。本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。シランカップリング剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の着色組成物は、重合禁止剤を含有することも好ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。
本発明の着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．０１〜５質量％が好ましい。本発明の着色組成物は、重合禁止剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の着色組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、共役ジエン系化合物が好ましい。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、紫外線吸収剤として、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。具体例としては特開２０１３−６８８１４号公報に記載の化合物が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。

本発明の着色組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、０．１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．１〜３質量％が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他添加剤＞＞
本発明の着色組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号０１５５〜０１５６に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１−９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ−２０、ＡＯ−３０、ＡＯ−４０、ＡＯ−５０、ＡＯ−５０Ｆ、ＡＯ−６０、ＡＯ−６０Ｇ、ＡＯ−８０、ＡＯ−３３０など）が挙げられる。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。本発明の着色組成物は、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号００７８に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号００８１に記載の熱重合防止剤を含有することができる。

用いる原料等により着色組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第２族元素（カルシウム、マグネシウム等）の含有量は５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましく、０．０１〜１０質量ｐｐｍがより好ましい。また、着色組成物中の無機金属塩の総量は１００質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．５〜５０質量ｐｐｍがより好ましい。

＜着色組成物の調製方法＞
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に、溶解および／または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して調製してもよい。

着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度および／または超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。

フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度、より好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。

また、フィルタとしては、ファイバ状のろ材を用いたフィルタを用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。ファイバ状のろ材を用いたフィルタとしては、具体的にはロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。

フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
例えば、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。第２のフィルタとしては、第１のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。

本発明の着色組成物は、膜面状(平坦性など)の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ〜２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製 粘度計 ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６〜１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。

本発明の着色組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．１〜１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。

＜着色組成物の用途＞
本発明の着色組成物は、カラーフィルタの着色層の形成などに好ましく用いることができる。例えば、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や、画像表示装置などのカラーフィルタ用として好ましく用いることができる。

カラーフィルタの膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。

本発明の着色組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１−００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２−２２４８４７号公報の段落０１２３〜０１２９に記載の方法等で測定することができる。

＜膜の製造方法＞
本発明の膜の製造方法は、本発明の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む。

支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基材、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基材、シリコン基材等が挙げられる。また、これらの基材上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。

着色組成物の塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法などが挙げられる。従来は、塗布面に凹凸などの段差がある支持体上にスピンコート法で塗布した場合、ストリエーションが発生しやすい傾向にあったが、本発明によれば、スピンコート法で塗布した場合であっても、ストリエーションの発生を抑制できる。このため、スピンコート法で塗布する場合において特に顕著な効果が得られる。
また、スピンコート法での塗布は、５０〜３０００ｒｐｍでスピン塗布することが好ましく、５００〜２０００ｒｐｍでスピン塗布することがより好ましい。また、スピンコート時における支持体の温度は、１０〜３０℃が好ましく、１５〜２５℃がより好ましい。上記の範囲であれば、ストリエーションの発生をより効果的に抑制しやすい。

塗布膜厚としては特に限定はない。用途により適宜調整できる。塗布膜厚は、０．２〜５０μｍが好ましい。下限は０．５μｍ以上がより好ましく、１．０μｍ以上がさらに好ましい。上限は、３０μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以下がさらに好ましい。

本発明の膜の製造方法においては、支持体上に塗布した着色組成物（着色組成物層）に対し、更に乾燥を行ってもよい。乾燥条件は、特に限定はない。例えば、乾燥温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下がさらに好ましい。乾燥温度の下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。乾燥時間は、１０秒〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。

本発明の膜の製造方法は、更にパターンを形成する工程を有していてもよい。なお、本発明の膜の製造方法により得られた膜を平坦膜として用いる場合には、パターンを形成する工程を行わなくてもよい。

パターンを形成する工程は、支持体上に形成された着色組成物層をパターン状に露光する工程（露光工程）と、着色組成物層の未露光部を現像除去してパターンを形成する工程（現像工程）とを含むことが好ましい。各パターン（画素）の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は１０^９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０^１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０^１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。以下、パターンを形成する工程について詳細に説明する。

露光工程では、支持体上に形成された着色組成物層をパターン状に露光することが好ましい。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく（特に好ましくはｉ線）用いられる。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ^２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。
露光時における酸素濃度は適宜選択することができる。大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、酸素濃度１５体積％、酸素濃度５体積％、実質的に無酸素など）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、酸素濃度２２体積％、酸素濃度３０体積％、酸素濃度５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、１０００Ｗ／ｍ^２〜１０００００Ｗ／ｍ^２（例えば、５０００Ｗ／ｍ^２、１５０００Ｗ／ｍ^２、３５０００Ｗ／ｍ^２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

次に、着色組成物層の未露光部を現像除去してパターンを形成する。着色組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上させるため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。

現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した着色組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後、純水で洗浄（リンス）することが好ましい。

現像後、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、２００〜２３０℃がより好ましい。ポストベーク後の膜のヤング率は０．５〜２０ＧＰａが好ましく、２．５〜１５ＧＰａがより好ましい。また、発光光源として有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合は、ポストベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１００℃以下が更に好ましく、９０℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができる。
ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合は、ポストベークは行わなくてもよい。

本発明の膜の製造方法により得られる膜は、高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、表面粗さＲａが１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。表面粗さの測定は、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡） Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。
また、膜上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０〜１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ−ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。

本発明の膜の製造方法を用いて、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置などを製造することもできる。

固体撮像素子の構成としては、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

支持体上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基材に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各画素を形成する膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する固体撮像素子の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。

画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木 昭夫著、（株）工業調査会 １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹 順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田 龍男編集、（株）工業調査会 １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置は、特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。

＜重量平均分子量の測定＞
樹脂の重量平均分子量は、以下の方法で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μL（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製 ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン

＜有機溶剤の表面張力の測定＞
有機溶剤の表面張力は、測定装置として表面張力計ＣＢＶＰ−Ｚ（協和界面科学（株）製）を用い、白金プレートを用いたプレート法で測定した。
上記方法で測定した下記の有機溶剤の表面張力の値は以下の通りであった。沸点の値も併せて記す。

ＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの略称である。
ＥＥＰは、３−エトキシプロピオン酸エチルの略称である。
ＰＧＭＥはプロピレングリコールモノメチルエーテルの略称である。
ＰＥは、プロピレングリコールモノエチルエーテルの略称である。
ＰｎＰは、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルの略称である。
ＰｎＢは、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルの略称である。
ＤＭＭは、ジプロピレングリコールジメチルエーテルの略称である。
また、２種以上の有機溶剤の混合液の表面張力は、下記式より算出した。

上記式中、γ_ｉは、混合液中に含まれる有機溶剤Ｅ_ｉの表面張力の値（単位：ｍＮ／ｍ）であり、Ａ_ｉは、混合液中に含まれる有機溶剤Ｅ_ｉの質量分率である。ｎは２以上の整数である。

［分散液の調製］
下記表２に示した材料を下記表２に記載の質量部で配合して混合液を調製した。混合液を、０．３ｍｍ径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル（減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製））で、３時間、混合および分散して、分散液を調製した。

上記表に記載の数値は質量部である。なお、Ｐ−１は固形分換算での値である。また、上記表に記載の原料は以下である。
ＰＢ１５：６ ・・・Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６
ＰＶ２３ ・・・Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３
Ｐ−１ ・・・下記構造の樹脂（重量平均分子量＝１４０００、主鎖に付記した数値はモル比である）

ＰＧＭＥＡ ・・・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＰＧＭＥ ・・・プロピレングリコールモノメチルエーテル

［着色組成物の調製］
下記表３〜６に示した材料を下記表３〜６に記載の質量部で配合して着色組成物を製造した。

上記表に記載の数値は、特に断りがない限り質量部である。また、Ｐ−１〜Ｐ−３は固形分換算での値である。また、上記表に記載の原料は以下の通りである。
なお、有機溶剤Ｅとは、着色組成物中に含まれる全有機溶剤を意味する。また、エステル系溶剤Ｅ１とは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下のエステル系溶剤を意味する。また、有機溶剤Ｅ２とは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ未満の有機溶剤を意味する。
（樹脂）
Ｐ−１：上述した樹脂
Ｐ−２：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝１１０００、主鎖に付記した数値はモル比である）

Ｐ−３：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝３００００、主鎖に付記した数値はモル比である）

（重合性化合物）
Ｍ−４：下記構造の化合物の混合物（左側の化合物：中央の化合物：右側の化合物＝４０：２０：４０（質量比））

Ｍ−２：下記構造の化合物

Ｍ−３：アロニックスＭ−５１０（東亞合成（株）製）
Ｍ−４：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製）
（界面活性剤）
Ｓ−１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。）

Ｓ−２：ＫＦ６００１（信越シリコーン（株）製）
（光重合開始剤）
Ｉ−１：下記化合物

Ｉ−２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製）
Ｉ−３：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３（ＢＡＳＦ社製）
（シランカップリング剤）
ＫＢＭ−５０３：３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製）
ＫＢＭ−４０３：３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製）

＜ストリエーションの評価＞
エッチング法を用いて、大きさ４ｍｍ×５ｍｍ、深さ１μｍの段差（凹部）パターンを、エッチング法を用いて８インチ（１インチ＝２．５４ｃｍ）シリコンウエハの全面に碁盤目状に形成した。段差と段差の間は２．０ｍｍとした。
段差パターンを形成したシリコンウエハ上に、着色組成物をスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒加熱した。その後、さらにホットプレートを用いて２００℃で３００秒加熱した。
シリコンウエハの中心とシリコンウエハ外周部との中間に位置する段差を選択し、この段差の角部を光学顕微鏡（５０倍）で観察した。段差の角部は、４箇所ある角部のうち、シリコンウエハの中心から最も離れた部分の角部を観察し、以下の基準でストリエーションを評価した。
Ａ：ストリエーションが観察されなかった。
Ｂ：０．５ｃｍ未満のストリエーションが観察された。
Ｃ：０．５ｃｍ以上１ｃｍ未満のストリエーションが観察された。
Ｄ：１ｃｍ以上のストリエーションが観察された。

＜残渣欠陥の評価＞
８インチシリコンウエハ上に、感光性樹脂組成物であるＣＴ−２０１０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）をスピンコートで均一に塗布して塗布膜を形成した。塗布膜を２２０℃のオーブンで６０分間加熱処理した。尚、スピンコートの塗布回転数は、加熱処理後の塗布膜の膜厚が１．０μｍとなるように調整した。以上のようにして、下塗り層付シリコンウエハを得た。
各着色組成物を、上記で得た下塗り層付シリコンウエハ上に、ポストベーク後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布（スピンコート）し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理(プリベーク)を行った。
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、パターン露光を行った。パターン露光は、２１行×１９列のマトリックス状に配列されたパターンの計３９９箇所に行なった。このとき、マトリックスのうちの上記２１行は、最小露光量を５００Ｊ／ｍ^２とし、５００Ｊ／ｍ^２から５００Ｊ／ｍ^２間隔で１行ごとに露光量を増加させた。また、上記１９列は、焦点距離最適値（Ｆｏｃｕｓ ０．０μｍ）を中心として０．１μｍ間隔で焦点距離を変化させた。すなわち、中央１列を焦点距離最適値とし、１列ごとに焦点距離を変化させた条件とし、２．０μｍ角の正方形ピクセルパターンが４ｍｍ×３ｍｍの範囲内に配列するように画像形成されるフォトマスクを用いた。
その後、露光された塗布膜が形成されているシリコンウエハを、スピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行い、シリコンウエハ上に着色パターンを形成した。
着色パターンが形成されたシリコンウエハを純水でリンス処理し、その後スピン乾燥した。さらに、２００℃のホットプレートを用いて３００秒間加熱処理(ポストベーク)を行い、着色パターン（着色画素）を有するシリコンウエハを得た。
＜評価＞
上記で得られたシリコンウエハに形成されている着色パターンを、測長ＳＥＭ（走査電子顕微鏡）（（株）日立製作所製 Ｓ−９２６０走査電子顕微鏡）を用いて測定し、評価した。評価基準を下記に示す。Ａ、Ｂは実用レベルである。
＜評価基準＞
Ａ：未露光部に溶解残渣は観察されなかった。
Ｂ：未露光部であって、パターンのすその部分のみに溶解残渣が観察された。
Ｃ：未露光部の至るところに溶解残渣が多く観察された。

上記結果より、実施例は、ストリエーションの発生を抑制できた。さらには、残渣欠陥の発生も抑制できた。これに対し、比較例は、実施例に比べてストリエーションが発生しやすかった。

Claims (18)

1. 着色剤Ａと、樹脂Ｂと、重合性化合物Ｃと、光重合開始剤Ｄと、有機溶剤Ｅとを含む着色組成物であって、
   前記有機溶剤Ｅは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下のエステル系溶剤Ｅ１と、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ未満の有機溶剤Ｅ２とを含み、前記エステル系溶剤Ｅ１の質量と、前記有機溶剤Ｅ２の質量との比が、エステル系溶剤Ｅ１の質量：有機溶剤Ｅ２の質量＝６０：４０〜３０：７０であり、
   前記有機溶剤Ｅの全質量中に、前記エステル系溶剤Ｅ１と前記有機溶剤Ｅ２とを合計で５０質量％以上含有し、
   前記着色剤Ａが、カラーインデックス ピグメントブルー１５：６およびカラーインデックス ピグメントバイオレット２３の少なくとも一方を含み、
   前記有機溶剤Ｅ２は酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、および、酢酸ブチルから選ばれる少なくとも１種であり、
   前記着色剤Ａの含有量が、着色組成物中の全固形分に対して３０質量％以上である、着色組成物。
2. 前記有機溶剤Ｅ２の沸点が５０〜１３５℃である、請求項１に記載の着色組成物。
3. 前記エステル系溶剤Ｅ１の沸点が１４０〜１８０℃である、請求項１または２に記載の着色組成物。
4. 前記有機溶剤Ｅ２は２５℃の水１００ｇに対する溶解度が３０ｇ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色組成物。
5. 前記エステル系溶剤Ｅ１は、エーテル結合とエステル結合とを有する化合物であり、
   前記有機溶剤Ｅ２は、エステル結合を有する化合物である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色組成物。
6. 前記エステル系溶剤Ｅ１はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートおよび３−エトキシプロピオン酸エチルから選ばれる少なくとも１種である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色組成物。
7. 前記有機溶剤Ｅ２は下記式（Ｅ２−１）で表される化合物である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の着色組成物；
   Ｒ^ｅ１−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｒ^ｅ２ ・・・（Ｅ２−１）
   式中、Ｒ^ｅ１およびＲ^ｅ２は、それぞれ独立して、炭化水素基を表す。
8. 前記有機溶剤Ｅはケトン系溶剤Ｅ３を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色組成物。
9. 前記有機溶剤Ｅの２５℃における表面張力が２２ｍＮ／ｍ以上２９ｍＮ／ｍ以下である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の着色組成物。
10. 前記着色組成物は前記有機溶剤Ｅを４０〜９５質量％含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の着色組成物。
11. 前記重合性化合物Ｃは酸基を有する重合性化合物を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の着色組成物。
12. 赤色カラーフィルタ、緑色カラーフィルタ、または、青色カラーフィルタの製造に用いられる、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の着色組成物。
13. 青色カラーフィルタの製造に用いられる、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の着色組成物。
14. 前記着色剤Ａが、カラーインデックス ピグメントブルー１５：６およびカラーインデックス ピグメントバイオレット２３のみからなる、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の着色組成物。
15. カラーインデックス ピグメントレッド８１：２を含有しない、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の着色組成物。
16. ２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の化合物であって、エステル結合を有しないエーテル化合物であるエーテル系溶剤Ｅ４を更に含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の着色組成物。
17. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む、膜の製造方法。
18. 更に、パターンを形成する工程を含む、請求項１７に記載の膜の製造方法。