JP6802125B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
3:質量部
4、104、204、304、404:検出梁(第2梁)
5:励振基部
5a:可動導電板
6、206、306:励振梁(第1梁)
7:加振器
7a:固定導電板
8:導電板
9:容量検出器
10:コントローラ
11:差分器
12:演算器
14:高比熱部材
15:ケース
114:高熱伝導率部材
206a、306a:スリット
214:高熱伝導率膜
314:大線膨張部材
414a、414b:高内部摩擦部材
Claims (7)
- 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第2梁は、シリコンで作られており、端部の前記第2方向における中央部分にシリコンよりも比熱の小さい物質が埋め込まれている、振動ジャイロ。 - 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第2梁は、シリコンで作られており、前記第2方向の振動における中立面から外れた位置にシリコンよりも線膨張係数の大きい物質が埋め込まれている、振動ジャイロ。 - 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第2梁は、シリコンで作られており、その内部にシリコンよりも変形時の内部摩擦が大きい物質が埋め込まれている、振動ジャイロ。 - 前記内部摩擦が大きい物質が、前記第2方向の振動における中立面と重なるように埋め込まれている、請求項3に記載の振動ジャイロ。
- 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第2梁は、シリコンで作られており、端部がシリコンよりも変形時の内部摩擦が大きい物質で覆われている、振動ジャイロ。 - 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第1梁は、本体梁と、前記本体梁よりも細い梁であって前記本体梁と前記固定部を連結する複数の副梁を備えている、振動ジャイロ。 - 互いに直交する第1方向と第2方向の夫々に変位可能に支持されている質量部と、
前記第2方向に沿って延びており、一端が固定部に固定されている第1梁と、
前記第1梁の他端に連結されている励振基部と、
前記第1方向に沿って延びており、一端が前記励振基部に連結されているとともに他端が前記質量部に連結されている第2梁と、
前記励振基部を介して前記質量部を前記第1方向に振動させる加振器と、
前記質量部の前記第2方向の変位量を検出する検出器と、
を備えており、
前記質量部の前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数が等しく、
前記第2方向の振動のQ値が前記第1方向の振動のQ値よりも小さく、
前記第1梁は、本体梁と、前記本体梁よりも細い梁であって前記本体梁と前記励振基部を連結する複数の副梁を備えている、振動ジャイロ。
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